【課題】 現像性、耐傷性のバランスに優れた赤外線レーザ用感光性平版印刷版原版、及び、それを用いた、人体や環境に対して影響が懸念される有機溶剤を使用することなく、アルカリ現像液により良好な現像が行われ、優れた画像を形成しうる赤外線レーザ用感光性平版印刷版の作製方法を提供する。
【解決手段】 親水性表面を有する支持体上に、（Ａ−１）高分子化合物と（Ｂ）赤外線吸収剤とを含有する下層と、（Ａ−２）下層に含まれる高分子化合物とは異なる高分子化合物を含有する上層とを、順次備えてなり、上層のアルカリ性水溶液への溶解速度が１．５ｎｍ／ｓｅｃ以上である赤外線レーザ用感光性平版印刷版原版である。このような版材を用いることで、赤外線レーザを用いて像様に露光した後、有機溶剤の含有率が０．５質量％以下であるｐＨ１２以上のアルカリ性水溶液で現像することにより高画質の平版印刷版を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】特に固形分中の色材濃度が高い場合であっても、硬化性樹脂組成物中の色材成分の分散安定性が良好で保管中の増粘などがなく、またこれを用いてカラーフィルタ用画素を作成した場合には表面荒れやひびなどの不良のないカラーフィルタ用硬化性樹脂組成物を用いて、耐久性、強度が十分な高品質のカラーフィルタ、および液晶表示装置を提供する。
【解決手段】特定条件で硬化させてより得られる膜厚１．５〜２μｍの硬化物の鉛筆硬度がＨ以下であるカラーフィルタ用硬化性樹脂組成物。好ましくは、（ａ）色材、（ｂ）溶剤、（ｃ）樹脂、および（ｄ）重合可能な単量体を含有するカラーフィルタ用硬化性樹脂組成物であって、（ｃ）樹脂中に、ホモポリマーのガラス転移温度が３０℃以下であるモノマーを構成成分とする樹脂を含有し、（ｄ）重合可能な単量体が重合可能な官能基を２つ又は３つ有する。このカラーフィルタ用硬化性樹脂組成物によって形成されたカラーフィルタおよび液晶表示装置。 （もっと読む）

【課題】 高感度感光層であっても安全灯下での光カブリを防止でき、プリント基板の製造等に好適に用いられるパターン形成材料等の提供。
【解決手段】 支持体上に、波長３５０ｎｍ以上４５０ｎｍ以下で５０ｍＪ／ｃｍ^２以上のエネルギーを加えることにより現像可能な感光層を少なくとも有し、
該感光層が、前記感光層を露光し現像する場合において、前記感光層の露光する部分の厚みを該現像の前後において変化させない前記露光に用いる光の最小エネルギーが、１〜２０ｍＪ／ｃｍ^２であり、かつ、最大吸収波長が５００ｎｍ以上６５０ｎｍ以下にある染料を少なくとも１種以上含むパターン形成材料である。 （もっと読む）

【課題】 セーフライトなどの光源によるパターン形成材料の感度変化を良好に抑制し、保存安定性に優れ、配線パターン等の永久パターンを高精細に、かつ、効率よく形成可能なパターン形成方法の提供。
【解決手段】 支持体と、該支持体上に少なくとも３５０〜５００ｎｍに感光特性を示す感光層を有し、エネルギー感度が１〜２０ｍｊ／ｃｍ^２であるパターン形成材料を用い、３８０〜５００ｎｍの波長領域を有し、該波長領域での少なくとも一波長のエネルギー強度が１×１０^−２μＷ／ｃｍ^２／ｎｍ以下の光源下で、基材表面への感光層の積層工程と、該積層工程と露光前までの工程のうち少なくとも一工程を行うパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】フォトリソグラフィによるパターン形成方法において、検査工程を短縮すると共に、その検査の高精度化を図る。
【解決手段】パターン形成方法は、フォトリソグラフィにより、表示領域に主パターンを形成すると共に、非表示領域に検査用パターン３０を形成するパターン形成工程と、検査用パターン３０を直接に検査することにより、主パターンの形成状態を間接的に検査する検査工程とを含んでいる。検査用パターン３０は、主パターンにおける検査対象部を含む所定領域と同じ構成を有する検査領域３５を備えている。検査工程では、検査用パターン３０の検査領域３５を計測することにより、主パターンにおける線幅とアライメントずれとを検査する。 （もっと読む）

