可変焦点距離レンズ
マイクロミラーアレイレンズは、２つの自由回転と１つの自由平行移動とを行う、複数のマイクロミラー１３と、駆動部分とから構成されている。上記マイクロミラーのアレイは、対象の１つのポイントから散光している全ての光が、同じ周期的な位相を有するように、また、画面の１つのポイントに収束するようにすることができる。上記駆動部分は、静電気的におよび／または電磁気的に、上記マイクロミラーの位置を制御する。上記マイクロミラーアレイレンズの光学効率は、上記マイクロミラーを支持する機械的構造と上記駆動部分とを上記マイクロミラーの下に配置することにより、改善される。半導体マイクロエレクトロニクス技術は、電極パッドおよびワイヤによる有効反射領域の損失を取り除くことができる。上記レンズは、各マイクロミラーを独立に制御することにより、収差を補正することができる。各マイクロミラーの独立した制御は、公知の半導体マイクロエレクトロニクス技術によって達成することができる。上記マイクロミラーアレイは、所望の任意の形状および／またはサイズのレンズを形成することができる。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、２つの自由回転と１つの自由平行移動とを行うマイクロミラーを備えた可変焦点距離レンズに関する。
【０００２】
最も広く使用されている従来の可変焦点距離システムは、２つの屈折レンズを用いるものである。上記可変焦点距離システムは、上記屈折レンズの相対位置を制御するために複雑な駆動メカニズムを有しており、応答時間が遅い。これに対し、可変焦点距離レンズが作られている。可変焦点距離レンズは、人の目で調べながらレンズの形状を変化させることによって作られる。この方法は、等方性の液体によるレンズ製作に用いられている。他のレンズは、従来のレンズまたは電圧の変化（voitage gradient）によるグラジエントインデックスレンズを作り出すために、電気的に屈折率が変化する媒体によって作られている。電気的に屈折率が変化するものは、レンズの焦点距離が電圧によって制御可能である。これらのうち、最も発展している可変焦点距離レンズは、液晶可変焦点距離レンズであるが、当該液晶可変焦点距離レンズは、焦点距離制御に複雑なメカニズムを要する。焦点距離は、屈折率の調節によって変更される。また、上記液晶可変焦点距離レンズは、応答時間が遅く、およそ１００／１０００秒である。最も応答の速い液晶可変焦点距離レンズでさえ、１０／１０００秒である。さらに、焦点距離の可変度が小さく、焦点調節効率が低い。
【０００３】
このような従来の焦点距離レンズの問題点を解決するため、応答の速いマイクロミラーアレイレンズが提案されている。上記応答の速いマイクロミラーアレイレンズの詳細は、”Fast-response Variable Focusing Micromirror Array Lens” Proceeding of SPIE Vol.5055 278-286, J.Boyd and G.Cho,2003に開示されている。この文献は、本明細書での説明を完全とするように参照される。上記マイクロミラーアレイレンズは、主に、マイクロミラーアレイと駆動部分とで構成され、焦点調節システムの制御メカニズムには、液晶可変焦点距離レンズと比較して非常にシンプルなメカニズムが用いられている。上記マイクロミラーアレイレンズの焦点距離は、各マイクロミラーアレイの置換（displacement）によって変化する。しかしながら、上記文献では、設計および制御に関する基本構想について示されているだけである。本発明は、上記マイクロミラーアレイレンズの設計および制御を改善する。また、本発明は、上記レンズの有利な点およびアプリケーションを拡張する。
【０００４】
本発明は、従来の可変焦点距離レンズの問題点を解決するためになされたものである。
【０００５】
本発明は、上記マイクロミラーアレイレンズの設計および制御を改善することを目的とする。それは、上記レンズの有利な点およびアプリケーションを拡張する。
【０００６】
可変焦点距離レンズとして機能する本発明は、光を反射するための複数のマイクロミラーと、当該マイクロミラーの位置を制御するための駆動部分とを備えている。各マイクロミラーは、鏡と同一の機能を有している。従って、上記マイクロミラーの反射する表面は、金属、金属化合物、多層誘電体、または高い反射率を有する他の物質によって形成されている。公知のマイクロ加工処理によって、上記表面に高い反射率をもたせることができる。対象（物体）の１つのポイントから散光された全ての光が、同じ周期的な位相を有するようにすることにより、また、画面の１つのポイントに収束するようにすることにより、上記マイクロミラーアレイが反射する可変焦点距離レンズとして機能する。このために、上記マイクロミラーは、静電気的におよび／または電磁気的に、上記駆動部分によって、所望の位置に制御される。上記レンズの焦点距離は、各マイクロミラーの回転および平行移動の制御によって変更される。
【０００７】
上記マイクロミラーアレイレンズは、上記マイクロミラーの極性アレイ（a polar array）によって形成することができる。上記極性アレイにおいて、各マイクロミラーは、有効反射領域を増加させる、すなわち光学効率を増加させるために、扇形形状である。上記マイクロミラーアレイレンズの光学効率は、上記マイクロミラーを支持する機械的構造と上記駆動部分とを上記マイクロミラーの下に配置して、有効反射領域を増加させることにより、改善させることができる。上記マイクロミラーを操作するための電気回路は、ＭＯＳおよびＣＭＯＳなどの公知の半導体マイクロエレクトロニクス技術によって置換することができる。上記マイクロミラーアレイの下に超小型電子回路を適用し、電極パッドおよびワイヤに要する領域を除去することにより、効率的に反射領域を増加させることができる。
【０００８】
上記マイクロミラーは、軸対称レンズを形成するように、１つまたは複数の同心円を形成するように配置されており、同じ同心円のマイクロミラーは、同心円状の同じ電極によって制御される、あるいはＭＯＳまたはＣＭＯＳなどの公知の半導体マイクロエレクトロニクス技術によって独立に制御される。
【０００９】
従来の反射レンズが理想的には湾曲しているため、各マイクロミラーは、湾曲していることが好ましい。もし、平らな（flat）マイクロミラーのサイズが十分に小さければ、平らなマイクロミラーを備えるレンズの収差は、十分に小さくなる。この場合、上記マイクロミラーが湾曲している必要はない。
【００１０】
上記レンズは、対象とその像との間の媒体による光学効果に起因する、または、近軸の像のルールから外れた像を生じるなどのレンズシステムの欠点に起因する収差を、各マイクロミラーを独立に制御することによって補正できる。上記各マイクロミラーの個別制御は、公知のＣＭＯＳまたはＣＭＯＳ技術による制御が必要な電気回路によって置換することができ、上記回路は、公知のマイクロ加工方法によって、上記マイクロミラーの下に製造される。
【００１１】
