【課題】梁の一部に形成されたステップ部、又はテーパ部にかかる応力集中が軽減される光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、反射ミラー２と、可動梁３ａ、３ｂと、駆動部４ａ〜４ｄと、固定部５と、延出部６ａ〜６ｄとを備えている。反射ミラー２は、揺動軸線ＡＸの回りに揺動可能で、入射した光束を反射して、走査する反射面７を備える。可動梁３ａ、３ｂは、第１梁部８ａ、８ｂと、第２梁部９ａ〜９ｄとから構成される。延出部６ａ〜６ｄは、各々、反射面７に平行な面上で、且つ揺動軸線ＡＸに垂直な方向、即ちＸ軸方向において、第１梁部８ａ、８ｂと、第２梁部９ａ〜９ｄとが連結する連結部ＣＰの近傍の両側から延出する。 （もっと読む）

【課題】制御帯域が広く高効率なミラーチルトアクチュエーターを提供する。
【解決手段】ミラーホルダ３は、ミラー２を保持する。ミラーホルダ３は、台座に、少なくとも２方向に傾斜可能に保持される。駆動手段は、ミラーホルダ３を台座から傾斜させる。トーションバー４は、一端がミラーホルダ３の中央部に接続され、他端が台座に接続される。板バネ５ａ〜５ｄは、一端がミラーホルダ３の周辺部に接続され、他端が台座に接続される。板バネ５ａ〜５ｄは、ミラー面と平行な面内に延在し、かつ、屈曲部を少なくとも１か所有する。 （もっと読む）

【課題】小さな駆動電圧で、光スキャナの大きな光学振れ角を得られる光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、反射ミラー２と、可動梁３ａと、駆動部４ａ、４ｂと、固定部５とを備えている。反射ミラー２は、揺動軸線ＡＸの回りに揺動可能で、入射した光束を反射して、走査する反射面６を備える。可動梁３ａは、第１梁部７ａと、第２梁部８ａ、８ｂとから構成される。第１梁部７ａは、反射ミラー２に連結する。第２梁部８ａ、８ｂは、第１梁部７ａ、及び固定部５に連結する。駆動部４ａ、４ｂは、各々、第２梁部８ａ、８ｂと固定部５とに跨って設けられ、可動梁３ａを振動させる。第２梁部８ａ、８ｂは、各々、反射面６に平行な面上で、且つ揺動軸線ＡＸに垂直な方向、即ち、Ｘ軸方向において、第１梁部７ａと第２梁部８ａ、８ｂとが連結する連結部ＣＰの近傍における第１梁部７ａの連結梁１１ａ、１１ｂよりも幅広い。 （もっと読む）

【課題】 小型で簡易な構造で、レーザ光源等の光源からの光を走査して画像を表示する際に生じるスペックルノイズを低減することができる光偏向器用アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】 支持体４０に支持された圧電アクチュエータ４２ａ，４２ｂが、光源からの光を偏向する光偏向器を搭載する台座４３を並進振動させることにより、光偏向器による反射光に微小な光路差を付与する。 （もっと読む）

【課題】可動体を揺動可能に支持する構成のマイクロ構造体において、トーションバーの端部の形状不安定およびこれに伴うマイクロ構造体の特性ばらつきを抑制する。
【解決手段】マイクロ構造体１は、第１層からなる部分および前記第１層よりも下側の第２層からなる部分を含むフレーム３と、第１層からなる部分および第２層からなる部分を含む可動体２と、第１層からなりフレーム３の第１層からなる部分と可動体２の第１層からなる部分とを連結して可動体２を揺動可能に支持する揺動支持部４と、を備える。そして、揺動支持部４のフレーム３側の端部が、フレーム３の第２層からなる部分によって下方から支持され、揺動支持部４の可動体側２の端部が、可動体２の第２層からなる部分によって下方から支持されている。 （もっと読む）

