【課題】露光の高能率化を図ると共に、装置コストの低減を図る。
【解決手段】被露光部材としての基板を保持する基板保持部を複数搭載する複数の移動テーブル３を案内軸で案内して個別に露光位置に配置すべく前記マスクに対して相対移動可能に構成し、複数の前記基板保持部の内のいずれかが前記露光配置に配置されたときに、該露光位置に配置されてない前記基板保持部に対して前記基板を搬入、搬出する基板搬送部を設け、前記露光位置にある前記基板保持部を前記マスクに対してステップ移動させるように前記複数の移動テーブルを移動させるステータを共通としたリニアモータ１４を配置する構成とした。 （もっと読む）

【課題】大型のマスクの交換を効率良く実施し、かつ、次の露光処理に使用されるマスクに対する異物の付着を防止することが可能な露光装置を提供する。
【解決手段】複数の原版Ｍ、ＭＰを保管するストッカと、原版Ｍを原版ステージ３に向けて搬送する搬送路７とを有し、原版ステージ３に載置する原版Ｍを交換するための原版交換装置６を備える露光装置１であって、搬送路７は、原版ステージ３上に向けて設置された直線路であり、原版交換装置６は、搬送路７に吊設された、原版Ｍを保持するハンド１１を有する台車９と、搬送路７の直下に設置された待機室８とを備え、第１の原版Ｍを使用した第１回目の露光処理の間に、第２回目の露光処理で使用される第２の原版ＭＰを、予めストッカから待機室８に搬送し、待機室８で待機させる。 （もっと読む）

【課題】マスクライブラリを備える両面露光装置において、ワークの露光処理に要する全体の時間を短くし、スループットの低下を防ぐこと。
【解決手段】ワーク搬入搬出部２０に搬送されてきたワークＷを、ワークステージ４に搬送し、ワークＷに、マスクライブラリ６から取り出した第１面（表面）露光用のマスクに形成されたパターンを露光する。そして、反転ステージ部３０でワークＷを反転させ（裏返し）ワーク保管部４０に保管する。このようにて１ロット分のすべてのワークの第１面（表面）を露光する。ついで、マスクを第２面（裏面）露光用のマスクに交換し、ワーク保管部４０から第１面露光済みのワークを取り出し、ワークの第２面（裏面）を露光する。裏面の露光が終わったワークＷは、第１のワーク搬送機構５０ｂにより、ワーク搬入搬出部２０に搬送される。 （もっと読む）

【課題】基板の変形を抑えて基板の受け渡しができること。
【解決手段】基板を保持し、支持部によって支持される基板保持部材であって、前記基板が載置される載置面を有する基板載置部と、前記基板載置部と一体的に設けられ、前記載置面を含む面内に位置する所定軸を中心として前記基板載置部が回転可能なように前記支持部によって支持される被支持部とを備える。 （もっと読む）

【課題】レーザー測長系によるチャックの位置検出を中断させることなく、基板をチャックに対してθ方向の回転が無い姿勢でチャックに搭載する。
【解決手段】基板１をチャックへ搬送する前に、基板１を温度調節装置５０に搭載して基板１の温度を調節する。温度調節装置５０に基板１をθ方向へ回転する回転機構８０を設け、温度調節装置５０に搭載された基板１のθ方向の傾きを検出し、検出結果に基づき、基板１を温度調節装置５０からチャック１０へ搬送する前に、基板１をθ方向の傾き分だけ逆方向へ回転して、基板１のθ方向の傾きを補正する。基板１をチャック１０に搭載する前にチャック１０をθ方向へ回転する必要がないので、レーザー測長系によるチャック１０の位置検出が中断されない。 （もっと読む）

【課題】基板を搭載したチャックを受け渡し位置から露光位置へ移動するとき、異物によるマスクの損傷を簡単な構成で防止し、マスクと基板との間隔を小さくして、マスクと基板とのギャップ合わせに要する時間を短縮する。
【解決手段】基板の受け渡し位置と露光位置との間に、基板上の異物、またはチャックと基板との間の異物により盛り上がった基板に接触する接触手段（３０）を配置し、接触手段を、その下を通過する基板との間隔が、基板を搭載したチャックを受け渡し位置から露光位置へ移動するときのマスクと基板との間隔以下に成る高さに設置して、基板を搭載したチャックを受け渡し位置から露光位置へ移動しながら、接触手段の振動又は接触手段が発生する音を第１のセンサー（４０）で検出し、第１のセンサーの検出結果に基づいて、異物がマスクの下へ移動する前に、チャックの移動を停止する。 （もっと読む）

【課題】 基板の矯正が可能な露光装置を提供する。
【解決手段】
パッキン３に正圧をかけ伸張させ、露光テーブル１と接触させて密閉空間９０を生成し、真空吸引孔４０と真空ポンプ４により密閉空間９０を吸引し、大気圧によりプレート２０を押圧し、プレート２０と露光テーブル１により基板９９に荷重をかけ、基板９９を矯正する。吸引ポンプ１１による基板吸着圧力が所定の設定値に達したら、真空ポンプ４を停止し、パッキン３を収縮させて搬送装置２を搬入コンベア５３上に退避させ、露光を実行する。 （もっと読む）

