【課題】可動構造体において、外部から衝撃が加わってもヒンジが破損しないようにし、耐衝撃性を高める。
【解決手段】光走査ミラー１は、可動板２と、可動板２の両側部に一端部がそれぞれ接続されており、可動板２の１つの揺動軸を構成する一対のヒンジ３と、可動板２の周囲を囲むように配され各ヒンジ３の他端部を支持する固定フレーム４と、固定フレーム４に形成されたストッパ部６を備えている。ストッパ部６は、ヒンジ３の側方にヒンジ３に沿うように形成されており、その先端部が、可動板２のヒンジ３が接続された部位に形成された凹部２ｅの内側に位置するように配置されている。可動板２が側方に変位すると、ストッパ部６が凹部２ｅの側縁部に接触し、可動板２の側方への変位が制限され、外部から衝撃が加わってもヒンジ３の破損が防止される。 （もっと読む）

【課題】可動構造体において、ヒンジ部のねじり剛性を抑制しつつ引張り剛性や曲げ剛性を高めて、可動板の揺動動作の安定性を高める。
【解決手段】１対の支柱部３ａ及びこの１対の支柱部３ａに渡されている桟部３ｂによって、中抜き部３ｃを有するはしご形状のヒンジ部３を形成し、可動板２を回動自在に支持する。ヒンジ部３の中抜き部３ｃによってヒンジ部３の回動軸周りのねじり剛性を抑制しつつ引張り剛性や曲げ剛性を高める。 （もっと読む）

【課題】半導体機械構造体において、外部から衝撃が加わってもヒンジが破損しないようにし、耐衝撃性を高める。
【解決手段】光走査ミラー１は、ＳＯＩ基板２００からなる半導体部１００と、半導体部１００の上面、下面に接合されたガラス基板を用いてなる上部保護基板１１０及び下部保護基板１２０を有している。半導体部１００において、可動部５０は、第１ヒンジ５により固定フレーム４に揺動可能に軸支されている。上部保護基板１１０の凹部１１２ａには、可動部５０の揺動軸に向け、ストッパ１１５が突設されている。下部保護基板１２０の凹部１２１には、可動部５０の揺動軸に向け、ストッパ１２５が突設されている。ストッパ１１５及びストッパ１２５が設けられていることにより、可動部５０のｚ方向の変位が制限され、外部から衝撃が加わっても第１ヒンジ５の破損が防止される。 （もっと読む）

【課題】可動構造体において、ヒンジ部のねじり剛性を抑制しつつ引張り剛性や曲げ剛性を高めて、可動板の揺動動作の安定性を高める。
【解決手段】１対のフランジ部３ａ及びこの１対のフランジ部３ａに渡されているウェブ部３ｂによって、肉盗み部３ｃを有する断面Ｕ字形状のヒンジ部３を形成し、可動板２を回動自在に支持する。ヒンジ部３の肉盗み部３ｃによってヒンジ部３の回動軸周りのねじり剛性を抑制しつつ引張り剛性や曲げ剛性を高める。 （もっと読む）

【課題】ミラー表面の平滑性を向上させたマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイスは、トーションバーと、トーションバーの一端に支持されたミラーと、トーションバーの他端が結合された基板と、ミラーを揺動させる揺動部とを備える。ミラーは、母材と、母材の表面粗さを平滑化するための平滑化層と、平滑化層の上に形成された反射面とを備える。 （もっと読む）

