【課題】装置の小型化及び低コスト化を図りつつ、可動板を直交する第２の軸の周りに回動させるアクチュエータを提供する。
【解決手段】枠状部材１４と、枠状部材１４をＸ軸周りに回動させる軸部材１５ａ，１５ｂと、可動板１１と、可動板１１をＹ軸周りに回動させる軸部材１３ａ，１３ｂと、枠状部材１４に設けられた永久磁石２０ａ，２０ｂと、可動板１１に設けられた永久磁石２０ｃと、電圧の印加により永久磁石２０ａ，２０ｂ，２０ｃに作用する磁力を発生するコイル３０とを備え、永久磁石２０ａ，２０ｂ，２０ｃは両極がＸ軸を挟んで配置され、Ｘ軸に対してθ（３０度＜θ＜６０度）の角度を有し、かつ磁極の方向が同じになるように配置される。電圧印加手段４０は周波数の異なる第１の電圧と第２の電圧を重畳した電圧をコイル３０に印加し、可動板１１は第１の電圧の周波数でＸ軸周りに、第２の電圧の周波数でＹ軸周りに回動する。 （もっと読む）

【課題】反射面を備える可動板の有効面積を確保しつつ、可動板の慣性モーメントを低減させた光偏向器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】反射面と側面を備える可動板と、所定の軸の周りに可動板を回動可能に支持する支持部とを有し、可動板の側面が軸に向かって窪んでいる。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧に対するミラーの傾斜角の線形応答性を改善する。
【解決手段】ミラー基板に対して回動可能に支持されるミラー１４０３と、ミラー基板と対向する電極基板の上に形成された駆動電極１３０３−１〜４と、電極基板の上に形成された、ミラーの回動中心を支えるピボットと、駆動電極に電圧を印加する制御回路とを備え、駆動電極は、ピボットの周りの電極基板上に複数形成され、バイアス電圧Ｖｂを印加した状態で、正側駆動電極と負側駆動電極との間に電圧差を生じさせる。これにより、ミラー１４０３を回動させることができ、駆動電圧Ｖに対する傾斜角θの線形応答性を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性に優れたミラー装置を提供する。
【解決手段】ミラー基板に対して回動可能に支持されるミラーと、ミラー基板と対向する電極基板の上に形成された駆動電極と、ミラーをミラー基板に連結する弾性部材とを備え、ミラー基板は、第１の開口を有し、ミラーは、弾性部材により第１の開口内で回動可能に支持され、ミラーの質量をｍ、ミラー装置に加わる加速度をＧ、弾性部材のバネ定数をｋとするとき、ミラーと弾性部材との間隔ｄ１〜ｄ４は、ｄ＝ｍＧ／ｋの変位量ｄの値より大きくなるように設定する。これにより、ミラーアレイに加速度Ｇが加わった場合でも、ミラー基板２００の可動部材は、この可動部材と隣接する部材に接触しないので、破損するのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は光学反射素子の駆動精度を高めることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部１と、このミラー部１を介して対向するとともに、このミラー部１とそれぞれ第一の支持部２で連結された、対の第一の音叉形圧電振動子３と、これらの第一の音叉形圧電振動子３とそれぞれ第二の支持部５で連結された枠体６と、この枠体６とそれぞれ第三の支持部７で連結された対の第二の音叉形圧電振動子８と、これらの第二の音叉形圧電振動子８とそれぞれ第四の支持部１０で連結された支持体１１とを備え、第三の支持部７および第四の支持部１０はそれぞれミアンダ形状であり、これらの第三の支持部７または第四の支持部１０の少なくとも一方には、第一のモニター素子１７が設けられたものである。これにより本発明は、光学反射素子の駆動精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】所望する反り量のミラーを製造することができるミラー装置の製造方法を提供する。
【解決手段】回動可能に支持された平板状のミラーを有するミラー基板を用意する第１のステップと、ミラーの一の面に第１の金属層を形成する第２のステップと、ミラーの他の面に第２の金属層を形成する第３のステップと、電極基板上にミラー基板を載置し、電極とミラーとを対向配置する第４のステップとを有し、表面層２３２及び裏面層２３３の少なくとも一方の厚さを制御する。これにより、ミラー２３０の反り量を制御して、所望の曲率半径を有するミラー２３０を製造することができる。 （もっと読む）

【課題】結晶軸方位とエッチングマスクとの間にアライメント誤差があっても、加工寸法誤差の少ない構造体を形成可能なシリコンの加工方法、エッチングマスク付きシリコン基板等を提供する。
【解決手段】シリコンの加工方法で、主面が（１００）等価面１０３或いは（１１０）等価面である単結晶シリコン基板１００上に、マスクパターンを形成し、結晶異方性エッチングを施して、（１１１）等価面で構成され幅Ｗ１と長さＬ１を有する構造体を形成する。マスクパターンに、構造体の幅Ｗ１を決定する決定個所を持たせる。マスクパターンの幅Ｗ１の決定個所の幅は、幅Ｗ２を有する。マスクパターンの長さ方向にわたって、決定個所以外のマスクパターンの幅は、幅Ｗ２より大きい幅を有する。 （もっと読む）

