【課題】吐出薬液に気泡が混入することを抑制することができる薬液供給装置、および薬液に混入した気泡に起因するパターン形成不良の発生を抑制することができる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】薬液が貯蔵された容器１はフィルタハウジング５に導入管２を介して接続される。フィルタ６はフィルタハウジング５の下部側に配設される。薬液は、ポンプ３により容器１からフィルタハウジング５へ送出される。フィルタ６より上方のフィルタハウジング５の内面には、薬液に対して親和性を有する親液面１３が設けられている。フィルタハウジング５には、フィルタ６よりも下方に、流路を開閉する供給弁７が介在された供給管８を介して薬液を対象物に供給する供給部９が接続される。また、フィルタ６よりも上方に、流路を開閉する排出弁１１が介在された排出管１０を介して薬液を外部に排出する排出部１２が接続される。 （もっと読む）

【課題】パターン形成方法に関し、パターン疎密に依るエッチング形状の差を解消することが可能であり、また、エッチングシフト量の変動などに対して即応性に優れ、且つ、低コストのパターン形成方法を提供しようとする。
【解決手段】パターン密度が異なる回路パターンの形成を必要とする被エッチング膜２のエッチングに於いて、パターン密度にかかわらずエッチング後に所望の寸法をもつ被エッチング膜２を形成する為、所望のエッチングシフト量が得られるレジスト膜厚をそれぞれのパターン密度に応じて決定し、前記パターン密度に対応して膜厚を変化させたレジスト膜４をマスクとしてエッチングを行う。 （もっと読む）

【課題】耐傷性、特に印刷版の擦過傷に対する耐性に優れた水なし平版印刷版原版を提供すること。
【解決手段】基板上に、少なくとも感光層もしくは感熱層と、シリコーンゴム層とをこの順に有する水なし平版印刷版原版であって、該シリコーンゴム層の初期弾性率が０．３９ＭＰａ以下であることを特徴とする水なし平版印刷版原版。 （もっと読む）

【課題】現像後解像性が良好で、現像液分散安定性に優れ凝集物を発生せず、硬化膜柔軟性に優れ、テンティング性、良好なエッチング液耐性を有する感光性樹脂組成物、及び該組成物からなる感光性樹脂層を有する感光性樹脂積層体を提供すること、ならびに、該積層体を用いたレジストパターンの形成方法、及び導体パターンの製造方法を提供する。
【解決手段】（ａ）カルボキシル基含有量が酸当量で１００〜６００であり、共重合成分としてベンジル（メタ）アクリレートを含有し、かつ、重量平均分子量が５０００〜５０００００であるバインダー用樹脂：１０〜９０質量％、（ｂ）光重合性不飽和化合物：５〜７０質量％、及び（ｃ）光重合開始剤として特定の化合物：０．１〜２０質量％含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】水系現像液で現像でき、また、水性インキに対する耐性があり、且つ鮮明な画像を与える反発弾性や、機械的強伸度を有する画像再現性の良好な新聞用フレキソ印刷原版。
【解決手段】（１）支持体、感光性樹脂層、カバーフィルムを有する感光性樹脂積層体において、支持体が金属、前記感光性樹脂層の光硬化後の反発弾性が４０％以上であることを特徴とする感光性樹脂積層体。（２）感光性樹脂層の光硬化後の機械的強伸度特性が８０ｋｇ／ｃｍ²・％以上である水現像液で現像可能な前記（１）記載の感光性樹脂積層体。（３）感光性樹脂層の水膨潤率が８％以下である前記（１）記載の感光性樹脂積層体。（４）前記支持体と感光性樹脂層の間に接着層を設け、前記接着層にハレーション防止剤を含んでいる前記（１）記載の感光性樹脂積層体。（５）感光性樹脂層が水分散ラテックスから得られる疎水性重合物を含んでいる前記（１）記載の感光性樹脂積層体。 （もっと読む）

