【課題】駆動時に並進変位動作する可動部について回転変位を抑制するのに適したマイクロ可動素子、および、そのようなマイクロ可動素子を含んでなる光干渉計を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ可動素子Ｘ１は、可動部１０、固定部２０、および連結部３１〜３４を備える。可動部１０は、一対の電極部１２，１３を有する。固定部２０は、電極部１２，１３の離隔方向に交差する方向における可動部１０の並進変位の駆動力を電極部１２，１３と協働して発生させるための一対の電極部２２，２３を有する。複数の連結部３１〜３４のそれぞれは、可動部１０に接続し且つ固定部２０に接続する。連結部３１および可動部１０が接続する接続部Ｐ１と、連結部３３および可動部１０が接続する接続部Ｐ３との離隔方向における、接続部Ｐ１，Ｐ３の間以内に、電極部１２，１３は位置する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバ等の光出入射手段への迷光の侵入を防ぎ、反射減衰特性に優れた光デバイスを実現する。
【解決手段】少なくとも一部に壁面３１を有する自由空間と、自由空間に向けて光ビームを出射する１以上の光出射手段と、当該自由空間を経て到達した光ビームが入射する１以上の光入射手段とを有する光デバイスの壁面３１のいずれかの個所に、その個所を照射する不要光５２が自由空間内に向けて反射されることを防ぐ終端導波路７０などの反射防止手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】可動鏡を含む光学系の気密性を高めることができ、且つ小型化が可能な光モジュールを提供する。
【解決手段】光モジュール１Ａは、支持基板１０と、支持基板１０の板面１０ａ上に絶縁層１２を介して配置された半導体層１４とを有するＳＯＩ基板から作製される光モジュールであって、Ｙ軸方向に移動可能となっており、Ｙ軸方向と交差する側面上に鏡面２２ａが形成された可動鏡２２と、支持基板１０の板面１０ａ上に設けられ、可動鏡２２の鏡面２２ａと光学的に結合されたフォトダイオード３２と、支持基板１０の板面１０ａ上に設けられ、可動鏡２２及びフォトダイオード３２を気密に封じるキャップ部材３４と、支持基板１０及び絶縁層１２を貫通して設けられ、フォトダイオード３２と電気的に接続された素子用電極部３６とを備える。 （もっと読む）

本発明は、電極層間に絶縁層を有する少なくとも３つの他の電気的な電極層を備える層状マイクロエレクトロニック及び／又はマイクロメカニック構造に関する。第１の外側層内にビアが提供され、前記ビアは前記層を介してウェハ固有の材料で作られる絶縁された電極、前記層を通して導電性を提供するために他の層を介して前記第１の外側層内の前記ビアに延びる電気的導電性のプラグと、前記選択された層にあって前記材料から前記プラグを絶縁するための前記他の層の少なくとも一つの選択層における前記導電性プラグを囲む絶縁エンクロージャとを備える。さらに、少なくとも一方向にて可動されるような、窪みのうえに提供された可動部材を備えるマイクロエレクトロニック及び／又はマイクロメカニックデバイスに関する。前記デバイスは、本発明に係る層状構造を有する。そのような層状ＭＥＭＳ構造を形成する方法も提供される。
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【課題】近接投影を行う場合に、投影面全体で解像度を一定にすることができる光走査装置および画像形成装置を提供する。
【解決手段】レーザビームを出射する光源３と、所定の軸を中心にして回動可能に構成され、光反射部で反射したレーザビームを対象物に走査する光偏向器１と、光偏向器１による垂直方向の走査ラインの間隔が一定になるように、垂直走査ミラー１ｂの単位時間あたりの偏向角変化量を制御する駆動制御部７と、駆動制御部７によって決定された回動角度に従って光偏向器１を回動駆動させる駆動部２を備える。 （もっと読む）

【課題】デバイス特性に関わらず、マイクロミラーを効果的に大きく傾斜させる。
【解決手段】トーションバー１４Ａ、１４Ｂを介してマイクロミラー１２が揺動可能に支持されるマイクロミラーデバイス１０において、櫛歯状の可動電極部２０Ａ、２０Ｂ、固定電極部３０Ａ_１、３０Ａ_２、３０Ｂ_１、３０Ｂ_２をそれぞれマイクロミラー１２、支持フレーム１６に形成する。そして、可動電極２６Ａ_１〜２６Ａ_６、２６Ｂ_１〜２６Ｂ_６、固定電極３６Ａ_１〜３６Ａ_６、３６Ｂ_１〜３６Ｂ_６をＸ軸に沿って交互に配置する。このとき、各可動電極はマイクロミラー側に隣接する固定電極に近接配置する。 （もっと読む）

