【課題】省電力化を図りつつ、大きい駆動力で可動板を回動させることができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、可動板２１と、支持部２２と、可動板２１と支持部２２とを連結する１対の軸部材２３、２４とを有している。また、アクチュエータ１は、可動板２１の下面側に設けられた永久磁石５１とコイル５２とを有している。永久磁石５１は、回動中心軸Ｘと異なる方向に磁化されている。また、永久磁石５１は、コイル５２の内側に位置している。 （もっと読む）

【課題】内視鏡に搭載可能な小型の光走査素子を２軸方向にそれぞれ駆動可能に構成すると共に、光学系の開口率を上げることが可能な光走査素子および駆動方法、並びに光走査プローブを提供する。
【解決手段】基板上に支持された微小ミラー２９を物理的作用力によって揺動させる光走査素子であって、基板上で該基板の面に平行な第１の軸を中心として揺動変位可能に支持された第１可動部１１と、第１可動部１１上に一体に配置され、第１の軸とは直交する第２の軸を中心として揺動変位可能に支持されるともに、上面に微小ミラー２９を備えた第２可動部１３と、第１可動部１１および第２可動部１３に物理的作用力を印加することで、微小ミラー２９を第１の軸及び前記第２の軸方向を中心とする２軸方向に揺動変位させる駆動手段３１，３３，３５，３６，・・・と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】光伝送媒体の位置決め調整後に位置ずれが生じないようにする。
【解決手段】光伝送媒体（光ファイバ７１〜７４）を設置するために基体４１に設けられた溝４２の壁面４２ａに形成される押圧ばね５３を、屈曲形状を有し、両端が壁面４２ａに固定された双安定ヒンジよりなるものとする。光伝送媒体は双安定ヒンジの第１の安定状態に近い状態でその屈曲形状の凸部５３ａによって側面が押圧されて溝内で固定され、双安定ヒンジの第２の安定状態では光伝送媒体は溝内で解放される。光伝送媒体の位置決め調整は押圧ばね５３の第２の安定状態で行うことができ、よって光伝送媒体の固定時には従来より強い力で押圧固定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、質量増加を抑え、反射面反りの損失を抑制し、動作角度の高精度化と接点での付着力への抗力を両立し、耐衝撃性、高速制御性及び動作安定性に優れたミラーデバイスを提供する。
【解決手段】可動ミラー付き可動ミラー基板に対向するベース基板を有し、
前記可動ミラーと前記可動ミラー基板とを連結し、前記可動ミラーを前記可動ミラー基板に対して回動可能に支持する梁とを備え、
前記基体は反射面を有する部分よりも厚さの小さい肉薄部を有するとともに、前記肉薄部は反射面側において反射面を有する部分の高さと異なる高さの面を有し、
前記可動ミラーの回動の中心軸よりも端部の側には、剛性を有する可動ミラー端部と弾性を有する剥離用ばねを備え、
前記可動ミラーが、前記ベース基板と、可動ミラー端部及び剥離用ばねの両方で接する状態で回動姿勢を保持するミラーデバイス。 （もっと読む）

【課題】 ミラー（特にミラー反射面）の破損を防止することで、ミラーの反射特性を維持するミラーデバイスを提供する。
【解決手段】 積層された複数（３枚以上）の基板を構成要素にもつミラーデバイスにおいて、前記複数の基板の一枚がミラーを有するミラー基板であり、前記ミラーは前記ミラー基板と支持部材で接続され回動可能であり、前記ミラー反射面と前記枠は前記ミラーの同一面側に配置されており、前記ミラーは前記ミラー基板と該ミラーデバイスを構成する他の基板で形成された閉空間内に配置され、前記複数の基板の少なくとも一枚が、少なくとも部分的に光学的に透明な材料で形成され、前記光学的に透明な材料部分を介し、ミラーデバイス外部の空間と前記ミラーが光学的に接続されているミラーデバイス。 （もっと読む）

【課題】駆動の際に、可動部を支持するばねに生じる応力集中を低減させることが可能な技術を提供する。
【解決手段】駆動装置１Ａは、可動部６に駆動変位を与える駆動部５と、可動部６に設けられた支持部７と、一端および他端を有し、支持部７と一端において接続される弾性部７ａと、固定部８と弾性部７ａの他端との間に介挿され、駆動変位に応じて弾性部７ａに生じる弾性変形を緩和させる緩和部７ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】小型化を図るのに適したマイクロミラー素子およびマイクロミラーアレイを提供する。
【解決手段】本発明のマイクロミラー素子Ｘ１は、第１導体層、第２導体層、並びに当該第１および第２導体層の間の絶縁層、からなる積層構造を有する材料基板から一体的に成形された、ミラー支持部１１を有する揺動部１０と、フレーム２１と、これらを連結して揺動部１０の揺動動作の揺動軸心Ａ１を規定する捩れ連結部２２とを備える。ミラー支持部１１は第１導体層において成形された部位であり、且つ、ミラー支持部１１上には第１導体層の面内方向に広がるミラー面１１ａが設けられている。フレーム２１は第２導体層において成形された部位である。 （もっと読む）

【課題】迷光の再結合による反射減衰を解消する。
【解決手段】基板７１上に第１及び第２の光ファイバ（光導波手段）７４，７５の端部がその光軸が基板板面と平行とされて配置され、それら光ファイバ７４，７５の端部は基板板面に垂直な側壁面によって少なくとも一部が囲まれた自由空間（凹部７６）内を伝播する伝播光を介して互いに光結合される構成とされた光デバイスにおいて、光ファイバ７４の端部と光ファイバ７５の端部とを基板板面と垂直方向において異なる高さ位置に位置させ、光ファイバ７４，７５の先端にその一方から自由空間に出射する出射光の光軸が前記垂直方向において他方が位置する側に向くように偏向する傾斜端面をそれぞれ形成する。 （もっと読む）

