【課題】本発明は、小型かつ低消費電力で、高感度の傾動駆動を実現できる圧電アクチュエータを提供することを目的とする。
【解決手段】第１の方向に延在し、駆動対象物３０を前記第１の方向の両側から支持する１対の中心梁４０、４０ａと、
前記第１の方向と略直交する第２の方向に平行に延在する複数の梁５７、５７ａ、５８の、隣接する端部同士が両端で交互に連結されたジグザグ状の梁群を含んで構成されるとともに、各梁が圧電素子２０を備え、該圧電素子の伸縮変形により前記第２の方向の傾き角度の蓄積が可能な１対の蛇行型梁５０、５０ａと、
前記駆動対象物、前記中心梁及び前記蛇行型梁を取り囲む固定枠１２０と、を有する圧電アクチュエータであって、
前記１対の蛇行型梁は、一端が前記固定枠に連結され、他端が前記固定枠との連結位置から遠い方の前記中心梁の端部に連結されるとともに、前記駆動対象物及び前記中心梁を両側から囲むように配置されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＳＯＩ基板を用いて作製されるミラー構造体の両面に、より容易に所望とする形状の金属膜が形成できるようにする。
【解決手段】金属膜１０６の表面に電着レジストを電着することで、電着レジスト層１０７を形成し、電着レジスト層１０７をフォトリソグラフィーによりパターニングし、ミラー部１３１の金属パターン１４１と対向する領域に、電着レジストパターン１７１を形成する。電着レジストパターン１７１は、ミラー部１３１の裏面側の金属パターン１４１に対向して形成する金属パターンの領域を被覆するように形成する。 （もっと読む）

【課題】所望の方向に光を正確に反射するマイクロミラー装置を得る。
【解決手段】カバーガラス２００は、平板状の直方体であって、カバーガラス底面２０２には、ＣｄＳを蒸着して形成される光検出部材が設けられる。光検出部材は、第１から第６のＸ方向光検出部ＰＤｘ１−ＰＤｘ６と、第１から第６のＹ方向光検出部ＰＤｙ１−ＰＤｙ６とから成る。第１のマイクロミラー装置１０は、カバーガラス底面２０２上において、第１の可動部１２０が、第１のＹ方向光検出部ＰＤｙ１と第２のＹ方向光検出部ＰＤｙ２との間から第５のＹ方向光検出部ＰＤｙ５と第６のＹ方向光検出部ＰＤｙ６との間まで、第２の可動部１３０が、第１のＸ方向光検出部ＰＤｘ１と第２のＸ方向光検出部ＰＤｘ２との間から第５のＸ方向光検出部ＰＤｘ５と第６のＸ方向光検出部ＰＤｘ６との間までレーザ光を反射するように制御される。 （もっと読む）

【課題】従来の反射ミラー駆動機構は、コイル磁石から発生される磁力の向き及び大きさを制御して反射ミラーの角度を決定してレーザ光線を走査させるので、より確実に反射ミラーを回転揺動させるためにヒンジの反発力よりも大きな駆動力が必要となり、消費電力が大きくなっている。
【解決手段】本発明による反射ミラー駆動機構では、反射ミラー３０は、フレクチャヒンジ体２０を介して枠体１０に取付けられている。フレクチャヒンジ体２０には、トルカ４０と角度検出器５０とが設けられており、駆動制御部６０は、角度検出器５０からの角度信号５０ａに基づいてとるか４０への入力電流６０９ａを制御して、反射ミラー３０を共振周波数ｆ_０で回転揺動させる。 （もっと読む）