【課題】駆動手段に入射した光による迷光を低減することのできる光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光学デバイス１は、外部から入射される光の分布範囲Ｂ内に配置され、当該光を反射する金属膜１１を有する可動板１０と、可動板１０を軸Ａ周りに揺動可能に支持する軸部材２０と、可動板１０に設けられる永久磁石６１と、永久磁石６１との間に電磁力を発生させ、可動板１０を揺動させるように構成されたコイル６２及び交流電流信号発生器（電源）６３とを備え、コイル６２及び交流電流信号発生器（電源）６３における光の分布範囲Ｂ内に含まれる部分が、光を所定範囲外に反射させるような法線ベクトルを有する面で構成されている。 （もっと読む）

【課題】組み立て時の応力や、組立後の水分や温度変化よるミラー姿勢の変化を可及的に低減し、ミラー揺動軸の初期姿勢精度を向上させる。
【解決手段】 表面は反射面となっており共振振動により揺動する可動子を有するプレート部材と、可動子を共振駆動するアクチュエータと、プレート部材とアクチュエータを保持するホルダと、を備えた光偏向装置であって、前記プレート部材は金属支持部材を介してホルダに保持される構成で、プレート部材と前記金属支持部材がろう接によって一体的に固定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】自由度連成振動系を構成した光走査装置において鏡面部の振動振幅を大きくする
【解決手段】光走査装置１は、ミラー１３、内ジンバル１２、外ジンバル１１、支持部３、弾性連結部１６ａ，１６ｂ、弾性連結部１５ａ，１５ｂ、及び弾性連結部１４ａ，１４ｂが、固有の周期的外力が作用した場合に大きい回転角で捩じり振動する３自由度連成振動系を構成する。このため、櫛歯電極部１７，１９と櫛歯電極部４ａ，４ｂとの間に電圧を印加して、固有の周期的外力を外ジンバル１１に作用させることにより、３自由度捻り振動子を共振状態にできる。そして、外ジンバル１１の回転角度が、外ジンバル１１に作用するトルクが最大となるときの外ジンバル１１の回転角度を含む予め設定された電圧印加角度範囲内（トルクが最大トルクの９０％以上となる範囲）にあるときに、電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】 厚さ寸法の異なるトーションバーまたは可動部を簡単にしかも高い精度で形成することのできるプレーナ型アクチュエータの製造方法を提供する。
【解決手段】 シリコンからなる第１のウェハ１０の裏面側からエッチングして、トーションバー３，５または可動部４，６の少なくとも一方に対応する部位をトーションバー３，５または可動部４，６に応じた厚さが残るように除去して空隙を形成する工程と、第１のウェハ１０の裏面側に、シリコンからなる第２のウェハ１３を貼り合わせる工程と、第１のウェハ１０の表面をエッチングして可動部４，６、トーションバー３，５および固定部２以外の部分を除去する工程と、第２のウェハ１３の裏面をエッチングして固定部２以外の部分を除去する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】高コストを招く恐れのある３次以上の高次関数を用いることなく、それらと同等の効果的なクロストークとRabbit Earの抑制を実現できる光スイッチおよび光スイッチの制御方法を提供する。
【解決手段】算出部１７は、制御変数Ｖｔからミラー１０４１をｘ軸回りおよびｙ軸回りにそれぞれ所定量回動させるための軸電圧ＶｘおよびＶｙを算出する。電極電圧制御部１８は、そのＶｘおよびＶｙから電極それぞれに印加する駆動電圧を算出して、この駆動電圧に対応する電極に印加する。比較器１３は、検出結果の目標値に対する偏差を求める。加算器１５は、その偏差に応じた補償量を制御変数Ｖｔに加算して、偏差を制御変数Ｖｔに負帰還する。これにより、２つの軸を有するミラーの動作を１つの制御変数Ｖｔによって高次関数を用いることなく制御することが可能となるので、クロストークの低減とRabbit Earの抑圧を両立するミラーの動作を、低コストで実現することができる。 （もっと読む）

