【課題】１）できるだけ簡易で低コストな構成でありながら、２）大きな波長分散を補償することができ、３）さらに分散補償特性におけるリップルが低い可変分散補償器を提供すること。
【解決手段】実施形態１に係る可変分散補償器は、入力ファイバ１０６、接続ファイバ１０８、および出力ファイバ１０９が接続されたサーキュレータ１０７と、接続ファイバ１０８に接続されたアレイ導波路格子１０１と、焦点距離がｆＹの第１のＹシリンドリカルレンズ１０２と、Ｚ軸に平行な方向に可動する可動板１０５上に配置された焦点距離がｆＸの集光レンズ１０３および平面ミラー１０４とがこの順に配置されている。 （もっと読む）

【課題】、パッケージに対するＭＥＭＳデバイス実装時のアライメンが容易で且つアライメント精度が高く、パッケージの小型化も可能にするＭＥＭＳモジュールを提供することにある。
【解決手段】パッケージ３の台座部１９に複数のリードピン２０を設けると共にＭＥＭＳデバイス２の該リードピン２０に対応する位置にリードピン挿通孔１７を設け、リードピン挿通孔１７にリードピン２０を挿通して台座部１９上にＭＥＭＳデバイス２を載置した後、リードピン２０とＭＥＭＳデバイス２の電極パッドを電気的に接続した。 （もっと読む）

【課題】マトリクス駆動を行わせる場合でも、構造が複雑で大型化するのを防ぐことができる表示品位に優れた表示素子、及びこれを用いた電気機器を提供する。
【解決手段】上部基板（第１の基板）２と、下部基板（第２の基板）３と、上部基板２及び下部基板３の間に形成された表示用空間Ｓの内部で有効表示領域側または非有効表示領域側に移動可能に封入された導電性液体１６とを具備した表示素子１０において、互いに独立して所定の電圧範囲内の電圧が印加可能に構成された信号電極４、基準電極５及び走査電極６を設ける。導電性液体１６を有効表示領域側または非有効表示領域側に移動させる前に、信号電極４に対して、表示用空間Ｓの内部での当該導電性液体１６の状態を所定の初期状態とするためのプリセット信号を印加する。 （もっと読む）

多ミラーアレイで配置され、かつ少なくとも１つのアクチュエータによって傾斜させることができるミラーとミラーのための駆動電子機器とを有するマイクロリソグラフィ投影露光装置のための照明系、及びこのミラーを駆動する方法を提供する。マイクロリソグラフィ投影露光装置のための光学系は、少なくとも１つのアクチュエータによって傾斜させることができて多ミラーアレイで配置されたミラーを提示する。更に、照明系は、第１の解像度を有する粗いデジタル／アナログ変換器（６８）と、第１の解像度よりも高い第２の解像度を有する細かいデジタル／アナログ変換器（７０）と、２つのデジタル／アナログ変換器（６８、７０）によって出力される出力量を加算することができて全体量をもたらす加算器（７２）とを提示するミラーのための駆動電子機器を提示する。全体量は、ミラーの少なくとも１つのアクチュエータに少なくとも間接的に印加することができる。 （もっと読む）

【課題】気密パッケージされたＭＥＭＳアレイ・ベースのＲＯＡＤＭモジュールを提供する。
【解決手段】筐体の側壁および上蓋はコバールから作られ、また基部はアルミナ・セラミックから作られて、筐体の側壁にＡｕＳｎではんだ付けされる。ＭＥＭＳアレイはセラミック基部に取り付けられる。光学系は取り外し可能なテンプレートを使用して予めパッシブ・アライメントされ、光学台にエポキシ樹脂で接着される。光学台は全体としてアクティブ・アライメントされ、セラミック基部に取り付けられる。複数の電気フィードスルー接触ピンがセラミック基部の底部から延びて、ＭＥＭＳをプリント回路基板上のコネクタへ接続する。本発明の一実施形態では追加の電子部品、たとえばＭＥＭＳドライバ回路チップを筐体のセラミック基部へ直接取り付けるために、セラミック基部はモジュールの筐体の側壁の実装領域を越えて延びる。 （もっと読む）

【課題】接合膜を介して接合される部材の構成材料によらず、第１の構造体と第２の構造体との間隔が高い精度で保持された、信頼性の高いアクチュエータ、およびかかるアクチュエータを備えた光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、２自由度振動系を有する基体２と、基体２を介して対向配置された支持体３、４と、基体２と支持体３との間隔および基体２と支持体４との間隔を保持する各スペーサ１０、１１とを有している。これらの各部の間は、各接合膜８１〜８４を介して接合されている。この各接合膜は、シロキサン結合を含むランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含むものであり、これらの接合膜は、エネルギーを付与したことにより、脱離基がＳｉ骨格から脱離し、各接合膜に発現した接着性によって、基体２、支持体３、４およびスペーサ１０、１１の間を気密的に接合している。 （もっと読む）

