【課題】主走査方向と副走査方向との２方向の振幅をそれぞれ目標範囲に速やかに制御できる２次元光走査装置を得る。
【解決手段】第１可動部４を共振させる主走査駆動信号と、第２可動部６を共振させる副走査駆動信号とに応じた駆動信号Ｖを駆動部に出力して第３可動部１２を振動させて第１可動部４と第２可動部６とを共振させる信号生成部５０を備える。また、主走査駆動信号と副走査駆動信号との各制御パラメータのうち、第１可動部４の振幅変化への寄与が大きく第２可動部６の振幅変化への寄与が小さい第１制御パラメータと、第２可動部６の振幅変化への寄与が大きく第１可動部４の振幅変化への寄与が小さい第２制御パラメータとにより、駆動信号Ｖを調整し、振幅を制御する制御部６６を備える。制御部６６は検出される第１可動部４と第２可動部６との振幅に基づいて両制御パラメータを調整する。 （もっと読む）

【課題】表面側保護基板を通してデバイス本体のパッドと実装基板の導体パターンとを電気的に接続でき、且つ、デバイス本体に不要な応力がかかるのを抑制しつつ電気的な接続信頼性を高めることが可能なＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され複数のパッド１３を一表面側に備えたミラー形成基板（デバイス本体）１、ミラー形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板（表面側保護基板）２を有するＭＥＭＳチップ４と、ＭＥＭＳチップ４が実装された実装基板５とを備える。第１のカバー基板２は、ミラー形成基板１の各パッド１３それぞれと接合されて電気的に接続されたシリコンからなる複数の導電部２０２が、第１のカバー基板２の厚み寸法内で設けられている。各導電部２０２と実装基板５の各導体パターン５０２とが、両者に跨って形成された半田部６を介して電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】簡便な構造で、かつ、十分な駆動力を得ることが可能な電磁力利用の光装置装置を提供する。
【解決手段】ミラー部１０、フレーム部２０、及び、ミラー部１０をフレーム部２０に支持する一対のトーションバー部１１などを磁性薄膜で一体的に形成する。そして、外部から印加される交流磁界と主としてミラー部１０の磁化成分との電磁力により、トーションバー部を捻り回転軸としてミラー部を往復振動させるための駆動トルクを発生させる。トーションバー部１１とフレーム部２０との連結部分１２は非磁性化又は弱磁性化することでもよい。 （もっと読む）

