【課題】上部電極層と下部電極層との短絡を回避しつつ、アクチュエータの駆動力の低下を防止したアクチュエータ及びアクチュエータの製造方法を提供する。
【解決手段】基材４上の所定領域に下部電極層５Ａ〜５Ｄ、圧電素子層６Ａ、６Ｂを順に積層し、続いて、本体部２を所定角度傾斜させた状態で保持し、ＰＺＴ等の絶縁体からなる圧電素子層２５を更に基材４の側面方向から積層し、その後に、本体部２を水平に戻し、上部電極層７Ａ〜７Ｄを圧電素子層６Ａ、６Ｂ、２５の上から積層することにより、上部電極層と下部電極層との短絡を回避するように構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明はレーザープリンタ、電子写真装置などのレーザースキャンユニットなどに用いる光学反射素子に関し、小型のレーザースキャンユニットを実現するための光学反射素子を実現することを目的とする。
【解決手段】第二の支持部１１と、一端がこの第二の支持部１１に支持された第一の支持部２と、この第一の支持部２の先端部分に支持された第一のアーム３と第二のアーム４とからなる音叉振動子６と、この音叉振動子６の振動中心９に支持された第二の支持部１１と、この第二の支持部１１の先端部分に指示されたミラー部１２とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】特性ばらつきを抑制した金属材料からなる振動ミラーの製造方法を提供する。
【解決手段】金属材料からなる板材をプレス加工することにより、梁３をねじり回転軸として往復振動する、金属材料からなる振動子が成形される。次いで、当該振動子にミラーが固定される。そして、梁３の支持端部を一部除去する形状加工により梁３のばね剛性を変更し、共振周波数が調整される。ここで、梁３の支持端部とは、振動子と一体に成形された枠体２と梁３との接続部および上記ミラーを支持する支持部と梁３との接続部の双方を指す。これにより、振動ミラーの共振周波数を容易に調整することができる。また、必要に応じて、上記支持部が備える共振周波数調整片の一部または全部を除去することにより慣性モーメントを変更し、共振周波数を粗調整してもよい。 （もっと読む）

【課題】入射光に対する出射光の屈折角を大きくすることができる液体プリズム（光軸可変素子）を提供する。
【解決手段】液体プリズムでは、液界面は平面であり、液界面の最大傾斜線は、容器の角部のうち、互いに最も離れた２つの角部を通るように、導電性液体と電極の間に印加する電圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】特性ばらつきを抑制した金属材料からなる振動ミラーの製造方法を提供する。
【解決手段】金属材料からなる板材をプレス加工することにより、梁３をねじり回転軸として往復振動する、金属材料からなる振動子が成形される。当該振動子の、ミラーを支持する支持部４は共振周波数調整片２２を備える。次いで、支持部４にミラー５が固定される。そして、支持部４からの共振周波数調整片２２の突出方向を変更することにより慣性モーメントを変更し、共振周波数が調整される。これにより、振動ミラーの共振周波数を容易に調整することができる。また、加工くずが発生しないため、加工くずがミラーに付着してミラーの光学特性を劣化させることもない。 （もっと読む）

【課題】特性ばらつきを抑制した金属材料からなる振動ミラーおよび当該振動ミラーを使用したレーザスキャニングユニットを提供する。
【解決手段】梁３をねじり回転軸として往復振動する、プレス加工により成形された金属材料からなる振動子１と、振動子１に支持されたミラーとを備える振動ミラー１０において、梁３のねじり回転軸に垂直な断面が、ミラー５の反射面に平行な長辺と、ミラー５の反射面に垂直、かつ長辺の１／２倍以下の長さを有する短辺とを備える。これにより、梁長Ｌを短くすることができ、金属材料を用いた場合でも比較的小型に振動ミラー１０を構成することが可能である。また、プレス加工に起因する梁幅ｂの形成誤差が共振周波数に与える影響を緩和することができる。 （もっと読む）

【課題】静電トルクを増大させるための櫛歯側面の狭ギャップと、櫛歯電極の接触によるショート不良を低減させるための櫛歯先端の広ギャップを同時に容易に形成する。
【解決手段】櫛歯電極１、２の先端を最も細い櫛幅とする。これにより、櫛歯先端部のギャップ３を広くすることができ、高次振動による櫛歯電極１、２の接触に起因するショート不良が低減される。 （もっと読む）

