【課題】露光時の重合硬化性を向上し、低い加熱温度又は加熱処理無しでパターン構造物や保護膜を形成できるようにする。
【解決手段】樹脂と、双極子モーメントが３．５０Ｄｅｂｙｅ以上の重合性化合物と、光重合開始剤と、を含む感光性樹脂組成物である。 （もっと読む）

【課題】非常に微細な段差を有する下地においても、アライメントのずれが起こらず、かつ、確実に既存パターンの間にパターニングすることが可能なようにレジストを塗布できるレジスト塗布装置を提供する。
【解決手段】レジスト塗布装置は、レジストに溶剤を供給する手段を備えて、レジストの粘度を変化させることができる。このレジスト塗布装置を半導体装置の製造方法に用いることにより、段差のある下地に塗布するレジストの膜厚を幅広く制御することができる。 （もっと読む）

【課題】フォトレジストの特性化および分析を行う方法を提供する。
【解決手段】フォトレジストの特性化方法は、支持構造上にフォトレジストを形成する工程１０２と、フォトレジストをベーキングする工程１０４と、フォトレジストを染色剤により染色する工程１０６と、ＴＥＭ、ＳＥＭおよびＡＦＭのうちの少なくとも１つを利用し、フォトレジストを特性化する工程１０８と、を含む。 （もっと読む）

【課題】感放射線性樹脂組成物における液中異物発生度合を樹脂原料段階で評価可能な樹脂の評価方法、及び各種放射線を使用する微細加工に有用な化学増幅型レジストとして使用できる感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】本樹脂の評価方法は、フッ素含有重合体を含む樹脂のレジスト溶剤溶液の動的光散乱を測定し、この溶液の一定濃度領域における拡散係数差（ΔＤ）により、樹脂を感放射線性樹脂組成物材料として用いた場合における液中異物発生度合を評価する。本感放射線性樹脂組成物は、フッ素含有重合体を含む樹脂と、レジスト溶剤と、感放射線性酸発生剤とを含有しており、前記樹脂は、濃度２質量％のレジスト溶剤溶液の動的光散乱測定による拡散係数（Ｄ_ａ）と、濃度８質量％のレジスト溶剤溶液の動的光散乱測定による拡散係数（Ｄ_ｂ）との拡散係数差［ΔＤ（Ｄ_ｂ−Ｄ_ａ）］が、−２．０×１０^−７ｃｍ^２・ｓ^−１以上である。 （もっと読む）

【課題】液晶ディスプレイ等の液晶表示装置において、スペーサ等を形成する際に好適に用いられる感光性組成物であって、特にフォトリソグラフィー法により高さの異なる硬化物を同一材料で同時に形成する場合に、製造安定性に優れた感光性組成物を提供する。
【解決手段】露光量の対数〔ｌｏｇＥ（ｍＪ／ｃｍ^２）〕に対して露光部の残膜率〔ｔ（％）〕をプロットした残膜率−露光量曲線における残膜率の６０％と９０％の点を結ぶ下記式（１）の直線のγ値が１５以上、且つ４５未満であることを特徴とする感光性組成物。ｔ＝γｌｏｇＥ＋δ…（１）［ここで、残膜率ｔ（％）は、ネガマスクパターンを介して画像形成したときに以下で表される。残膜率〔ｔ（％）〕＝｛（各露光量でのパターン高さ）／（露光量１０００ｍＪ／ｃｍ^２でのパターン高さ）｝×１００］ （もっと読む）

【課題】生保存時の減感が改良された感光性平版印刷版材料を提供する。
【解決手段】支持体上に、光重合開始剤、重合可能なエチレン性二重結合含有化合物、高分子結合材、３５０〜４５０ｎｍに吸収極大を持つ増感色素を含有する感光層、及びその上層に酸素遮断層を有する感光性平版印刷材料において、最外層の膜面ｐＨが１．０以上５．０未満であることを特徴とする感光性平版印刷版材料。
前記光重合開始剤がＦｅアレーン化合物であること、ヘキサアリールビイミダゾールであることは好ましい態様である。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、支持体上に親水層、画像形成層を順じ設け、親水層にコロイダルシリカを有しているにもかかわらず、画像形成層の塗布液ｐＨ、画像形成層の膜面ｐＨを規定することによって、画像形成層の塗布性、密着性に優れ、耐刷性に優れしかも機上現像性にも優れた、平版印刷版材料、平版印刷版材料の製造方法、および印刷方法を提供することにある。
【解決手段】支持体上にコロイダルシリカを有する親水層を有し、その上に画像形成層を有する平版印刷版材料であって、画像形成層の膜面ｐＨが１０．０〜１３．７であることを特徴とする平版印刷版材料。 （もっと読む）