【課題】パッドから取り出す電気信号のＳ／Ｎ比を向上させることが可能なＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板１００を用いて形成されたミラー形成基板（デバイス本体）１を備える。ミラー形成基板１は、第１のシリコン層１００ａに形成され電気信号を生成する可動電極（機能部）２２と、第１のシリコン層１００ａ上に形成され電気信号を取り出すためのパッド１３ａと、第１のシリコン層１００ａにおいてパッド１３ａが形成された島状の導電部１１ａｃとを有する。導電部１１ａｃと第１のシリコン層１００ａにおける導電部１１ａｃの周辺部位とを絶縁分離するように第１のシリコン層１００ａに第１の分離部１０ａａが形成され、第２のシリコン層１００ｂのうち導電部１１ａｃおよび絶縁層１００ｃとともに寄生コンデンサを構成する部分の面積を低減するように第２のシリコン層１００ｂに第２の分離部１０ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】方向性のある力以外の力を用いてステージを移動させる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置１００は、ベース部１１０と、回転可能な被駆動部１３０と、ベース部１１０と被駆動部１３０とを接続し、且つ被駆動部１３０を一の方向に沿った軸を中心軸として回転させるような弾性を有する弾性部１２０と、被駆動部１３０及び弾性部１２０により定まる共振周波数で被駆動部１３０が一の方向（Ｙ軸）に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように被駆動部１３０を回転させるための微振動をベース部に加える印加部１４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】照明光の走査に拘わらず、波面変調素子によって付与した所望の波面を精度よくリレーでき、かつ、装置の小型化を図る。
【解決手段】光源２からの照明光を、その光軸に交差する方向に走査する走査機構９と、該走査機構９に固定され、光源２から入射された照明光の波面を変調して射出する波面変調部８とを備えるスキャナ４を提供する。また、光源２からの照明光を、その光軸に交差する方向に走査する走査機構９と、光源２と走査機構９との間の光路上に走査機構９との間に間隔を空けて配置され、光源２から入射された照明光の波面を変調して走査機構９に射出する波面変調部８とを備え、該波面変調部８が、該波面変調部８から走査機構９までの光路において波面に発生する変化を相殺する波面を、照明光に付与する波面に加算して付与するスキャナ４を提供する。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の重量増加を最小限に抑えつつ、ミラー部の剛性を高め、ミラーが往復振動した場合でも反りや変形が生じることを防止できるマイクロミラー装置を実現する。
【解決手段】対向する一対の捻り梁によって往復振動可能な状態でフレーム部材に連結されたミラー基板と、該ミラー基板に対して前記捻り梁を回転中心として往復振動させるための駆動手段を有するマイクロミラー装置において、前記ミラー基板101は、少なくとも応力制御の機能を有する応力制御層102と、反射層103と、増反射機能を有する増反射膜104を備え、前記応力制御層102は、引っ張り応力を有する層102-aと圧縮応力を有する層102-bとを交互に積層した多層構造であることを特徴とするので、質量の増加を最低限に抑えつつ剛性を高めることができ、ミラーの平坦性の確保や往復振動時の変形を効果的に抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】従来のミラー部のサイズに比べて装置全体のサイズを小さくできる、圧電駆動方式の光走査装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光ビームを反射するミラー部２と、圧電素子を備えて圧電駆動部として機能する可動支持体３Ａ〜３Ｄと、可動支持体３Ａ〜３Ｄを囲む固定枠部４とを備え、ミラー部２と可動支持体３Ａ〜３Ｄの互いに近接する端部の内側角部とを連結するトーションバー５、６で可動支持体３Ａ〜３Ｄの内側にミラー部２を軸支し、トーションバー５、６と軸方向が直交するように固定枠部４と可動支持体３Ａ〜３Ｄの前記内側角部と対角位置にある各外側角部とを連結するトーションバー機能を有する連結部７Ａ〜７Ｄで固定枠部４の内側に可動支持体３Ａ〜３Ｄを軸支し、圧電素子に駆動信号を印加してミラー部２を揺動駆動する構成とした。 （もっと読む）

【課題】振動ミラーの共振周波数のばらつきを防止し、個別に共振周波数を高精度に調整することが可能な光走査装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】ウエイト量決定装置のカメラにより金属構造体２０を平面視で撮影して、画像から所定の画像処理により捩り梁１１の画像を切り出し、ウエイト量決定装置のＣＰＵが所定の画像処理プログラムを実行することにより梁幅を測定する。ウエイト量決定装置のＣＰＵがＨＤＤのウエイト量テーブル記憶エリアに記憶されているウエイト量テーブルを参照して、測定した捩り梁の梁幅から塗布するウエイトの量を決定する。ウエイト量決定装置のＣＰＵが、測定された梁幅に基づいて、ウエイト量テーブルを各々参照して、ディスプレイに一例として、「梁結合部：０．１mm^３」や「ミラー裏：０．０１mm^３ 」と表示する。その後、ウエイト４０が梁結合部６又はミラー５の裏面に塗布される。 （もっと読む）