【課題】製造誤差による振動特性の相違を解消し得る、板波振動を利用した光走査装置を提供すること。
【解決手段】基板と、前記基板に板波振動を励起する駆動手段と、前記基板に連結されたねじりばね部材と、前記ねじりばね部材に連結され、前記基板の板波振動により励起される前記ねじりばね部材の捩れ振動により、前記ねじりばね部材を揺動中心軸として揺動する揺動部材と、前記揺動部材に形成された光反射面と、を備え、前記基板又は前記揺動部材の少なくともいずれか一方が、トリミング用の突出片部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 従来は、基板に発生した板波の節の位置とミラーの回転軸の位置とがずれて、ミラーの回転軸が基板の厚み方向に変動する虞がある。
【解決手段】 基板に設けられた支持部により支持されたミラー部１３０を揺動させ、光源からの光を当該ミラー部により反射させて走査させる光走査装置であって、基板１００上に設けられ当該基板に板波を発生させるための圧電素子１１０と、圧電素子１１０を駆動する駆動回路２００と、圧電素子の駆動を制御すると共に、ミラー部１３０の駆動周波数に対応する板波の基準波長に対して、１／２倍、又は、１／３倍の波長の板波を重畳させるように駆動回路２００を制御する制御部４００とを有する。 （もっと読む）

【課題】高速駆動が可能でかつミラー面の動撓みを低減可能なマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】トーションバーと、トーションバーの一端に支持されたミラーと、トーションバーの他端が結合された基板と、ミラーを揺動させる揺動部とを備え、ミラーにダイヤモンドライクカーボン膜を形成したことを特徴とするマイクロミラーデバイスが提供される。 （もっと読む）

【課題】ねじり振動する振動ミラーにより光を走査する光走査装置において振動ミラーのねじり振動軸が長くてもコンパクトな装置を提供する。
【解決手段】振動ミラー１０によって走査された光を９０度折り曲げる走査光反射ミラー５８を設けるとともに、走査レンズ５４を通過する走査光が形成する平面に対して、光源からの光を走査する振動ミラー１０のねじり振動軸を構成する梁３を平行に配置することで、ねじり振動軸が長くなっても装置の高さをコンパクトに抑えることが可能である。 （もっと読む）

【課題】駆動効率の向上及びデバイスの小型化が可能な、電磁駆動型の光スキャナ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】弾性連結部１３を捩り変形させながら可動板１１を回動させることにより、可動板１１で反射した光を対象物に走査する光スキャナ装置の製造方法であって、デバイス基板２０に、可動板１１、弾性連結部１３、及びコイル１５を形成する第１の工程と、デバイス基板２０上の、支持枠１２の境界にミシン目Ｆを形成する第２の工程と、支持枠１２をデバイス基板２０を支持するための支持基板３０に固定することにより、デバイス基板２０と支持基板３０を接合する第３の工程と、デバイス基板２０の一部をミシン目Ｆに沿って切り離し、除去する第４の工程と、支持基板３０上の、第４の工程でデバイス基板２０の一部を除去した領域に、コイル１５に磁界を与えるための永久磁石１４ａ，１４ｂを配置する第５の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】支持基板の小型化が可能な圧電薄膜デバイス、および、その製造方法を提供する。
【解決手段】矩形板状の単結晶基板からなる支持基板１と、支持基板１の一表面側に形成された可動部１０とを備え、可動部１０が、支持基板１の一表面側に立設され、支持基板１の厚み方向に直交する規定方向において離間した一対の短冊状の電極１２，１２と、支持基板１の一表面側に形成した圧電薄膜を用いて形成され、規定方向において一対の電極１２，１２間に介在する短冊状の圧電層１１とを有する。また、可動部１０は、一対の電極１２，１２および圧電層１１を覆う形で支持基板１の厚み方向に板状の変位量増大部１４が立設されている。一対の電極１２，１２間に電圧を印加していない状態で、発光デバイス（例えば、半導体レーザなど）からの光を阻止し、一対の電極１２，１２間に電圧を印加した状態で光を通過させることができる光スイッチを構成できる。 （もっと読む）

