本発明は、マイクロマシニング型の構成素子（Ｓ）を回動軸線（ＤＡ；ＤＡ’；ＤＡ’’；ＤＡ’’’；ＤＡ’’’’）を中心として回動させるためのカスケード接続されたマイクロマシニング型のアクチュエータ構造体に関する。本発明によれば、トーションばね装置が設けられており、該トーションばね装置が、一方で保持体（ＶＳ）に取り付けられていて、他方でマイクロマシニング型の構成素子（Ｓ）に取付け可能であり、トーションばね装置が、複数のトーションばね（ｆ１，ｆ２，ｆ３；ｆ’，ｆ_ｉ’；ｆ１’’，ｆ２’’；ｆ１ａ’’’，ｆ１ｂ’’’，ｆ２’’’；ｆ１ａ’’’’，ｆ１ｂ’’’’，ｆ２’’’’）を有しており、該複数のトーションばねが、回動軸線（ＤＡ；ＤＡ’；ＤＡ’’；ＤＡ’’’；ＤＡ’’’’）に沿って延びているかまたは回動軸線（ＤＡ；ＤＡ’；ＤＡ’’；ＤＡ’’’；ＤＡ’’’’）に対して平行に延びており、回動駆動装置が設けられており、該回動駆動装置が、複数の回動駆動体（Ａ１，Ａ２，Ａ３；Ａ_ｉ’；Ａ１’’，Ａ２’’；Ａ１’’’，Ａ２’’’；Ａ１’’’’，Ａ２’’’’）を備えており、該回動駆動体が、トーションばね装置（ｆ１，ｆ２，ｆ３；ｆ’，ｆ_ｉ’；ｆ１’’，ｆ２’’；ｆ１ａ’’’，ｆ１ｂ’’’，ｆ２’’’；ｆ１ａ’’’’，ｆ１ｂ’’’’，ｆ２’’’’）に結合されており、各回動駆動体（Ａ１，Ａ２，Ａ３；Ａ_ｉ’；Ａ１’’，Ａ２’’；Ａ１’’’，Ａ２’’’；Ａ１’’’’，Ａ２’’’’）が、回動軸線（ＤＡ；ＤＡ’；ＤＡ’’；ＤＡ’’’；ＤＡ’’’’）を中心とした１つのマイクロマシニング型の構成素子（Ｓ）の全回動角に数分の一ずつ寄与するようになっている。
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【課題】静電力が可動部の揺動方向に働く位置関係に容易に電極を配置できる静電型アクチュエータを得る。
【解決手段】鏡面１２４と同じ方向を向く可動部側電極１２３ａの面と、裏面１２５と同じ方向を向く可動部側電極１２３ｂの面には、可動部膜１２７ａ、１２７ｂが蒸着される。可動部膜１２７ａ、１２７ｂはＳｉ_３Ｎ_４から成る。Ｓｉ_３Ｎ_４は所定の条件下で２１０ＭＰａの引張応力を発生する。そのため、可動部側電極１２３ａは、その先端が裏面１２５の方向へ向くように湾曲し、可動部側電極１２３ｂは、その先端が鏡面１２４の方向へ向くように湾曲する。同様に、固定部側電極１１１ａと固定部側電極１１１ｂも固定部膜１１２ａ、１１２ｂが蒸着されて湾曲する。 （もっと読む）

【課題】接着部材による圧縮応力を低減することによって、光走査体の共振周波数等の固有値の変化を抑制することができる光走査装置、画像形成装置、及び光走査装置の製造方法を提供する。
【解決手段】光走査体は、入射した光を反射する反射ミラーと、反射ミラーから相反する方向に延びる一対の梁と、一対の梁を支持する固定部と、反射ミラーを揺動駆動する駆動体とを有する。光走査装置は、光走査体と、光走査体の固定部に接着部材で接着され、光走査体を支持する台座と、を備えている。光走査体の固定部における台座への接着領域、又は台座における光走査体の固定部への接着領域に、接着部材を逃がす凹部が形成された。 （もっと読む）

【課題】可動部を固定部に対して一対のトーションバーで揺動可能に軸支するアクチュエータを、高調波成分を含む波形の駆動信号で駆動する場合に、高調波成分に起因する可動部の共振振動を抑制する。
【解決手段】波形データを格納する波形メモリ１と、可動部の振れ角情報に基づいて駆動信号の振幅を演算する振幅演算部２と、振幅演算部２からのデジタル駆動信号をアナログ駆動信号に変換するＤ／Ａ変換器３と、可動部が共振振動する共振周波数成分を前記アナログ駆動信号から除去するノッチフィルタ４と、ノッチフィルタ４のフィルタ出力に基づいて可動部に駆動信号を供給する駆動信号供給部５とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】捩れ運動が繰返されるトーションバー部分に設けた引出し配線の金属疲労を低減する。
【解決手段】固定部に可動部を揺動可能に軸支するトーションバー３に、可動部側の駆動コイルと固定部側の電極端子を接続する引出し配線６を設ける構成のプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、シリコン基板で形成しその上面に引出し配線６を設けたトーションバー下層部３Ａ上に、ガラス材で形成したトーションバー上層部３Ｂを陽極接合することにより、捩り応力の小さいトーションバー中心位置に引出し配線６を設ける構成とした。 （もっと読む）