２つの自由回転と１つの自由平行移動とを行うマイクロミラーを備える上記アレイは、任意の形状および／またはサイズのレンズを作ることを可能にする。上記２つの自由回転と１つの自由平行移動とは、独立に制御される。入射光は、レンズの形状および／またはサイズを任意に形成することにより、任意に調整される。このためには、入射光が、２つの自由回転と１つの自由平行移動とにより、任意の方向に屈折する必要がある。また、各マイクロミラーの独立した平行移動は、位相条件を満足するために必要である。
【００１２】
本発明の有利な点は、（１）上記マイクロミラーアレイレンズが高速の応答時間を有していること、（２）上記レンズが焦点距離を大きく可変できること、（３）上記レンズが高い光学焦点調節効率を有していること、（４）上記レンズが光学性能を損なうことなく大きいサイズの口径を有していること、（５）上記レンズが低コストであること、（６）上記レンズが収差を補正できること、（７）上記レンズが非常に簡素に焦点調節システムを達成すること、（８）上記レンズが任意の形状および／またはサイズを有することができること、である。上記（１）は、各マイクロミラーが極めて小さい質量を有しているためである。上記（２）は、上記マイクロミラーの最大回転角度が大きくなることにより、大きく口径（aperture）を可変できるためである。上記（４）は、上記マイクロミラーアレイレンズが、それぞれ分離したマイクロミラーによって構成され、レンズサイズが増大しても、レンズの形状誤差によって生じる収差の増大が生じないためである。上記（５）は、大量生産に有利であるためである。
【００１３】
ここでは、本発明について簡単に要約したが、後述の記載、図面、および請求項を参照することによって、本発明を完全に理解することができるだろう。
【００１４】
本発明の特徴および有利な点は、以下の図面を参照することで、より理解できるだろう。
【００１５】
図１は、マイクロミラーアレイレンズの側面の断面を示す概略図である。
【００１６】
図２は、複数のマイクロミラーと駆動部分とを有する上記マイクロミラーアレイレンズの構造の一例を示す平面概略図である。
【００１７】
図３は、マイクロミラーアレイレンズがどのようにレンズとして機能するかを示す概念図である。
【００１８】
図４は、上記マイクロミラーの２つの回転軸と１つの平行移動軸とを示す概略図である。
【００１９】
図５ａは、六角形のマイクロミラーを有する上記レンズを示す概略図である。
【００２０】
図５ｂは、六角形のマイクロミラーを有する上記レンズを示す概略図である。
【００２１】
図６は、長方形のマイクロミラーを有する円筒型の上記レンズを示す概略図である。
【００２２】
図７は、三角形のマイクロミラーを有する円形の上記レンズを示す概略図である。
【００２３】
図１は、マイクロミラーアレイレンズ１１の原則を示している。完璧なレンズを作るためには、２つの条件がある。まず第１に、対象の１つのポイントによって散光している全ての光が、画面の１つのポイントに収束する収束条件である。次に第２に、全ての収束光が上記画面において同位相である同位相条件である。完璧なレンズのための条件を満たすために、従来の反射レンズ１２の表面形状は、対象の１つのポイントによって散光している全ての光が上記画面の１つのポイントに収束されるように、また、全ての収束光の光路長が同一となるように形成されている。
【００２４】
平面状に配置されているマイクロミラーアレイは、レンズとしての２つの条件を満たしている。各マイクロミラー１３は、散乱光を収束するように回転する。なぜなら、マイクロミラーアレイレンズ１１の全てのマイクロミラー１３が、図１に示すように、平面状に配置されているからである。マイクロミラーの回転によって収束された光の光路長は、異なる。しかしながら、光の位相が周期的であるから、位相を調整することにより、上記同位相条件を満たすことができる。
【００２５】
図２は、マイクロミラーアレイレンズ２１の平面図を示している。マイクロミラー２２は、鏡と同一の機能を有している。従って、マイクロミラー２２の反射する表面は、金属、金属化合物、多層誘電体、または高い反射率を有する他の物質によって形成されている。公知のマイクロ加工処理によって、上記表面に高い反射率をもたせることができる。各マイクロミラー２２は、静電気的に、および／または電磁気的に、公知の駆動部分２３によって制御される。軸対称レンズの場合、マイクロミラーアレイレンズ２１は、マイクロミラー２２の極性アレイ（a polar array）を有する。各マイクロミラー２２の形状は、効率的に反射領域を増加させる、すなわち光学効率を増加させるために、扇形である。マイクロミラーは、軸対称レンズを形成するように、少なくとも１つの同心円を形成するように配置されており、同じ同心円のマイクロミラーは、同じ電極によって制御される、あるいはＭＯＳまたはＣＭＯＳなどの公知の半導体マイクロエレクトロニクス技術によって独立に制御される。
【００２６】
それぞれ反射するマイクロミラー２２を支持する機械的構造と駆動部分２３とは、効率的に反射領域を増加させるために、マイクロミラー２２の下に配置される。また、マイクロミラーを操作するための電気回路は、ＭＯＳおよびＣＭＯＳなどの公知の半導体マイクロエレクトロニクス技術によって置換することができる。マイクロミラーアレイの下に超小型電子回路を適用し、動作電圧を供給するための電極パッドおよびワイヤに要する領域を除去することにより、効率的に反射領域を増加させることができる。
【００２７】
図３は、マイクロミラーアレイレンズ３１がどのようにして像を結ぶかを示している。任意の散乱光３２，３３は、マイクロミラー３４の位置を制御することにより、画面の１つのポイントＰに収束する。任意光３２，３３の各位相は、マイクロミラー３４を平行に移動させることによりそれぞれ同一となるように調整される。必要な平行移動による変位は、少なくとも光の波長の１／２である。
【００２８】
従来の反射レンズ１２が理想的には湾曲しているため、各マイクロミラー３４は、湾曲していることが好ましい。もし、平らなマイクロミラーのサイズが十分に小さければ、平らなマイクロミラー３４を備えるレンズの収差は、十分に小さくなる。この場合、マイクロミラーが湾曲している必要はない。
【００２９】
マイクロミラーアレイレンズ３１の焦点距離ｆは、各マイクロミラー３４の回転および平行移動によって変更される。
【００３０】
図４は、マイクロミラー４１の２つの自由回転および１つの自由平行移動を示している。マイクロミラーアレイは、独立に制御される、２つの自由回転４２，４３と１つの自由平行移動４４とを行うマイクロミラー４１を備えている。これは、任意の形状および／またはサイズのレンズの製造を可能にする。入射光は、任意の形状および／またはサイズのレンズを形成することにより、任意に調整することができる。このためには、入射光を、自由回転４２，４３により、任意の方向に屈折させる必要がある。各マイクロミラーの独立した平行移動４４は、位相条件を満足するために必要である。