【課題】レジスト原液と溶剤を混合したレジスト液の濃度を正確に測定する。
【解決手段】レジスト濃度測定装置１００にはレジスト原液タンク１０１、溶剤タンク１０２、及びマーカー材タンク１０３が設けられ、これらタンクから供給されるレジスト原液、溶剤、及びレジスト原液の濃度に対して所定の比率で添加されるマーカー材溶液が混合ブロック１０６で混合される。マーカー材は６００ｎｍ〜９００ｎｍの波長の光に対して最大の吸光度を有しており、吸光度計１０８で６００ｎｍ〜９００ｎｍの波長の光をレジスト液に照射することで、マーカー材のみの一定の吸光度を測定することができる。そしてマーカー材の濃度を演算することにより、レジスト液の濃度を正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 レーザー露光による画像記録が可能であり、機上現像性及び耐刷性が優れた機上現像型の平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】 露光部の２５℃における、相対湿度３０％に対する相対湿度５０％の含水量変化率が２．O質量％以下である画像形成層を有し、油性インキと水性成分とを供給することにより機上現像可能な平版印刷版原版。画像形成層が、露光により疎水性に変化する官能基を有するバインダー樹脂や塩構造を有する重合性化合物を含有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】機上現像の際に除去される成分による印刷インキ色相変化や湿し水着色が少ない機上現像型平版印刷版原版の製造欠陥検査方法において、特に無色或いは限りなく無色に近い層の製造欠陥を容易かつ迅速に検出出来る平版印刷版原版の検査方法を提供すること。
【解決手段】支持体上に、塩基性色素と相互作用する化合物を含み、印刷インキ、湿し水またはこれらの両方により除去可能な画像形成層を有する平版印刷版原版の製造時の欠陥検査方法であって、概原版を製版工程に先立って塩基性色素を含む水溶液で処理させることを特徴とする平版印刷版原版の製造欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】
簡便な操作で、フォトレジスト樹脂のフォトレジストＬＥＲ・ＬＷＲ特性を評価する方法を提供する。
【解決手段】
１．フォトレジスト樹脂の薄膜の弾性率均一性により、フォトレジスト樹脂の、ラインエッジラフネスおよびラインウィドスラフネス特性を評価することを特徴とする、フォトレジスト樹脂の評価方法；
２．フォトレジスト樹脂の薄膜を原子間力顕微鏡タッピング法で測定し、得られた位相像の特性周期により、フォトレジスト樹脂の、ラインエッジラフネスおよびラインウィドスラフネス特性を評価することを特徴とする、フォトレジスト樹脂の評価方法；
３．フォトレジスト樹脂の薄膜を原子間力顕微鏡タッピング法で測定し、得られた該薄膜の弾性率変動の特性周期によりフォトレジスト樹脂の薄膜の弾性率均一性を評価することを特徴とする、フォトレジスト樹脂の評価方法。 （もっと読む）

【課題】製造ラインの塗布装置を用いずに、その塗布装置に適用できる塗布膜用溶液を簡便に評価する。
【解決手段】カラーレジスト溶液２０と接触する半導体装置製造用の塗布装置の部材と同材料からなり、カラーレジスト溶液２０が密閉状態で充填される評価用容器３０と、塗布装置からカラーレジスト溶液２０を塗布する温度以上、カラーレジスト溶液２０を乾燥する温度未満に、評価用容器３０に充填されたカラーレジスト溶液２０を加熱する恒温槽３２と、加熱後のカラーレジスト溶液２０に含まれる凝集物数を検出する面板ダストカウンタとを備え、その検出結果に基づいて、カラーレジスト溶液２０が塗布装置に適用可能か否かを評価する。 （もっと読む）

【課題】下層レジストをエッチングする際、サイドエッチの発生しにくい下層レジスト材料を、エッチング前に非破壊で光学的に見分ける方法およびそのための装置、ならびにこの方法を使用する半導体装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】基板上に成膜したレジスト膜の評価方法であって、
レジストのエッチング耐性と光学特性との相関データをあらかじめ取得するステップと、
前記レジスト膜の光学特性を評価するステップと、
レジスト膜の光学特性を評価する前記ステップで得た前記光学特性と前記相関データとに基づいて、前記レジスト膜のエッチング耐性を評価するステップと、
を含むことを特徴とするレジスト膜の評価方法。 （もっと読む）

【課題】露光・現像後の剥離性に優れ、ハードベーク時の着色がなく、可視光領域での光透過率が良好で、熱硬化後の耐薬品性に優れた保護層を形成することが可能な保護膜用熱硬化性組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｂ）エチレン性不飽和基を２個以上有する化合物、及び（Ｃ）光重合開始剤を含有し、成分（Ａ）及び成分（Ｂ）の総重量に対するエチレン性不飽和基の含有量が、１ミリモル／ｇ以上５ミリモル／ｇ以下であり、且つ、最適露光量で露光して硬化した露光膜の０．４重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液（２５℃）中での溶解速度が、２．３μｍ／分以下であることを特徴とする保護膜用熱硬化性組成物。 （もっと読む）

