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Fターム[2H097AA16]の内容

フォトレジスト感材への露光・位置合せ (19,491) | 露光方式 (2,269) | カーブした表面への露光 (116)

Fターム[2H097AA16]に分類される特許

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【課題】安価且つ短時間で、高精細なマスクパターンを光透過性円筒基材の外周面に形成させる露光装置を提供する。
【解決手段】光透過性円筒基材の外周面に少なくとも1層の感光層を有する感光体の露光装置であって、マスクパターンフィルムの挿入口と、前記マスクパターンフィルムを前記感光体に押し付け且つ前記感光体を支持する支持手段と、前記感光体を支持する支持手段と、前記感光体の外周面の一部を覆い、前記感光体と共に前記マスクパターンフィルムを挟持しながら搬送させるための光透過性搬送手段とを、少なくとも有する露光装置。 (もっと読む)


【課題】コストを抑えつつ、記録媒体への彫刻を高解像度化すると共に高速化する。
【解決手段】浅彫りの場合は、レーザビームLAの走査線間を、レーザビームLBで走査して彫刻することで、滑らかな線を描くことができる。深彫り時には、レーザの出力(パワー)を上げ、レーザビームLAで第一深度Y2まで彫刻したのち、レーザビームLBで第二深度Y3(深彫り時における所望する深度Y3)まで彫刻する。つまり、一つの露光ヘッド30で、高解像度での浅彫り(精密彫り)と高速での深彫りとの両立が可能とされる。 (もっと読む)


【課題】 描画品質および組み立ての作業能率を向上させることができるレーザ直接描画方法およびレーザ直接描画装置を提供すること。
【解決手段】 予めLD1(レーザダイオード)から出射されるレーザビーム5の光軸の副走査方向の位置をそれぞれの設計上の光軸の副走査方向の位置に合わせると共に、各光軸の設計上の光軸に対する主走査方向のずれ量ΔLxを求め、求めた各ずれ量ΔLxを走査時間に換算した各レーザビームの補正時間Δtとして記憶しておく。描画時、設計データに基づいて指定される各レーザビーム5の照射時刻(各LD1をONする時刻)に補正時間Δtを加算して各LD1の照射時刻とする。 (もっと読む)


【課題】円周面において焦点ぼけの発生を抑えて露光が可能な露光方法及び露光装置を提供する。
【解決手段】この露光方法は、円柱状の被露光物Aの円周面A1に露光を行う際に、光源からの光を円柱状の被露光物の中心軸gに対して平行にライン走査することで露光を行う。 (もっと読む)


【課題】複数のレーザユニット間隔が変化してもレーザユニットの記録位置ずれを低減。
【解決手段】温度検出回路31が光記録ヘッドHの近傍温度を検出し、制御手段が検出温度に応じて光記録ヘッドHを通常の送り速度より速い速度で副走査方向Yに移動させ、拡大したレーザチャンネル間ピッチA+Xを通常のレーザチャンネル間ピッチAに見合うように、伸び分Xを各レーザチャンネルCh1〜Ch(N)の記録ラインL1〜L4に均等分散して各レーザチャンネルCh1〜Ch(N)の記録エリア間に記録画像の隙間Fを発生させず、狭まったレーザチャンネル間ピッチA−Xを通常のレーザチャンネル間ピッチAに見合うように光記録ヘッドHを通常の送り速度より遅い速度で副走査方向Yに移動させ、縮み分Xを記録ラインL1〜L4に均等分散して各レーザチャンネルCh1〜Ch(N)の記録エリアの最終記録ラインL4後の記録画像のオーバーラップ部Gを拡散させる。 (もっと読む)


【課題】複数のレーザユニットの間隔(レーザチャンネル間ピッチ)が変化しても、画像への影響を少なくすることである。
【解決手段】ユーザー設定入力部34でレーザチャンネル間ピッチAの補正指示を行い、この補正指示に基づいて、制御手段は、光記録ヘッドHを、通常の送り速度より速い速度で副走査方向Yに移動させて、一記録ライン当りのピッチ量を増やすことで、レーザチャンネル間ピッチAの伸び分Xを、隣接する各々のレーザユニット2の記録領域の記録ラインL1〜L4に均等に分散して最終記録ラインL4後の記録画像の隙間Fを拡散させることにより、記録領域を、副走査方向Yにおいて全ての隣接するレーザユニット2の一部の記録領域間で重複または記録領域間に隙間ができないようにする。 (もっと読む)