【００３１】
図５ａ、図５ｂ、図６、および図７では、マイクロミラーの回転量を矢印５２の長さによってそれぞれ示すとともに、マイクロミラーの回転方向を示す傾き方向を矢印５２の方向によってそれぞれ示している。図５ａは、六角形のマイクロミラー５１を備える可変焦点距離円筒型レンズを示している。図５ｂは、六角形のマイクロミラー５１を備える可変焦点距離円形レンズ５３を示している。可変焦点距離円形レンズ５３の形状、位置、およびサイズは、２つのＤＯＦ回転および１つのＤＯＦ平行移動を行うマイクロミラー５１の独立した調整によって変更できる。図５ｂおよび図７におけるレンズの構成要素ではないマイクロミラー５５は、マイクロミラー５５によって反射された光が結像または集光に影響を生じないように制御されている。
【００３２】
図５ａおよび図５ｂでは、六角形のマイクロミラー５１を示しているが、扇形、長方形、正方形、および三角形のマイクロミラーアレイを使用してもよい。扇形のマイクロミラーを備えたアレイは、軸対称レンズに適している。図６は、長方形のマイクロミラー６２を備える可変焦点距離円筒型レンズ６１を示している。正方形のマイクロミラーまたは長方形のマイクロミラー６２を備えたアレイは、円筒型レンズ６１のような１つの面内の軸に対して対称な対称レンズに適している。同じ回転を行うマイクロミラーは、同じ電極によって制御される、あるいはＭＯＳまたはＣＭＯＳなどの公知の半導体マイクロエレクトロニクス技術によって独立に制御される。
【００３３】
図７は、三角形のマイクロミラー７２を備える可変焦点距離円形レンズ７１を示している。三角形のマイクロミラー７２を備えるアレイは、六角形のマイクロミラーを備えたアレイのように、任意の形状および／またはサイズのレンズを有するレンズに適している。
【００３４】
マイクロミラーアレイレンズは、マイクロミラーの回転４２，４３および平行移動４４を独立に制御することにより光の位相を変更できるため、適応性の高い光学部品である。適応性の高いマイクロミラーアレイレンズであるためには、独立にアドレス可能なマイクロミラーの２次元アレイが必要である。これを達成するためには、チップにおいて、マイクロミラーを結合させることが必須である。このために、公知の超小型電子回路によるマイクロミラーのウェハレベルでの集積が必須である。
【００３５】
適応性の高い光学部品は、対象とその像との間の媒体による光の位相誤差、および／または近軸の像のルールから外れた像を生じるなどのレンズシステムの欠点を補正することができるため、マイクロミラーアレイレンズは位相誤差を補正することができる。例えば、マイクロミラーアレイレンズは、マイクロミラーの回転４２，４３および平行移動４４を調整することによる光学的な傾きに起因する位相誤差を補正することができる。
【００３６】
マイクロミラーアレイレンズによって満足される同位相条件には、単色光の想定も含まれる。従って、カラーの像を得るために、マイクロミラーアレイレンズは、赤色光、緑色光、および青色光（ＲＧＢ）の各波長に対して同位相条件をそれぞれ満たすように制御される。また、結像システムでは、赤色光、緑色光、および青色光（ＲＧＢ）の各波長と共に単色光を作るために、バンドパスフィルタを用いることができる。
【００３７】
マイクロミラーアレイレンズに用いられる結像システムにおける結像センサとして、カラー光電子センサが用いられる場合、カラーの像は、バンドパスフィルタを有する、またはバンドパスフィルタを有さない赤色光、緑色光、および青色光（ＲＧＢ）結像センサからの電気信号を処理することによって得られる。この処理は、マイクロミラーアレイレンズの制御と同期化されるべきである。対象からの赤色光を結像するために、マイクロミラーアレイレンズは、赤色光の位相条件を満足するように制御される。操作中、赤色光、緑色光、および青色光結像センサは、それぞれ、対象からの赤色光、緑色光、および青色光の強度を測定する。これらのうち、赤色光を正確に結像するために、赤色光の強度のみを像データとして記憶する。緑色光または青色光を結像するために、マイクロミラーアレイレンズおよび各結像センサは、上述した赤色光の場合の処理と同様な処理を行う。従って、マイクロミラーアレイレンズは、赤色光、緑色光、および青色光結像センサと同期化される。一方、カラーの像を得るための同位相条件は、位相条件に有効な波長である、赤色光、緑色光、および青色光の波長の少なくとも共通の波長複合を用いることによって満足される。この場合、マイクロミラーアレイレンズを、赤色光、緑色光、および青色光の位相条件を独立に満足するように制御する必要はなく、上記少なくとも共通の波長複合の位相条件が満足されていればよい。
【００３８】
簡素な制御を実現するために、各マイクロミラーの平行移動は、赤色光、緑色光、および青色光のうち、１つの光の位相条件を満足するようにだけ制御される、あるいは全く行われない。マイクロミラーアレイレンズは、波長複合での光の位相誤差による位相条件を満足できないが、低い質で可変焦点距離レンズとして用いることができる。
【００３９】
本発明について、異なる実施形態を参照して説明したが、請求項によって定義された本発明の精神および目的から逸脱しない範囲での形式、細部、構成、および操作の変更が可能であることは、当業者によって十分に理解されているであろう。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】マイクロミラーアレイレンズの側面の断面を示す概略図である。
【図２】複数のマイクロミラーと駆動部分とを有する上記マイクロミラーアレイレンズの構造の一例を示す平面概略図である。
【図３】マイクロミラーアレイレンズがどのようにレンズとして機能するかを示す概念図である。
【図４】上記マイクロミラーの２つの回転軸と１つの平行移動軸を示す概略図である。
【図５ａ】六角形のマイクロミラーを有する上記レンズを示す概略図である。
【図５ｂ】六角形のマイクロミラーを有する上記レンズを示す概略図である。
【図６】長方形のマイクロミラーを有する円筒型の上記レンズを示す概略図である。
【図７】三角形のマイクロミラーを有する円形の上記レンズを示す概略図である。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、２つの自由回転と１つの自由平行移動とを行うマイクロミラーを備えた可変焦点距離レンズに関する。
【０００２】
最も広く使用されている従来の可変焦点距離システムは、２つの屈折レンズを用いるものである。上記可変焦点距離システムは、上記屈折レンズの相対位置を制御するために複雑な駆動メカニズムを有しており、応答時間が遅い。これに対し、可変焦点距離レンズが作られている。可変焦点距離レンズは、人の目で調べながらレンズの形状を変化させることによって作られる。この方法は、等方性の液体によるレンズ製作に用いられている。他のレンズは、従来のレンズまたは電圧の変化（voitage gradient）によるグラジエントインデックスレンズを作り出すために、電気的に屈折率が変化する媒体によって作られている。電気的に屈折率が変化するものは、レンズの焦点距離が電圧によって制御可能である。これらのうち、最も発展している可変焦点距離レンズは、液晶可変焦点距離レンズであるが、当該液晶可変焦点距離レンズは、焦点距離制御に複雑なメカニズムを要する。焦点距離は、屈折率の調節によって変更される。また、上記液晶可変焦点距離レンズは、応答時間が遅く、およそ１００／１０００秒である。最も応答の速い液晶可変焦点距離レンズでさえ、１０／１０００秒である。さらに、焦点距離の可変度が小さく、焦点調節効率が低い。
