【課題】 トーションバー上に電気配線を設けることなく、可動部を適正に動作させることができ、電気配線の劣化による動作不良などを確実に防止することのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 枠状の固定部２およびこの固定部２の内側にトーションバー３を介して可動自在に支持された可動部４を電気的に遮断された領域に分割する固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６を設け、可動部４の固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６により分割された領域に形成され駆動コイル８の端部に接続された可動部側駆動用電極９と、固定部２の固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６により分割された領域に形成された固定部側駆動用電極１０とは、トーションバー３を介して電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の上下面に形成された電極の導電性接着剤による短絡を確実に防止すると共に、圧電素子の駆動効率の向上を図ることができる光スキャナを提供する。
【解決手段】ミラー部を揺動軸回りに変位駆動して所定方向に光を走査する光スキャナにおいて、表面に導電性を有して前記ミラー部を揺動可能に支持する基板と、前記基板の表面に接着されて前記ミラー部を揺動軸回りに揺動させる圧電素子と、前記圧電素子の前記基板の表面に対向する面に形成された下部電極と、を備え、前記圧電素子は、該圧電素子の周縁部よりも内側に設けられた導電性接着剤によって、前記下部電極が前記基板表面に電気接続されて接着されると共に、前記導電性接着剤の周りに設けられた絶縁性を有するアンダーフィル材によって該基板表面に接着される。 （もっと読む）

【課題】従来の光偏向器においては、ミラーの角度検出センサとしての圧電センサがミラーの側辺に固定されていたために、ミラーに分散する応力が比較的大きくてミラーの変形を招き、他方、圧電センサに分散する応力は比較的小さく、従って、圧電センサの変位量は小さく、圧電センサの圧電起電力は小さかった。
【解決手段】ミラー２は円形反射面を有し、支持体１の空洞部１ａ内に位置する。１対のトーションバー３、４はミラー２を揺動可能に支持する。トーションバー３に作用する圧電アクチュエータ５、６を設け、トーションバー４に作用する圧電アクチュエータ７、８を設ける。半環状の圧電センサ９、１０はミラー２の外周側にスリットを介してトーションバー３、４のミラー２側付け根に連結される。 （もっと読む）

【課題】結像に十分な解像力を実現しつつ、高速応答が可能な可変焦点レンズ及びその駆動方法を提供する。
【解決手段】液体状の媒質(12)の界面(30)を光の屈折面として利用する可変焦点レンズ(10)であって、媒質(12)を収容する容器(14)と、媒質(12)の界面(30)の曲率を変化させる圧電アクチュエータ(50)と、を備える。圧電アクチュエータ(50)は、振動板(52)上に下部電極(54)と上部電極(58)に挟まれた圧電体(56)が積層形成されたダイアフラム構造を有し、共振周波数が２０ｋＨｚ以上である。互いに混ざらない、屈折率の異なる媒質（12、22）を用い、圧電アクチュエータ(50)の駆動により、一方の媒質(12)の圧力又は体積を変化させ、界面(30)の曲率を変えることで焦点距離を変更する。複数の圧電アクチュエータを配置して十分な体積変化量を確保し、駆動個数に応じて階調制御も可能である。 （もっと読む）

【課題】支持部に対する回動軸の衝突を抑制でき、もって、円滑な動作を実現可能なミラーアクチュエータおよびこのミラーアクチュエータを搭載したビーム照射装置を提供する。
【解決手段】ミラー１５０をチルト方向に回動可能に支持する支軸１１１の両端には、抜け止め用のＥリング１１７ａ、１１７ｂが装着されている。これら２つのＥリング１１７ａ、１１７ｂのうち、右側のＥリング１１７ａのみを磁性材料により構成する。このＥリング１１７ａとマグネット１３２との間に働く磁力により、支軸１１１が右側に付勢される。よって、ミラー１５０のパン方向駆動時に、支軸１１１が左右に移動するのが抑制され、軸受け１１６ａに対する支軸１１１の衝突を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】可動部に磁石を設置し、電磁石を磁石との間に作用する磁力によって可動部を揺動させることが可能な光学装置において、可動部に永久磁石を設置することによって可動部の重心が可動部の揺動中心からずれることを抑制する。
【解決手段】可動部に設置する磁石が上部磁石と下部磁石との２つの部材に分かれている。上部磁石は可動部の上面に設置され、下部磁石は可動部の下面に設置されるため、可動部の重心が可動部の揺動中心からずれることが抑制される。また、上部磁石の第１磁極と下部磁石の第２磁極が可動部を介して対向しており、磁力によって上部磁石および下部磁石が可動部に固定される。可動部に磁石を固定するために用いる接着剤量を減少させることができるため、接着剤の重量によって可動部の重心が可動部の揺動中心からずれることが抑制される。 （もっと読む）