【課題】透過状態、反射状態に加えモニタ状態の３状態をとることが可能であり、溝１ポイントあたりのピン数を１つにでき、装置の小型化、低コスト化の実現可能なスイッチクロスポイント及び当該スイッチクロスポイントを用いた光切替装置を得る。
【解決手段】交差する複数の導波路をもつ導波路フィルム１と、導波路フィルムの導波路交差部に形成されて交差する導波路とのなす角が全反射条件を満たすように形成された溝３と、溝近傍に形成されたピン５と、ピンの外形より大きな略楕円形の開口部を有しピンに駆動力を伝達するための保持部９と、保持部に連結されて保持部を介してピンに応力を与える駆動機構８と、駆動機構を制御する制御部１３とを備え、制御部１３により、ピンに与える応力および変位量を制御することで、ピンの傾き具合を制御して溝の開放度合いを制御し、ピンを、透過状態、反射状態、モニタ状態の３つの状態に保持する。 （もっと読む）

【課題】不良品率を低減したり、揺動体を調整する調整工程を不要或いは工程数ないしその内容を軽減したりすることができる揺動体構造体の作製方法などを提供する。
【解決手段】揺動体構造体は、形成工程と選択工程とを含む作製方法で作製される。形成工程では、弾性支持部110と、弾性支持部110の両端にそれぞれ接続された揺動体の第1の候補である第1の揺動体候補部111a及び揺動体の第2の候補である第2の揺動体候補部111bとを形成する。選択工程では、第1の揺動体候補部111aと第2の揺動体候補部111bのうち、いずれか1つを揺動体112として選択する。形成工程において、第1の揺動体候補部と第2の揺動体候補部を同一形状又は略同一形状を有する様に設計して形成することができる。 （もっと読む）

【課題】接合膜を介して接合される部材の構成材料によらず、気密性に優れた閉空間に可動板を収納してなる信頼性の高いアクチュエータ、およびかかるアクチュエータを備えた光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、２自由度振動系を有する基体２と、支持体３、４とを有している。そして、基体２と支持体３とが接合膜８１を介して、また、基体２と支持体４とが接合膜８２を介して、それぞれ気密的に接合されている。これにより、２自由度振動系が閉空間内に封入されている。各接合膜８１、８２は、シロキサン結合を含むランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含むものであり、これらの接合膜８１、８２は、エネルギーを付与したことにより、脱離基がＳｉ骨格から脱離し、各接合膜８１、８２に発現した接着性によって基体２と支持体３および基体２と支持体４を気密的に接合している。 （もっと読む）

【課題】設計自由度を高めつつ、優れた機械的特性および光学特性を発揮することができる光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】第１の光反射部２５を備える可動板２１と、可動板２１を変位可能に支持する弾性部２３とが設けられた第１の基体２と、第１の光反射部２５に対向する第２の光反射部３４が設けられた第２の基体３とを有し、可動板２１と弾性部２３とが接合膜４１を介して接合されており、接合膜４１は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含み、接合膜４１は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、接合膜４１の表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜４１の表面の当該領域に発現した接着性によって、可動板２１と弾性部２３とを接合している。 （もっと読む）

【課題】適切な大きさの光を照射し、精度の高い検出が可能な車両用光スキャン装置を提供することである。
【解決手段】車両用光スキャン装置に於いて、レーザダイオード５５から照射された光が、レンズ３４、３５、３６で案内され、レンズホルダ６１及びワイヤバネ１０８によって第１の方向に振られて走査される。そして、上記レーザダイオード５５から照射されるレーザ光２６０の形状は、上記第１の方向の寸法が変化可能である。 （もっと読む）

【課題】低コストでありながら広い光波長分散角度を得ること。
【解決手段】光デバイス１０は、回折格子１１と、回折格子１１の面ｐ２側に光偏向装置１２を有する。回折格子１１の面ｐ１側に入射する波長多重光ｗ１は、回折格子１１で回折され、波長分散光ｓ１として面ｐ２側から光偏向装置１２に向けて出力される。そして、波長分散光ｓ１は、光偏向装置１２によって反射され、回折格子１１の面ｐ２側に再度入射する。回折格子１１の面ｐ２側に入射した波長分散光ｓ１は、回折格子１１で回折され、波長分散光ｓ２として、回折格子１１の面ｐ１側から出力される。 （もっと読む）

【課題】設計自由度を高めるとともに低コスト化を図りつつ、寸法精度を優れたものとし、長期にわたり高精度に波長分離を行うことができる光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】第１の光反射部２５を備える可動板２１が変位可能に設けられた第１の基体２と、第１の光反射部２５に対向する第２の光反射部３４が設けられた第２の基体３とが接合膜４１を介して接合されており、接合膜４１は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含み、接合膜４１は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、接合膜４１の表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜４１の表面の当該領域に発現した接着性によって、第１の基体２と第２の基体３とを接合している。 （もっと読む）