【課題】露光の高能率化を図ると共に、装置コストの低減を図る。
【解決手段】被露光部材としての基板を保持する基板保持部を複数箇所配置すると共に、複数の前記基板保持部を個別に露光位置に配置すべく前記マスクに対して相対移動させる移動手段と、複数の前記基板保持部の内のいずれかが前記露光配置に配置されたときに、該露光位置に配置されてない前記基板保持部に対して前記基板を搬入、搬出する基板搬送部とを備え、前記基板搬送部は、基板のプリアライメントを行うプリアライメント装置と、該プリアライメント装置でプリアライメントを終了した後の基板を前記基板保持部に搬入すると共に、露光終了後の基板を前記基板保持部から搬出する基板ローダとを備えている。 （もっと読む）

【課題】連続した基板に連続して露光する場合、継ぎ目の部分でパターンにズレが発生し、連続したパターンを露光することが困難であった。
【解決手段】連続した基板にアライメントマークを形成して、該アライメントマークに合わせて露光パターンのサイズのデータを補正し、そのアライメントマーク位置を基準としてパターンを露光していくことにより、継ぎ目の部分にズレを発生させずに連続的にパターンを露光することを可能とする露光方法および露光装置。 （もっと読む）

【課題】露光装置用基板搬送機構からの基板外れを防止することができる露光装置用基板搬送機構及びその制御方法を提供する。
【解決手段】浮上ユニット１６からの空気流によって浮上・支持された基板Ｗを真空吸着・吸着しながら所定方向に搬送する基板駆動ユニット１７であり、上面に形成された基板吸着のための複数の吸着孔４１によってそれぞれ規定される少なくとも２つの吸着領域３５を構成するチャック部２２と、吸着孔４１内の空気圧を各吸着領域３５ごとに独立して制御可能な空気圧回路４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 比較的大きな刷版を使用する場合においても、この刷版を簡単かつ正確に位置決めすること。
【解決手段】 複数枚の刷版Ｐをその端縁がそろえられた状態で積載する収納部１０と、収納部１０に積載された刷版Ｐを搬送する刷版搬送機構１４と、収納部１０を移動可能に支持するコロと、収納部１０を刷版Ｐの表面と平行な平面内で移動させる収納部移動機構２６と、収納部１０に積載された刷版Ｐの端縁の位置を検出するセンサ５１、５３と、センサ５１、５３からの信号に基づいて収納部移動機構２６を制御する制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】設備コストを大幅に低減させつつ効率よく露光を行える露光方法を提供する。
【解決手段】複数のカラーレジスト塗布装置でカラーレジストを塗布されたワークに対して、同じ露光装置ＥＸを用いて露光を行うので、処理効率が向上する。また、露光装置ＥＸの数を極力抑えることが出来、これにより設備コストを低く抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】プロキシミティ方式を用いて複数のショットを行う露光において、スループットを向上させる。
【解決手段】フォトマスク２０のパターンをガラス基板１ａ，１ｂに露光する露光位置と、ガラス基板１ａ，１ｂを搭載して移動する複数のステージと、各ステージ上にガラス基板１ａ，１ｂをロードする第１及び第２のロード位置とを備え、単一の露光位置に対して第１及び第２のロード位置からガラス基板１ａ，１ｂを繰り返し移動し、当該露光位置でガラス基板１ａ，１ｂをＸ軸又はＹ軸方向へ複数回ステップ移動させて、当該ステップ移動毎にフォトマスク２０のパターンをガラス基板１ａ，１ｂに露光する。 （もっと読む）

【課題】所定間隔を置いて精密加工が施される複数枚の板状ワークに対して同時に温度調整を容易に施すことができ、且つ始動開始の際に、板状ワークの温度調整を早期に開始できる板状ワークの温度調整装置を提供する。
【解決手段】複数枚の板状ワークを所定間隔を介して平行に積層して積層体を形成する積層手段としての棚体１０と、前記板状ワークの各々の両面に沿って空気流が平行流として流れるように、前記複数枚の板状ワークが積層されている積層体の一端側の全面に亘って前記空気流を供給する空気流供給部２０と、前記空気流を所定温度に調整する加熱ヒータ３０と冷却手段としての熱交換器３２とを具備する温度調整装置であって、前記温度調整装置の始動開始の際に、棚体１０を構成する枠体の温度を測定する枠体温度センサ４６で測定された枠体温度が予め設定した温度範囲内となるように加熱ヒータ３０を制御する制御部２４が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】テープ状のワークに負荷をかけることなく安定した状態で搬送することが可能な搬送機構を提供すること。
【解決手段】搬送機構Ａの供給リール回転部１は、供給側第１ガイドローラ２より高い位置に配置されている。供給側第２ガイドローラ３は、供給側第１ガイドローラ２と同等又は低い位置に配置されると共に、第１搬送ローラ４より高い位置に配置されている。巻取リール回転部９は、巻取側第２ガイドローラ８より高い位置に配置されている。巻取側第２ガイドローラ８は、巻取側第１ガイドローラ７と同等又は高い位置に配置されると共に、巻取リール回転部９より低い位置に配置されている。第１搬送ローラ４および第２搬送ローラ６には、ワークをローラ表面４１ａに吸着させる吸着手段４２が備えられている。 （もっと読む）