【課題】反射面を備える可動板の有効面積を確保しつつ、可動板の慣性モーメントを低減させた光偏向器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】反射面と側面を備える可動板と、所定の軸の周りに可動板を回動可能に支持する支持部とを有し、可動板の側面が軸に向かって窪んでいる。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧に対するミラーの傾斜角の線形応答性を改善する。
【解決手段】ミラー基板に対して回動可能に支持されるミラー１４０３と、ミラー基板と対向する電極基板の上に形成された駆動電極１３０３−１〜４と、電極基板の上に形成された、ミラーの回動中心を支えるピボットと、駆動電極に電圧を印加する制御回路とを備え、駆動電極は、ピボットの周りの電極基板上に複数形成され、バイアス電圧Ｖｂを印加した状態で、正側駆動電極と負側駆動電極との間に電圧差を生じさせる。これにより、ミラー１４０３を回動させることができ、駆動電圧Ｖに対する傾斜角θの線形応答性を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性に優れたミラー装置を提供する。
【解決手段】ミラー基板に対して回動可能に支持されるミラーと、ミラー基板と対向する電極基板の上に形成された駆動電極と、ミラーをミラー基板に連結する弾性部材とを備え、ミラー基板は、第１の開口を有し、ミラーは、弾性部材により第１の開口内で回動可能に支持され、ミラーの質量をｍ、ミラー装置に加わる加速度をＧ、弾性部材のバネ定数をｋとするとき、ミラーと弾性部材との間隔ｄ１〜ｄ４は、ｄ＝ｍＧ／ｋの変位量ｄの値より大きくなるように設定する。これにより、ミラーアレイに加速度Ｇが加わった場合でも、ミラー基板２００の可動部材は、この可動部材と隣接する部材に接触しないので、破損するのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】所望する反り量のミラーを製造することができるミラー装置の製造方法を提供する。
【解決手段】回動可能に支持された平板状のミラーを有するミラー基板を用意する第１のステップと、ミラーの一の面に第１の金属層を形成する第２のステップと、ミラーの他の面に第２の金属層を形成する第３のステップと、電極基板上にミラー基板を載置し、電極とミラーとを対向配置する第４のステップとを有し、表面層２３２及び裏面層２３３の少なくとも一方の厚さを制御する。これにより、ミラー２３０の反り量を制御して、所望の曲率半径を有するミラー２３０を製造することができる。 （もっと読む）

【課題】 温度に影響されることなく、可動部の位置検出を行うことができ、しかも、小型化を図ることのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 デバイス基板２に設置された枠状の固定部３と、固定部３の内側にトーションバー５を介して回動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部４とを備え、可動部４のトーションバー５と連結していない一辺にゲート電極８を配置するとともに、ソース電極９およびドレイン電極１０をゲート電極８に対向するように配置した。 （もっと読む）

【課題】 小さな駆動力で可動ミラーが大きく揺動する光学装置を提供する。
【解決手段】 支持部１９，２１，２３，２５は、可動ミラー３６の裏面に当接し、可動ミラー３６の第１端部３２が基板１４に接近する向きに揺動する際の支点１８と、可動ミラーの第２端部４０が基板１４に接近する向きに揺動する際の支点２４を提供する。アクチュエータ３０，４２は、可動ミラー３６の第1端部３２と第２端部４０のうちの任意の一方を選択し、選択した側の可動ミラーの端部３２，４０を基板１４に近づける。連結部５２，５４，５６，５８は、(1) 可動ミラー３６が第１端部側支点１８を中心にして第２端部側支点２４から離反する向きに揺動し、(2) 可動ミラーが第２端部側支点２４を中心にして第１端部側支点１８から離反する向きに揺動する相対運動を許容する態様で可動ミラー３６を基板１４に連結している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板のミラー部への伝播方向と垂直方向Ｘの曲げたわみを小さくすることにより、ミラー部の捻れ共振周波数の変化を押さえ、大きな電圧を印加した場合でも電圧に比例したミラー部の走査角度を増加させることができる光走査装置を提供する。
【解決手段】本発明の光走査装置は、基板と、基板に連結された捻れ梁部と、捻れ梁部により支持されるミラー部と、基板を振動させる駆動源と、ミラー部に光を投射する光源とを備え、ミラー部は駆動源によって基板に加えられる振動に応じて共振振動し、光源からミラー部に投射される光の反射光の方向がミラー部の振動に応じて変化する光走査装置において、基板と捻れ梁部との連結部から離れた基板の一部に駆動源を設けるとともに、上記駆動源が圧電体あるいは磁性体の薄膜あるいは薄板により基板上に形成され、平面形状が長方形を有し、その長辺が、ミラー部と駆動源を結ぶ方向に平行に配置されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】良品歩留まりの高い状態でミラー基板が形成できるようにする。
【解決手段】ミラー基板２３００では、基部２３０１，連結部２３３２ａ，連結部２３３２ｂ，可動枠２３０３，ミラー連結部２３３４ａ，ミラー連結部２３３４ｂ，及びミラー２３３５の各間隙に、充填された状態で保護層２３０７ａを備えている。これにより、上述した構造体が回動などの動作を抑制された状態となり、外部からの機械的振動による破損や損傷から保護されるようになる。 （もっと読む）