１つ又は２つ以上の液体レンズを使用する像安定化システム。像安定化システムは、２本の光軸に沿って揃えられた複数のレンズ素子と、第１及び第２の接触液体を含む１つ又は２つ以上の液体レンズセル（７０，７１）であって、接触液体間の接触光学面は、それ自身の光軸に対して実質的に対称で且つ少なくとも１本のその他の光軸に対して非対称である可変形状を有する、１つ又は２つ以上の液体レンズセルと、を備え、複数のレンズ素子及び少なくとも１つの液体レンズセルは、物体側から発せられる放射を集め、像の安定化を提供する。
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【課題】異なる共振周波数のマイクロ揺動体を同じエッチングマスクで製造することができ、有効反射面積の低下及び共振周波数の製造ばらつきを抑制することが可能となる揺動体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】単結晶シリコン基板に、個々の揺動体が複数連結された繰り返し形状によるパターンを有するエッチングマスクを形成する工程と、エッチングマスクをマスクとして、単結晶シリコン基板をエッチングし、単結晶シリコン基板に繰り返し形状を形成する工程と、個々の揺動体として用いられる際に必要とされる共振周波数を規定する揺動体の可動部６及び支持基板の幅を決定し、ダイシングによって切断するダイシング工程と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化および省電力化を図りつつ波長リップルを抑制すること。
【解決手段】入力ポート１１１および出力ポート１１２〜１１４は光を入出力する。回折格子１２０は、入力ポート１１１から入力された光を波長に応じて分光する。ミラー１４１〜１４３は、回折格子１２０によって分光された光の分光方向に並べて設けられ、分光された光をそれぞれ反射させる。制御部１５０は、出力ポート１１２〜１１４のうちの、ミラー１４１〜１４３の各反射光が結合する出力ポートが切り換わる方向にミラー１４１〜１４３の反射角度を変化させる。また、制御部１５０は、ミラー１４１〜１４３の反射角度を分光方向に変化させて、反射光が出力ポート１１２〜１１４のいずれかに結合する位置をずらして反射光を減衰させる。フィルタ１６０は、反射光のうちの、ミラー１４１〜１４３の分光方向の端部によって反射して回折した成分を減衰させる。 （もっと読む）

【課題】 小型軽量であって、ユーザの頭部に日常的に装着可能であり、重度の弱視、近視、老眼などの視力障害を有するユーザであっても、映像や文字情報を見ることができる網膜投影ディスプレイ装置を提供する。
【解決手段】 瞳孔２を通して網膜３に直接画像を投影するマクスウエル視を利用した網膜投影ディスプレイ装置１であって、ディジタル化された画像データを出力する画像データ出力部１０と、画像データ出力部１０から出力された画像データに応じてレーザ光を出力するレーザ光源部２０と、画像データ出力部２０から出力された画像データに応じて駆動され、レーザ光源部２０から出力されたレーザ光をユーザの瞳孔に向けて反射するＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical Systems)走査ミラー部３０を備える。 （もっと読む）

【課題】小型化と低コスト化を実現することができる光チャネルモニタを提供する。
【解決手段】回折格子４３には反射部４３ｂが設けられている。回折格子４３の反射部４３ｂにより反射された反射光の光軸上に、レンズ６および受光素子７１が設けられている。ＭＥＭＳミラー５２ａにより反射された回折光の一部は、回折格子４３の反射部４３ｂにより反射され、レンズ６を介して受光素子７１に照射される。このような簡便な構成で回折光の反射光の光量を容易に測定することができるので、結果として、小型化と低コスト化を実現するができる。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能な光走査ユニット及び光学系の取り替えが簡単に可能な観察装置を提供する。
【解決手段】この光走査ユニット５０は、ミラーＭを繰り返し傾斜させるＭＥＭＳ光スキャナと、対物レンズ５２と、を備え、光をＭＥＭＳ光スキャナで傾斜するミラーにより走査して対物レンズを介して対物レンズの光軸に沿って出射させる。 （もっと読む）

【課題】共振周波数を調整する機能を安定して維持できる振動ミラー及びこれを用いた光走査装置、光書込装置、画像形成装置を提供する。
【解決手段】ねじり梁１０２、１０３を回転軸として往復振動して光源からの光ビームを偏向するミラー基板１０１と、ミラー基板１０１と単一の基板を貫通してミラー基板１０１と一体形成され、ねじり梁１０２、１０３に結合してミラー基板１０１を支持する上部枠体１０４とを有し、ねじり梁１０２にその弾性係数を調整する調整構造１１８、１１９が配置された。 （もっと読む）