【課題】ミラー基板に回動可能に設けられたミラーと電極基板に設けられた電極とを、高い位置（間隔）精度で近設させた状態が、より容易に得られるようにする。
【解決手段】支持基板１０１と、支持基板１０１の上に支持部（枠部１２６）で支持されて回動可能なミラー１２５を有するミラー基板１０２と、ミラー１２５に対向して配置された制御電極部１３２を有してミラー基板１０２の下部の支持基板１０１の上に固定された電極基板１０３とを備える。 （もっと読む）

【課題】スキャナモータの出力軸に対するスキャナミラーの取り付け角度が変化したことに起因する異常を検出可能なガルバノスキャナを提案すること。
【解決手段】ガルバノスキャナ１のスキャナドライバ６では、スキャナモータ２の位置センサ７によってスキャナモータ２が原点位置に位置決めされた状態において、ミラーセンサ１０によってスキャナミラー５が原点位置に位置決めされているか否かに基づき、スキャナミラー５の取り付け角度が正常であるか否かを監視している。スキャナミラー５が外部から加わった衝撃などによって出力軸３に対する取り付け角度が変化した場合には、スキャナモータ２を一定の角度範囲内で回転させても、スキャナミラー５が一定の走査角度範囲から外れてしまい、レーザ光が想定外の方向に照射されてしまう。このような事態を未然に回避できる。 （もっと読む）

【課題】部品点数を減らして組み立ておよび位置制御を容易とし、画像投影装置を効果的に小型化することができる走査型光投影装置を提供する。
【解決手段】プレーナ型アクチュエータと、該プレーナ型アクチュエータの可動部１２に取り付けられた光ファイバー３０と、光ファイバー３０に接続される光源３６とを備え、前記可動部１２には、貫通孔が設けられ、前記光ファイバー３０が、前記貫通孔に位置合わせして前記可動部１２に固定されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は光学反射素子の駆動精度を高めることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部１と、このミラー部１とそれぞれ第一の支持部２で連結された、対の第一の音叉形圧電振動子３と、これらの第一の音叉形圧電振動子３とそれぞれ第二の支持部５で連結され、対の第一の音叉形圧電振動子３の外周を囲う枠体６と、この枠体６とそれぞれ第三の支持部７で連結された第二の音叉形圧電振動子８と、これらの第二の音叉形圧電振動子８とそれぞれ第四の支持部１０で連結された支持体１１とを備え、第一の音叉形圧電振動子３は、それぞれ第一の支持部２の両側に第一、第二のアーム１２、１３を有し、対の第一の音叉形圧電振動子３の少なくともいずれか一方は、第一または第二のアーム１２、１３上に第一のモニター電極１７を有するものとした。これにより本発明は、光学反射素子の駆動精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】従来よりも小さい駆動電力で、レーザー光を広い範囲に走査、偏向することが可能な光偏向器及びその駆動方法を提供する。
【解決手段】開口部１１ａを有する枠部１１、開口部内に配置された板状のミラー部１２、枠部とミラー部とを連結する一対の梁部１３ａ，１３ｂを有する光偏向部１０と、これに離間して設けられた永久磁石２とを備え、一対の梁部は、その各重心を結ぶ線ｙ１がミラー部の重心Ｏ１２を通るように配置され、ミラー部は、その一面Ａ１２が光を反射する反射面であり、一面とは反対側の面Ｂ１２に、上記線に対して対称に配置された一対のコイル１５ａ，１５ｂを有し、永久磁石は、一対のコイルとそれぞれ対向する一対の傾斜面部１７ａ，１７ｂを有し、一対のコイルと一対の傾斜面部との距離Ｌａ，Ｌｂが、ミラー部の重心に近づくに従ってそれぞれ短くなるように構成する。 （もっと読む）

【課題】面倒となり易い加工などを要することなく振動系の振動子の回転軸回りの慣性モーメントを可逆的に変化させことができる揺動体装置、これを用いる光偏向装置を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、回転軸70の回りに揺動可能に支持された振動子40を含む振動系と、振動子40を回転軸70の回りに揺動させるための駆動手段とを有する。振動子40には、形状記憶合金部10を含む形状可変部60が設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明はレーザープリンタ、電子写真装置などのレーザースキャンユニットなどに用いる光学反射素子に関し、小型のレーザースキャンユニットを実現するための光学反射素子を実現することを目的とする。
【解決手段】支持体１と、この支持体１に一端が支持された第一の支持部２と、この第一の支持部２の他端に支持された第一のアーム３と第二のアーム４を有する音叉振動子６と、この音叉振動子６の振動中心に一端が支持された第二の支持部１１と、この第二の支持部１１の他端に支持されたミラー部１２とを備え、前記第一の支持部２に振動を制御するためのモニター用圧電素子８を設けた構成とする。 （もっと読む）

