パターン形成材料、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法

【課題】保存中の着色及び感度低下が抑制され、かつ露光時の良好な発色性により露光領域の可視像化に優れ、感度安定性に優れたパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】支持体上に少なくとも感光層を有し、未露光の前記感光層の６００ｎｍの光に対する吸光度が、６０℃の温度条件下で７２時間処理した後の吸光度をＢ、処理する前の吸光度をＡとしたとき、Ｂ−Ａ≦０．１の関係を満たすことを特徴とするパターン形成材料、該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び該パターン形成材料を用いたパターン形成方法である。前記感光層はバインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び４位に置換アミノ基を有するトリアリールメタン色素で、メタンの炭素原子に対しオルト位に少なくとも１つの置換基を有する発色剤化合物を含むことが好ましい。

【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体上に少なくとも感光層を有し、未露光の前記感光層の６００ｎｍの光に対する吸光度が、６０℃の温度条件下で７２時間処理した後の吸光度をＢ、処理する前の吸光度をＡとしたとき、Ｂ−Ａ≦０．１の関係を満たすことを特徴とするパターン形成材料。
【請求項２】
感光層が、バインダーと、重合性化合物と、光重合開始剤と、下記構造式（Ｉ）で表される発色剤化合物とを少なくとも含む請求項１に記載のパターン形成材料。
【化１】

ただし、前記構造式（Ｉ）中、Ｒ_１、Ｒ_２、Ｒ_３、Ｒ_４、Ｒ_５、及びＲ_６は、置換基を有していてもよいアルキル基及びアリール基のいずれかを表し、
Ｒ_１とＲ_２、Ｒ_３とＲ_４、及びＲ_５とＲ_６のいずれかの組は、結合する窒素原子とともに飽和の５〜８員環を形成していてもよく、
Ｒ_７、Ｒ_８及びＲ_９は、水素原子、アルキル基、アルキルオキシ基、アルキルチオ基、アルキルオキシカルボニル基、アシルアミノ基、及びヒドロキシ基のいずれかを表し、かつＲ_７、Ｒ_８及びＲ_９の少なくとも１つがアルキル基、アルキルオキシ基、アルキルチオ基、アルキルオキシカルボニル基、アシルアミノ基、及びヒドロキシ基のいずれかを表す。
【請求項３】
構造式（Ｉ）中、Ｒ_７、Ｒ_８、及びＲ_９のいずれか１つがアルキル基、アルキルオキシ基、アルキルチオ基、アルキルオキシカルボニル基、アシルアミノ基、及びヒドロキシ基のいずれかであり、他の２つが水素原子である請求項２に記載のパターン形成材料。
【請求項４】
感光層が、構造式（Ｉ）で表される発色剤化合物を０．０１〜２０質量％含有する請求項２から３のいずれかに記載のパターン形成材料。
【請求項５】
支持体上に、クッション層と感光層とをこの順に有する請求項１から４のいずれかに記載のパターン形成材料。
【請求項６】
支持体上に、クッション層と、物質の移動を抑制可能なバリア層と、感光層とをこの順に有する請求項１から５のいずれかに記載のパターン形成材料。
【請求項７】
支持体上に、光感度が相対的に異なる複数の感光層を有する請求項１から６のいずれかに記載のパターン形成材料。
【請求項８】
請求項１から７のいずれかに記載のパターン形成材料を備えており、
光を照射可能な光照射手段と、該光照射手段からの光を変調し、前記パターン形成材料における感光層に対して露光を行う光変調手段とを少なくとも有することを特徴とするパターン形成装置。
【請求項９】
請求項１から７のいずれかに記載のパターン形成材料における該感光層に対し、露光を行うことを少なくとも含むことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項１０】
基体上にパターン形成材料を加熱及び加圧の少なくともいずれかを行いながら積層し、露光する請求項９に記載のパターン形成方法。
【請求項１１】
露光が、光照射手段からの光を受光し出射する描素部をｎ個有する光変調手段により、前記光照射手段からの光を変調させた後、前記描素部における出射面の歪みによる収差を補正可能な非球面を有するマイクロレンズを配列したマイクロレンズアレイを通して行われることを少なくとも含む請求項９から１０のいずれかに記載のパターン形成方法。
【請求項１２】
非球面が、トーリック面である請求項１１に記載のパターン形成方法。
【請求項１３】
露光が行われた後、感光層の現像を行う請求項９から１２のいずれかに記載のパターン形成方法。
【請求項１４】
現像が行われた後、永久パターンの形成を行う請求項９から１３のいずれかに記載のパターン形成方法。
【請求項１５】
永久パターンが、配線パターンであり、該永久パターンの形成がエッチング処理及びメッキ処理の少なくともいずれかにより行われる請求項１４に記載のパターン形成方法。

【図１】