【課題】 可動部の揺動動作による空気の流れが発生した場合でも、可動部を安定して揺動動作させることのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 枠状の固定部と、固定部の内側にトーションバーを介して可動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部４と、可動部４の一面側に取付けられた整流部材５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 駆動コイルへの通電量を増やすことなく、可動部の大きな振幅を得ることができるとともに、可動部の揺動動作の微調整を行うことのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 枠状の固定部２と、固定部２の内側にトーションバー３を介して可動自在に支持された可動部４と、可動部４に設置され可動部４を駆動するための渦巻き状に形成された第１駆動コイル５と、固定部２に設置された揺動用コイル６と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ミラーを揺動させ、光ビームを偏向させる光偏向装置において、ミラー密着力とフィルファクターとを同時に高めることが可能なミラーを提供すること。
【解決手段】光偏向装置は、基板と可動部とコア部と表面部材を備えている。可動部は、基板に対して揺動可能に支持されている。コア部は、可動部の一部から反基板側に伸びている。表面部材は、コア部の頂面を覆う部分と、可動部から立設しているとともにコア部を一巡するループに沿って伸びている側面部分と、その側面部分の上端から外側に向けて可動部の上面と平行に伸びている展開部を備えている。その表面部材は、コア部を形成するコア部形成材料と異なるとともに光を反射する材料で形成されている。その表面部材の少なくとも一部が、可動部を垂直方向から見たときに、可動部の輪郭の外側に至っている。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳデバイス内の少なくとも１つの可動ミラーの動きを、ＭＥＭＳデバイスの容量の時間的変化に基づいてモニタする。
【解決手段】ＭＥＭＳデバイス内の少なくとも１つの可動ミラーの動きを、ＭＥＭＳデバイスの容量の時間的変化に基づいてモニタする方法であって、可動ミラーが平面ミラーの場合、可動ミラーを動かすために必要な駆動電圧に加えて、直流電圧をＭＥＭＳデバイスに印加するステップと、可動ミラーの動きに関連した容量変化に比例する電流を測定するステップと、測定電流に基づいて可動ミラーの動きをモニタするステップとを有する。また、可動ミラーがスタガミラーの場合、可動ミラーの動きに関連した電流を測定するステップと、測定電流において、ＭＥＭＳデバイスの容量の時間的変化に関連した複数のリップルを識別するステップと、識別された複数のリップルに基づいて可動ミラーの動きをモニタするステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】デバイス本体に不要な応力がかかるのを抑制しつつ、外部物体との接触によるボンディングワイヤの破損を防止することが可能なＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され複数のパッド１３を一表面側に備えたデバイス本体１、デバイス本体１の上記一表面側に接合された表面側保護基板２、デバイス本体１の他表面側に接合された裏面側保護基板３を有するＭＥＭＳチップＣと、ＭＥＭＳチップＣが実装された実装基板５とを備える。表面側保護基板２は、デバイス本体１の各パッド１３それぞれを全周に亘って露出させる複数の貫通孔２０２が形成され、且つ、各貫通孔２０２それぞれに各別に連通するととともに貫通孔２０２側とは反対側が開放されデバイス本体１のパッド１３と実装基板５の導体パターン５０２とを電気的に接続するボンディングワイヤを通す複数の溝部２０３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】より大きな振幅が容易に得られる２次元光走査装置を得る。
【解決手段】光ビームを反射させる反射面２を有する第１可動部４の外側に第２可動部６を設けて弾性を有する第１梁８，１０により連結し、また、第２可動部６の外側に第３可動部１２を設けて弾性を有する第２梁１４，１６により連結し、更に、第３可動部１２の外側に固定部１８を設けて弾性を有する第３梁２０，２２により連結する。第３可動部１２の可動電極２８ａ，３０ａと固定部１８の固定電極３６，４２とを対向して配置する。かつ、可動電極２８ａ，３０ａと固定電極３６，４２との間に電圧を印加して可動電極２８ａ，３０ａと固定電極３６，４２との間の静電気力により第３可動部１２を第３梁２０，２２の廻りに振動させて第１可動部４と第２可動部６とを共振させる加振制御部５０を備えた。 （もっと読む）

【課題】捩り撓みヒンジで連結されて相対的に回転する微細加工部材の改良された構造体を提供する。
【解決手段】基準フレームを動的プレート５８に連結し、フレームを捩りバーではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６でプレートに連結する。そして、折返し捩り撓みヒンジ９６はプレート５８をフレーム側から支持するもので、３つの基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃから成り、各基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの縦軸９８の向きは、プレート５８の回転軸６２に垂直ではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６の中間部１０４が、基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの直隣接端１０６を相互連結し、基本ヒンジ素子１０２ｂは、フレームに対して、軸６２を中心とするプレート５８の角回転を測定する捩りセンサ１０８を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の偏向角度を大きく設定する。
【解決手段】固定支持される第１端部、及び自由端であり第１端部よりも幅が狭いか又は厚みが薄い第２端部をそれぞれ有する一対の第１アーム部１２ｅ，１２ｅと、固定支持される第３端部、及び自由端であり第３端部よりも幅が狭いか又は厚みが薄い第４端部をそれぞれ有し、一対の第１アーム部に対向して配置された一対の第２アーム部１２ｅ，１２ｅと、一対の第１アーム部の第２端部と一対の第２アーム部の第４端部との間に配置され、外部から照射された光を反射するミラー部１２ｉと、一対の第１アーム部の第２端部とミラー部とをそれぞれ連結する一対の第１捩じりバネ部１２ｇ，１２ｇと、一対の第２アーム部の第４端部とミラー部とをそれぞれ連結すると共に、一対の第１捩じりバネ部に対向して配置された一対の第２捩じりバネ部１２ｈ，１２ｈと、を備えている光偏向子１２Ａを提供する。 （もっと読む）

