【課題】 本発明は、液晶ディスプレイ等の製造工程におけるガラス基盤面の急速且つ高精度にて調温する調温装置を新規に提供するものである。
【解決手段】 本発明はラス基盤面に成膜と露光とエッチングを順に行う流れ工程において、成膜と露光の間に設けるガラス基盤面の調温装置であって、大小のガラス基盤面のすべてをカバーする大きさの調温風循環タンクと、該タンクの下部に平角筒体形でその下面の中間に帯熱した調温風を戻し入れする回収口を設けた複数本の平角筒体を横断渡設し、該タンク下の至近に走行し入ったガラス基盤面に該タンク内の調温風を各平角筒体間の狭い間隙から吹き付けによる吹き付け調温と該回収口にまわり流入するまでガラス基盤面に接面する接面調温とにてガラス基盤面を急速且つ高精度にて調温するようにした調温装置にある。 （もっと読む）

【課題】気流制御を通して基板を均一に加熱することが可能な加熱処理装置およびこれを備える塗布現像装置を提供する。
【解決手段】基板を収容可能で、前記基板Ｓが通過する第１の搬入口６２Ｉおよび第１の搬出口６２Ｏを有する筐体と、前記第１の搬入口６２Ｉから前記第１の搬出口６２Ｏへ向かう方向に前記基板Ｓを搬送する第１の搬送機構と、前記第１の搬送機構により前記筐体内を搬送される前記基板Ｓを加熱するヒータ７２と、前記筐体に設けられる排気口であって前記第１の搬入口６２Ｉおよび前記第１の搬出口６２Ｏから前記排気口に至る気流を形成可能な当該排気口と、前記第１の搬入口６２Ｉおよび前記第１の搬出口６２Ｏの一方または双方に臨んで設けられ、吸気により前記気流を調整する当該吸気口とを備える加熱処理装置が開示される。 （もっと読む）

【課題】化学増幅型レジスト層の未露光部について高い残膜率を維持し、露光部ついては現像後の未露光部に対して高いパターンコントラストと高い解像度の提供。
【解決手段】所定の露光前ベーク温度条件で露光前ベークを行い、且つ、所定の露光後ベーク温度条件で露光後ベークを行った後の試験用レジスト層に対して現像処理を行い、露光前ベーク温度条件及び露光後ベーク温度条件毎の残膜率を得る工程と、露光前ベーク温度軸及び露光後ベーク温度軸を有するグラフにて前記残膜率が９５％以上の領域における温度条件で、前記試験用レジスト層と同組成且つ基体上に形成されたレジスト層に対して露光前ベーク及び露光後ベークを行う。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を炉内で加熱する際、金属製の搬送トレイに搭載していたため、そのガラス端面と周辺部の輻射率の差から、ガラス基板外周端部に急激な温度勾配が発生し、その勾配によるひずみから、ガラス基板が割れる等の問題が発生していた。
【解決手段】発明の基板の熱処理装置は、熱処理の際に用いる搬送トレイ２に、ガラス基板１の周辺にガラスと輻射率の近いセラミックプレート１０および基板受け９を配置することにより、ガラス基板外周端部の温度勾配を低減させ、加熱プロセスにおけるガラス基板の割れ防止を行う。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板に温調空気を吹き付けるノズルを簡単に吹き込みヘッダに取り付けることができるガラス基板温調用ノズル構造を提供する。
【解決手段】ガラス基板５０に温調空気を吹き付けるガラス基板温調用ノズル構造において、プレート１１に多数のノズル１２を一体に形成したプレートノズル１０を樹脂成形し、このプレートノズル１０を複数枚並べて支持すべく、その各プレートノズル１０の周囲を保持する支持枠２０を形成し、その支持枠２０の各枠部２５にシール材２７を介してプレートノズル１０を取り付け、その複数枚並べたプレートノズル１０を、支持枠２０を介して給気ボックス３１に取り付けたものである。 （もっと読む）

【課題】パターン画像を形成する前の感光性樹脂膜の面内膜厚変動を小さくすることができる感光性樹脂膜の形成方法を提供する。
【解決手段】撥インク剤を添加し、撥インク剤の添加後と添加前の表面エネルギーの差が２ｍＮ／ｍ以上となる感光性樹脂組成物を調製する工程と、前記感光性樹脂組成物を基板上又は仮支持体上に塗布し、真空乾燥して感光性樹脂膜を形成する工程とを有する感光性樹脂膜の形成方法とする。 （もっと読む）

【課題】複数のチャックを有する露光装置の各チャックに搭載された基板の直交する二辺の縁が、チャック毎に設けたプリアライメント用のセンサーの検出範囲から外れない様に、基板を位置決めする。
【解決手段】基板１がクーリングプレート３０に横置きで搭載された場合、エアシリンダ４１，４２，４３，４４が、ローラ３１，３２，３３，３４を基板１の各辺の縁に押し付けることにより、基板１の位置決めが行われる。その際、圧力切り替え装置５３，５４は、プリアライメント用のセンサーの配置に応じて、エアシリンダ４１，４２，４３，４４がローラ３１，３２，３３，３４を基板の辺の縁に押し付ける押し付け力を基板の向かい合う二辺で互いに異ならせて、プリアライメント用のセンサーが検出する基板の直交する二辺の縁を所定の位置に保つ。 （もっと読む）