【課題】光学的作用を生じさせるレンズ等の光学部品を不要とすることにより、光学系の構成を簡素化し、コストダウンを図ることができるマイクロミラー素子を提供する。
【解決手段】可動板１０のベースとなる基板層１５の外面側に、中間層１６が蒸着により形成され、中間層１６の外面側に、ミラー層１７が蒸着により形成される。基板層１５及びミラー層１７とは異なる熱膨張係数の材料から成る中間層１６によって、可動板１０を凹状又は凸状に変形させて、可動板１０のミラー面１２を光学的に凸面状又は凹面状に形成する。 （もっと読む）

【課題】クロストークおよびRabbit Earの抑制を低コストで実現することができる光スイッチおよび光スイッチの制御方法を提供する。
【解決手段】算出部１７は、制御電圧Ｖｔからミラー１０４１をｘ軸回りおよびｙ軸回りにそれぞれ所定量回動させるための軸電圧ＶｘおよびＶｙを算出する。電極電圧制御部１８は、電極にバイアス電圧を印加したときのミラーの回動角と電極電圧との関係に基づいて、軸電圧ＶｘおよびＶｙから電極それぞれに印加する電極電圧を算出する。これにより、高い計算負荷と変数精度を要求される高次関数を使わなくても、クロストークの低減とRabbit Earの抑圧を両立するミラーの動作を、途中でミラーの向きを急激に変えることなく、シームレスに連続して実現することができる。結果として、より低コストで、クロストークの低減とRabbit Earの抑制を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】騒音を低減する光スキャナーを提供する。
【解決手段】光反射性を有する光反射基板１１と、光反射基板１１を支持する梁１３と、を有する第１振動子１０と、可動基板２１と、可動基板２１を支持する梁２３と、を有する副振動子２０と、第１振動子１０および副振動子２０の梁をねじれ変形させて駆動軸Ｘまわりに駆動させる磁石１４，２４とコイル１５，２５と、を備え、第１振動子１０の駆動軸Ｘに沿って各梁１３，２３が配置されることで、第１振動子１０および副振動子２０が駆動軸Ｘに対して直列に配置され、副振動子２０の駆動する周波数が第１振動子１０と同一で、かつ、位相が逆位相である。 （もっと読む）

【課題】捩れ連結部の捩れ抵抗が低く設定されつつミラー面の法線まわりの回転などのミラー形成部の不適切な動作が制御されたマイクロミラー素子を提供すること。
【解決手段】マイクロミラー素子１００において、フレーム１１３と、ミラー平面１１４を有するミラー形成部１１１と、フレーム１１３およびミラー形成部１１１を連結するように延びるとともに、ミラー形成部１１１をフレーム１１３に対して回転させるための回転軸心Ｘ１を規定し、さらにミラー平面１１４に対して平行する捩れ連結部１１２と、を備え、捩れ連結部１１２は２本のトーションバー１１２ａからなるとともに当該２本のトーションバー１１２ａは捩れ連結部１１２の幅を規定し、この幅は、ミラー形成部１１１に接続される部分では相対的に広く、フレーム１１３に至るまでは、ミラー形成部１１１から遠ざかるにつれて徐々に狭くなることとした。 （もっと読む）

【課題】 ＭＥＭＳアレイなどの二重軸ミクロミラーと、平行プレート静電動作で使用されるヒンジにおいて、正味の縦横変位を同時に制限しながら、コンプライアントなトーション回転を可能にする。
【解決手段】 円形ミラー（１２）は、対向しているが中心軸からずれた位置（３６）および（３７）で、複合縦ヒンジ（４０）および（４２）によってジンバル（４４）に連結されている。 （もっと読む）