【課題】小さな駆動電圧で、光スキャナの大きな光学振れ角を得られる光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、反射ミラー２と、可動梁３ａと、駆動部４ａ、４ｂと、固定部５とを備えている。反射ミラー２は、揺動軸線ＡＸの回りに揺動可能で、入射した光束を反射して、走査する反射面６を備える。可動梁３ａは、第１梁部７ａと、第２梁部８ａ、８ｂとから構成される。第１梁部７ａは、反射ミラー２に連結する。第２梁部８ａ、８ｂは、第１梁部７ａ、及び固定部５に連結する。駆動部４ａ、４ｂは、各々、第２梁部８ａ、８ｂと固定部５とに跨って設けられ、可動梁３ａを振動させる。第２梁部８ａ、８ｂは、各々、反射面６に平行な面上で、且つ揺動軸線ＡＸに垂直な方向、即ち、Ｘ軸方向において、第１梁部７ａと第２梁部８ａ、８ｂとが連結する連結部ＣＰの近傍における第１梁部７ａの連結梁１１ａ、１１ｂよりも幅広い。 （もっと読む）

【課題】
ＭＥＭＳを用いた広角の光スキャナを実現する。
【解決手段】
光マイクロスキャナは、曲面反射板３０を用いて広い回転角を実現する。本光マイクロスキャナは、入射ビーム２５を受信し反射して反射ビーム３５を生成する可動ミラー３０と、可動ミラー３０の直線変位を発生させる微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）アクチュエータ４０とを含む。曲面反射板は、可動ミラーの直線変位に基づいて反射ビーム３５の角度回転θを発生させる。 （もっと読む）

【課題】梁の一部に形成されたステップ部、又はテーパ部にかかる応力集中が軽減される光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、反射ミラー２と、可動梁３ａ、３ｂと、駆動部４ａ〜４ｄと、固定部５と、延出部６ａ〜６ｄとを備えている。反射ミラー２は、揺動軸線ＡＸの回りに揺動可能で、入射した光束を反射して、走査する反射面７を備える。可動梁３ａ、３ｂは、第１梁部８ａ、８ｂと、第２梁部９ａ〜９ｄとから構成される。延出部６ａ〜６ｄは、各々、反射面７に平行な面上で、且つ揺動軸線ＡＸに垂直な方向、即ちＸ軸方向において、第１梁部８ａ、８ｂと、第２梁部９ａ〜９ｄとが連結する連結部ＣＰの近傍の両側から延出する。 （もっと読む）

【課題】駆動手段に入射した光による迷光を低減することのできる光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光学デバイス１は、外部から入射される光の分布範囲Ｂ内に配置され、当該光を反射する金属膜１１を有する可動板１０と、可動板１０を軸Ａ周りに揺動可能に支持する軸部材２０と、可動板１０に設けられる永久磁石６１と、永久磁石６１との間に電磁力を発生させ、可動板１０を揺動させるように構成されたコイル６２及び交流電流信号発生器（電源）６３とを備え、コイル６２及び交流電流信号発生器（電源）６３における光の分布範囲Ｂ内に含まれる部分が、光を所定範囲外に反射させるような法線ベクトルを有する面で構成されている。 （もっと読む）

【課題】自由度連成振動系を構成した光走査装置において鏡面部の振動振幅を大きくする
【解決手段】光走査装置１は、ミラー１３、内ジンバル１２、外ジンバル１１、支持部３、弾性連結部１６ａ，１６ｂ、弾性連結部１５ａ，１５ｂ、及び弾性連結部１４ａ，１４ｂが、固有の周期的外力が作用した場合に大きい回転角で捩じり振動する３自由度連成振動系を構成する。このため、櫛歯電極部１７，１９と櫛歯電極部４ａ，４ｂとの間に電圧を印加して、固有の周期的外力を外ジンバル１１に作用させることにより、３自由度捻り振動子を共振状態にできる。そして、外ジンバル１１の回転角度が、外ジンバル１１に作用するトルクが最大となるときの外ジンバル１１の回転角度を含む予め設定された電圧印加角度範囲内（トルクが最大トルクの９０％以上となる範囲）にあるときに、電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】回動するミラーを有するマイクロミラー装置において、ミラー部の慣性モーメントに大きく影響を与える重量の増加を最低限に抑えつつ、ミラー部の剛性を向上させて往復振動時の反りや変形を極力低減させることができるように、ミラー部の構成について工夫すること。
【解決手段】トーションバーを介してミラー部がフレームに対して回動可能に連結されたマイクロミラー装置を前提として、上記ミラー部は、引張り応力を有する層(12a)と圧縮応力を有する層(12b)とを交互に積層した応力制御層(12)を含んで成ることである。 （もっと読む）