【課題】 駆動力が小さい光学装置を提供すること。
【解決手段】 光学装置２では、副アクチュエータ９２に電圧を印加し、ついで第１主アクチュエータ９０に電圧を印加する。副アクチュエータ９２は支持部１６から離れているためにトルクが大きい。副アクチュエータ９２に電圧を印加すると、可動ミラー３０の半円部３４が基板１０に接近する。これに伴って第１主アクチュエータ９０の電極間距離が小さくなる。第１主アクチュエータ９０に電圧を印加すると、可動ミラー３０の長方形部３２のＤ３側が基板１０に接近する。電極間距離を小さくしてから第１主アクチュエータ９０に電圧を印加することによって、第１主アクチュエータ９０が可動ミラー３０を傾動させるために必要な吸引力を発生するための駆動電圧を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 耐久性が高い光学装置を提供すること。
【解決手段】 光学装置２の可動層２０のＤ２側の端部と基板１０との間に吸引力Ｆ１を発生すると、可動層２０はＤ２側の端部が基板１０に近づく方向に角度θ_１で傾斜する。このとき可動ミラー３０は支柱１４ａ，１４ｂを支点として、Ｄ１側の端部が可動層２０から遠ざかる方向に角度θ_２で傾斜する。この結果、可動ミラー３０は基板１０から角度θ_３（＝θ_１＋θ_２）で傾斜する。可動ミラー３０だけでなく可動層２０も傾斜させることによって、基板１０からの傾斜角度θ_３を得るために必要な可動ミラー３０の傾斜角度θ_２を小さくすることができる。可動ミラー３０の連結部にかかる負荷を低減することができる。光学装置の耐久性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板のミラー部への伝播方向と垂直方向Ｘの曲げたわみを小さくすることにより、ミラー部の捻れ共振周波数の変化を押さえ、大きな電圧を印加した場合でも電圧に比例したミラー部の走査角度を増加させることができる光走査装置を提供する。
【解決手段】本発明の光走査装置は、基板と、基板に連結された捻れ梁部と、捻れ梁部により支持されるミラー部と、基板を振動させる駆動源と、ミラー部に光を投射する光源とを備え、ミラー部は駆動源によって基板に加えられる振動に応じて共振振動し、光源からミラー部に投射される光の反射光の方向がミラー部の振動に応じて変化する光走査装置において、基板と捻れ梁部との連結部から離れた基板の一部に駆動源を設けるとともに、上記駆動源が圧電体あるいは磁性体の薄膜あるいは薄板により基板上に形成され、平面形状が長方形を有し、その長辺が、ミラー部と駆動源を結ぶ方向に平行に配置されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】ミラー基板と電極基板との間隔をより容易に大きくできるようにする。
【解決手段】ミラー基板１９００と電極基板２０００とのギャップが、リブ構造体２０１０とギャップ補助層２１０１により形成される。言い換えると、ミラー基板１９００と電極基板２０００とは、ギャップ補助層２１０１とリブ構造体２０１０とを介して接合されている。これにより、ミラー基板１９００と電極基板２０００とが、ギャップ補助層２１０１とリブ構造体２０１０とにより離間しているようになり、ミラー基板１９００と電極基板２０００との間隔が、より容易に大きくできるようになるという優れた効果が得られる。 （もっと読む）

【課題】偏向面駆動部。
【解決手段】第１走査部、第１走査部を第１方向に平行な軸周りに回転自在に保持する第２走査部、第２走査部を第２方向に平行な軸周りに回転自在に保持するフレームを備える。第１走査部は、偏向面、第２方向に突出した櫛歯で構成された第１櫛歯部を有する。第２走査部は、第２方向に突出した櫛歯で構成された第２櫛歯部、第１方向に突出した櫛歯で構成された第３、第４櫛歯部を有する。フレームは、第１方向に突出した櫛歯で構成された第５、第６櫛歯部を有する。第１櫛歯部を構成する櫛歯は第２櫛歯部を構成する櫛歯と交互に、第３櫛歯部を構成する櫛歯は第５櫛歯部を構成する櫛歯と交互に、第４櫛歯部を構成する櫛歯は第６櫛歯部構成する櫛歯と交互に配置される。第１、第３、第４櫛歯部、及び偏向面は、第１方向に並べられ、第３櫛歯部は第１櫛歯部より偏向面に近い側に、第１櫛歯部は第４櫛歯部より偏向面に近い側に配置される。 （もっと読む）

