【課題】小型でかつ半導体素子の設計レベルで光学的なアライメントが可能な回折格子装置および表示装置を提供することを可能にする。
【解決手段】表面に空洞部２２が形成された半導体基板２０と、半導体基板に形成され、光源からの光を伝搬する導波路２５と、空洞部上に形成されるとともに導波路から伝搬される光を回折する格子周期が可変な回折格子を有し、格子周期を変えることにより回折光の方向を変化させるフォーカスグレーティングカプラ３０と、一端が半導体基板と連結されフォーカスグレーティングカプラを支持する支持部４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラー装置およびマイクロミラーアレイのフィルファクタを向上させる。
【解決手段】電極１５−１〜１５−４は、可動梁１２−１〜１２−４に対向して配置される。これにより、固定電極をミラーに対向して配置したするよりも、各ミラー１４を高密度に配置することができるので、結果として、フィルファクタを向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、小型で簡単な構造で、レーザ光源等の光源からの光を走査して画像を表示する際に生じるスペックルノイズを低減することができる光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器Ａ１のミラー部１は、１対又は２対の第１の圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄにより１対のトーションバー２ａ，２ｂを介して、第１の軸周りで回転駆動され、１対の第２の圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂにより駆動される可動枠９を介して、第１の軸周りと異なる第２の軸周りで回転駆動されると共に、１対の第２の圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂにより並進駆動される。 （もっと読む）

【課題】低コストで、より簡単な形状で折れにくい捩り梁と、捩り回転時に梁が折れ難く、振れ角が大きい前記捩り梁を用いた光走査装置を提供する。
【解決手段】捩り梁１の端部の厚み方向に曲線をつける。これにより、捩り梁１の折れの原因となり得るせん断応力の影響が小さくなることに加えて、引っ張り応力の集中が緩和される。 （もっと読む）

【課題】駆動コイルと外部接続端子を接続する引出し配線の応力により、トーションバーの動きが阻害されることを防止する。
【解決手段】固定部２、可動部４及びトーションバー３を半導体基板で一体形成し、可動部４上に導電パターン５による駆動コイル部５Ａを設け、駆動コイル部５Ａに電流を供給することにより発生する電磁力により可動部４を駆動するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、駆動コイル部５Ａを外部接続端子７に接続する導電パターン５における引出し配線部５Ｂのトーションバー配線部分を、トーションバー３から浮かす構造とした。 （もっと読む）

【課題】電流リークの発生を抑制するのに適し且つ駆動電極間に発生する駆動力の高精度制御に適したマイクロ可動素子を提供する。
【解決手段】可動部と、可動部を駆動するための第１および第２駆動電極とを備えるマイクロ可動素子であって、第１駆動電極と電気的に接続している導体部２１ａと、第２駆動電極と電気的に接続している第２導体部２２ａと、導体部２１ａ，２２ａ間の中間絶縁部２３ａとからなる部分積層構造部を含み、導体部２２ａは、導体部２１ａに対向する対向面Ｓ１と、側面Ｓ２と、当該対向面Ｓ１および側面Ｓ２の境界をなすエッジ部Ｅ１とを有し、導体部２１ａは、エッジ部Ｅ１を超えて導体部２２ａよりも延出する延出面Ｓ３を有し、導体部２１ａのエッジ部Ｅ１の少なくとも一部は絶縁膜５０で覆われており、第１および第２駆動電極の少なくとも一部は絶縁膜５０で覆われていない。 （もっと読む）