【課題】騒音を低減する光スキャナーを提供する。
【解決手段】光反射性を有する光反射基板１１と、光反射基板１１を支持する梁１３と、を有する第１振動子１０と、可動基板２１と、可動基板２１を支持する梁２３と、を有する副振動子２０と、第１振動子１０および副振動子２０の梁をねじれ変形させて駆動軸Ｘまわりに駆動させる磁石１４，２４とコイル１５，２５と、を備え、第１振動子１０の駆動軸Ｘに沿って各梁１３，２３が配置されることで、第１振動子１０および副振動子２０が駆動軸Ｘに対して直列に配置され、副振動子２０の駆動する周波数が第１振動子１０と同一で、かつ、位相が逆位相である。 （もっと読む）

【課題】騒音を低減する光スキャナーを提供する。
【解決手段】光反射性を有する光反射基板１１と、光反射基板１１を支持する一対の梁１３と、を有する第１振動子１０と、第１振動子１０の一対の梁１３をねじれ変形させて光反射基板１１を一定の周波数で駆動させる磁石１４およびコイル１５と、第１振動子１０と同一面に設けられた副振動子２０と、副振動子２０を一定の周波数で駆動させる磁石２４およびコイル２５と、を備え、副振動子２０の駆動する周波数が第１振動子１０と同一で、かつ、位相が逆位相である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学反射素子の損傷を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部１と、このミラー部１と第一梁２を介して連結され、この第一梁２およびミラー部１の外周を囲う可動枠３と、この可動枠３と第二梁４を介して連結された支持体５と、第一梁２および第二梁４のそれぞれの中心軸を中心にミラー部１を反復回転振動させる駆動手段と、可動枠３のＸ軸方向またはＹ軸方向の少なくとも一方の振動を抑制する抑制手段とを備えたものとした。これにより本発明は、可動枠３の過剰な振幅を抑制でき、結果として光学反射素子の損傷を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】可動部の軽量化を十分に図ることが可能な光走査装置用揺動ミラー、及び、該光走査装置用揺動ミラーを備える光走査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】固定部３１ａ、３１ｂ、可動部３２、及び、固定部３１ａ、３１ｂに対して可動部３２を揺動可能に支持する支持部３３ａ、３３ｂを有する基板３と、可動部３２の一方の面側に設けられるミラー部４と、可動部３２とミラー部４との間に介装される平面コイル５とを備えることを特徴とする光走査装置用揺動ミラー２、及び、該光走査装置用揺動ミラー２を備える光走査装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】変形部の変形量を変えることなく、共振を励起しない安定した動作が可能となる可変形状鏡システムを提供すること。
【解決手段】可変形状鏡システムは、変形部１５ａにおける最大変形量又は最小変形量、周波数の情報を受け、目標形状生成テーブル２２からの情報に基づき目標変形量情報を生成し、変換テーブル２４からの情報に基づき、目標変形量から変形部１５ａの共振周波数を含む高周波成分が低減された波形の駆動電圧指示信号を生成し、この駆動電圧指示信号に基づく駆動信号は、可変形状鏡１の第２の電極１２へ印加され、第１の電極１４と第２の電極１２の間に静電力が発生し、第１の電極１４と変形部１５ａが変形する。 （もっと読む）