【０００３】
このような従来の焦点距離レンズの問題点を解決するため、応答の速いマイクロミラーアレイレンズが提案されている。上記応答の速いマイクロミラーアレイレンズの詳細は、”Fast-response Variable Focusing Micromirror Array Lens” Proceeding of SPIE Vol.5055 278-286, J.Boyd and G.Cho,2003に開示されている。この文献は、本明細書での説明を完全とするように参照される。上記マイクロミラーアレイレンズは、主に、マイクロミラーアレイと駆動部分とで構成され、焦点調節システムの制御メカニズムには、液晶可変焦点距離レンズと比較して非常にシンプルなメカニズムが用いられている。上記マイクロミラーアレイレンズの焦点距離は、各マイクロミラーアレイの置換（displacement）によって変化する。しかしながら、上記文献では、設計および制御に関する基本構想について示されているだけである。本発明は、上記マイクロミラーアレイレンズの設計および制御を改善する。また、本発明は、上記レンズの有利な点およびアプリケーションを拡張する。
【０００４】
本発明は、従来の可変焦点距離レンズの問題点を解決するためになされたものである。
【０００５】
本発明は、上記マイクロミラーアレイレンズの設計および制御を改善することを目的とする。それは、上記レンズの有利な点およびアプリケーションを拡張する。
【０００６】
可変焦点距離レンズとして機能する本発明は、光を反射するための複数のマイクロミラーと、当該マイクロミラーの位置を制御するための駆動部分とを備えている。各マイクロミラーは、鏡と同一の機能を有している。従って、上記マイクロミラーの反射する表面は、金属、金属化合物、多層誘電体、または高い反射率を有する他の物質によって形成されている。公知のマイクロ加工処理によって、上記表面に高い反射率をもたせることができる。対象（物体）の１つのポイントから散光された全ての光が、同じ周期的な位相を有するようにすることにより、また、画面の１つのポイントに収束するようにすることにより、上記マイクロミラーアレイが反射する可変焦点距離レンズとして機能する。このために、上記マイクロミラーは、静電気的におよび／または電磁気的に、上記駆動部分によって、所望の位置に制御される。上記レンズの焦点距離は、各マイクロミラーの回転および平行移動の制御によって変更される。
【０００７】
上記マイクロミラーアレイレンズは、上記マイクロミラーの極性アレイ（a polar array）によって形成することができる。上記極性アレイにおいて、各マイクロミラーは、有効反射領域を増加させる、すなわち光学効率を増加させるために、扇形形状である。上記マイクロミラーアレイレンズの光学効率は、上記マイクロミラーを支持する機械的構造と上記駆動部分とを上記マイクロミラーの下に配置して、有効反射領域を増加させることにより、改善させることができる。上記マイクロミラーを操作するための電気回路は、ＭＯＳおよびＣＭＯＳなどの公知の半導体マイクロエレクトロニクス技術によって置換することができる。上記マイクロミラーアレイの下に超小型電子回路を適用し、電極パッドおよびワイヤに要する領域を除去することにより、効率的に反射領域を増加させることができる。
【０００８】
上記マイクロミラーは、軸対称レンズを形成するように、１つまたは複数の同心円を形成するように配置されており、同じ同心円のマイクロミラーは、同心円状の同じ電極によって制御される、あるいはＭＯＳまたはＣＭＯＳなどの公知の半導体マイクロエレクトロニクス技術によって独立に制御される。
【０００９】
従来の反射レンズが理想的には湾曲しているため、各マイクロミラーは、湾曲していることが好ましい。もし、平らな（flat）マイクロミラーのサイズが十分に小さければ、平らなマイクロミラーを備えるレンズの収差は、十分に小さくなる。この場合、上記マイクロミラーが湾曲している必要はない。
【００１０】
上記レンズは、対象とその像との間の媒体による光学効果に起因する、または、近軸の像のルールから外れた像を生じるなどのレンズシステムの欠点に起因する収差を、各マイクロミラーを独立に制御することによって補正できる。上記各マイクロミラーの個別制御は、公知のＣＭＯＳまたはＣＭＯＳ技術による制御が必要な電気回路によって置換することができ、上記回路は、公知のマイクロ加工方法によって、上記マイクロミラーの下に製造される。
【００１１】
２つの自由回転と１つの自由平行移動とを行うマイクロミラーを備える上記アレイは、任意の形状および／またはサイズのレンズを作ることを可能にする。上記２つの自由回転と１つの自由平行移動とは、独立に制御される。入射光は、レンズの形状および／またはサイズを任意に形成することにより、任意に調整される。このためには、入射光が、２つの自由回転と１つの自由平行移動とにより、任意の方向に屈折する必要がある。また、各マイクロミラーの独立した平行移動は、位相条件を満足するために必要である。
【００１２】
本発明の有利な点は、（１）上記マイクロミラーアレイレンズが高速の応答時間を有していること、（２）上記レンズが焦点距離を大きく可変できること、（３）上記レンズが高い光学焦点調節効率を有していること、（４）上記レンズが光学性能を損なうことなく大きいサイズの口径を有していること、（５）上記レンズが低コストであること、（６）上記レンズが収差を補正できること、（７）上記レンズが非常に簡素に焦点調節システムを達成すること、（８）上記レンズが任意の形状および／またはサイズを有することができること、である。上記（１）は、各マイクロミラーが極めて小さい質量を有しているためである。上記（２）は、上記マイクロミラーの最大回転角度が大きくなることにより、大きく口径（aperture）を可変できるためである。上記（４）は、上記マイクロミラーアレイレンズが、それぞれ分離したマイクロミラーによって構成され、レンズサイズが増大しても、レンズの形状誤差によって生じる収差の増大が生じないためである。上記（５）は、大量生産に有利であるためである。
【００１３】
ここでは、本発明について簡単に要約したが、後述の記載、図面、および請求項を参照することによって、本発明を完全に理解することができるだろう。
【００１４】
本発明の特徴および有利な点は、以下の図面を参照することで、より理解できるだろう。
【００１５】