【課題】高解像度の画像が得られ、１画像当たりのフレームレートに応じて走査スピードの調整が可能で耐衝撃性を有する２次元光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】２次元光偏向器１００は、樹脂を含み光Ｌを一方向に偏向する偏向素子１０とＳｉを含み光Ｌを他方向に偏向する偏向素子５０とを備える。偏向素子１０は、対向配置された一対の端子部１３，１４、その間に配置された偏向部１１、及びこれらを連結する梁部１６，１７を有する。偏向素子５０は、枠状の支持部１１、その枠内に配置されてミラー部６３を有する偏向部５３、その両側に配置され支持部１１に一端が連結され互いに対向配置されたアーム５４，５５及び５６，５７、アーム５４，５５及び５６，５７の他端と偏向部１１とを連結する梁部５８，５９及び６０，６１を有する。偏向部１１，５３の各重心は光Ｌの光路上に位置する。 （もっと読む）

【課題】本発明はレーザープリンタ、電子写真装置などのレーザースキャンユニットなどに用いる光学反射素子に関し、小型のレーザースキャンユニットを実現するための光学反射素子を実現することを目的とする。
【解決手段】支持体１と、この支持体１に支持された第一の支持部２と、この第一の支持部２の他端に支持された第一のアーム３と第二のアーム４とからなる音叉振動子６と、この音叉振動子６の振動中心９に支持された第二の支持部１１と、この第二の支持部１１の他端に支持されたミラー部１２とを備え、前記第二の支持部１１をミアンダ形状と、この第二の支持部１１の一部に振動を制御するためのモニター用圧電素子８を設けた構成とする。 （もっと読む）

【課題】より簡易な工程で製造されるアクチュエータ及びその製造方法を提供することを
目的とする。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、平板状の可動板(21)と可動板(21)を基板に対し
て揺動可能に支持する一対のトーションバー(24），(24)とを一体形成し、可動板(21)の
中央部に反射鏡(22)を設け、可動板(21)の周縁部に通電により磁界を発生するコイル部(2
3)と、このコイル部(23)に静磁界を与える磁界発生手段とを備え、可動板(21)とトーショ
ンバー(24)上に反射ミラー(22)と引き出し配線(26)とが導電性膜によって一体的に形成さ
れる構成を備えている。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で製造されうるアクチュエータ及びその製造方法を提供することを目
的とする。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、基板に形成された平板状の可動板(21)と、可動
板(21)の両端を基板に回動可能に支持する一対のトーションバー(24)と、可動板(21)の表
面に形成される反射膜(22)と、可動板の裏面に形成されるコイル(23)と、可動板(21)の一
部に形成されて該可動板(21)の表裏面を貫通する貫通孔部(31)とを備え、可動板(21)とト
ーションバー(24)の表面に形成される導電性膜によって反射膜(22)が形成され、該導電性
反射膜(22)とコイル(23)の一端とが貫通孔部(31)で接続され、該コイル(23)の他端がトー
ションバー(34)の裏面に延在する(28)。 （もっと読む）

【課題】大型化を招くことなく、共振振動を十分に抑制することができる光走査装置、画像表示装置及び網膜走査型画像表示装置を提供する。
【解決手段】光走査装置は、枠体と、入射した光を反射する反射ミラー面を有する反射ミラー部と、前記反射ミラー部を前記枠体に支持させるミラー支持部とを備えている。光走査装置は、ミラー支持部を通り、反射ミラー面を横断する軸を中心として反射ミラー部を駆動させることによって、光を走査させる。光走査装置は、枠体とミラー支持部とを別体に設けた。 （もっと読む）

【課題】光学素子の側方に光源を配置でき、システムの小型化に対応できる光学素子及びそれを用いた光学装置及び表示装置を提供する。
【解決手段】第１の面上において第１の方向に配列された、互いに平行な複数の第１の梁体と、前記第１の梁体のそれぞれの間に前記第１の梁体と平行に設けられた第２の梁体と、を備え、前記第１の梁体は、前記第１の方向における幅が前記第１の面に対する垂直上方に向けて漸減するように、隣接する前記第２の梁体に面した側面が傾斜してなり、前記第２の梁体は、前記第１の方向における幅が前記第１の面に対する垂直上方に向けて漸増するように、隣接する前記第１の梁体に面した側面が傾斜してなり、前記第１の方向にみた前記第１の梁体と前記第２の梁体との間の間隔が可変とされたことを特徴とする光学素子が提供される。 （もっと読む）