【課題】感度が高く、良好なレジストパターン形状が得られ、高精細なパターンを形成可能なパターン形成材料、及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び増感剤を少なくとも含む感光性組成物を用いて形成された感光層を有し、該感光層を露光し現像する場合に、前記感光層の露光する部分の厚みを該露光及び現像後において変化させない前記露光に用いる光の最小エネルギーが、０．１〜５０ｍＪ／ｃｍ^２であり、前記光重合開始剤が芳香族オニウム塩を含み、前記増感剤が、縮環系化合物、並びに少なくとも２つの芳香族炭化水素環及び芳香族複素環のいずれかで置換されたアミン系化合物から選択される少なくとも１種を含むことを特徴とするパターン形成材料、及び該パターン形成材料を用いるパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】温度調整用チャンバにおける試料のソーキング性能の更なる向上をはかり、試料の生産性の向上をはかる。
【解決手段】電子ビーム描画に供される試料が収容される描画チャンバと、この描画チャンバの近傍に設けられ、描画前の試料を恒温化する温度調整用チャンバとを具備した電子ビーム描画装置であって、温度調整用チャンバは、真空容器３１，３２と、この容器３１，３２の壁面を恒温化する恒温機構と、容器３１，３２内に収容されて試料３３が載置されるベース３４と、ベース３４と容器３１との間に挿入されてこれらの間の熱伝導率を高める伝熱部材３５とを有している。 （もっと読む）

【課題】リードタイムの短縮とパターン形成性のばらつきを低減することが可能となるパターン形成方法を提供する。
【解決手段】下記（Ａ）、（Ｂ）、（Ｄ）、および（Ｅ）の各工程をこの順に行うパターン形成方法において、（Ｂ）工程と（Ｄ）工程の間に、（Ｃ）加熱乾燥工程で得られた塗膜を２５％ＲＨ以下の湿度雰囲気で除湿する除湿工程、を有することを特徴とするパターン形成方法。
（Ａ）無機微粒子と感光性有機成分と有機溶媒とを含有する感光性ペーストを基板上へ塗布する塗布工程
（Ｂ）該塗布工程で得られた塗膜を加熱乾燥する加熱乾燥工程
（Ｄ）該加熱乾燥工程で得られた塗膜を露光する露光工程
（Ｅ）該露光工程で得られた塗膜を現像する現像工程 （もっと読む）

【課題】 表面のタック性が小さく、ラミネート性、取扱い性が良好で、保存安定性に優れ、現像後に優れた表面硬度、特に、高耐熱性と現像時間の短縮化等を発現する感光性組成物及びこれを用いた感光性フィルム、並びに、高精細な永久パターン及びその効率的な形成方法の提供。
【解決手段】 無水マレイン酸共重合体の無水物基に対して０．１〜１．２当量の１級アミン化合物の１種以上を反応させて得られる共重合体と、エポキシ化合物にエチレン性不飽和二重結合及び酸基を導入した化合物と、少なくとも１種の重合可能な不飽和結合を有するモノマーと、光重合開始剤と、を少なくとも含む感光性組成物、これを用いた感光性フィルム、永久パターン及びその形成方法。特に、組成物の硬化膜のガラス転移温度（Ｔｇ）が、７５℃以上であり、エポキシ化合物にエチレン性不飽和二重結合及び酸基を導入した化合物の配合割合が、５質量％〜５０質量％である態様等が好ましい。 （もっと読む）

【課題】 配線パターン等の永久パターンを高精細に、かつ、効率よく形成可能であり、しかも、高い解像度と基体と感光層との密着性とを高度に両立したパターン形成方法の提供。
【解決手段】 支持体上に感光層を少なくとも有するパターン形成材料における該感光層を、被処理基体上に積層し、プリベーク処理した後、該感光層に対し露光が行われることを特徴とするパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】 焼出し染料のカブリが抑制され、かつ、感度に優れたパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】 支持体上に、少なくとも感光層を有し、該感光層がバインダー、重合性化合物、光重合開始剤、染料、及び還元剤を含み、かつ、該染料の少なくとも１種がトリフェニルメタン骨格を有する染料であることを特徴とするパターン形成材料である。前記染料は、焼出し染料と着色染料とを含むことが好ましい。また前記着色染料が、炭素数が２４以上５０以下の化合物であることが好ましく、ダイアモンドグリーン又はビクトリアピュアブルーＢＯであることが好ましい。前記パターン形成材料を備えることを特徴とするパターン形成装置である。該感光層に対し、露光を行うことを少なくとも含むことを特徴とするパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】 蒸着装置やエッチング装置などの高額設備や、高額な金型を使用せず、簡単、且つ低コストなプロセス、設備にて精度の良い透過型回折素子を形成することができる製造方法を提供する。
【解決手段】 透明ウェハ２の表面上に、感光することにより屈折率が低下する感光性樹脂層５を形成する工程と、感光性樹脂層を仮硬化させる仮硬化工程と、該感光性樹脂層に光を照射することにより屈折率の異なる領域５ａ、５ｂを交互に形成する屈折率差形成工程と、から成る。 （もっと読む）

【課題】電子写真プリント配線板の作製方法において、感光層の帯電量が変化した基板では正常な静電潜像が形成できず、また静電潜像の形成に失敗した基板では良好な画像形成ができないため不良基板となり無駄になっていた。
【解決手段】電子写真プリント配線板の作製方法において、静電潜像形成前に熱処理を行う工程を設けることで前記課題が解決できる。 （もっと読む）

【課題】高感度、高解像度、寸法制御性等の諸性能に優れたアルカリ水溶液を用いて現像するポジ型パタン形成材料およびそれを遮光膜として機能させる露光用マスクの製造方法を提供する。
【解決手段】放射線照射により酸を生じる化合物およびカルボキシル基および／またはフェノール性水酸基を有するバインダ樹脂、１分子中に少なくとも２個以上のビニルエーテル基を有する化合物、および窒素含有樹脂結合剤を酸触媒付加反応させて得られる組成物を少なくとも含むパタン形成材料を用いる。 （もっと読む）