【課題】 良好な耐熱性を備えたポジ型の感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】アルカリ可溶性樹脂成分（Ａ）、感光剤（Ｂ）を含む感光性樹脂組成物であって、前記（Ａ）成分が、下記一般式（ａ１）で表される構成単位（ａ１）を有する樹脂成分（Ａ１）を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
【化１】


（上記一般式中、Ｒ^０は水素原子またはメチル基を表し、Ｒ^１は単結合または炭素数１〜５のアルキレン基を表し、Ｒ^２は炭素数１〜５のアルキル基を表し、ａは１〜５の整数を表し、ｂは０または１〜４の整数を表し、ａ＋ｂは５以下である。なお、Ｒ^２が２個以上存在する場合、これらのＲ^２は相互に異なっていてもよいし同じでもよい。） （もっと読む）

【課題】 基体表面の凹凸追従性に優れ、かつ、テント性及びエッチングの均一性に優れた高精細なパターンを形成可能なパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】 支持体上に、第一の層と第二の層とをこの順に有し、該第一の層のガラス転移温度（Ｔｇ）をＡ、該第二の層のガラス転移温度（Ｔｇ）をＢとしたとき、Ｂ≧Ａであることを特徴とするパターン形成材料である。該パターン形成材料を備えたパターン形成装置である。前記パターン形成材料における感光層に対し、露光を行うことを少なくとも含むことを特徴とするパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】 ウェハにレジストパターンを形成するフォトリソグラフィー工程における条件設定を適正に行い，レジストパターンの線幅の基板面内の均一性を向上する。
【解決手段】 既存の処理条件の設定のフォトリソグラフィー工程において，光源の０次光のみを所定の減光率で減光させて透過させるマスクを用いて，ウェハＷ上のレジスト膜を露光し，その後加熱し，現像して，ウェハＷ上のレジスト膜を減少させる。その後，そのレジスト膜の膜厚の減少量を測定する。その後，その測定された膜厚減少量を，膜厚減少量と線幅との相関関数により，既存の処理条件時のレジストパターンの線幅に換算する。この換算された線幅に基づいて，露光後の加熱時の加熱温度の温度設定を行う。 （もっと読む）

【課題】 保存中の着色及び感度低下が抑制され、かつ露光時の良好な発色性により露光領域の可視像化に優れ、感度安定性に優れたパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 支持体上に少なくとも感光層を有し、未露光の前記感光層の６００ｎｍの光に対する吸光度が、６０℃の温度条件下で７２時間処理した後の吸光度をＢ、処理する前の吸光度をＡとしたとき、Ｂ−Ａ≦０．１の関係を満たすことを特徴とするパターン形成材料、該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び該パターン形成材料を用いたパターン形成方法である。前記感光層はバインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び４位に置換アミノ基を有するトリアリールメタン色素で、メタンの炭素原子に対しオルト位に少なくとも１つの置換基を有する発色剤化合物を含むことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】液浸露光時に用いられる液浸溶液による問題の発生を抑制すること。
【解決手段】基板上にレジスト膜を形成する工程と、前記レジスト膜上に保護膜を形成するための塗布溶液を前記レジスト膜上に塗布すること及び必要に応じて加熱することによって前記レジスト膜上に前記保護膜を形成する工程と、液浸溶液を用いる液浸露光法によって前記レジスト膜にパターンを転写することによって、前記レジスト膜に潜像を形成する工程と、前記潜像形成後、前記保護膜を剥離する工程と、前記剥離後、前記基板上にレジストパターンを形成するために前記レジスト膜を現像する工程とを含むパターン形成方法において、前記塗布液膜形成後と前記保護膜を剥離する前との間に、前記保護膜の欠陥有無を検査するために第１の検査を行う工程と、前記検査時に前記欠陥があった場合、予め決められた所定の処理を行う工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 不溶解物の生成が無くしかも簡素化された工程でフォトレジスト用樹脂溶液を得ることのできるフォトレジスト用樹脂溶液を得る。
【解決手段】 本発明のフォトレジスト用樹脂溶液の製造方法は、酸によりその一部が脱離してアルカリ可溶性となる基を含む繰り返し単位Ａと、極性基を有する脂環式骨格を含む繰り返し単位Ｂとを少なくとも含有するフォトレジスト用樹脂のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びプロピレングリコールモノメチルエーテルの混合溶媒による溶液を製造する方法であって、重合後ポリマーを貧溶媒に沈殿させ、分離した湿結晶をプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解し、蒸留により低沸点成分を除去した後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを加えて前記フォトレジスト用樹脂の溶液を得ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 パターン形成材料の製造工程において、塗布液が一時的に滞留した状態に置かれ、溶存酸素濃度が低下した状態であっても、ゲル化発生が起きない安定性の高い塗布液が得られ、感度及び解像度も良好で、高精細なパターンが得られるパターン形成材料の製造方法の提供。
【解決手段】 バインダー、重合性化合物及び光重合開始剤を含む感光性組成物の塗布液を調製する塗布液調製工程と、前記塗布液中に、重合性化合物に対し、４００ｐｐｍ以上の重合禁止剤を添加させて、前記塗布液を配管により送液する塗布液送液工程と、該塗布液を支持体上に塗布して感光層を積層する感光層積層工程とを含むことを特徴とするパターン形成材料の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】ＣＴＰ用の平版印刷版の故障、特に膜抜け故障を顕著に削減できる。
【解決手段】電気化学的な粗面化処理が行われる平版印刷版用のアルミニウム支持体であって、粗面化処理前の表面粗さが中心線平均粗さＲａで０．１０μｍ以上、０．２４μｍ以下であるように構成される。 （もっと読む）