【課題】特性ばらつきを抑制した金属材料からなる振動ミラーおよび当該振動ミラーを使用したレーザスキャニングユニットを提供する。
【解決手段】梁をねじり回転軸として往復振動する、プレス加工により成形された金属材料からなる振動子と、当該振動子に支持されたミラー５とを備える振動ミラーにおいて、振動子が、同一プレス方向のプレス加工により成形された、ミラー５を支持する支持部４を備える。支持部４のプレス加工方向の上流側の面には、当該面外に一部が突出する状態でミラー５が支持される。また、支持部４のプレス加工方向の下流側の面内には、永久磁石６が配置される。これにより、プレス加工によるバリの有無に関わらず、ミラーと永久磁石とを常に同一の状態で支持部に固定することができる。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、小型で簡単な構造で、最大偏向角の増大や偏向角・偏向速度の迅速で精度良い制御が可能な光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器は、反射面１ｂを有するミラー部１と、一端がトーションバー２ａ，２ｂに連結され他端が支持部１０に連結されて支持された第１の圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄと、第１の圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄに印加する駆動電圧を制御することで第１の圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄの駆動によるミラー部１の回転駆動を制御する制御手段２１と、一端がトーションバー２ａ，２ｂに連結され他端がミラー部１に連結されて支持された第２の圧電アクチュエータ９ａ〜９ｄと、第２の圧電アクチュエータ９ａ〜９ｄに印加する駆動電圧を制御することで第１の圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄの駆動によるミラー部１の回転駆動を調整する調整手段２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、小型で簡単な構造で、高い駆動周波数と大きい最大偏向角とを両立可能な光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器Ａ１のミラー部１と、ミラー部１を駆動する圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄ，１０ａ，１０ｂの圧電カンチレバーの支持体４ａ〜４ｈは、複数の層から構成される半導体基板ＳＯＩを形状加工して一体的に形成される。圧電カンチレバーの支持体４ａ〜４ｈは、複数の層のうち少なくとも１つの層からなる第１の支持層３１ａを形状加工して形成され、ミラー部１は、複数の層のうち第１の支持層３１ａと厚さが異なる少なくとも１つの層からなる第２の支持層３１ｃを形状加工して形成される。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、ミラーの駆動状態を迅速に精度良く検出して制御可能な光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器Ａ，Ａ’は、反射面１ｂを有するミラー部１と、一端がトーションバー２ａ，２ｂに連結され他端が支持部１０に連結されて支持された第１の圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄとを備え、第１の圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄの圧電駆動によりトーションバー２ａ，２ｂを介してミラー部１を回転駆動させる。光偏向器は、一端がトーションバー２ａ，２ｂに連結され他端がミラー部１に連結されて支持された第２の圧電アクチュエータ９ａ〜９ｄを備える。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の揺動軸回りの振幅を検出する検出精度の向上を図ることが可能となる光スキャナを提供する。
【解決手段】厚さ約３０μｍ〜２００μｍの薄長四角形のシリコン基材上において、固定枠６、反射ミラー部８及び各はり部１６Ａ、１６Ｂを構成する各ミラー側板ばね部１７Ａ、１７Ｂ、各接続部２０Ａ、２０Ｂ、各枠側板ばね部１８Ａ〜１８Ｄから構成される本体部２を形成する。そして、各枠側板ばね部１８Ａ〜１８Ｄ上に各駆動用下部電極２１Ａ、２１Ｂ、各駆動用圧電素子２２Ａ、２２Ｂ、各駆動用上部電極２３Ａ〜２３Ｄを形成する。また、各枠側板ばね部１８Ａ〜１８Ｄ上に各駆動用下部電極２１Ａ、２１Ｂと離間する各検出用下部電極２５Ａ〜２５Ｄを形成する。また、この各検出用下部電極２５Ａ〜２５Ｄ上に各検出用圧電素子２６Ａ〜２６Ｄ、各検出用上部電極２７Ａ〜２７Ｄを形成する。 （もっと読む）

【課題】揺動板の駆動部を含む周辺部に損傷を与えず、精度良く揺動板の質量を調整することができ、揺動体装置を製造することが可能となる揺動体装置の製造方法等を提供する。
【解決手段】揺動板を該ねじり軸まわりに共振周波数で駆動する揺動体装置の製造方法であって、
前記揺動板として、該揺動板に延設部を形成し、該延設部の一部をレーザー光の照射により切断することによって該揺動板の質量を調整する延設部による周波数調整工程と、
前記揺動板を固定基盤に固定する揺動体部組立工程と、
前記揺動板を駆動させる駆動部を固定基盤に固定する駆動部組立工程と、
を有し、少なくとも、前記各工程中における前記駆動部組立工程を、前記延設部による周波数調整工程の後に実施する。 （もっと読む）