【課題】互いに直交する２軸の周りに電磁力によって可動部を揺動させることが可能な光学装置において、電磁石部分を含む光学装置全体を小型化することと、消費電力の増大を抑制することとを両立させる。
【解決手段】光学装置は、ミラー部と、第１電磁石と、第２電磁石とを備えている。このミラー部は２軸駆動型であって、第１磁性体および第２磁性体を備えている。第１電磁石と第２電磁石の少なくとも一方の少なくとも一部がミラー部設置領域内に存在しているため、電磁石を小さくしても、可動部を揺動させるための駆動力を確保できるために、コイル巻き数、コイルに通電する駆動電流を大きくする必要がない。電磁石部分を含む光学装置全体を小型化することと、消費電力の増大を抑制することとを両立させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ねじれモードおよび垂直モードの動作を同時に行わせることで装置の小型化を可能とするプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】一対のトーションバー３を介して枠状の固定部２に固定された可動部４を揺動してねじれモードで駆動するための可動部４上に形成された駆動コイル５と、可動部４を垂直モードで駆動するための、前記一対のトーションバー３上に設置された垂直駆動用圧電体６とを備えた構造にすることで、垂直方向の往復動とトーションバー３を回動軸としたねじれ運動を同時に行わせることを可能にする。 （もっと読む）

本発明は、主ミラー（１）および副ミラー（２）を備える小型マルチスペクトル走査システムに関連し、これらのミラーは互いに向かい合い、反対方向に同じ角速度で回転されるように適合され、それらの回転軸に対して傾けられる。主ミラーは凹形であり、副ミラーは主ミラーよりも小さく、両ミラーの回転軸は位置合わせされる。この構成により、システムは先行技術のデバイスよりも小型になり、システムが動作周波数に依存することが回避される。
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【課題】大きなミラー部の変位量を得られる光スキャナを提供すること。
【解決手段】光スキャナ１００は、ミラー部１１０、支持梁１２０、固定部１４０及び圧電駆動部１３０を備える。ミラー部１１０は、揺動軸線ＡＲの周りに揺動される。支持梁１２０は、ミラー部１１０から延出する。支持梁１２０は、固定部１４０に連結される。圧電駆動部１３０は、固定部１４０から支持梁１２０の一部に亘って設けられる。支持梁１２０は、揺動軸線ＡＲに対して対称配置され、固定部１４０に接続される一対の梁部分１２３を有する。一対の梁部分１２３は、第１部分１２３ａと、屈曲部分１２３ｂとを有する。第１部分１２３ａは、ミラー部１１０から離れる方向に、揺動軸線ＡＲに沿って伸張する。屈曲部分１２３ｂは、第１部分１２３ａに接続され、揺動軸線ＡＲから離間する方向及び揺動軸線ＡＲに沿う方向に屈曲する。 （もっと読む）

【課題】２つの回動軸に関して、充分な回動角度を得ることができる光スキャナを得る。
【解決手段】印加電圧が０Ｖから増加していくと、接地されているミラー部２１０と第３及び第４の内側裏分割電極４１３、４１４並びに内側表分割電極との間、及び接地されているジンバル部２２０と第２の外側裏分割電極４２２及び外側表分割電極との間に電圧差が生じ、この電圧差によりミラー部２１０と第３及び第４の内側裏分割電極４１３、４１４並びに内側表分割電極との間、及びジンバル部２２０と第２の外側裏分割電極４２２及び外側表分割電極との間に静電引力が生じる。ミラー部２１０は、第３及び第４の内側裏分割電極４１３、４１４並びに内側表分割電極からの静電引力に加えて、第２の外側裏分割電極４２２及び外側表分割電極からの静電引力によりＹ軸時計回りに回動する。交流電圧が１３０Ｖになると、ミラー部２１０は、アイドル状態から１５度回転する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、安定して低速駆動を行うことができる圧電アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】駆動対象物３０、３１を軸Ｘ周りに傾動駆動させる圧電アクチュエータ１１０、１１１、１１２であって、
前記軸Ｘの両側に配置された錘部７１と、前記軸Ｘと交差して延在し、前記錘部７１を連結する連結部７２とで前記駆動対象物３０、３１を平面的に囲む環状構造を有し、前記駆動対象物３０、３１が連結されて前記駆動対象物３０、３１を連結支持する可動枠７０と、
弾性体１５に圧電薄膜２２が成膜された構造を有し、前記可動枠７０の外側に配置され、該可動枠７０の前記連結部７２に前記軸Ｘ周りの傾動力を付与するように連結された駆動梁９０と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）