【課題】ガス又は蒸気を含む侵入を検出するため視野（ＦＯＶ）を含む空間の体積モニターする空間安全装置を提供する。
【解決手段】ＦＯＶから集められた赤外線（ＩＲ）エネルギー光線を反射するためのミラーアレイ状のミラー要素を有する微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）及びＭＥＭＳアレイで反射されたＩＲエネルギーを検出しかつＩＲエネルギーを出力信号に変換するＩＲエネルギー検出器を備えるように構成する。プロセッサーは、制御された信号を変化させることによって又は一から他の合焦要素へ切り替えることによってＭＥＭＳミラーアレイの要素の角度を調整する。方法は、ＩＲ検出器の活性要素にＩＲ信号を反射するようにＭＥＭＳミラーアレイを位置決めすること、及びＦＯＶのｉ^ＴＨ部分からＩＲエネルギーを集めることによって空間の体積における検出をすることを含む。
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個々に制御されるマイクロミラーアレイレンズ（ＤＣＭＡＬ）は、複数の個々に制御されるマイクロミラー（ＤＣＭ）と駆動部分とから構成される。上記駆動部分は、静電気的に、上記ＤＣＭの位置を制御する。上記ＤＣＭＡＬの光学効率は、ＤＣＭを支持する機械的構造と上記駆動部分とを上記ＤＣＭの下に配置して、有効反射領域を増加させることにより、改善される。公知のマイクロエレクトロニクス技術は、電極パッドおよびワイヤによる有効反射領域の損失を取り除くことができる。上記レンズは、ＤＣＭを独立に制御することにより、収差を補正することができる。各ＤＣＭの独立制御は、公知のマイクロエレクトロニクス技術によって達成できる。ＤＣＭアレイは、任意の形状および／またはサイズのレンズを形成することができる、または、任意の形状および／またはサイズのレンズを備えたレンズアレイを形成することができる。
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微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ミラーアセンブリは、基板上に形成され一面にスプリングを有するマイクロミラーのアレイを含む。マイクロミラーは基板上に配置された電極へ印加された電圧によって生じた静電的な力に反応してオンとオフ状態の間で斜めに傾斜する。少なくとも１つ、しかし好ましくは２つの薄い金属片の形態からなる２つのスプリングがミラー側縁の支柱に取り付けられ、電圧が印加されていない基板に対してミラーが平らなときに生ずるオフ状態と電圧が印加されてミラーが傾斜させられたオン状態との間で、ミラーが傾斜させられたときに復元力を与えるスプリングとして作用する。 （もっと読む）

本発明は、光を観察者に振り向けることにより画像を表示するための構造に関する。画像を表示するために、複数のタイル要素（２２）を備える構造が提供される。複数のタイル要素が光源によって照明されると、各タイル要素は、タイル要素群の配向角によって変わる或る量の光を、或る観察位置の観察者に振り向ける。各タイル要素（２２）の配向角は、画像の対応する画素の視覚特性に基づいて選択される。その結果、観察者は、観察位置にタイル要素群（２２）によって振り向けられる光の量の変化によって形成される画像の表示を観察することができる。
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本発明は、マイクロミラーアレイレンズのアレイに関するものである。マイクロミラーアレイレンズは、複数のマイクロミラーと駆動部分とから構成されている。各マイクロミラーアレイレンズは、高速での焦点距離変更が可能な可変焦点距離レンズである。上記レンズは、所望の任意のサイズおよび／または型を有するとともに、所望の任意の光軸を有し、さらに、各マイクロミラーを独立に制御することにより収差を補正することができる。各マイクロミラーの独立した制御は、公知のマイクロエレクトロニクス技術によって可能である。上記駆動部分は、静電気的におよび／または電磁気的に、上記マイクロミラーの位置を制御する。上記マイクロミラーアレイレンズの光学効率は、上記マイクロミラーを支持する機械的構造と上記駆動部分とを上記マイクロミラーの下に配置することにより、改善される。公知のマイクロエレクトロニクス技術は、電極パッドおよびワイヤによる有効反射領域の損失を取り除くことができる。
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マイクロミラーアレイレンズは、２つの自由回転と１つの自由平行移動とを行う、複数のマイクロミラー１３と、駆動部分とから構成されている。上記マイクロミラーのアレイは、対象の１つのポイントから散光している全ての光が、同じ周期的な位相を有するように、また、画面の１つのポイントに収束するようにすることができる。上記駆動部分は、静電気的におよび／または電磁気的に、上記マイクロミラーの位置を制御する。上記マイクロミラーアレイレンズの光学効率は、上記マイクロミラーを支持する機械的構造と上記駆動部分とを上記マイクロミラーの下に配置することにより、改善される。半導体マイクロエレクトロニクス技術は、電極パッドおよびワイヤによる有効反射領域の損失を取り除くことができる。上記レンズは、各マイクロミラーを独立に制御することにより、収差を補正することができる。各マイクロミラーの独立した制御は、公知の半導体マイクロエレクトロニクス技術によって達成することができる。上記マイクロミラーアレイは、所望の任意の形状および／またはサイズのレンズを形成することができる。
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【技術課題】
【解決手段】光学的スイッチは、光線をスイッチ内に導く一つ以上の入力ポートと；前記光線を受けるように構成され且つ光線をアクチュエータへの経路設定される個別の波長成分に空間的に分離する分散手段とを有しており、アクチュエータが、個別の波長成分と選択的に干渉する細長い移動可能なフィンガーのアレイの形と成っており、また光線を選択された一つ以上の出力ポートに向ける手段が設けられている。 （もっと読む）