【課題】初期駆動に必要な印加電圧を抑えながら、マイクロミラーを容易に傾斜させる。
【解決手段】トーションバー１４Ａ、１４Ｂを介してマイクロミラー１２が揺動可能に支持されるマイクロミラーデバイス１０において、マイクロミラー１２と一体的に形成された櫛歯形状の可動電極部２０Ａ、２０Ｂに、Ｘ軸に沿ってその先端部がマイクロミラー１２に向けて延びる可動電極２６Ａ_１〜２６Ａ_４、２６Ｂ_１〜２６Ｂ_４を設ける。一方、支持フレーム１６と一体的に形成された櫛歯形状の固定電極部３０Ａ_１、３０Ａ_２、３０Ｂ_１、３０Ｂ_２に、Ｘ軸に沿ってその先端部が支持フレーム１６に向けて延び、可動電極２６Ａ_１〜２６Ａ_４、２６Ｂ_１〜２６Ｂ_２とそれぞれ交互にピッチ間隔ｓで近接配置される固定電極３６Ａ_１〜３６Ａ_４、３６Ｂ_１〜３６Ｂ_４を設ける。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の鏡面性と製造歩留りに優れたＭＥＭＳ走査型ミラーおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 少なくとも１つの段差付き静電櫛歯アクチュエータを有するＭＥＭＳ走査型ミラーであって、ミラーがその最上面ＴＯＰＳよりも下に形成されている。また、少なくとも１つの段差付き静電櫛歯アクチュエータを有するＭＥＭＳ走査型ミラーの製造方法では、絶縁層Ｉを除去することによりミラー板１０Ｂの表面１０ＢＳが露出される。 （もっと読む）

【課題】焦点可変で且つ高精度の一様な近似放物面形状を得ることができるようにしたミラー装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ミラー装置３０は、薄板状のミラー部３１ａと、ミラー部３１ａを懸架するサスペンション３１ｂを有し、ミラー部３１ａの周縁の少なくとも一部を包囲し、かつサスペンション３１ｂによりミラー部３１ａをその表面に垂直な方向へ移動可能に支持するベース部３１ｃと、から成るミラー基板３１と、ミラー基板３１のベース部３１ｃの表面に配設した支持基板３２と、を備え、支持基板３２が、ミラー基板３１の周縁の内側に対向してミラー部３１ａの表面に当接する支持部３２ａと、支持部３２ａより外側でミラー部３１ａに対向して形成された固定電極部３２ｂを有している。 （もっと読む）

【課題】フレームと可動部とを連結する連結部のバネ定数の変動を抑制するのに適したマイクロ可動素子、および、そのようなマイクロ可動素子を備える光スイッチング装置を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ可動素子Ｘ１は、フレーム３０、可動部２０、及びこれらを連結して可動部２０の回転変位の軸心Ａ２を規定する連結部４２，４３が形成されている基板Ｓ１と、基材Ｓ２と、基板Ｓ１のフレーム３０および基材Ｓ２の間に介在してこれらに接合するスペーサ部、並びに、当該スペーサ部を覆ってフレームおよび支持基材に接合する接着剤部、を有する少なくとも一つの強固定部７０Ｃ，７０Ｄとを備える。フレーム３０は、軸心Ａ２の延び方向において可動部２０と対向する第１領域部３０Ａおよび第１領域部３０Ａ外の第２領域部３０Ｂを有する。強固定部７０Ｃ，７０Ｄは、フレーム３０における第２領域部３０Ｂに対して接合している。 （もっと読む）

【課題】 圧電薄膜方式の形状可変ミラーにおいて精度よく収差補正を行う。
【解決手段】 形状可変ミラーは、内部可動枠と、内部可動枠の内側に形成される回動板と、第１のトーションバーを挟む形で形成された第１の圧電膜及び第１の電極と、第２のトーションバーを挟む形で形成された第２の圧電膜及び第２の電極と、を含み、第１の電極及び第２の電極に印加される電圧によって回動される回動板の回動角度が調整される圧電アクチュエータが複数配置された圧電アクチュエータアレイと、各圧電アクチュエータに設けられた前記回動板上に形成される柱部と、前記柱部によって下方より支持されるマイクロミラーと、を備え、各圧電アクチュエータに設けられた回動板の回動角度によって各マイクロミラーの反射面の角度が二次元的に調整されることによりミラー面全体の形状が変化されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】捩れ運動が繰返されるトーションバー部分に設けた引出し配線の金属疲労を低減する。
【解決手段】固定部に可動部を揺動可能に軸支するトーションバー３に、可動部側の駆動コイルと固定部側の電極端子を接続する引出し配線６を設ける構成のプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、シリコン基板で形成しその上面に引出し配線６を設けたトーションバー下層部３Ａ上に、ガラス材で形成したトーションバー上層部３Ｂを陽極接合することにより、捩り応力の小さいトーションバー中心位置に引出し配線６を設ける構成とした。 （もっと読む）