【課題】４０５ｎｍにおける透過率を制御した組成において、波長４０５ｎｍの波長を有する露光光源に対し十分な感度を示し、かつ解像度及び密着性の良好な、アルカリ性水溶液によって現像しうる、感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を用いた感光性樹脂積層体、該感光性樹脂積層体を用いて基板上にレジストパターンを形成する方法、及び該レジストパターンの用途を提供する。
【解決手段】（ａ）α，β−不飽和カルボキシル基含有単量体を共重合成分として含む、酸当量で１００〜６００、重量平均分子量が５０００〜５０００００の熱可塑性共重合体：２０〜９０質量％、（ｂ）少なくとも一つの末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマー：５〜７５質量％、および（ｃ）光重合開始剤：０．０１〜３０質量％を含有してなる感光性樹脂組成物であって、かつ、該感光性樹脂組成物を支持体上に塗布し、乾燥して得られた感光性樹脂層の４０５ｎｍにおける透過率が、膜厚４０μm換算で、１５〜４０％である感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】 保護フィルムの剥離性、現像密着性、耐サンドブラスト性に優れたフォトレジストフィルム及びそれを得るための感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】 支持体フィルム、感光性樹脂組成物層及び保護フィルムが順次積層されてなるフォトレジストフィルムであって、（１）保護フィルムの１８０度剥離強度が２０ｇ／ｉｎｃｈ以下、（２）スプレー圧０．０２ＭＰａで最小現像時間の２倍時間の現像を行い、レジストパターンを形成したときの最小密着線幅が６０μｍ以下であること、（３）感光性樹脂組成物層をブラスト加工を行ったときの硬化膜の残膜率が２５％以上であること、を満足するフォトレジストフィルム、及び、重量平均分子量（Ｍｗ）が３，０００〜３０，０００で、カルボキシル基を有するアクリル系オリゴマー（Ａ）、カルボキシル基を有するジオール系化合物（Ｂ）及び光重合開始剤（Ｃ）を含有してなる感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】 感度、現像性が均一で、耐汚れ性が良好な製造方法を提供することにある。
【解決手段】 少なくとも付加重合可能なエチレン性二重結合を有する化合物と重合開始剤を有機溶媒に溶解させてなる塗布液を調液し、支持体上に塗設してなる感光性平版印刷版の製造方法であって、前記塗布液が調液されてから前記支持体上に塗布されるまでの間の塗布液の溶存酸素含量を、所定量以上に保持することを特徴としている。また、上記感光性平版印刷版の製造方法において、前記所定量は、８．０ｍｇ／ｌであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 極めて高感度であり、耐刷性が高く、処理適性（アンダー現像性）がよい感光性平版印刷版材料及びそれを用いた平版印刷版の製法を提供する。
【解決手段】 親水性支持体上に少なくとも（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物、（Ｃ）ラジカル開始剤を含有してなる感光層及びオーバーコート層をこの順に有する感光性材料であって、少なくとも（１）画像露光工程、（２）加熱処理処理工程（プレヒート）、（３）現像処理工程をこの順に経て平版印刷版を得る感光性平版印刷版材料に於いて、該（Ｂ）成分と（Ａ）成分の比〔Ｂ／Ａ〕が、１．５〜３．０の範囲であり、該アルカリ可溶性樹脂がプレヒート温度より１０℃以上高いガラス転移点（Ｔｇ）を有し、且つ該アルカリ可溶性樹脂がラジカル反応性基を有することを特徴とする感光性平版印刷版材料。 （もっと読む）

【課題】良好な柔軟性および反発弾性を有し、かつ適度なショア硬度を有する凸版印刷用の感光性印刷原版を形成することができる水現像可能なフレキソ印刷版用水溶性感光性樹脂組成物と、この組成物から得られた水溶性感光性フレキソ印刷原版を提供する。
【解決手段】水溶性樹脂成分（Ａ）と、光重合性モノマー（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）とを含有し、前記水溶性樹脂成分（Ａ）がケン化度が２０〜７０モル％の第１のポリ酢酸ビニル部分ケン化物（Ａ１）とケン化度が７０〜９５モル％の第２のポリ酢酸ビニル部分ケン化物（Ａ２）とから構成されている樹脂組成物を、フレキソ印刷版用水溶性感光性樹脂組成物として用いる。 （もっと読む）