【課題】壁電極を用いるミラーアレイを備えるＭＥＭＳ素子が、より容易に製造できるようにする。
【解決手段】第１電極パターン１１３に溝部１１３ａを形成する。同様に、第２電極パターン（不図示）にも溝部を形成する。例えば、公知の技術となっているＳｉの深堀加工技術であるＤＲｌＥエッチング技術で、ＳＦ₆をエッチングガスとして用いることで、上述したエッチングが行える。ここで、溝部１１３を形成するエッチングでは、形成した溝部１１３ａの底部に、第１電極パターン１１３（シリコン層１０３）が残るようにエッチング時間を制御する。例えば、実験などにより、予めエッチングレートを測定しておき、このエッチングレートより、溝部１１３ａの底部に、第１電極パターン１１３（シリコン層１０３）が残る処理時間を算出し、この算出結果を上記エッチングに適用させればよい。 （もっと読む）

【課題】電磁駆動式でミラーを揺動させ、光ビームを偏向させる光学装置において、駆動コイルの最外周配線長を長くし、揺動可能に支持された可動部の駆動トルクを大きくする。
【解決手段】電磁駆動式の光学装置において、可動部と離反させて駆動コイル設置部を設置する。ミラーは可動部の上方に固定されており、駆動コイル設置部は、可動部の下方に設置され、接続部によって互いに固定されている。磁界中で駆動コイル設置部に配線された駆動コイルに電流が流れると、駆動コイル設置部にローレンツ力が作用し、接続部によって固定された可動部と駆動コイル設置部とは一体となって揺動する。駆動コイルが設置される駆動コイル設置部は、可動部と別に設置されているため、駆動コイル設置部の外周を可動部の外周より大きくし、駆動コイルの最外周配線長さを大きくすることができる。これによって、可動部の駆動トルクを大きくすることができる。 （もっと読む）

【課題】接合材の熱収縮によるマイクロミラーチップの平面度の低下が低減されたマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス１００は、マイクロミラーチップ１１０と、電極基板１３０と、マイクロミラーチップ１１０および電極基板１３０を保持している基板保持部材１７０とを有している。マイクロミラーチップ１１０は可動ミラー部１１２を備えている。電極基板１３０は、マイクロミラーチップ１１０から間隔を置いてマイクロミラーチップ１１０に対向して配置されている。基板保持部材１７０は、マイクロミラーチップ１１０の側面および電極基板１３０の側面と機械的および電気的に接合された二つの板状部材１７２で構成されている。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ技術を利用した光学装置において、可動ミラーの沈み込みを抑制し、かつ、可動ミラーの正常動作を阻害しないようにする。
【解決手段】可動ミラーは、可撓梁の上方に可撓梁と接離可能な抑止部を備えている。抑止部の下方への変位量は、可動ミラーの沈み込み量と同じである。可撓梁の下方への変位量が可動ミラーの沈み込み量よりも小さい領域に抑止部を設置すると、可動ミラーが沈み込むことによって抑止部が沈み込んで、抑止部の下方に位置する可撓梁の上面に抑止部が接触する。抑止部が可撓梁の上面によって支持されることによって抑止部の下方への変位量が規制され、可動ミラーの沈み込み量が規制される。可撓梁は、可動ミラーと比較して細長く、柔軟性を有するため、可動ミラーの正常動作を阻害しない。 （もっと読む）

【課題】電極に印加する駆動電圧の振幅とミラーの回動角との非線形性を改善する。
【解決手段】ミラー制御装置は、ミラー２３０に電圧を印加するミラー電圧印加部４００と、バイアス電圧記録部４０２からバイアス電圧の値を取得し、ミラー２３０の回動軸に対して対称に配置された１対の電極のうちの一方の電極３４０ａ（３４０ｂ）とミラー２３０との間に生じる電位差の絶対値と、１対の電極のうちの他方の電極３４０ｃ（３４０ｄ）とミラー２３０との間に生じる電位差の絶対値とが、バイアス電圧によって発生する電位差の絶対値に対して常に差動的になるように、ミラー２３０の所望の回動角に応じて駆動電圧を決定する駆動電圧演算部４０４と、駆動電圧を電極３４０ａ〜３４０ｄに印加する駆動電圧印加部４０１とを備える。 （もっと読む）