【課題】バンディングが出ず、等速度で光を走査できる小型な構成に容易にできる光偏向器、及びそれを用いる光学機器を提供する。
【解決手段】光偏向器は、光源101と、光を透過する光偏向素子102と、駆動手段103とを有する。光偏向素子102は、光源101からの光の入射側の面と光の出射側の面のうちの少なくとも一方に曲面を有し、均一の屈折率を持つ。駆動手段103は、光源101と光偏向素子102との位置関係を相対的に変化させるべく光源と光偏向素子を相対的に往復運動させる。光源101と被走査体104との間に光偏向素子102が配され光源101からの光が光偏向素子102で偏向される。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の揺動軸回りの振幅を検出する検出精度の向上を図ることが可能となる光スキャナを提供する。
【解決手段】厚さ約３０μｍ〜２００μｍの薄長四角形のシリコン基材上において、固定枠６、反射ミラー部８及び各はり部１６Ａ、１６Ｂを構成する各ミラー側板ばね部１７Ａ、１７Ｂ、各接続部２０Ａ、２０Ｂ、各枠側板ばね部１８Ａ〜１８Ｄから構成される本体部２を形成する。そして、本体部２の圧電素子２２Ａを挟んで積層された各下部電極２１Ａ、２１Ｂと各上部電極２３Ａ、２３Ｂとは、揺動軸１５に沿って固定枠６上で分割されて積層されている。また、圧電素子２２Ｂを挟んで積層された各下部電極２１Ｃ、２１Ｄと各上部電極２３Ｃ、２３Ｄとは、揺動軸１５に沿って固定枠６上で分割されて積層されている。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳデバイスの構造を考慮することなく、且つＭＥＭＳモジュールがＭＳデバイスが直接緩衝材に触れることのない構造でありながら、外部から振動、衝撃等の機械的応力から保護されて常時良好な諸特性を発揮することが可能なＭＥＭＳモジュールを提供することにある。
【解決手段】ＭＥＭＳデバイス２を実装するパッケージ３の台座部１９に設けられたリードピン挿通孔１７に隙間を設けてリードピン２０を挿通し、該隙間に柔軟性及び絶縁性を有する緩衝材２２を充填して台座部１９にリードピン２０を固定するようにした。 （もっと読む）

【課題】構造体の最終形状が目標形状と異なる形状にエッチングされる可能性を低減して、構造体の不良品率を低減することができる異方性エッチングによる構造体の作製方法などを提供する。
【解決手段】異方性エッチングによる構造体の作製方法では、単結晶シリコン基板100上に、目標形状に対応する基本エッチングマスク101、102a、102b、103、及び基本エッチングマスクに接続する連結部を持つ補正エッチングマスク107ａ、107ｂ、107ｃ、107ｄを形成する。補正エッチングマスクの連結部の少なくとも一部には、局所的に機械的強度を低下させた強度低下部151ａ、151ｂ、151ｃ、151ｄが形成される。異方性エッチングにより、エッチングマスクの施されたシリコン基板100をエッチングして目標形状を形成する。 （もっと読む）

【課題】可動板の寸法を保ったまま、ねじり方向の固有振動数を選択的に変化させ、所望の共振周波数に容易に調整することが可能となる揺動体装置及びその製造方法、揺動体装置によって構成される光学機器を提供する。
【解決手段】支持部に対し、バネ性を備えた梁構造によってねじり軸まわりに揺動可能に連結された可動板を備え、該可動板を該ねじり軸まわりに駆動する揺動体装置であって、
前記梁構造は、該梁構造のバネ定数を調整するための弾性体を設ける凹部を有し、
該凹部に設けられる前記弾性体により、前記可動板の共振周波数が調整可能に構成されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、反射板の回動中心のずれの発生を抑制できるようにする。
【解決手段】フレーム２１と、その内側に配置された反射板２２と、フレーム２１の内縁の対向する位置からそれぞれ内方に延びて反射板２２の外縁との間をそれぞれ連結し、捩れ方向の可撓性を有する一対の連結部２３、２４とを備え、反射板２２の一端側に受けた外力により、連結部２３、２４を捩れ変形させて反射板２２を回動させる光スキャナにおいて、フレーム２１に固定され、反射板２２の一面２２ｂ側の連結部２３、２４間を結ぶ線と重なる部分に接触して、反射板２２の一面２２ｂ側への移動を規制する接触規制体３０を設けた。 （もっと読む）

【課題】不良品率を低減したり、揺動体を調整する調整工程を不要或いは工程数ないしその内容を軽減したりすることができる揺動体構造体の作製方法などを提供する。
【解決手段】揺動体構造体は、形成工程と選択工程とを含む作製方法で作製される。形成工程では、弾性支持部110と、弾性支持部110の両端にそれぞれ接続された揺動体の第1の候補である第1の揺動体候補部111a及び揺動体の第2の候補である第2の揺動体候補部111bとを形成する。選択工程では、第1の揺動体候補部111aと第2の揺動体候補部111bのうち、いずれか1つを揺動体112として選択する。形成工程において、第1の揺動体候補部と第2の揺動体候補部を同一形状又は略同一形状を有する様に設計して形成することができる。 （もっと読む）