【課題】効率よく駆動することが可能な静電駆動型光スキャナを得る。
【解決手段】静電駆動型光スキャナは、可動部と電極部１２０とから構成される。電極部１２０が設けられる層の下、つまり可動部と対向する面の裏と対向する位置に、配線層９００が設けられる。配線層９００には、Ｘ正配線９７１、Ｘ負配線、Ｙ正配線９８１、及びＹ負配線９８２が設けられる。Ｘ正配線９７１は、Ｘ正電極７０１の裏まで延び、Ｘ正接続ビア７１１によりＸ正電極７０１と電気的に接続される。Ｘ負配線も同様にしてＸ負接続ビア７１２によりＸ負電極７０２と電気的に接続される。Ｙ正配線９８１は、Ｙ正配線接続部８１１の裏まで延び、Ｙ正接続ビア８１３によりＹ正配線接続部８１１と電気的に接続される。Ｙ負配線９８２も同様にしてＹ負接続ビア８１４によりＹ負配線接続部８１２と電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】可動子の揺動運動が安定し、ジッタの発生が効果的に抑制される光偏向器などとして構成され得る揺動体装置を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、回転軸の回りに揺動可能に支持された少なくとも1つの可動子105、109を含み、可動子の揺動時の渦気流を規制する渦気流規制部材111を備える。渦気流規制部材111は、可動子の揺動運動により回転軸から最遠の位置にある可動子109の端部が描く軌跡曲面の少なくとも一部に近接して伸びる近接面を有する。近接面は凹凸形状201、202を持つ。揺動体装置は光偏向器として構成される場合、1つの可動子109に光偏向素子108が設けられ、少なくとも1つの可動子105にトルクを印加して可動子を揺動させる駆動手段104、110が備えられる。 （もっと読む）

【課題】電極と可動部との接触を防止することが可能な静電駆動型アクチュエータを得る。
【解決手段】静電駆動型光スキャナ１００は、可動部１１０と電極部１２０とから構成される。電極部１２０は、第１の可動部２００を駆動するためのＸ方向電極と、第２の可動部３００を駆動するためのＹ方向電極８００とから成る。Ｘ方向電極及びＹ方向電極８００は、電極基板１２１に設けられ、電極基板１２１の表面に穿たれた凹部の底部に設けられる。Ｘ方向電極は、円盤を直径で二分して得られる２つの略半円であるＸ正電極７０１とＸ負電極７０２からなり、それぞれにＸ正突起７２１及びＸ負突起７２２が設けられる。第１の可動部２００の軸方向から見たとき、Ｘ正突起７２１及びＸ負突起７２２は、Ｘ方向電極の中心軸上に中心を置く円上に設けられる。可動部１１０の回転角度が大きくなると、可動部１１０はＸ正突起７２１と衝突する。 （もっと読む）

【課題】効率よく駆動することが可能な静電駆動型アクチュエータを得る。
【解決手段】静電駆動型光スキャナ１００は、正十二角形柱である可動体１１０と、可動体１１０の周囲に設けられるＸ方向支持体１２０、１３０と、可動体１１０とＸ方向支持体１２０、１３０とを接続するＸ方向接続体１４０、１５０と、Ｘ方向支持体１２０、１３０の周囲に設けられるＹ方向支持体１６０、１７０と、Ｘ方向支持体１２０、１３０とＹ方向支持体１６０、１７０とを接続するＹ方向接続体１８０、１９０とから主に構成される。第１から第４のＸ正方向駆動電極１２１、１２２、１２３、１２４は、可動体１１０の中心を通るいずれの直線に対しても互いに対称とならないように配置される。 （もっと読む）

【課題】効率よく駆動することが可能な静電駆動型アクチュエータを得る。
【解決手段】静電駆動型光スキャナ１００（静電駆動型アクチュエータ）は、円盤形状の第１の可動部２００と、第１の可動部２００を取り囲む環状の第２の可動部３００と、第２の可動部３００を取り囲む環状の枠部４００とから主に構成される。第１の可動部２００の外周面２０２と第２の可動部３００の内周面側切欠３１１、３１２とを接続する第１の支持部５０１、５０２が設けられる。第１の支持部５０１、５０２は、直方体の板状部材を幅方向に幾重にも折り畳んだ形状であって、捻り方向に弾性を有し、第１の支持部５０１、５０２を軸として第２の可動部３００に対し揺動可能に第１の可動部２００を支持する。Ｘ方向電極７００は、円盤を直径で二分して得られる２つの略半円７０１、７０２からなる。Ｙ方向電極８００は、環形状を直径で二分して得られる２つの略半輪からなり、内周にＸ方向電極７００を納める。 （もっと読む）