【課題】光スイッチに設けられる一対のミラーアレイにおいて、駆動電圧の高電圧化や製造の難しさを回避しつつ、ミラーを効率的に配置する。
【解決手段】ミラーアレイ２２０３ａ，２２０３ｂのミラー２０３の配置をミラーの傾斜角θの異方性を考量して最適化する。これにより、駆動電圧を高電圧化することなく、ミラー１５３の走査可能領域を有効利用することができ、効率的なミラー配置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】ミラー装置２では、ミラー連結部２２１ａ，２２１ｂは、上述したように可動枠連結部２１１ｂの側、すなわちＹ方向に平行移動した位置に設けられており、ミラー回動軸ｍがミラー２３０の重心Ｇを通らない。このため、ミラー回動軸ｍ上において、ミラー２３０の可動枠連結部２１１ａ側の端部とミラー回動軸との距離は、ミラー２３０の可動枠連結部２１１ｂ側の端部とミラー回動軸との距離よりも長くなる。したがって、電極３４０ａ〜３４０ｄに一様な電圧（以下、バイアス電圧という）を印加してミラー２３０に吸引力が働くと、点線で示すように、ミラー２３０は、可動枠２２０と基部３１０側に引き寄せられるとともに、ミラー回動軸を回動中心として傾き、可動枠連結部２１１ａ側の端部が基部３１０側に引き寄せられた状態となる。 （もっと読む）

【課題】波長モニタ部における光信号の復旧の前後での制御の遅れによる影響を回避できる波長選択光スイッチを提供する。
【解決手段】複数の入力ポートから入力した波長多重分割信号光に対して各波長の光に分岐する第１の波長分岐部と、複数の入力ポートのいずれから、複数の出力ポートのいずれかに結合を経路選択制御する光信号処理部を有する波長選択光スイッチであって、前記複数の入力ポートの波長多重分割信号光のそれぞれの波長に対して１/Ｎ（Ｎは２以上の整数)の帯域の波長を持つモニタ光の光源と、前記モニタ光を前記入力ポートに入力する信号光に重畳する入力側カプラと、前記光信号処理部により経路選択された前記信号光とモニタ光を分離する出力側カプラと、分離したモニタ光を各波長の光に分岐する第２の波長分岐部と、分岐したモニタ光の強度を検出する検出部を有し、モニタ光の減衰率を検出することで、前記信号光の減衰率をモニタする。 （もっと読む）

【課題】ＳＯＩ基板を用いたトーションバーによる揺動部を有するマイクロ構造体において、トーションバーの位置を精度良く測定できるようにする。
【解決手段】マイクロミラー素子１は絶縁層を挟んで二つの導体層を積層したＳＯＩ基板を用いて製造される。マイクロミラー素子１はフレーム２とフレーム２内に一対のトーションバー４，４’で揺動自在に支持された揺動部材３を有する。フレーム２の上側領域２Ａに揺動部材３とトーションバー４，４’が形成され、フレーム２の下側領域２Ｂに揺動部材３の櫛歯電極３３に対応する櫛歯電極２１が形成されている。揺動部材３の一対のトーションバー４，４’の下部であって当該トーションバー４，４’の捩れ動作に干渉しない位置にそれぞれトーションバー４，４’の位置測定の基準面Ｓｒとなる構造体５，５’が形成されている。トーションバー４，４’の高さ方向における位置測定において、構造体５，５’の上面Ｓ１を基準面Ｓｒとすることで、位置測定の精度を向上させた。 （もっと読む）

【課題】良品歩留まりの高い状態でミラー基板が形成できるようにする。
【解決手段】ミラー基板２３００では、基部２３０１，連結部２３３２ａ，連結部２３３２ｂ，可動枠２３０３，ミラー連結部２３３４ａ，ミラー連結部２３３４ｂ，及びミラー２３３５の各間隙に、充填された状態で保護層２３０７ａを備えている。これにより、上述した構造体が回動などの動作を抑制された状態となり、外部からの機械的振動による破損や損傷から保護されるようになる。 （もっと読む）

【課題】ミラー装置及び複数のミラー装置を２次元的に配置したミラーアレイにおいて、近接する配線からの干渉による予期しないミラーの傾斜角の変動を抑制する。
【解決手段】ジンバル１１０２の回動軸と直交する方向に、配線１００５−１〜１００５−４，１００６を設ける。これにより、配線１００５−１〜１００５−４，１００６からの干渉による予期しないミラー１１０３の傾斜角の変動を抑制することができ、ミラー１１０３から配線１００５−１〜１００５−４，１００６を離すことで、この抑制効果をさらに高めることができる。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】可動枠連結部２１１ａ，２１１ｂ及びミラー連結部２２１ａ，２２１ｂは、対となる部材同士でバネ定数が異なる。これより、初期状態で所定の角度だけ傾いた状態となるため、結果としてミラーの傾動角度を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 可動電極を配置することで駆動電圧を小さくすることが可能な光学装置を提供する。
【解決手段】 光学装置２は、基板１２と可動ミラー４２と可動電極層２４と規制部３０ａ，３０ｂを備えている。基板１２と可動ミラー４２と可動電極層２４には、それぞれ電極が形成されている。規制部３０ａ，３０ｂを配置することによって、外力が作用したときに可動電極層２４が上方向に変位し、可動電極層２４と基板１２との間の電極間距離が大きくなることを禁止することができる。可動電極層２４を配置することによって、基板１２と可動ミラー４２との間の電極間距離を２区画に分割し、基板１２と可動ミラー４２との間の電極間距離を小さくすることができる。可動ミラー４２を傾斜させるための駆動電圧を小さく抑えることができる。 （もっと読む）