図１は、マイクロミラーアレイレンズの側面の断面を示す概略図である。
【００１６】
図２は、複数のマイクロミラーと駆動部分とを有する上記マイクロミラーアレイレンズの構造の一例を示す平面概略図である。
【００１７】
図３は、マイクロミラーアレイレンズがどのようにレンズとして機能するかを示す概念図である。
【００１８】
図４は、上記マイクロミラーの２つの回転軸と１つの平行移動軸とを示す概略図である。
【００１９】
図５ａは、六角形のマイクロミラーを有する上記レンズを示す概略図である。
【００２０】
図５ｂは、六角形のマイクロミラーを有する上記レンズを示す概略図である。
【００２１】
図６は、長方形のマイクロミラーを有する円筒型の上記レンズを示す概略図である。
【００２２】
図７は、三角形のマイクロミラーを有する円形の上記レンズを示す概略図である。
【００２３】
図１は、マイクロミラーアレイレンズ１１の原則を示している。完璧なレンズを作るためには、２つの条件がある。まず第１に、対象の１つのポイントによって散光している全ての光が、画面の１つのポイントに収束する収束条件である。次に第２に、全ての収束光が上記画面において同位相である同位相条件である。完璧なレンズのための条件を満たすために、従来の反射レンズ１２の表面形状は、対象の１つのポイントによって散光している全ての光が上記画面の１つのポイントに収束されるように、また、全ての収束光の光路長が同一となるように形成されている。
【００２４】
平面状に配置されているマイクロミラーアレイは、レンズとしての２つの条件を満たしている。各マイクロミラー１３は、散乱光を収束するように回転する。なぜなら、マイクロミラーアレイレンズ１１の全てのマイクロミラー１３が、図１に示すように、平面状に配置されているからである。マイクロミラーの回転によって収束された光の光路長は、異なる。しかしながら、光の位相が周期的であるから、位相を調整することにより、上記同位相条件を満たすことができる。
【００２５】
図２は、マイクロミラーアレイレンズ２１の平面図を示している。マイクロミラー２２は、鏡と同一の機能を有している。従って、マイクロミラー２２の反射する表面は、金属、金属化合物、多層誘電体、または高い反射率を有する他の物質によって形成されている。公知のマイクロ加工処理によって、上記表面に高い反射率をもたせることができる。各マイクロミラー２２は、静電気的に、および／または電磁気的に、公知の駆動部分２３によって制御される。軸対称レンズの場合、マイクロミラーアレイレンズ２１は、マイクロミラー２２の極性アレイ（a polar array）を有する。各マイクロミラー２２の形状は、効率的に反射領域を増加させる、すなわち光学効率を増加させるために、扇形である。マイクロミラーは、軸対称レンズを形成するように、少なくとも１つの同心円を形成するように配置されており、同じ同心円のマイクロミラーは、同じ電極によって制御される、あるいはＭＯＳまたはＣＭＯＳなどの公知の半導体マイクロエレクトロニクス技術によって独立に制御される。
【００２６】
それぞれ反射するマイクロミラー２２を支持する機械的構造と駆動部分２３とは、効率的に反射領域を増加させるために、マイクロミラー２２の下に配置される。また、マイクロミラーを操作するための電気回路は、ＭＯＳおよびＣＭＯＳなどの公知の半導体マイクロエレクトロニクス技術によって置換することができる。マイクロミラーアレイの下に超小型電子回路を適用し、動作電圧を供給するための電極パッドおよびワイヤに要する領域を除去することにより、効率的に反射領域を増加させることができる。
【００２７】
図３は、マイクロミラーアレイレンズ３１がどのようにして像を結ぶかを示している。任意の散乱光３２，３３は、マイクロミラー３４の位置を制御することにより、画面の１つのポイントＰに収束する。任意光３２，３３の各位相は、マイクロミラー３４を平行に移動させることによりそれぞれ同一となるように調整される。必要な平行移動による変位は、少なくとも光の波長の１／２である。
【００２８】
従来の反射レンズ１２が理想的には湾曲しているため、各マイクロミラー３４は、湾曲していることが好ましい。もし、平らなマイクロミラーのサイズが十分に小さければ、平らなマイクロミラー３４を備えるレンズの収差は、十分に小さくなる。この場合、マイクロミラーが湾曲している必要はない。
【００２９】
マイクロミラーアレイレンズ３１の焦点距離ｆは、各マイクロミラー３４の回転および平行移動によって変更される。
【００３０】
図４は、マイクロミラー４１の２つの自由回転および１つの自由平行移動を示している。マイクロミラーアレイは、独立に制御される、２つの自由回転４２，４３と１つの自由平行移動４４とを行うマイクロミラー４１を備えている。これは、任意の形状および／またはサイズのレンズの製造を可能にする。入射光は、任意の形状および／またはサイズのレンズを形成することにより、任意に調整することができる。このためには、入射光を、自由回転４２，４３により、任意の方向に屈折させる必要がある。各マイクロミラーの独立した平行移動４４は、位相条件を満足するために必要である。
【００３１】
図５ａ、図５ｂ、図６、および図７では、マイクロミラーの回転量を矢印５２の長さによってそれぞれ示すとともに、マイクロミラーの回転方向を示す傾き方向を矢印５２の方向によってそれぞれ示している。図５ａは、六角形のマイクロミラー５１を備える可変焦点距離円筒型レンズを示している。図５ｂは、六角形のマイクロミラー５１を備える可変焦点距離円形レンズ５３を示している。可変焦点距離円形レンズ５３の形状、位置、およびサイズは、２つのＤＯＦ回転および１つのＤＯＦ平行移動を行うマイクロミラー５１の独立した調整によって変更できる。図５ｂおよび図７におけるレンズの構成要素ではないマイクロミラー５５は、マイクロミラー５５によって反射された光が結像または集光に影響を生じないように制御されている。
【００３２】
図５ａおよび図５ｂでは、六角形のマイクロミラー５１を示しているが、扇形、長方形、正方形、および三角形のマイクロミラーアレイを使用してもよい。扇形のマイクロミラーを備えたアレイは、軸対称レンズに適している。図６は、長方形のマイクロミラー６２を備える可変焦点距離円筒型レンズ６１を示している。正方形のマイクロミラーまたは長方形のマイクロミラー６２を備えたアレイは、円筒型レンズ６１のような１つの面内の軸に対して対称な対称レンズに適している。同じ回転を行うマイクロミラーは、同じ電極によって制御される、あるいはＭＯＳまたはＣＭＯＳなどの公知の半導体マイクロエレクトロニクス技術によって独立に制御される。
【００３３】
図７は、三角形のマイクロミラー７２を備える可変焦点距離円形レンズ７１を示している。三角形のマイクロミラー７２を備えるアレイは、六角形のマイクロミラーを備えたアレイのように、任意の形状および／またはサイズのレンズを有するレンズに適している。
【００３４】