【課題】優れた濾過特性を有し、レジスト塗布膜上の欠陥の数を大幅に低減できるだけでなく、経時によるレジスト液の変質によるレジスト塗布膜上の欠陥も大幅に低減でき、長期保存安定性を有する半導体塗布膜用溶液を提供する。
【解決手段】粗樹脂（１）を４０〜９０℃で活性炭と接触させ、その後珪藻土類及び／又はシリカゲル類と接触させることにより得られる処理済樹脂（１）を含むことを特徴とする半導体塗布膜用溶液。該半導体塗布膜用溶液が化学増幅型レジスト組成物であり、処理済樹脂（１）とともに、酸発生剤及び溶媒を含む前記記載の半導体塗布膜用溶液。 （もっと読む）

【課題】 カラーフィルタからの汚染物質で液晶層や有機ＥＬ層が汚染されないように、カラー表示装置の表示不良現象を防止でき、簡便な方法でカラーフィルタからの汚染物質を特定し、かつ、使用する構成材料の選択幅が広く、コスト増大を引き起こさないカラーフィルタ、及びそのカラーフィルタを具備するカラー表示装置を提供する。
【解決手段】 少なくともバインダー樹脂とモノマーと光重合開始剤とを含む感光性樹脂組成物を紫外線露光し加熱工程を経てポリマー膜としたカラーフィルタであって、前記カラーフィルタの前記ポリマー膜に含まれる未反応光重合開始剤の前記ポリマーに対する残留比Ｘと、未反応モノマーの前記ポリマーに対する残留比Ｙが、下記の式（１）および式（２）を満たすことを特徴とする。
（１） 0≦Ｘ≦4（重量％）
（２） 0≦Ｙ≦40（重量％） （もっと読む）

本発明は、塩酸で電気化学的に粗化したアルミニウム基体と、クマリン増感剤(I)、共開始剤、フリーラジカル重合性モノマー、1個または複数のP-OH基、ビウレットオリゴマーとを含む放射感応性コーティングとを含む放射感応性エレメントに関する。 （もっと読む）

【課題】 レーザー光による描画に適し、スクリーン線数２００線以上の高精細ＡＭスクリーン印刷やＦＭスクリーン印刷、特にＦＭスクリーンを使用した中間調の平網ムラの均一性が良好な光重合性感光性平版印刷版を提供すること。
【解決手段】 親水性支持体上に、重合性感光層を少なくとも１層有し、レーザーで露光する感光性平版印刷版において、該感光層の非露光部が、ｐＨ１３以下のアルカリ性水性現像液に対し完全に溶解除去される時間をｔ秒としたときに、２≦ｔ≦３０を満たすことを特徴とする光重合型感光性平版印刷版。 （もっと読む）