【課題】ミラーデバイスと支持基板の位置がずれないように正確に接合することが可能な光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】光反射部２１３を備えた質量部２１と、質量部２１を支持するための支持部２４，２５と、質量部２１を回動可能に支持部２４，２５に連結する、弾性部を備えた連結部２２，２３とが形成された基体２に凹部６１ａ，６１ｂが形成され、基体２と接合し、基体２を支持する支持基板３に凹部６１ａ，６１ｂにはまる凸部６３が形成されている。凸部６３は半田合金をボール状に配置することにより形成されている。凹部６１ａの表面には金属膜６２が形成され、凹部６１ａの金属膜６２と凸部６３を半田接合することにより、凹部６１ａと凸部６３は固定される。一方、凸部６３は凹部６１ｂにはめ込まれるが固定はされない。 （もっと読む）

【課題】回路構成を複雑にすることなく、連続的にマイクロミラーの共振周期を測定できる静電型マイクロミラー駆動システムを提供する。
【解決手段】静電型マイクロミラー駆動システムは、静電力によって駆動されるマイクロミラーを備える。マイクロミラーの駆動用周期Ｔよりも短い測定用周期Ｔｓを有するパルスに対応した電力を、マイクロミラーに供給する電源部を備える。パルスに基づいて、マイクロミラーに流れる電流の電流値を測定する測定部を備える。パルスに基づく、マイクロミラーへの入力電圧の平均値と時間との関係は、駆動用周期Ｔを有する波形で示される。駆動用周期Ｔは、電流値に基づくマイクロミラーの駆動状態に応じて設定される。 （もっと読む）

【課題】この発明は、機軸方向を含む広範囲において、空間安定性能を有し、小型で、かつ大きい受信開口径を有する視軸指向装置を得る。
【解決手段】クーデ光学系を構成する第１乃至第４ミラー７〜１０が、レーザ光Ｌを放射するとともに、目標物からの反射光を入射する第１レンズ１１と、第１レンズ１１に入射した目標物からの反射光をレーザ光送受信部４に集光する第２レンズ１３との間に配設され、第１レンズ１１と協働してアフォーカル光学系を構成する第３レンズ１２が第３ミラー９と第４ミラー１０との間に配設されている。第１ミラー７が第１ミラー回転手段１５により第１ミラー回転軸ＭＡまわりに回転可能に、第１レンズ１１が第１レンズ回転手段１６により第１ミラー７の回転動作に連動して第１ミラー回転軸ＭＡまわりに回転可能に、第１ミラー７と第１レンズ１１とがジンバル装置１７により一体にジンバル回転軸ＧＡまわりに回転可能になっている。 （もっと読む）

【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、質量部を互いに直交する２軸のそれぞれの軸まわりに回動させることができるアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】電源回路５は、第１の周波数で周期的に変化する第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２を発生する第１の電圧発生部５１と、第１の周波数と異なる第２の周波数で周期的に変化する第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２を発生する第２の電圧発生部５２と、第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２と第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２とを重畳する電圧重畳部５３とを備え、電圧重畳部５３で重畳された電圧を各圧電素子４１、４２、４３、４４に印加することにより、質量部をこれを支持する１対の弾性部に沿った第１の軸線まわりに第１の周波数で回動させつつ第１の軸線に直交する第２の軸線まわりに第２の周波数で回動させるように構成されている。 （もっと読む）