マイクロミラーアレイレンズは、マイクロミラーの回転４２，４３および平行移動４４を独立に制御することにより光の位相を変更できるため、適応性の高い光学部品である。適応性の高いマイクロミラーアレイレンズであるためには、独立にアドレス可能なマイクロミラーの２次元アレイが必要である。これを達成するためには、チップにおいて、マイクロミラーを結合させることが必須である。このために、公知の超小型電子回路によるマイクロミラーのウェハレベルでの集積が必須である。
【００３５】
適応性の高い光学部品は、対象とその像との間の媒体による光の位相誤差、および／または近軸の像のルールから外れた像を生じるなどのレンズシステムの欠点を補正することができるため、マイクロミラーアレイレンズは位相誤差を補正することができる。例えば、マイクロミラーアレイレンズは、マイクロミラーの回転４２，４３および平行移動４４を調整することによる光学的な傾きに起因する位相誤差を補正することができる。
【００３６】
マイクロミラーアレイレンズによって満足される同位相条件には、単色光の想定も含まれる。従って、カラーの像を得るために、マイクロミラーアレイレンズは、赤色光、緑色光、および青色光（ＲＧＢ）の各波長に対して同位相条件をそれぞれ満たすように制御される。また、結像システムでは、赤色光、緑色光、および青色光（ＲＧＢ）の各波長と共に単色光を作るために、バンドパスフィルタを用いることができる。
【００３７】
マイクロミラーアレイレンズに用いられる結像システムにおける結像センサとして、カラー光電子センサが用いられる場合、カラーの像は、バンドパスフィルタを有する、またはバンドパスフィルタを有さない赤色光、緑色光、および青色光（ＲＧＢ）結像センサからの電気信号を処理することによって得られる。この処理は、マイクロミラーアレイレンズの制御と同期化されるべきである。対象からの赤色光を結像するために、マイクロミラーアレイレンズは、赤色光の位相条件を満足するように制御される。操作中、赤色光、緑色光、および青色光結像センサは、それぞれ、対象からの赤色光、緑色光、および青色光の強度を測定する。これらのうち、赤色光を正確に結像するために、赤色光の強度のみを像データとして記憶する。緑色光または青色光を結像するために、マイクロミラーアレイレンズおよび各結像センサは、上述した赤色光の場合の処理と同様な処理を行う。従って、マイクロミラーアレイレンズは、赤色光、緑色光、および青色光結像センサと同期化される。一方、カラーの像を得るための同位相条件は、位相条件に有効な波長である、赤色光、緑色光、および青色光の波長の少なくとも共通の波長複合を用いることによって満足される。この場合、マイクロミラーアレイレンズを、赤色光、緑色光、および青色光の位相条件を独立に満足するように制御する必要はなく、上記少なくとも共通の波長複合の位相条件が満足されていればよい。
【００３８】
簡素な制御を実現するために、各マイクロミラーの平行移動は、赤色光、緑色光、および青色光のうち、１つの光の位相条件を満足するようにだけ制御される、あるいは全く行われない。マイクロミラーアレイレンズは、波長複合での光の位相誤差による位相条件を満足できないが、低い質で可変焦点距離レンズとして用いることができる。
【００３９】
本発明について、異なる実施形態を参照して説明したが、請求項によって定義された本発明の精神および目的から逸脱しない範囲での形式、細部、構成、および操作の変更が可能であることは、当業者によって十分に理解されているであろう。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】マイクロミラーアレイレンズの側面の断面を示す概略図である。
【図２】複数のマイクロミラーと駆動部分とを有する上記マイクロミラーアレイレンズの構造の一例を示す平面概略図である。
【図３】マイクロミラーアレイレンズがどのようにレンズとして機能するかを示す概念図である。
【図４】上記マイクロミラーの２つの回転軸と１つの平行移動軸を示す概略図である。
【図５ａ】六角形のマイクロミラーを有する上記レンズを示す概略図である。
【図５ｂ】六角形のマイクロミラーを有する上記レンズを示す概略図である。
【図６】長方形のマイクロミラーを有する円筒型の上記レンズを示す概略図である。
【図７】三角形のマイクロミラーを有する円形の上記レンズを示す概略図である。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの自由回転と１つの自由平行移動とを行う、複数のマイクロミラーを備え、
上記マイクロミラーの２つの自由回転度と１つの自由平行移動度とは、回折レンズまたはフレネルレンズであるレンズの焦点距離を変更するように制御されることを特徴とする可変焦点距離レンズ。
【請求項２】
全ての上記マイクロミラーは、平面状に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項３】
上記マイクロミラーは、レンズを形成するために、１つまたは複数の同心円を形成するように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項４】
上記同心円のマイクロミラーは、各同心円に対応した１つまたは複数の電極によって制御されることを特徴とする請求項３に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項５】
上記マイクロミラーアレイのうち同じ変位のものは、同じ電極によって制御されることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項６】
上記マイクロミラーの形状が扇形であることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項７】
上記マイクロミラーの形状が六角形であることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項８】
上記マイクロミラーの形状が長方形であることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項９】
上記マイクロミラーの形状が正方形であることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１０】
上記マイクロミラーの形状が三角形であることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１１】
上記マイクロミラーの反射する表面は、実質的に平らであることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１２】
制御回路は、半導体マイクロエレクトロニクス技術を用いて上記マイクロミラーの下に構成されることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１３】
上記マイクロミラーは、静電力によって駆動されることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１４】