【課題】現像後に非画像部における顔料を良好に除去することができ、非画像部における残色をなくして検版性を高め、かつ印刷中の汚れも防止できる平版印刷版原版およびこれを用いた平版印刷版の作製方法を提供する。
【解決手段】表面親水性のアルミニウム支持体上に、酸価が０.３ｍｅｑ／ｇ以下のバイ
ンダーポリマーを含有する感光層を設け、該感光層が、−ＣＯＯＨ基、−ＰＯ₃Ｈ₂基および−ＯＰＯ₃Ｈ₂基を有さない顔料分散剤を用いて分散した顔料を含有する平版印刷版原版。当該平版印刷版原版を、３６０〜４５０ｎｍの波長域に発振波長を有するレーザーで画像露光した後、擦り部材を備えた自動処理機により、ｐＨが２〜１０の現像液の存在下、擦り部材で版面を擦ることにより、保護層および非露光部の感光層を除去する平版印刷版の作製方法。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板のフッ酸エッチングでガラス基板との密着性に優れる特性を有する、感光性樹脂組成物及び感光性樹脂積層体を提供すること。
【解決手段】（Ａ）カルボキシル基含有量が酸当量で１００〜６００であり、かつ、重量平均分子量が５０００〜５０００００であるバインダー用樹脂、（Ｂ）少なくとも一つの末端エチレン性不飽和基を有する光重合性モノマー、（Ｃ）光重合開始剤及び、（Ｄ）オルガノシラン化合物を含有してなる感光性樹脂組成物であり、前記（Ｄ）成分が特定のオルガノシラン化合物であることを特徴とする感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】重合体、特に半導体製造工程で使用される重合体を精製する精製工程において当該重合体の精製用として好適に使用でき、当該精製工程により得られる重合体を用いて形成されるレジストパターンにおけるディフェクトの発生を低減できる重合体を提供する。
【解決手段】溶解度パラメータが１７〜２０（Ｊ／ｃｍ^３）^１／２の範囲にあり、かつ比表面積が０．００５〜１ｍ^２／ｇの範囲にある重合体（Ｌ）。 （もっと読む）

【課題】 共振周波数のドリフト量が小さく、かつ速やかに安定する、新規なＱＣＭ装置を提供すること。
【解決手段】 ＱＣＭ基板、該基板を保持するＱＣＭ基板ホルダー、該ＱＣＭ基板ホルダーを取り囲む金属製ブロック、および少なくとも一部は金属製ブロックの内部に形成された液体を通すことができる流路を有し、該流路に形成された開口部を通してブロックとほぼ同じ温度にされた液体が、ＱＣＭ基板上のＱＣＭ回路ではない位置に滴下される、ＱＣＭ装置。 （もっと読む）

【課題】顔料やマット剤等の用いる溶剤に不溶性の成分を含有する感光液を用いるＣＴＰ印刷版の製造方法において、製造時に塗布欠陥の発生が無くまた感光層中に含まれる界面活性剤の悪影響がなく、長期に渡って安定な現像処理を行うことが可能なＣＴＰ印刷版の製造方法を提供する事。
【解決手段】支持体上に少なくとも０．１質量％以上の濃度で不溶性成分を有する感光液を塗布して成る画像形成層を有し、レーザー光を光源としてダイレクト露光されるＣＴＰ印刷版を製造するための方法であって、少なくともウエブ状の支持体に感光液を塗布する塗布部と、感光液を前記塗布部に供給するための送液手段と、前記送液手段を用いて前記塗布部へ供給するために感光液を貯留する待機タンクを有する製造装置を用いて製造を行うＣＴＰ印刷版の製造方法において、前記待機タンク内の感光液の循環を行う循環手段を有するＣＴＰ印刷版の製造方法。 （もっと読む）

【課題】感度が高く、良好なレジストパターン形状が得られ、かつ、絶縁信頼性に優れ、高精細なパターンを形成可能なパターン形成材料、前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法、及び前記パターン形成方法により永久パターンが形成されるプリント基板の提供。
【解決手段】バインダー、重合性化合物、及び光重合開始剤、を少なくとも含む感光性組成物を用いて形成された感光層を有し、該感光層を、基板の表面に積層した後、該感光層に対して露光を少なくとも行うことにより形成されたパターンの膜厚１μｍ当たりの８１０ｃｍ^−１の吸収が、０．０２未満であるパターン形成材料である。また、該パターン形成材料を用いるパターン形成方法、及び前記パターン形成方法により永久パターンが形成されるプリント基板である。 （もっと読む）