光クロスコネクトスイッチ。このスイッチにおいては、各々が通信ビームを搬送する入力光ファイバ群中のいずれかの光ファイバを、出力光ファイバ群中のいずれかの光ファイバへとクロスコネクトすることが出来る。入力光ファイバ群中の各ファイバが搬送する通信ビームには、アライメントビームが付加され、これと同軸にアライメントされることにより、各ファイバ用に通信―アライメントビームが画定されている。各通信―アライメントビームは閉じ込められた光経路中を送られて入力アレイ構造体中にある特定の出射孔へと向けられる。全ての通信―アライメントビームの出射孔は入力アレイを画定するパターンに配置されており、これにより通信―アライメントビームの各々は、入力アレイ構造体におけるその出射孔の位置によって識別することが出来る。通信―アライメントビームの各々は、第一のレンズマイクロレンズアレイ中の１つのマイクロレンズにより、クロスコネクションビームへと形成される。各クロスコネクションビームは、第一のミラーアレイ中の第一のミラー及び第二のミラーアレイ中の第二のミラーという２枚のミラーにより、第二のレンズアレイ中の１つのレンズへと向けられる。第二のレンズアレイ中のこのレンズは、通信ビームを出力アレイ構造体中の、望ましくは光ファイバである、閉じ込められた光経路の特定の入射孔へとフォーカスする。出力アレイ構造体中の閉じ込められた光経路の各々は、出力光ファイバ群中の１本の光ファイバに光学的に接続している。第二のレンズアレイの付近に配置された第一のデテクタアレイは、各アライメントビームの位置をモニタし、ミラーアレイの少なくとも一方におけるミラー制御用に位置情報をプロセッサへと供給する。
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表示素子は、上部層および下部層の、少なくとも2つの多孔質層を有し、前記上部層には、導電性液体が収容され、前記液体は、前記上部層の材料に対して、約60゜未満の接触角を有し、前記下部層の材料は、導電性であり、誘電体被覆材によって、前記液体から絶縁され、前記液体は、前記下部層の材料に対して、約90゜よりも大きな接触角を有し、前記下部層と前記液体の間に電圧を印加した際、前記液体は、前記上部層から前記下部層の方に移動し、これにより、前記上部層に光学的な変化が生じる。

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ディスプレイ素子は、単一の多孔性材料層、離散的液滴及び、前記層に電圧を印加する手段を有する。前記層は、疎液性でかつ絶縁性の被覆体で被覆される複数の導電性粒子を有する。前記液体と前記液滴層との間に電圧を印加することで、前記液滴は前記層内へ移動し、前記電圧を除去することで、前記層から飛び出すように移動する。前記多孔性材料層の上から見ると、前記液滴の移動は光学的変化に影響を及ぼす。

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装置は、少なくとも１つの光変調器（１０２）を含むマイクロディスプレイ（１００）を含む。光変調器（１０２）は、第１の反射板（１０４）と、第２の反射板（１０６）と、少なくとも１つの圧電撓み素子（１０８）とを含み、圧電撓み素子（１０８）は伸長圧電撓み素子（４００）である。
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デバイスは、互いに噛み合わされた関係で半導体ウェハ上に形成され、深掘反応性イオンエッチングによって解放される。ＭＥＭＳスキャナは周囲を取り囲むフレームを有さずに形成される。取付パッドは、ねじりアームから外向きに延びる。隣接するＭＥＭＳスキャナは、その互いに噛み合わされた取付パッドを備えて形成されるので、デバイスの周りに正多角形が形成されれば必ず１以上の隣接するデバイスの一部分とも交差する。ＭＥＭＳスキャナは、金属層、小さな半導体ブリッジ、または組み合わせによって、その輪郭内に保持されてもよい。
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本発明は重合した液晶層を有するシャッター素子を有する機械的シャッター(601)に関する。重合した液晶は異方的に配向している。一の主要面で配向は異方的である。反対側の主要面に向かって変動するとき、配向は熱膨張係数が変化するように変化する。熱のような非機械的手段を受けるとき、シャッター素子は変動する。たとえばスプレイ配向又はツイステッド・ネマティック配向が使用されるとき、素子は非機械的手段に応じて曲がる及びまっすぐになる。電極(604,605,606)は任意で素子上及び支持基板上に形成可能であり、素子が電極間に印加された電場により生じる静電力によって制御可能となる。本発明はさらにそのような機械的シャッターをその場重合を使用して製造する方法をも提供する。
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