上記マイクロミラーは、電磁力によって駆動されることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１５】
上記マイクロミラーは、静電力および電磁力によって駆動されることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１６】
上記マイクロミラーを支持する機械的構造と駆動部分とは、上記マイクロミラーの下に配置されることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１７】
上記マイクロミラーは、独立に制御されることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１８】
上記マイクロミラーの反射する表面は、湾曲していることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１９】
上記マイクロミラーの湾曲は、調整されることを特徴とする請求項１８に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項２０】
上記マイクロミラーの湾曲は、電熱力によって調整されることを特徴とする請求項１９に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項２１】
上記マイクロミラーの湾曲は、静電力によって調整されることを特徴とする請求項１９に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項２２】
上記マイクロミラーの表面材料は、高い反射率を有するものであることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項２３】
上記マイクロミラーの表面材料は、金属であることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項２４】
上記マイクロミラーの表面材料は、金属化合物であることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項２５】
上記マイクロミラーの表面材料は、多層誘電体であることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項２６】
上記可変焦点距離レンズは、適応性の高い光学部品であり、対象とその像との間の媒体による光の位相誤差を補償できることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項２７】
上記可変焦点距離レンズは、適応性の高い光学部品であり、収差を補正できることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項２８】
上記可変焦点距離レンズは、適応性の高い光学部品であり、近軸の像のルールから外れた像を生じるといった結像システムの欠点を補正できることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項２９】
上記可変焦点距離レンズは、適応性の高い光学部品であり、光軸上に位置しない対象を巨視的な機械的動作なしで結像できることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項３０】
上記可変焦点距離レンズは、カラーの像を得るために、赤色光、緑色光、および青色光の各波長において同位相条件をそれぞれ満たすように制御されることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項３１】
上記可変焦点距離レンズは、カラーの像を得るために、赤色光、緑色光、および青色光の各波長のうち、１つの波長において同位相条件を満たすように制御されることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項３２】
カラー像を結像するための同位相条件は、位相条件に有効な波長である、赤色光、緑色光、および青色光の波長の少なくとも共通の波長複合を用いることにより満たされることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項３３】
上記可変焦点距離レンズは、カラーの像を得るために、赤色光、緑色光、および青色光の各波長のうち、どの波長においても同位相条件を満たすような制御は行われないことを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１】
２つの自由回転と１つの自由平行移動とを行う、複数のマイクロミラーを備え、
上記マイクロミラーの２つの自由回転度と１つの自由平行移動度とは、回折レンズまたはフレネルレンズであるレンズの焦点距離を変更するように制御されることを特徴とする可変焦点距離レンズ。
【請求項２】
全ての上記マイクロミラーは、平面状に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項３】
上記マイクロミラーは、レンズを形成するために、１つまたは複数の同心円を形成するように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項４】
上記同心円のマイクロミラーは、各同心円に対応した１つまたは複数の電極によって制御されることを特徴とする請求項３に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項５】
上記マイクロミラーアレイのうち同じ変位のものは、同じ電極によって制御されることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項６】
上記マイクロミラーの形状が扇形であることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項７】
上記マイクロミラーの形状が六角形であることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項８】
上記マイクロミラーの形状が長方形であることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項９】
上記マイクロミラーの形状が正方形であることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１０】
上記マイクロミラーの形状が三角形であることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１１】
上記マイクロミラーの反射する表面は、実質的に平らであることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１２】