本発明は、電極層間に絶縁層を有する少なくとも３つの他の電気的な電極層を備える層状マイクロエレクトロニック及び／又はマイクロメカニック構造に関する。第１の外側層内にビアが提供され、前記ビアは前記層を介してウェハ固有の材料で作られる絶縁された電極、前記層を通して導電性を提供するために他の層を介して前記第１の外側層内の前記ビアに延びる電気的導電性のプラグと、前記選択された層にあって前記材料から前記プラグを絶縁するための前記他の層の少なくとも一つの選択層における前記導電性プラグを囲む絶縁エンクロージャとを備える。さらに、少なくとも一方向にて可動されるような、窪みのうえに提供された可動部材を備えるマイクロエレクトロニック及び／又はマイクロメカニックデバイスに関する。前記デバイスは、本発明に係る層状構造を有する。そのような層状ＭＥＭＳ構造を形成する方法も提供される。
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【課題】改良された特性を有するマイクロメカニカル素子およびマイクロメカニカル素子を監視するための空間を節約するセンサを提供する。
【解決手段】マイクロメカニカル素子１００は、可動機能素子１１０と、第１から第４の保持素子１２０、１３０、１４０、１５０とを備える。第１の保持素子および機能素子が第１の接合１２２で接続され、第２の保持素子および機能素子が、第２の接合１３２で接続され、第３の保持素子および機能素子が、第３の接合１４２で接続され、かつ第４の保持素子および機能素子が、第４の接合１５２で接続される。また、第１の保持素子および第２の保持素子は、各々圧電駆動素子１２４、１３４を含み、第１の保持素子の駆動素子および第２の保持素子の駆動素子が、電気励起により機能素子を動かすよう構成される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、可動板の重量を増やすことなく、反射面の歪みを抑制できる。
【解決手段】 本発明の光走査装置は、入射光を反射させる反射面を有する可動板と、該可動板を回動可能に軸支するトーション梁と、該トーション梁にねじり方向の駆動力を作用させる駆動部とを具備し、少なくとも、可動板とトーション梁の接続部分付近にリブを形成する。 （もっと読む）

【課題】デバイス特性に関わらず、マイクロミラーを効果的に大きく傾斜させる。
【解決手段】トーションバー１４Ａ、１４Ｂを介してマイクロミラー１２が揺動可能に支持されるマイクロミラーデバイス１０において、櫛歯状の可動電極部２０Ａ、２０Ｂ、固定電極部３０Ａ_１、３０Ａ_２、３０Ｂ_１、３０Ｂ_２をそれぞれマイクロミラー１２、支持フレーム１６に形成する。そして、可動電極２６Ａ_１〜２６Ａ_６、２６Ｂ_１〜２６Ｂ_６、固定電極３６Ａ_１〜３６Ａ_６、３６Ｂ_１〜３６Ｂ_６をＸ軸に沿って交互に配置する。このとき、各可動電極はマイクロミラー側に隣接する固定電極に近接配置する。 （もっと読む）

【課題】初期駆動に必要な印加電圧を抑えながら、マイクロミラーを容易に傾斜させる。
【解決手段】トーションバー１４Ａ、１４Ｂを介してマイクロミラー１２が揺動可能に支持されるマイクロミラーデバイス１０において、マイクロミラー１２と一体的に形成された櫛歯形状の可動電極部２０Ａ、２０Ｂに、Ｘ軸に沿ってその先端部がマイクロミラー１２に向けて延びる可動電極２６Ａ_１〜２６Ａ_４、２６Ｂ_１〜２６Ｂ_４を設ける。一方、支持フレーム１６と一体的に形成された櫛歯形状の固定電極部３０Ａ_１、３０Ａ_２、３０Ｂ_１、３０Ｂ_２に、Ｘ軸に沿ってその先端部が支持フレーム１６に向けて延び、可動電極２６Ａ_１〜２６Ａ_４、２６Ｂ_１〜２６Ｂ_２とそれぞれ交互にピッチ間隔ｓで近接配置される固定電極３６Ａ_１〜３６Ａ_４、３６Ｂ_１〜３６Ｂ_４を設ける。 （もっと読む）