【課題】短絡を防止しつつ、駆動効率を向上することができる圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】圧電アクチュエータ３９に、板状の圧電体４１と、前記圧電体４１の一方の面４１ｂに設けられた第１の電極４３と、圧電体４１の他方の面４３ａに設けられた第２の電極４４と、を含む圧電素子４０と、貫通孔１６ｈが設けられた導電性の振動板１６と、振動板１６と第１の電極４３とを接着する接着部５０と、を備え、貫通孔１６ｈは、振動板１６の片側の面１６ａにおいて貫通され、その片側の面１６ａと面４３ｂとの間の領域に設けられ、接着部５０は、貫通孔１６ｈの周りを囲むように設けられ、片側の面１６ａと面４３ｂとを接着する絶縁性接着部５２と、貫通孔１６ｈの内部に設けられ，面４３ｂと貫通孔１６ｈの内周とを接着する導電性接着部５１と、を設ける。 （もっと読む）

【課題】偏向手段の透過率が偏向手段の位置により変わらず均一で、かつ、出力画面の明るさの面内分布が一様な、薄型でコンパクトな透過型表示装置を提供する。
【解決手段】本発明の透過型表示装置は、画像を表示する表示手段と、前記表示手段からの表示光の一部をユーザの方向に偏向させるとともに、表示光以外の光を透過させる偏向手段とを備え、前記偏向手段の一部領域である領域Ａと、領域Ａとは異なる領域である領域Ｂにおいて、前記領域Ａでの透過率Ａと前記領域Ｂでの透過率Ｂとの透過率の差異が減少するように、前記領域Ａでの偏向率Ａと前記領域Ｂでの偏向率Ｂとの偏向率の差異を設ける。 （もっと読む）

【課題】ミラーを振動可能に維持する可動枠と、可動枠を振動可能に維持する支持枠とを有する２次元光スキャナにおいて、空気の逃げ道のためにミラーと可動枠との間及び可動枠と支持枠との間に空虚を設けていたので装置が大型化していた。
【解決手段】空洞部１１ａを有する半導体基板の可動枠１１にミラーＭ、ミラーＭを振動可能に支持する１対のトーションバー１２ａ、１２ｂ、２対の圧電アクチュエータ１３ａ、１２ｂ；１４ａ、１４ｂを形成する。空洞部２１ａを有する半導体基板支持枠２１に、可動枠１１、可動枠１１を振動可能に支持する１対のトーションバー２２ａ、２２ｂ、２対の圧電アクチュエータ２３ａ、２３ｂ；２４ａ、２４ｂを形成する。空気の逃げ道として、可動枠１１に複数の貫通孔１５を設ける。 （もっと読む）

【課題】基板の伸びとマイクロ構造体の伸びの差などによる応力の弾性支持部への伝達が低減されたマイクロ構造体を提供する。
【解決手段】マイクロ構造体１８は、電極基板などの基板９と、基板９に支持部１を固定する１つのポスト１０と、支持部１の外周に枠状に配置される可動部５と、可動部５と支持部１とを弾性的に連結する弾性支持部２、３、４を有する。弾性支持部２、３、４は、支持部１に対して枠状の可動部５を可動に支持する。弾性支持部は、ねじりバネ２、４、弾性変形可能な連結部３などにより構成される。 （もっと読む）

【課題】レンズの姿勢や外部からの衝撃に影響されにくく、高速応答が可能な可変焦点レンズを提供する。
【解決手段】互いに混ざり合わない第１流体(12)と第２流体(22)との界面(30)を光の屈折面として利用する可変焦点レンズ(10)であって、第１流体(12)が満たされる第１室(14)と第２流体（22）が満たされる第２室(24)とが開口部(18)を介して連通した構造を有する密閉容器（26）内の仕切壁（16）の一部に、弾性変形部（50）が設けられる。弾性変形部(50)は、第１流体（12）と第２流体(22)の両方に接しており、当該弾性変形部(50)の変形によって第１室(14)及び第２室(24)の体積を互いに逆方向に変化させることにより、開口部（18）の界面(30)を変形させて焦点距離を変化させる。弾性変形部(50)として、振動板(52)に圧電素子（53）を積層したダイアフラム型アクチュエータを用いることができる。 （もっと読む）