【課題】回折格子の周期の微細化が可能で、0次光成分を極力小さくして、転写した光導波路回折格子の反射スペクトル中にノイズが発生せず高特性のものとする。
【解決手段】屈折率n2 の透明基板の1面に格子状の断面略矩形の凹溝26と凸条27の繰り返しパターンが設けられてなる位相マスク21の凹溝と凸条の繰り返しパターン面29を感光性材料22を対向させて、その間を透明基板の屈折率n2 より小さい屈折率n1 の液体30で充填し、位相マスク21の繰り返しパターン面29とは反対側の面から露光光23を照射し、繰り返しパターン面29で回折された±1次回折光25B、25Cの干渉縞を感光性材料22に露光することで回折格子を作製する。 (もっと読む)


【課題】例えば軸受装置のインナレースやアウタレースの表面ような曲面に温度センサのエレメントなどの露光パターンを高精度に形成することができるマスクレス露光装置を提供する。
【解決手段】 露光用光源14の光をスポット光に整形して被露光表面EFに向けて出射する光学手段18と、光学手段から被露光表面に出射するスポット光の出射領域を変更し、且つ、スポット光の領域が変化する速度を変更する出射領域変更手段12,22と、露光用光源のオン・オフ制御を行い、且つ、出射領域変更手段を制御することで被露光表面に所定の露光パターンを形成する露光パターン制御手段24とを備えている。 (もっと読む)


本発明は、フォトリソグラフィ技術、詳細には、高エネルギービーム、一般にレーザービームによって特徴部が基板に直接書き込まれる、マスクを用いないフォトリソグラフィ技術に関する。
本発明によれば、ビームの位置を、支持体の表面に対して連続的に移動させることによって変位させ、ビームは、支持体に書き込まれる特徴部に従ってスイッチオンまたはスイッチオフされる。特徴部は、被照射ゾーンの最も小さい幅が、照射する必要のないゾーン(8)の最も小さい幅(L、L1)よりも大きくなるようにする。照射ビームの有効直径(D)は、照射する必要のないゾーンの幅よりも大きい。この直径は、被照射フォトレジストの深さに従って規定され、深さ方向の照射に必要なものと、書き込まれる特徴部の大きさとの妥協点から得られる。それゆえ、形成される最も精細な特徴部のサイズよりも厚さが遙かに大きいフォトレジストでも、ビームの直径が理論的に許容するものよりも高い解像度が達成される。 (もっと読む)


【課題】感光性樹脂組成物における溶解酸素を抑制する/取り除く様々な方法が提案されているが、当該技術分野において、特にCTP(computer−to−plate)プロセスで、溶解酸素を取り除く改良された方法の提供。
【解決手段】像様露光の前に感光層から酸素を取り除くために像様露光前に感光性印刷要素を選択的に前露光する方法である。本発明は、CTPプロセスで使用でき、フレキソレリーフ画像印刷要素を製造する。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、光ピックアップ装置の生産性の低下を防止しながらも、部材点数を低減して装置の小型化並びにコストダウンに寄与でき、それらに用いられる光学素子などの基材に対して、サブミクロンオーダーでの3次元的に変化する基材の加工を可能とした基材、光ピックアップ装置、電子ビーム描画装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも一方の面に曲面部を有し、他方の面側に入射する入射光を、一方の面側から出射光として出射することの可能な光学素子(対物レンズ2)である。少なくとも前記一方の面側(2a)に、前記入射光を互いに異なる回折次数(1次・0次・―1次)の各方向に分光して前記一方の面(2a)側から各々出射することの可能なホログラム構造(3)を設ける。 (もっと読む)


【課題】複数のレーザユニットの露光特性が異なっても、記録した画像の濃度ムラを低減することができる画像記録装置を提供する。
【解決手段】割当て手段が、信号セレクタ29により選択した色情報に基づき、メモリ28から個々の画像を呼出して、これらの画像を、それぞれ対応する記録マガジン3の記録レーザチャンネルchに割り当て、書出し位置移動手段が、マガジン側モータドライバー26を作動させて記録マガジン3を副走査方向Yに移動して、それぞれの記録レーザチャンネルchをそれぞれの書出し位置に移動して、各記録レーザチャンネルchを、それぞれ対応するプレート4の各記録エリアに位置させる。このように、レーザユニット2の副走査方向Yにおける書き出し位置を色分解した複数の画像毎に異ならせる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、露光器において記録材料に印刷原稿(15)を露光して記録する方法であって、露光ヘッド(11)がNレザー光線で生ぜしめられた露光点(21)の直線的なアレーを記録材料の上に結像しかつ露光ヘッド(11)が連続的に軸線方向の送りで露光ドラム(1)に沿って動かされるのに対し露光ドラム(1)が回転し、これにより印刷原稿(15)を露光ドラム(1)に巻付けられた螺線に沿って記録する方法において傾き記録を修正すること。
【解決手段】メモリーされた画像点マトリックス(23)から、傾斜した読取り路に沿って取出された画像データでレザー光線をモジュレートし、その際、露光ドラム(1)の円周線に対し前記螺線が形成する角度で読取り路が画像点マトリックス(23)を延びていること。 (もっと読む)


