【課題】 レンズの光吸収による各投影光学ユニットの光学特性の変動を実質的に抑制することのできる露光装置。
【解決手段】 照明系（ＩＬ）と、複数の投影光学ユニット（ＰＬ１〜ＰＬ５）を有する投影光学系（ＰＬ）とを備え、照明系は各投影光学ユニットの瞳面と光学的にほぼ共役な位置に二次光源を形成し、マスクパターンを投影光学系を介して感光性基板（Ｐ）上へ投影露光する露光装置。照明系は、光照射による各投影光学ユニットの光学特性の変動を実質的に制御するために、二次光源の光強度分布を、中心よりも周辺において実質的に強度の高い光強度分布に設定するための強度分布設定手段（９）を備えている。 （もっと読む）