制御回路は、半導体マイクロエレクトロニクス技術を用いて上記マイクロミラーの下に構成されることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１３】
上記マイクロミラーは、静電力によって駆動されることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１４】
上記マイクロミラーは、電磁力によって駆動されることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１５】
上記マイクロミラーは、静電力および電磁力によって駆動されることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１６】
上記マイクロミラーを支持する機械的構造と駆動部分とは、上記マイクロミラーの下に配置されることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１７】
上記マイクロミラーは、独立に制御されることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１８】
上記マイクロミラーの反射する表面は、湾曲していることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項１９】
上記マイクロミラーの湾曲は、調整されることを特徴とする請求項１８に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項２０】
上記マイクロミラーの湾曲は、電熱力によって調整されることを特徴とする請求項１９に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項２１】
上記マイクロミラーの湾曲は、静電力によって調整されることを特徴とする請求項１９に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項２２】
上記マイクロミラーの表面材料は、高い反射率を有するものであることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項２３】
上記マイクロミラーの表面材料は、金属であることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項２４】
上記マイクロミラーの表面材料は、金属化合物であることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項２５】
上記マイクロミラーの表面材料は、多層誘電体であることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項２６】
上記可変焦点距離レンズは、適応性の高い光学部品であり、対象とその像との間の媒体による光の位相誤差を補償できることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項２７】
上記可変焦点距離レンズは、適応性の高い光学部品であり、収差を補正できることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項２８】
上記可変焦点距離レンズは、適応性の高い光学部品であり、近軸の像のルールから外れた像を生じるといった結像システムの欠点を補正できることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項２９】
上記可変焦点距離レンズは、適応性の高い光学部品であり、光軸上に位置しない対象を巨視的な機械的動作なしで結像できることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項３０】
上記可変焦点距離レンズは、カラーの像を得るために、赤色光、緑色光、および青色光の各波長において同位相条件をそれぞれ満たすように制御されることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項３１】
上記可変焦点距離レンズは、カラーの像を得るために、赤色光、緑色光、および青色光の各波長のうち、１つの波長において同位相条件を満たすように制御されることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項３２】
カラー像を結像するための同位相条件は、位相条件に有効な波長である、赤色光、緑色光、および青色光の波長の少なくとも共通の波長複合を用いることにより満たされることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【請求項３３】
上記可変焦点距離レンズは、カラーの像を得るために、赤色光、緑色光、および青色光の各波長のうち、どの波長においても同位相条件を満たすような制御は行われないことを特徴とする請求項１に記載の可変焦点距離レンズ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５ａ】
【図５ｂ】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５ａ】
【図５ｂ】
【図６】
【図７】
【公表番号】特表２００８−５００５８５（Ｐ２００８−５００５８５Ａ）
【公表日】平成２０年１月１０日（２００８．１．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−５１５３３２（Ｐ２００７−５１５３３２）
【出願日】平成１７年５月２７日（２００５．５．２７）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＵＳ２００５／０１８５２７
【国際公開番号】ＷＯ２００５／１１９３３１
【国際公開日】平成１７年１２月１５日（２００５．１２．１５）
【出願人】（５０６２７７２５８）ステレオ ディスプレイ，インコーポレイテッド (13)
【出願人】（５０６２７８００４）アングストローム，インコーポレイテッド (13)
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成２０年１月１０日（２００８．１．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年５月２７日（２００５．５．２７）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＵＳ２００５／０１８５２７
【国際公開番号】ＷＯ２００５／１１９３３１
【国際公開日】平成１７年１２月１５日（２００５．１２．１５）
【出願人】（５０６２７７２５８）ステレオ ディスプレイ，インコーポレイテッド (13)
【出願人】（５０６２７８００４）アングストローム，インコーポレイテッド (13)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]