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Fターム[2H097AA16]の内容

フォトレジスト感材への露光・位置合せ (19,491) | 露光方式 (2,269) | カーブした表面への露光 (116)

Fターム[2H097AA16]に分類される特許

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【課題】円筒面のような立体表面に対して、円周方向に継ぎ目がなく、しかも軸方向に連続する微細凹凸構造の転写を実現する。
【解決手段】所定のマスクパターンを有する平板型フォトマスク面上に光を照射し、その透過光をすり鉢形状の開口穴を有する立体反射型ミラーによって反射させて、立体構造体の表面に塗布した光感光性材料に照射して露光させるとともに、この立体構造体を間欠的に供給することにより、立体構造体の表面上に、マスク面上のパターンを、継ぎ目が無く、しかも軸方向に際限なく連続したパターンとして転写する。 (もっと読む)


【課題】ドラムに対する刷版の供給および排出を円滑に行い、刷版に無理な力がかかったり傷めたりすることがない円筒外面走査装置を提供する。
【解決手段】ドラム4の周面からみて第1の方向に供給機構8が、第2の方向に収容機構9がそれぞれ設けられる。ドラム4への刷版3の供給および排出時にドラム4に押圧するスキージローラ13は、ローラ移動機構12により、第1の方向に対応した位置と、第2の方向に対応した位置との間で移動可能となっている。スキージローラ13は、供給機構8から刷版3をドラム4に供給する際には、第1の方向に対応した位置でドラム4を押圧し、ドラム4から刷版3を収容機構9に収容する際には、第2の方向に対応した位置でドラム4を押圧させるように、ローラ移動機構12により移動させる。 (もっと読む)


【課題】 スペース内で均一な照明光でマスクを照明できる照明光源を提供する。
【解決手段】 照明装置(IL)は、内面に反射面が形成された筒状の反射体(20)と、反射体に光を供給する光源部(10)と、反射体の側面部に形成され光源部から供給される光を反射体の内部に入射させる入射部(23)と、反射体の側面部のうち入射部と異なる位置に該反射体の軸方向に沿ってスリット状に形成され、反射面が反射した光を物体に対して射出する射出部(21)を備える。 (もっと読む)


【課題】異なる印刷機にも低コストで簡単に対応できて使い勝手がよく、また装置の破損のおそれがない版材取付装置、円筒外面走査装置、版材取付方法および画像記録方法を提供する。
【解決手段】記録ドラムに設けられる係合ピン22,23と、係合ピン22,23に係合されて位置決めされる取付補助部材10と、前記取付補助部材10に設けられ、刷版9に形成される嵌合孔12と嵌合されて前記刷版9を位置決めする嵌合孔受けピン13,14と、取付補助部材10を介して位置決めされた刷版9をドラムに固定する固定機構と、を備えているので、刷版9を印刷機に位置決め固定するための嵌合孔12の位置や形状が異なる場合にも、その嵌合孔12に対応する取付補助部材10を用意するだけで対応できる。 (もっと読む)


【課題】モアレの発生を低減することができるパターン露光方法、導電膜の製造方法及び導電膜を提供する。
【解決手段】感光材料に対し70〜200μmのプロキシミティギャップを隔てて配置されたフォトマスクを介して、プロキシミティ露光を行い、マスクパターンを搬送方向に周期的な周期パターンとして感光材料に露光することで導電膜10を得る。導電膜10は、複数の導電性の金属細線にて構成された導電部12と複数の開口部14とを有する導電膜10において、第1金属細線12a及び第2金属細線12bの側部は、第1金属細線12a及び第2金属細線12bの設計幅Wcを示す仮想線mから開口部14に向かって張り出し、且つ、張出し量が設計幅Wcの1/25〜1/6である張出し部26が形成された形状を有する。 (もっと読む)