【課題】レーザユニットの出力特性やプレートへの記録(書き込み)特性が変化しても、特性の変化に対する補正を確実に行い最適な光量調整ができる画像記録装置を提供する。
【解決手段】検出部31が、レーザ光をモニタ光として捉えて、このモニタ光の光量を、レーザドライブ電流値(LD_set)に基づく検出PD値(PD_value)に変換して検出し、制御部32が、予め設定した目標PD値(PD_target)に徐々に大きくなるように変化する傾き補正を行い、検出PD値(PD_value)に基づく新LD値(LD_b)を設定して、この新LD値(LD_b)に基づきレーザドライブ電流値(LD_set)の補正を行い、検出PD値(PD_value)を、温度の傾き補正を加えた目標PD値(PD_target)に近似させて記録濃度を一定に保持するようにした。 (もっと読む)


【課題】複数の光源が副走査方向に離散的に配置された記録ヘッドを用いた画像記録装置において安価な焦点調整機構を提供すること。
【解決手段】記録ヘッド部2Aは副走査方向Yに移動可能な可動ベース23と、可動ベース23上に配置された光源ホルダ27とを有する。光源ホルダ27には副走査方向Yに離散的に配置された複数の光源aが固定されている。光源ホルダ27を回転軸35中心に回転させることで光源aから出射する光ビームLを傾斜させると共に光路長を変化させて焦点調整が実行できる。 (もっと読む)


【課題】 感度の低い記録材料に対しても画像を適切に記録できるようにすることにより、感度の低い記録材料と感度の高い記録材料の両方に対して、画像の記録を適切に実行することが可能な画像記録装置を提供すること。
【解決手段】 ドットクロックより高い周波数の基準信号を発生する分周回路22と、画像信号と前記基準信号の両方がオンとなったときにレーザーダイオード27から出射されたレーザービームを記録材料に照射させるためのパルス露光制御回路31と、画像信号がオンとなったときにレーザーダイオード27から出射されたレーザービームを記録材料に照射する第1記録モードと、画像信号と基準信号の両方がオンとなったときにレーザーダイオード27から出射されたレーザービームを記録材料に照射する第2記録モードとを切り換える切り換え手段25とを備える。 (もっと読む)


【課題】パレット上に複数枚載置された平版印刷版を一枚毎に給版を行う自動給版機構を有する自動製版機において、版材間の密着による多重給版を予防し、かつパレット上の平版印刷版の位置ずれを簡便に抑制し、給版に関する不具合の発生を抑制して長期間安定な製版を可能とすることである。
【解決手段】側面が面取処理された平版印刷版をパレット上に複数枚載置し、一枚毎に給版を行う自動給版機構を有する自動製版機であって、パレット上に複数枚載置された平版印刷版の面取処理された側面に向けて圧縮空気を吹き付けるエアブロー手段を有することを特徴とする自動給版機構を有する自動製版機を用いた平版印刷版の給版方法。 (もっと読む)


【課題】 レーザ照射により生じたガス等が画像記録材料の表面に再付着したとしても、画像品質が大きく劣化することのない画像記録装置を提供すること。
【解決手段】 レーザ光源42は、主走査方向Xに交差する方向に配列された複数の半導体レーザchを有し、複数の半導体レーザchのそれぞれは、空気吹付菅による空気の吹付方向の下流側において隣接する別の半導体レーザchよりも、主走査方向Xについて上流側になるような位置関係で配列されている。 (もっと読む)


【課題】マスク上のパターンを高精度で基板上に投影露光する。
【解決手段】マスク11に照明光を照射する照明光学系10と、照明光を基板上に投影する投影光学系12とを備えた露光装置において、マスクのパターン面に所定の第1曲面を形成させる第1保持体21a,21bと基板の結像面に所定の第2曲面を形成させる第2保持体22a,22bとを有し、第1曲面と第2曲面とを維持しつつ、マスク上のパターンを基板上に投影露光する。また、第2曲面は第1曲面に合わせて形成されるものとする。 (もっと読む)


【課題】小点の画像を形成する場合であっても所望の画像を形成することができる画像形成装置を提供する。
【解決手段】露光対象の画素のうちの任意の一画素を中心とする主走査方向および副走査方向の両方向に所定数の画素の幅を有する領域において、露光対象の画素の数を検出し、検出した露光対象の画素の数が所定数以下の場合は、任意の一画素が小点であると判別する小点判別手段70と、小点判別手段70が、小点と判別した画素の露光を行なう前後の所定時間だけバイアス光を増大させるバイアス光変調手段と、を備える画像形成装置を提供する。 (もっと読む)


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