集積空間光変調器を製造する方法。該方法は、ボンディング表面を含む第１の基板を提供するステップと、デバイス基板を処理して少なくとも１つの電極層を形成するステップであって、該電極層が複数の電極を含むステップと、該電極層上にスタンドオフ層を堆積するステップとを含んでいる。該方法はさらに、該スタンドオフ層からスタンドオフ構造を形成するステップと、該第１の基板の該ボンディング表面を該デバイス基板の該スタンドオフ構造に接合するステップとを含んでいる。具体的な実施形態では、該方法はさらに、スタンドオフ層を堆積する該ステップの後に、該スタンドオフ層の化学的機械的研磨を実行して該スタンドオフ層の上部表面を平坦化するステップを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】 モノリシック光電子フィードバック構造の使用を介して、ＳＯＩベースの光電子システムの信頼性と寿命を改善する。この構造は、光電子システム内の一またはそれ以上の光信号をモニタして、選択した光学デバイスの動作パラメータを調整する電気フィードバック信号を提供する。例えば、入力信号結合方向を制御することができる。代替的に、光学モジュレータ、スイッチ、フィルタまたは減衰器の動作は、本発明のモノリシックフィードバック構造によるクローズドループフィードバック制御下にあっても良い。フィードバック構造は、また、制御電子機器に接続されたキャリブレーション／ルックアップテーブルを具えて、システムの性能を解析するのに使用するベースライン信号を提供することができる。 （もっと読む）

本発明は、外側の反射面及びその上に複数の永久磁石が固定される内側表面を有する可変鏡（２，３）からなる光電気デバイスに関し、前記デバイスは、可変膜に対応する領域を局所的に置換してその上に電磁気力を及ぼすために永久磁石と対向して置かれた複数の電磁石（６）を含むハウジング（５）をさらに含む。本発明は、内側表面（７）全体が可撓性材料の連続層で被覆されていることを特徴とする。
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