【課題】 例えばロール・ツー・ロールで搬送される帯状の感光性基板の可撓性を利用しつつ、感光性基板へのパターンの転写にかかるスループットの向上を達成する。
【解決手段】 円筒面(RLa)を有し、感光性の基板(SH)を円筒面に沿って保持した状態で円筒面の軸線(RLb)の方向に沿って移動する移動機構(RL)と、パターンを有する平面状のマスク(M)を保持し、基板の軸線の方向への移動に同期して、軸線の方向に対応する走査方向に沿って移動するステージ機構と、マスク上に照明領域(IR)を形成する照明光学系と、照明領域内のパターンの投影像を楕円弧状に延びる結像領域(ER)に形成する投影光学系(PL)とを備えている。円筒面の軸線は、結像領域が基板上においてマスクのパターン面とほぼ平行な面に沿って形成されるようにパターン面に対して傾けられている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、複雑な立体形状を有する金型であっても、密着性のよいフォトマスクが容易に作成でき、しかも繰り返し露光を可能とする再現性の高い位置決め精度を有する露光装置を提供することを目的とする。
【解決手段】熱間プレス成形用金型の表面に成膜したレジスト膜に、露光により所定のパターンを転写する真空圧空成形露光装置であって、レジスト膜が表面に成膜された成形用金型を気密に収容する気密容器と、前記成形用金型を載置する台座と、所定のパターンが形成されたシートを加熱して軟化する加熱機構と、軟化したシートを金型に被せた際にシート下面を台座に吸着させる吸引部と、前記吸引部に接続された吸引機構と、軟化したシートを前記成形用金型に吸着させた状態で当該シートにおける前記パターンをレジスト膜に露光する露光機構と、前記気密容器内を加圧する気体を供給する気体供給部と、を有していることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】製造工程でレンズアレイに生じたうねりや反りを矯正する。
【解決手段】複数のレンズ素子が光軸に対して略直交する方向に延在する列を形成するように配列されたレンズアレイにおいて、前記レンズ素子が配列された方向と平行する方向に延在し、該レンズ素子の入射面側および出射面側に、該レンズ素子の光軸と平行する方向に突出するリブを設け、また複数のレンズ素子が光軸に対して略直交する方向に延在する列を形成するように配列されたレンズアレイと、複数の絞りが前記光軸に対して略直交する方向に延在するように配列された遮光部材とを有するレンズユニットにおいて、前記レンズアレイは、前記遮光部材と係合するための係合部を有し、前記遮光部材は、前記係合部と係合し、前記レンズアレイの反りを矯正するための矯正部を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】露光中にワーク表面位置の変動を検出し、膜厚にむらのあるレジストでも適正な状態でワークを露光できる露光装置を提供する。
【解決手段】この露光装置100は、ワーク(回転体)4を軸支する支持部(支持手段)7、8と、ワーク4を回転させるモータ(回転手段)3と、ワーク4表面を露光する露光光学系1と、ワーク4表面あるいは回転体表面に塗布されたレジスト膜(機能膜)表面の位置を検出する位置検出手段5と、位置検出手段5により検出された各表面位置と露光光学系1のフォーカス位置とのずれ量を計算する制御部(ずれ量計算手段)2と、を備え、支持部7、8及びモータ3はベース6上に固定されている。また、露光光学系1と直交する位置に位置検出手段5を配置している。 (もっと読む)


【課題】版材の特性の違いによる彫刻形状に生じるバラつきを回避し、所望の彫刻形状を形成することを可能とする製版装置及び印刷版製造方法を提供する。
【解決手段】版材のロットが変わった場合や版の経時変化が予想されると補正プロファイルを作製するモードへ移行する。先ず、使用している版材の種別やロットなどの識別情報が入力されると、識別情報からベースとなるプロファイルが読み出され試験彫刻が行われる。次に、試験彫刻が測定され測定結果が入力され、入力された測定結果に基づいて補正プロファイルが作製される。補正プロファイルは識別情報と関連付けされて所定の記憶部に記憶される。補正プロファイルが作製されると該補正プロファイルを用いた本番彫刻が行われるので、版材の固体差による彫刻形状のバラつきの発生が回避された好ましい印刷版が作製される。 (もっと読む)


【課題】離散配置されてなるレーザーダイオードのいくつかが破損等の理由によって発光しない状態が生じても、継続的に使用可能なCTP装置を提供することを目的とする。
【解決手段】一部のチャンネルが非発光状態である場合には、正常時に露光ヘッドを移動させる基準区間の前後に設けられた補完区間においても露光ヘッドを移動させるようにしながら、非発光状態のチャンネルの存在位置に基づいて定められた、発光状態にある特定のチャンネルを用いて露光を行うように、チャンネル別露光データを生成し、移動手段によって、基準区間および補完区間において露光ヘッドを移動させつつ、露光制御手段がチャンネル別露光データに従って前記特定のチャンネルから露光用光を出射させることによって被露光領域を形成する。 (もっと読む)


【課題】離散配置されてなるレーザーダイオードのいくつかが破損等の理由によって発光しない状態が生じても、継続的に使用可能なCTP装置を提供することを目的とする。
【解決手段】一部のチャンネルが非発光状態である場合には、正常時に露光ヘッドを移動させる基準区間の前後に設けられた補完区間においても露光ヘッドを移動させるようにしながら、非発光状態のチャンネルの存在位置に基づいて定められた、発光状態にある特定のチャンネルを用いて露光を行うように、チャンネル別露光データを生成し、移動手段によって、基準区間および補完区間において露光ヘッドを移動させつつ、露光制御手段がチャンネル別露光データに従って前記特定のチャンネルから露光用光を出射させることによって被露光領域を形成する。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、連続的な階調表現を有する階調模様を得る樹脂版面に関する。
【解決手段】 原画像取得部にて、樹脂版材へ付与する階調模様の原画像を取得し、デジタルデータへ変換又はあらかじめデジタルデータ化されている原画像を取得する原画像取得工程と、デジタルデータにおける階調表現に連続的に緩やかな高低差を付与するために、原画像における画像濃度と前記原画像をもとに作製した印刷物における画像濃度の対比を示す階調再現カーブに基づき、デジタルデータの階調範囲を補正し、レーザ加工部にて出力可能なデータ形式の加工用データを作製する加工用データ作製工程と、加工用データに基づいて、加工条件を設定し、加工条件をレーザ加工部へ送信するレーザ加工条件設定工程と、加工用データ及びレーザ加工条件に従って樹脂版材におけるレーザ加工領域に、レーザ加工部からレーザ光線を照射し、階調模様を形成するレーザ加工工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】 感光性材料を付した外形が円形の断面を有し軸方向に長い可撓性の被露光材料の表面や内面を所望のパターン形状に露光する。
【解決手段】
被露光材料を吸引保持して該被露光材料の軸方向の形状を直線に矯正する吸着ブロックと、前記被露光材料に軸回りの回転運動をさせるための回転ステージおよび/または該被露光材料に軸方向の移動運動をさせる移動ステージと、該被露光材料に付した前記感光性材料を露光するための光源を含む露光光学系を設け、前記吸着ブロック上で軸方向の形状を直線に矯正した前記被露光材料の部分を連続的または間欠的に露光する。 (もっと読む)