【課題】プロキシミティ方式を用いて複数のショットを行う露光において、スループットを向上させる。
【解決手段】ガラス基板１ａ，１ｂを固定する複数のチャック１０ａ，１０ｂと、チャック１０ａ，１０ｂに対してガラス基板１ａ，１ｂのロード／アンロードを行うロード／アンロード位置ａ，ｂと、ガラス基板１ａ，１ｂのＸＹ方向へのステップ移動及びガラス基板１ａ，１ｂの露光を行う露光位置と、各チャックを搭載して、ロード／アンロード位置ａ，ｂと露光位置との間を往復して移動し、露光位置でガラス基板１ａ，１ｂのＸＹ方向へのステップ移動を行う複数の独立したステージとを備える。各ステージは、ロード／アンロード位置ａ，ｂと露光位置との間の移動と、露光位置でのＸ方向へのステップ移動とを、共通のＸガイド１１に沿って行うＸステージ１２を有する。 （もっと読む）

【課題】 内面ドラムの内周面上に、任意のサイズの薄板状記録媒体をその全面に渡って密着させるように、簡素で廉価な構成で真空吸着可能とした内面ドラム型画像形成装置を提供する。
【解決手段】 内面ドラム３４に形成された半円弧状の内周面に薄板状の記録媒体２２を保持し、画像情報に応じて変調された光ビームを光偏向器で偏向して走査露光することにより画像を記録する内面ドラム型画像形成装置において、内面ドラム３４の内周面部分に円周に沿うよう複数の真空吸着用の溝を穿設し、この真空吸着用の溝における、記録媒体の搬送方向先端側に連通して空気を吸引するため真空引き穴を穿孔し、内面ドラムの内周面上に記録媒体２２を真空吸着させた状態で、記録媒体２２の搬送方向後端部を浮上防止装置５８で内面ドラム３４の内周面上に押さえ付けることにより、記録媒体２２が全面に渡って内面ドラム２２の内周面上に密着される状態を保持する。 （もっと読む）

【課題】帯状ワークの表裏両面に品質の良い露光パターンを比較的省スペースの装置構成で形成することができる両面露光装置を提供すること。
【解決手段】帯状ワークＷを間歇的に垂直方向に搬送する第１間歇搬送機構３７Ｌと、第１間歇搬送機構３７Ｌにより搬送された帯状ワークＷの表側露光面にプロキシミティ露光を行う第１露光部３Ｌと、第１露光部３Ｌにより露光された帯状ワークＷを垂直方向に間歇的に搬送する第２間歇搬送機構３７Ｒと、第２間歇搬送機構３７Ｒにより搬送された帯状ワークＷの裏側露光面にプロキシミティ露光を行う第２露光部３Ｒとを備え、第１露光部３Ｌと第２露光部３Ｒとが互いに対向して垂直に立設していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 装置内部の湿度が変化しても、記録材料に搬送不良が生じたりドラムに吸着された記録材料にしわが発生することを防止できる画像記録装置を提供する。
【解決手段】 この画像記録装置は、シート状記録材料を収容する記録材料収容部と、記録材料をドラムに搬送する搬送手段と、記録材料の先端部分を切断処理する先端処理手段４３ｃ，４４ａと、装置内部の湿度を測定する湿度測定手段６３と、湿度測定手段による湿度測定値に基づいて先端処理手段を制御する制御手段５０と、ドラムに巻き付けられて吸着された記録材料に露光を行う露光手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】製造する液晶パネルのパネルサイズが大形化しても、製造工場におけるカセット保管設備やカセット搬送設備が占める面積が増大せず、搬送効率を始めとする生産効率を向上することができる液晶パネルの生産設備を提供すること。
【解決手段】洗浄・製膜工程へパネルを受け渡すパネル供給位置及びエッチング工程からパネルを受け取るパネル受容位置に、パネルを収容するカセットを保管するカセット保管設備Ｂｘ１、Ｂｘ２を配設し、前の加工サイクルのパネル受容位置に配設したカセット保管設備Ｂｘ２とそれに続く加工サイクルのパネル供給位置に配設したカセット保管設備Ｂｘ１との間におけるパネルの移送を、パネルを収容したカセット単位で行うようにするとともに、同一加工サイクル内のパネルの移送を、パネル単位で行うようにする。 （もっと読む）