【課題】所望する反り量のミラーを製造することができるミラー装置の製造方法を提供する。
【解決手段】回動可能に支持された平板状のミラーを有するミラー基板を用意する第１のステップと、ミラーの一の面に第１の金属層を形成する第２のステップと、ミラーの他の面に第２の金属層を形成する第３のステップと、電極基板上にミラー基板を載置し、電極とミラーとを対向配置する第４のステップとを有し、表面層２３２及び裏面層２３３の少なくとも一方の厚さを制御する。これにより、ミラー２３０の反り量を制御して、所望の曲率半径を有するミラー２３０を製造することができる。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧に対するミラーの傾斜角の線形応答性を改善する。
【解決手段】ミラー基板に対して回動可能に支持されるミラー１４０３と、ミラー基板と対向する電極基板の上に形成された駆動電極１３０３−１〜４と、電極基板の上に形成された、ミラーの回動中心を支えるピボットと、駆動電極に電圧を印加する制御回路とを備え、駆動電極は、ピボットの周りの電極基板上に複数形成され、バイアス電圧Ｖｂを印加した状態で、正側駆動電極と負側駆動電極との間に電圧差を生じさせる。これにより、ミラー１４０３を回動させることができ、駆動電圧Ｖに対する傾斜角θの線形応答性を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性に優れたミラー装置を提供する。
【解決手段】ミラー基板に対して回動可能に支持されるミラーと、ミラー基板と対向する電極基板の上に形成された駆動電極と、ミラーをミラー基板に連結する弾性部材とを備え、ミラー基板は、第１の開口を有し、ミラーは、弾性部材により第１の開口内で回動可能に支持され、ミラーの質量をｍ、ミラー装置に加わる加速度をＧ、弾性部材のバネ定数をｋとするとき、ミラーと弾性部材との間隔ｄ１〜ｄ４は、ｄ＝ｍＧ／ｋの変位量ｄの値より大きくなるように設定する。これにより、ミラーアレイに加速度Ｇが加わった場合でも、ミラー基板２００の可動部材は、この可動部材と隣接する部材に接触しないので、破損するのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】異物が挟まって可動体が動作しなくなりさらには電気的短絡が生じるといった不具合が発生しない微小可動デバイスを提供する。
【解決手段】単結晶シリコン基板６１上に、絶縁層６２を介して単結晶シリコン層６３からなる構造体（固定櫛歯電極５１，５２等）が固定され、基板板面と平行に変位する単結晶シリコン層からなる可動体（可動ロッド４６等）が構造体に保持されてなる微小可動デバイスにおいて、単結晶シリコン基板上面の構造体が存在しない全領域に凹部６４が形成され、可動体が絶縁層を具えずに凹部上に位置し、異物が挟まらない十分な空隙が確保され、かつ構造体が凹部上に張り出すオーバーハング部を持ち、このオーバーハング部の下側にあって構造体を単結晶シリコン基板に固定している絶縁層の周縁が凹部上に懸からない位置に在り、これによって単結晶シリコン基板と単結晶シリコン層との間に微小な空隙が形成されて電気的短絡が防止される。
【選択図】図１１
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調整可能なナノワイヤを有する共振空洞が開示される。該共振空洞は基板(114/116/230/330/430/530/630)を備える。該基板は光共振器構造(110/210/310/410/510/610)に結合可能である。該共振空洞はまた、該基板上に形成された複数のナノワイヤ(120/220/320/420/520/620)を備える。該複数のナノワイヤは、エネルギーの印加に応答して作動する(122/222/322/422/522/623)。
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【課題】ミラー基板と電極基板との間隔をより容易に大きくできるようにする。
【解決手段】ミラー基板１９００と電極基板２０００とのギャップが、リブ構造体２０１０とギャップ補助層２１０１により形成される。言い換えると、ミラー基板１９００と電極基板２０００とは、ギャップ補助層２１０１とリブ構造体２０１０とを介して接合されている。これにより、ミラー基板１９００と電極基板２０００とが、ギャップ補助層２１０１とリブ構造体２０１０とにより離間しているようになり、ミラー基板１９００と電極基板２０００との間隔が、より容易に大きくできるようになるという優れた効果が得られる。 （もっと読む）

【課題】良品歩留まりの高い状態でミラー基板が形成できるようにする。
【解決手段】ミラー基板２３００では、基部２３０１，連結部２３３２ａ，連結部２３３２ｂ，可動枠２３０３，ミラー連結部２３３４ａ，ミラー連結部２３３４ｂ，及びミラー２３３５の各間隙に、充填された状態で保護層２３０７ａを備えている。これにより、上述した構造体が回動などの動作を抑制された状態となり、外部からの機械的振動による破損や損傷から保護されるようになる。 （もっと読む）

【課題】ミラー装置及び複数のミラー装置を２次元的に配置したミラーアレイにおいて、近接する配線からの干渉による予期しないミラーの傾斜角の変動を抑制する。
【解決手段】ジンバル１１０２の回動軸と直交する方向に、配線１００５−１〜１００５−４，１００６を設ける。これにより、配線１００５−１〜１００５−４，１００６からの干渉による予期しないミラー１１０３の傾斜角の変動を抑制することができ、ミラー１１０３から配線１００５−１〜１００５−４，１００６を離すことで、この抑制効果をさらに高めることができる。 （もっと読む）