フレキソ印刷版にレリーフ画像を作製する方法であって、マスク基材上に配設された画像形成可能な材料を含むマスクを画像様露光して、前記マスク基材上に配設された前記画像形成可能な材料中にそれぞれハイライト値を有するマスク画像領域を含むマスク画像を有する画像形成されたマスクを形成する工程を含む方法。当該方法は、さらに、画像形成されたマスクを、フレキソ印刷版前駆体の前面に積層する工程、及びマスク画像の対応するマスク画像領域のハイライト値に基づいて、フレキソ印刷版前駆体の選択領域を、当該フレキソ印刷版前駆体の背面を通して画像様にアドレス可能な硬化用輻射線に露光する工程を含む。
(もっと読む)


【課題】円筒形状印刷フォームを調製するのに用いる円筒形状エレメントを処理するための処理媒体をエレメントの外側表面に提供する手段と、円筒形状エレメントの支持手段との間の接触圧を軸方向に沿って均一化する。
【解決手段】エレメントの内側表面に接触することで前記エレメントを支持する支持手段と、前記内側表面の反対側のエレメントの外側表面に隣接する処理媒体を提供する手段と、支持手段をその一端のプリセット位置に付勢し、支持手段のまわりを開放または閉鎖するのに適合したクランプ手段、または前記提供手段をその一端のプリセット位置に付勢し、提供手段のまわりを開放または閉鎖するのに適合したクランプ手段と、を具える。 (もっと読む)


【課題】本発明は、曲面に形成したフォトレジスト層へのレーザ光の走査時間を短縮することができるフォトレジスト層の加工方法および曲面状部材の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】フォトレジスト層の加工方法および曲面状部材の製造方法は、断面視円弧状の曲面61aを有する曲面状素材(シリンドリカルレンズ61)を複数用意する準備工程と、曲面状素材の曲面61aに、フォトレジスト層62を形成するレジスト形成工程と、複数の曲面状素材の各曲面61aが1つの円Cに沿うように、曲面状素材を支持部材2に設置する設置工程と、支持部材2を円Cの中心軸2A回りに回転させるとともに、ヘッド3を中心軸2A方向に移動させながら、ヘッド3からレーザ光を照射する露光工程と、を備える。 (もっと読む)


【課題】本発明は、複数のラインパターンを短時間で形成することができるフォトレジスト層の加工方法およびパターン形成基板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】フォトレジスト層の加工方法およびパターン形成基板の製造方法は、所定の中心軸2Aから等距離に配置される複数の設置面22を有する支持部材2の各設置面22に、フォトレジスト層62を有する複数の基板61を固定する設置工程と、フォトレジスト層62に対してレーザ光を出射するヘッド3および支持部材2の少なくとも一方を中心軸2A回りに回転させるとともに、ヘッド3および支持部材2の少なくとも一方を中心軸2Aに沿うように移動させながら、ヘッド3からレーザ光を出射する露光工程と、を備える。 (もっと読む)


【課題】高解像度での良好な露光を可能としつつ露光ヘッドの小型化を可能とする技術を提供する。
【解決手段】第1の方向LGD/MD及び第1の方向LGD/MDに直交する第2の方向LTD/SD側に配設されたレンズLSを有するレンズアレイ299と、LSレンズにより結像される光を発光する発光素子2951を有する発光素子基板293と、を備え、レンズLSの第1の方向長さL1およびレンズLSの第2の方向長さL2が、次式
1<L1/L2
の関係を有する。 (もっと読む)


【課題】高解像度での露光に対応可能で且つ小型であるレンズアレイを提供する。
【解決手段】第1の方向LGDの長さがW1であるとともに第1の方向LGDに直交もしくは略直交する第2の方向LTDの長さがW2でありW1>W2を満たす光透過性基板2991と、光透過性基板2991に配設された第1のレンズLS11と、光透過性基板2991に第1のレンズLS11の第2の方向LTD側に配設された第2のレンズLS21とを備え、第1のレンズLS11および第2のレンズLS21が接続している。 (もっと読む)


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