【課題】振動子の共振周波数を簡易な回路構成により計測しかつ調整することができるようにしたアクチュエータを提供する。
【解決手段】可動板(13)と、支持部(11)と、可動板を上記支持部に振動可能に支持するトーションバー(14)と、トーションバーに形成される角度検出センサ(20)と、可動板を振動させる駆動手段(30)と、可動板とトーションバーで構成される振動子(13,14)の共振周波数を調整する共振周波数調整手段(30)と、を備え、角度検出センサ(20)は、バイアス電流(I_B)の供給を受けてトーションバーのねじれに応じた電圧を発生するピエゾ抵抗(21)を含み、共振周波数調整手段は、振動子に設定すべき共振周波数に対応してピエゾ抵抗に供給されるバイアス電流のレベルを調整する可変電流源(34)を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は二軸駆動の光学反射素子において、振動の周波数比を大きくすることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部１と、このミラー部１と支持部２で連結された音叉形振動子３と、この音叉形振動子３と支持部５で連結され、音叉形振動子３およびミラー部１の外周を囲う枠体６と、この枠体６を介して対向し、この枠体６とそれぞれ支持部７で連結される対の音叉形振動子８と、これらの音叉形振動子８とそれぞれ支持部１０で連結された支持体１１とを備え、音叉形振動子３の回転軸１８と音叉形振動子５の回転軸１７とは垂直な関係であって、音叉形振動子８のアーム１４、１５の先端には、それぞれ外側へ突出する突起部１６Ａ、１６Ｂが形成されているものとした。これにより本発明は、二軸駆動の光学反射素子において、振動の周波数比を大きくすることができる。 （もっと読む）

【課題】低コストで、より簡単な形状で折れにくい捩り梁と、捩り回転時に梁が折れ難く、振れ角が大きい前記捩り梁を用いた光走査装置を提供する。
【解決手段】捩り梁１の端部の厚み方向に曲線をつける。これにより、捩り梁１の折れの原因となり得るせん断応力の影響が小さくなることに加えて、引っ張り応力の集中が緩和される。 （もっと読む）

【課題】常に安定した駆動を行うことができる光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】回動可能に構成された光スキャナ部１と、光スキャナ部１を回動駆動させるための駆動部４とを備え、光スキャナ部１を回動させることにより、光スキャナ部１で反射した光を対象物に走査する光スキャナ装置１０であって、光スキャナ部１の駆動状態を検出する駆動検出部５と、光スキャナ部１周辺の温度を測定する温度測定部８と、光スキャナ部１に照射される光の照射量を出力する照射量提供部９と、測定された周辺温度と光の照射量に基づいて、熱の影響による光スキャナ部１の共振周波数の変化を補正するための補正値を算出する補正値演算部７と、駆動検出部５の検出結果と補正値演算部７によって算出された補正値に基づいて、駆動部４が光スキャナ部１を自己の共振周波数で捩り変形させるよう制御する駆動制御部６を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明はレーザープリンタなどのレーザースキャンユニットなどに用いる小型の光学反射素子を実現することを目的とする。
【解決手段】支持体１に支持された第一の支持部２ａ，２ｂと、第一のアーム３ａ，３ｂと第二のアーム４ａ，４ｂを有する音叉振動子６ａ，６ｂと、第二の支持部１１ａ，１１ｂと、ミラー部１２とを備え、音叉振動子６ａ，６ｂをミラー部１２に対向配置させ、振動中心９ａ，９ｂとミラー部１２の回転軸とを同一線上に配置し、第一の支持部２ａ，２ｂおよび第二の支持部１１ａ，１１ｂをミアンダ形状とした構成とする。 （もっと読む）

【課題】本発明はレーザープリンタなどのレーザースキャンユニットなどに用いる小型の光学反射素子を実現することを目的とする。
【解決手段】支持体１に支持された第一の支持部２ａ，２ｂと、第一の支持部２ａ，２ｂに支持された第一のアーム３ａ，３ｂと第二のアーム４ａ，４ｂを有する音叉振動子６ａ，６ｂと、振動中心９ａ，９ｂに支持された第二の支持部１１ａ，１１ｂとミラー部１２とを備え、音叉振動子６ａ，６ｂをミラー部１２に対向配置させ、振動中心９ａ，９ｂとミラー部１２の回転軸とを同一線上に配置し、第一のアーム３ａ，３ｂと第二のアーム４ａ，４ｂに突起部を設けた構成とする。 （もっと読む）

【課題】常に安定した駆動を行うことができる光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】回動可能に構成された光スキャナ部１と、光スキャナ部１を回動駆動させるための駆動部４とを備え、光スキャナ部１を回動させることにより、光スキャナ部１で反射した光を対象物に走査する光スキャナ装置１０であって、光スキャナ部１周辺の温度を測定する温度測定部７１と、光スキャナ部１に照射される光の照射量を出力する照射量提供部７２と、測定された周辺温度と光の照射量に基づいて、光スキャナ部１周辺の温度変化量を算出する温度変化量演算部７と、温度変化量に基づいて、光スキャナ部１周辺の温度を一定に保つように制御する周辺温度制御部８を備えたものである。 （もっと読む）