【課題】可動部の設計変位を生じ易くしながら、意図しない変形は生じ難くすることが可能なマイクロ構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロ構造体は、基板９と、基板９に固定された固定支持部４と、第１の可動部６と、第２の可動部３と、第１の可動部６と固定支持部４とを弾性的に連結する弾性支持部５を有する。第２の可動部３は第１の可動部６に固定され、第１の可動部６と第２の可動部３は、弾性支持部４により、固定支持部４に対して一体的に変位可能に弾性支持される。 （もっと読む）

【課題】トーションバー加工時のばらつきを抑制する光偏向器、光偏向器の製造方法、光学装置及び表示装置を提供する。
【解決手段】光偏向器Ａは、光を反射する可動板１と、一端が可動板に固定され、他端が支持体に固定され、可動板を回転振動可能に軸支する一対のトーションバー２ａ、２ｂと、可動板を回転振動させる駆動機構と、を備えている。このトーションバー２ａ、２ｂは、単結晶シリコンを含んでおり、また、トーションバー２ａ、２ｂの可動板１表面に垂直であってトーションバー軸支方向の断面における形状は、断面の可動板表面垂直方向の略中央部を中心線とし、略相同である２つの略等脚台形が上底及び下底の何れか短い方同士を中心線で接合した形状である。 （もっと読む）

【課題】 駆動コイルに電気信号を印加することによって可動体に発生する振動を機械的な制動機構を用いずに短時間に抑制することにある。
【解決手段】 反射ミラー１４を有する可動体１４が磁束の方向と直交する方向に配置されたトーションバー１３ａ，１３ｂに支持され、可動体の面部に施された駆動コイル２１に入力される電気信号レベルに応じて可動体が所定の振角で揺動するＭＥＭＳミラーにおいて、駆動コイル２１に電気信号を印加したとき、可動体やトーションバーの機械的要素に起因して当該可動体に発生する共振周波数の振動を検出し反転して駆動コイル２１と併設される振動抑制コイル３３に加えて抑制する振動抑制制御部３０を備えたＭＥＭＳミラー制御装置である。 （もっと読む）

【課題】複数の駆動パターンで駆動可能であり、利便性の高い光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射部２２を有する可動板２と、可動板２を支持する支持部３と、可動板２の両側に設けられ、可動板２と支持部３とを連結する一対の連結部４、５と、可動板２を変位させる変位手段６とを有し、連結部４、５は、支持部３に対して回動可能な駆動部４１、５１と、駆動部４１、５１および可動板２を連結する第１の軸部４２、５２とを有し、第１の軸部４２、５２は、その長手方向の途中で可動板２の厚さ方向へ屈曲可能であり、変位手段６によって駆動部４１、５１を回動させ、当該回動によって第１の軸部４２、５２を屈曲させることにより、可動板２を変位させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】３自由度連成振動系を構成した光走査装置において走査範囲を大きくする
【解決手段】光走査装置１は、ミラー１３、内ジンバル１２、外ジンバル１１、支持部３、弾性連結部１６ａ，１６ｂ、弾性連結部１５ａ，１５ｂ、及び弾性連結部１４ａ，１４ｂが、固有の周期的外力が作用した場合に大きい回転角で捩じり振動する３自由度連成振動系を構成する。このため、櫛歯電極部１７，１９と櫛歯電極部４ａ，４ｂとの間に電圧を印加して、固有の周期的外力を外ジンバル１１に作用させることにより、３自由度捻り振動子を共振状態にできる。そして、ミラー１３の振幅角を大きくするために、｛（ミラー１３のねじりバネ定数Ｋ１）／（ミラー１３の慣性モーメントＩ１）｝＞｛（外ジンバル１１のねじりバネ定数Ｋ３）／（外ジンバル１１の慣性モーメントＩ３）｝となるように光走査装置１を構成する。 （もっと読む）