【課題】光走査装置全体の寸法の増大を抑制しつつ、効率よく反射部の振動の角度振幅を大きくする
【解決手段】光走査装置１は、鏡面が表面に形成される本体部１１と、本体部１１に設けられて櫛歯状に形成された櫛歯電極部１４，１５と、櫛歯電極部１４，１５と一定間隔を空けて噛み合う櫛歯電極部２１，２２と、櫛歯電極部２１，２２を駆動させる櫛歯駆動部２５，２６と、本体部１１と櫛歯電極部２１，２２を揺動可能に支持する支持部３とを備える。櫛歯駆動部２５，２６を作動させることにより、櫛歯電極部２１，２２を所定周波数で支持部３に対して振動させることができる。これにより、本体部１１の振動による櫛歯電極部１４，１５の位置変化に応じて、櫛歯電極部１４，１５と櫛歯電極部２１，２２とが対向するように、櫛歯電極部２１，２２の位置を変化させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】静電トルクを増大させるための櫛歯側面の狭ギャップと、櫛歯電極の接触によるショート不良を低減させるための櫛歯先端の広ギャップを同時に容易に形成する。
【解決手段】櫛歯電極１、２の先端を最も細い櫛幅とする。これにより、櫛歯先端部のギャップ３を広くすることができ、高次振動による櫛歯電極１、２の接触に起因するショート不良が低減される。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、ミラーの駆動状態を迅速に精度良く検出して制御可能な光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器Ａ，Ａ’は、反射面１ｂを有するミラー部１と、一端がトーションバー２ａ，２ｂに連結され他端が支持部１０に連結されて支持された第１の圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄとを備え、第１の圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄの圧電駆動によりトーションバー２ａ，２ｂを介してミラー部１を回転駆動させる。光偏向器は、一端がトーションバー２ａ，２ｂに連結され他端がミラー部１に連結されて支持された第２の圧電アクチュエータ９ａ〜９ｄを備える。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、デバイスサイズの増大や偏向・走査性能の低下を防止しつつ、振動や衝撃を緩和して破損を効果的に回避できる光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器Ａ１は、反射面を有するミラー部１と、トーションバー２ａ，２ｂに一端が連結され他端が支持部１０に連結されて支持された圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄとを備え、圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄに駆動電圧を印加することで、トーションバー２ａ，２ｂを介してミラー部１を回転駆動させる。光偏向器Ａ１は、ミラー部１と支持部１０との間に設けられた空隙１０’に、支持部１のミラー部１に対向する部分に連結された衝撃緩和部９ａ，９ｂを有する。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、小型で簡単な構造で、最大偏向角の増大や偏向角・偏向速度の迅速で精度良い制御が可能な光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器は、反射面１ｂを有するミラー部１と、一端がトーションバー２ａ，２ｂに連結され他端が支持部１０に連結されて支持された第１の圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄと、第１の圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄに印加する駆動電圧を制御することで第１の圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄの駆動によるミラー部１の回転駆動を制御する制御手段２１と、一端がトーションバー２ａ，２ｂに連結され他端がミラー部１に連結されて支持された第２の圧電アクチュエータ９ａ〜９ｄと、第２の圧電アクチュエータ９ａ〜９ｄに印加する駆動電圧を制御することで第１の圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄの駆動によるミラー部１の回転駆動を調整する調整手段２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、小型で簡単な構造で、高い駆動周波数と大きい最大偏向角とを両立可能な光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器Ａ１のミラー部１と、ミラー部１を駆動する圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄ，１０ａ，１０ｂの圧電カンチレバーの支持体４ａ〜４ｈは、複数の層から構成される半導体基板ＳＯＩを形状加工して一体的に形成される。圧電カンチレバーの支持体４ａ〜４ｈは、複数の層のうち少なくとも１つの層からなる第１の支持層３１ａを形状加工して形成され、ミラー部１は、複数の層のうち第１の支持層３１ａと厚さが異なる少なくとも１つの層からなる第２の支持層３１ｃを形状加工して形成される。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳデバイスの構造を考慮することなく、且つＭＥＭＳモジュールがＭＳデバイスが直接緩衝材に触れることのない構造でありながら、外部から振動、衝撃等の機械的応力から保護されて常時良好な諸特性を発揮することが可能なＭＥＭＳモジュールを提供することにある。
【解決手段】ＭＥＭＳデバイス２を実装するパッケージ３の台座部１９に設けられたリードピン挿通孔１７に隙間を設けてリードピン２０を挿通し、該隙間に柔軟性及び絶縁性を有する緩衝材２２を充填して台座部１９にリードピン２０を固定するようにした。 （もっと読む）

【課題】、パッケージに対するＭＥＭＳデバイス実装時のアライメンが容易で且つアライメント精度が高く、パッケージの小型化も可能にするＭＥＭＳモジュールを提供することにある。
【解決手段】パッケージ３の台座部１９に複数のリードピン２０を設けると共にＭＥＭＳデバイス２の該リードピン２０に対応する位置にリードピン挿通孔１７を設け、リードピン挿通孔１７にリードピン２０を挿通して台座部１９上にＭＥＭＳデバイス２を載置した後、リードピン２０とＭＥＭＳデバイス２の電極パッドを電気的に接続した。 （もっと読む）