【課題】 ４００〜４１０ｎｍの波長の露光光に対する感度分布が略一定で、パターン再現性に優れ、パターン形状のバラツキが極めて抑制され、明室環境下の取り扱いが可能なパターン形成材料、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】 支持体と、該支持体上に少なくとも感光層を有してなり、該感光層が、バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び増感剤を含んでなり、該増感剤は、極大吸収波長が３４０〜５００ｎｍである増感剤を少なくとも２種含むことを特徴とするパターン形成材料である。また、該パターン形成材料を用いたパタン形成装置及びパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】レジスト液の輸送コストの低減化をはかりつつ、現在のＬＣＤパネル製造ラインにそのまま直結できる高価な小型専用容器の使用を回避し、トータル的にレジスト液の供給コストを削減することのできるレジスト液製造方法を提供する。
【解決手段】レジスト液製造方法において、調合タンク内の液体の濃度及び／又は粘度を測定し、この測定結果に基づいて原料液と溶剤の注入分量を調整して希釈制御を行なうとともに、希釈制御されて得られた製品用レジスト液をバッファ槽にて一定期間貯留して安定化させる。 （もっと読む）

【課題】 従来より向上化された、安定したドット形状、感度、機上現像適性、及び耐刷性を有する平版印刷版材料及び当該印刷版材料を高収率で製造する方法を提供する。
【解決手段】 連続した透明のプラスチックフィルム上に親水性層及び画像形成層を積層塗布してなる平版印刷版材料の製造方法において、塗布工程中に塗布済フィルムの透過光及び反射光に対する光学濃度を測定して得た光学濃度分布情報に基づき製品加工条件を制御することを特徴とする平版印刷版材料の製造方法。 （もっと読む）

【課題】半透過型カラーフィルタの着色画素層の形成において、フォトマスクを用いず、また、工程を簡略化し、廉価なカラーフィルタの製造に適した感光性着色樹脂組成物、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタを提供すること。
【解決手段】（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｂ）エチレン性不飽和化合物、（Ｃ）光重合開始剤、および（Ｄ）着色剤からなる感光性着色樹脂組成物であって、これを用いて形成した着色樹脂層への露光量に高低差を設けることにより、現像後の低露光量部の膜厚（ｔ２）と、高露光量部の膜厚（ｔ１）との比の値〔ｔ２／ｔ１〕が、０．０５以上０．７以下の範囲となること。フォトブリーチングする光重合開始剤とフォトブリーチングしない光重合開始剤が〔１：１０〕〜〔２：１〕重量比で含有する。 （もっと読む）

【課題】 高感度で現像処理適性が良好であり、得られる印刷版の耐刷性にも優れる平版印刷版材料を提供する。
【解決手段】 親水性支持体上に、少なくとも（Ａ）ガラス転移点（Ｔｇ）が１００℃未満、重量平均分子量（Ｍｗ）が５，０００〜１００，０００、酸価が２０〜１１０ｍｇ／ＫＯＨであるバインダーポリマー、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物、及び（Ｃ）ラジカル重合開始剤を含有する感光層を有することを特徴とする平版印刷版材料。
上記感光層の溶解度パラメーター（ＳＰ値）が２０．４６［ＭＰａ］^1/2以上であることは好ましい態様である。 （もっと読む）