液体レンズが印加された制御電圧に応答するための、又は事前に計算されてテーブルに保存される待ち時間で温度補償された液体レンズを開示する。温度センサが液体レンズと共に用いられ、温度データを制御回路に与える。液体レンズが応答するための待ち時間は、液体レンズが制御電圧に応答して所定レベルの品質に結像するために十分な要求される最短時間より長くならないように最小化される。 （もっと読む）

【課題】ミラー装置及び複数のミラー装置を２次元的に配置したミラーアレイにおいて、近接する配線からの干渉による予期しないミラーの傾斜角の変動を抑制する。
【解決手段】ジンバル１１０２の回動軸と直交する方向に、配線１００５−１〜１００５−４，１００６を設ける。これにより、配線１００５−１〜１００５−４，１００６からの干渉による予期しないミラー１１０３の傾斜角の変動を抑制することができ、ミラー１１０３から配線１００５−１〜１００５−４，１００６を離すことで、この抑制効果をさらに高めることができる。 （もっと読む）

【課題】光スイッチに設けられる一対のミラーアレイにおいて、駆動電圧の高電圧化や製造の難しさを回避しつつ、ミラーを効率的に配置する。
【解決手段】ミラーアレイ２２０３ａ，２２０３ｂのミラー２０３の配置をミラーの傾斜角θの異方性を考量して最適化する。これにより、駆動電圧を高電圧化することなく、ミラー１５３の走査可能領域を有効利用することができ、効率的なミラー配置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】ミラー装置２では、ミラー連結部２２１ａ，２２１ｂは、上述したように可動枠連結部２１１ｂの側、すなわちＹ方向に平行移動した位置に設けられており、ミラー回動軸ｍがミラー２３０の重心Ｇを通らない。このため、ミラー回動軸ｍ上において、ミラー２３０の可動枠連結部２１１ａ側の端部とミラー回動軸との距離は、ミラー２３０の可動枠連結部２１１ｂ側の端部とミラー回動軸との距離よりも長くなる。したがって、電極３４０ａ〜３４０ｄに一様な電圧（以下、バイアス電圧という）を印加してミラー２３０に吸引力が働くと、点線で示すように、ミラー２３０は、可動枠２２０と基部３１０側に引き寄せられるとともに、ミラー回動軸を回動中心として傾き、可動枠連結部２１１ａ側の端部が基部３１０側に引き寄せられた状態となる。 （もっと読む）

【課題】可動構造体において、外部から衝撃が加わっても櫛歯電極が破損しないようにし、耐衝撃性を高める。
【解決手段】光走査ミラー１は、可動板２と、可動板２の両側部に一端部がそれぞれ接続されており、可動板２の１つの揺動軸を構成する一対のヒンジ３と、可動板２の周囲を囲むように配され各ヒンジ３の他端部を支持する固定フレーム４と、可動板２と固定フレーム４との間に設けられた櫛歯電極５と、可動板２のうち櫛歯電極５の近傍部位に形成されたストッパ部６を備えている。ストッパ部６は、固定フレーム４に向けて突設されており、可動板２が側方に変位すると、ストッパ部６が固定フレーム４に接触し、可動板２の側方への変位が制限される。従って、外部から衝撃が加わっても、櫛歯電極５の破損が防止される。 （もっと読む）

【課題】長期駆動時の信頼性を向上させるとともに、下部電極と外部との電気的接続が容易な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１００は、ベース部材１０と、ミラー部２１と、ミラー部２１を両側から揺動可能に支持するとともに下部電極として機能する可動部２２と、可動部２２を支持するとともにベース部材１０に取り付けられる取り付け部２３とが一体的に形成されたチタンからなる基板２０と、基板２０の可動部２２上に設けられるとともに、周期的な電圧が印加されることによりミラー部２１を振動させる圧電膜３２と、圧電膜３２上に設けられた上部電極３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】電極３４０ａ〜３４０ｄは、電極基板３００上に投影したミラー２３０の可動枠回動軸及びミラー回動軸の少なくとも一方に対して自身が対称とならない基部３１０上の位置に形成される。このため、ミラー２３０の中心軸（一点鎖線で示す）と電極３４０ａ〜３４０ｄの中心軸（二点鎖線で示す）とは、一致しない。したがって、電極３４０ａ〜３４０ｄにバイアス電圧をかけると、ミラー２３０には、電極３４０ａ〜３４０ｄと対向する部分に引力が働くため、ミラー２３０の中心軸に対して垂直な状態（点線で示す）から所定の角度だけ傾いた状態となる。 （もっと読む）