【課題】可動板の寸法を保ったまま、ねじり方向の固有振動数を選択的に変化させ、所望の共振周波数に容易に調整することが可能となる揺動体装置及びその製造方法、揺動体装置によって構成される光学機器を提供する。
【解決手段】支持部に対し、バネ性を備えた梁構造によってねじり軸まわりに揺動可能に連結された可動板を備え、該可動板を該ねじり軸まわりに駆動する揺動体装置であって、
前記梁構造は、該梁構造のバネ定数を調整するための弾性体を設ける凹部を有し、
該凹部に設けられる前記弾性体により、前記可動板の共振周波数が調整可能に構成されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、反射板の回動中心のずれの発生を抑制できるようにする。
【解決手段】フレーム２１と、その内側に配置された反射板２２と、フレーム２１の内縁の対向する位置からそれぞれ内方に延びて反射板２２の外縁との間をそれぞれ連結し、捩れ方向の可撓性を有する一対の連結部２３、２４とを備え、反射板２２の一端側に受けた外力により、連結部２３、２４を捩れ変形させて反射板２２を回動させる光スキャナにおいて、フレーム２１に固定され、反射板２２の一面２２ｂ側の連結部２３、２４間を結ぶ線と重なる部分に接触して、反射板２２の一面２２ｂ側への移動を規制する接触規制体３０を設けた。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図りつつ、寸法精度を優れたものとし、長期にわたり高精度に波長分離を行うことができる光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１は、第２の凹部３２を有し、その底面に第１の反射膜２５に光学ギャップＧ１を隔てて対向する第２の反射膜３４が設けられた第２の基体３は、平面視にて第２の凹部３２に対応する部分に設けられた第１の部材３ａと、平面視にて第２の凹部３２の外側の部分に設けられた第２の部材３ｂ１、３ｂ２とが接合膜４１を介して接合され、接合膜４１は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含む。 （もっと読む）

【課題】可動部を気密封止する際の封止部材のアライメントを容易にする。
【解決手段】ウェハ上の各ダイの周辺領域に第１のマスクパターンを形成するステップと、第１のマスクパターンから露出した第１の露出領域を所定深さだけ除去して、ダイの周辺領域に対応する部分を当該第１の露出領域よりも突出した段差形状に形成するステップと、第１の露出領域中の周辺部の全周に亘って第２のマスクパターンを形成するステップと、第２のマスクパターンから露出した第２の露出領域を除去して側壁部を形成するステップと、側壁部で規定される中空空間に可動部を形成するステップと、段差形状に所定の封止部材を当て付けて、当該封止部材が中空空間を閉塞するよう位置合わせするステップと、位置合わせされた封止部材を接合して中空空間を気密封止するステップと、を含む方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】駆動櫛歯電極対間のスティッキングを回避するのに適したマイクロ揺動素子とその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ揺動素子Ｘ１は、フレーム２１と、櫛歯電極１３Ａを含む揺動部１０と、櫛歯電極２３Ａとを備える。櫛歯電極１３Ａは複数の電極歯１３ａからなり、櫛歯電極２３Ａは、各々が側面Ｓ１，Ｓ２を有する複数の電極歯２３ａからなる。側面Ｓ２はテーパ領域Ｓ２’を含む。本発明の方法は、例えば、第１層と、第２層と、これらの間の中間層とを含む積層構造を有する材料基板における第２層上に、櫛歯電極２３Ａの電極歯２３ａに対応するパターン形状を有するマスク部位を含むマスクパターンを形成する工程と、当該マスクパターンを利用しつつ第２層に対して異方性ドライエッチング処理を施す工程とを含み、当該マスク部位は、電極歯２３ａの側面Ｓ２を形成するためのテーパ面を有する。 （もっと読む）

【課題】省電力化を図りつつ、大きい駆動力で可動板を回動させることができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、可動板２１と、支持部２２と、可動板２１と支持部２２とを連結する１対の軸部材２３、２４とを有している。また、アクチュエータ１は、可動板２１の下面側に設けられた永久磁石５１とコイル５２とを有している。永久磁石５１は、回動中心軸Ｘと異なる方向に磁化されている。また、永久磁石５１は、コイル５２の内側に位置している。 （もっと読む）