【課題】 ブリッジ系ディフェクトおよび再析出系ディフェクトの両方が低減されたレジストパターンが形成できるポジ型レジスト組成物の製造方法、ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 酸の作用によりアルカリ可溶性が増大する樹脂成分（Ａ）および露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）を有機溶剤（Ｓ）に溶解してなるポジ型レジスト組成物を、ナイロン製の膜を備えたフィルタ（ｆ１）を通過させる工程（Ｉ）を有し、前記樹脂成分（Ａ）が、少なくとも１種の単量体を重合させて製造する際に酸を存在させることにより得られる少なくとも２種の構成単位を有する共重合体であることを特徴とするポジ型レジスト組成物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 フォトマスクを用いることなく、高感度でかつ露光パワーの変動による線幅変動が極めて少なく、高精細に形成可能であり、低コスト、かつ表示特性に優れカラーフィルタを形成することができるマスクレス露光用カラーフィルタ形成材料などの提供。
【解決手段】 少なくともバインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び着色剤を含む感光性組成物からなる感光層を有してなり、前記感光層の感度が０．１〜１００ｍＪ／ｃｍ^２であり、前記感光層における感度の１００％での露光量（Ｐ１００）乃至該感光層における感度の５５％での露光量（Ｐ５５）では、前記感光層の現像後厚みが該感光層の初期厚みの９０〜１１０％であり、かつ前記感光層における感度の４５％での露光量（Ｐ４５）では、該感光層の現像後厚みが該感光層の初期厚みの１０％以下であるマスクレス露光用カラーフィルタ形成材料である。 （もっと読む）

【課題】 ソルダーレジストのような永久パターンの形成を目的として、露光感度に優れ、得られるレジスト面形状が良好で、かつ、より高精細なパターンを形成可能なパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いた永久パターン形成方法の提供。
【解決手段】 バインダーと、重合性化合物と、光重合開始剤と、熱架橋剤と、増感剤として塩基性核を有する色素と、を少なくとも含む感光性組成物を用いて得られた感光層を少なくとも有し、かつ、該感光層を露光し現像する場合において、該感光層の露光する部分の厚みを該露光及び現像後において変化させない前記露光に用いる光の最小エネルギーが０．１〜１００ｍＪ／ｃｍ^２であることを特徴とするパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いた永久パターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】 露光された無機レジストを長時間現像する際に、現像工程を自動化し、現像液を再使用し、精密な制御を可能にする。
【解決手段】 被処理原盤２１がスピンテーブル２２に取り付けられてからプリリンス工程Ｓ１がなされる。次に、現像工程Ｓ２において第１段階の現像がなされる。現像が終了すると、リンス工程Ｓ３がなされる。そして、スピン乾燥工程Ｓ４がなされる。スピン乾燥工程Ｓ４が終了した段階で、モニタリング工程Ｓ５において、現像の進行度合いが測定される。モニタリング工程Ｓ５の測定結果から追加現像が必要か否かが判定工程Ｓ６で判定される。この判定結果に基づいて、工程Ｓ１（プリリンス）から再び追加現像処理がなされる。追加現像後に、現像が設定した段階となると、現像終了と判定される。その場合には、ポストリンス工程Ｓ７がなされる。 （もっと読む）

【課題】 特定波長の光線に対して高い感度を有するとともに、感光特性を安定に維持可能であり、更に、レジストパターンのライン断面形状を良好とすることができる感光性エレメントを提供すること。
【解決手段】 感光性エレメント１は、支持体１０と、この上に形成された感光層２０とを備えている。感光層は、（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）光重合性化合物及び（Ｃ）光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物から構成される。Ｃ成分は、特定構造の（Ｃ１）クマリン系化合物、（Ｃ２）イミダゾール二量体及び（Ｃ３）フェニルグリシン化合物を含有している。そして、感光層２０においては、Ａ成分及びＢ成分の総質量１００質量部に対するＣ１成分の含有量Ｐと、感光層の厚さＱμｍとの積Ｒが、１０．０以上２２．０未満であり、また、Ｃ３成分の含有量が、Ａ成分及びＢ成分の総質量１００質量部に対して０．０２〜０．８質量部である。 （もっと読む）