【課題】スキャニングミラーの放熱効果を高め、低い駆動電圧で安定したミラー駆動が可能なスキャナを提供する。
【解決手段】表面に光反射層６が形成されたミラー２と、ミラー２を挟んで同一直線上に支持部材３が配置され、支持部材３が配置された仮想直線を駆動軸Ｌとして、ミラー２を駆動軸Ｌの周りに揺動駆動させる駆動部と、を備え、ミラー２の光反射層６とは反対側の面に、ミラー２よりも熱伝導率の高い薄膜９が形成されているスキャナ１。 （もっと読む）

【課題】回転を抑制する静電気力を低減してより駆動効率の良いアクチュエータ等の、より細かい制御を可能とする揺動体装置を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、回転軸の回りに揺動可能に支持された可動体１０３を含む。可動体１０３が、厚さ方向に複数の導電性領域２０１、２０３に電気的に分離されており、厚さ方向に電気的に分離された複数の導電性領域の少なくとも１つが、更に電気的に分離された複数の導電性領域１２１、１２２を有する。 （もっと読む）

【課題】放電の発生を抑制する。
【解決手段】回動部１は、第１シリコン層６を含んで構成されるとともに、第１フレーム部２Ａは、第１シリコン層６，第２シリコン層７および絶縁層８を含んで構成され、第１フレーム部２Ａをなす第２シリコン層７部分の回動部１側に対向する辺縁部と、回動部１をなす第１シリコン層６部分の第１フレーム部２Ａ側に対向する辺縁部とに、対として、供給電圧によって回動部１を回動させるための静電力を発生させる第１アクチュエータ４−１がそなえられ、かつ、第１フレーム部６において第１アクチュエータ４−１がそなえられる辺縁箇所における、第１シリコン層６と絶縁層８との第１境界部位と、第２シリコン層７と絶縁層８との第２境界部位と、が面取りされた構成を有する。 （もっと読む）

【課題】揺動部の重量バランスをとるのに適したマイクロ揺動素子、および、そのようなマイクロ揺動素子を含むマイクロ揺動素子アレイを、提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ揺動素子Ｘ１は、フレーム２１と、可動機能部１１、当該可動機能部１１に連結する駆動電極１２、および可動機能部１１とは反対の側において駆動電極１２に連結する錘部１４、を有する揺動部１０と、フレーム２１および揺動部１０を連結して当該揺動部１０の揺動動作の軸心Ａ１を規定する連結部２２と、駆動電極１２と協働して揺動動作の駆動力を発生させるための、フレーム２１に固定された第２駆動電極２３とを備える。本発明のマイクロ揺動素子アレイは、このようなマイクロ揺動素子Ｘ１を複数具備する。 （もっと読む）

【課題】材料基板表面に生ずる凹部の深さを抑制しつつ導電プラグを埋め込み形成するのに適したマイクロ構造体製造方法、および、これによって得られるマイクロ構造体を提供する。
【解決手段】導体層１１，１２と絶縁層１３とからなる積層構造を含む材料基板１０に加工を施すことによってマイクロ構造体を製造するためのものである。導体層１１内をその厚さ方向に延びる細空間部１６と、細空間部１６に連通する閉端側空間部１７と、閉端側空間部１７とは反対の側において細空間部１６に連通し且つ細空間部１６よりも幅広である開端側の拡幅空間部１５と、を有するホールＨ１を形成するための工程と、ホールＨ１内に導体材料１８’を堆積させるための工程と、ホールＨ１内に堆積された導体材料１８’における、ホール開端側にて外部に露出する端部１８ａを、平坦化するための工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 トーションバーの動きを妨げることなく、トーションバーのせん断応力を正確に測定して可動部の位置検出を行うことのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 枠状の固定部２と、この固定部２の内側に、トーションバー４を介して回動自在に支持された可動部３と、可動部３を駆動する駆動手段と、トーションバー４に配置され互いにほぼ直行する方向に対向する２対の電極８を有するピエゾ抵抗素子７と、トーションバー４に形成され前記固定部２に形成された電極部に引き回す配線部１０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータを安定して動作させる。
【解決手段】本発明のアクチュエータ１は、可動部５と、可動部５を支持する固定部１０と、可動部５を駆動する駆動電極部８および９と、可動部５と固定部１０との間に働く斥力を発生させる斥力発生部６とを備える。斥力発生部６は、固定部１０のうちの可動部５と対向する位置に設けられている。斥力発生部６の少なくとも一部は、ヒンジ７よりも可動櫛型電極９側に位置する可動部５の端部と対向している。可動部５と斥力発生部６とに同じ駆動電圧を印加することで、斥力が発生する。斥力は、可動部５の平面方向に垂直な軸を中心とする可動部５の回転を抑制する方向に働く。 （もっと読む）

【課題】可動構造体において、振動や衝撃等が加わってもヒンジ部が折損しにくいようにし、耐振動・耐衝撃性能を向上させる。
【解決手段】可動構造体としての光走査ミラー素子１は、２つのヒンジ部３によりフレーム部４に可動板２を揺動可能に軸支して成っている。各ヒンジ部３の両側部近傍部位には、それぞれ、フレーム部４から可動板２に向け略水平に突設された側部ストッパ８ａが設けられている。また、ヒンジ部３の下方には、フレーム部４から突設された下部ストッパが設けられている。外部から振動や衝撃が加わったとき、ヒンジ部３が側部ストッパ８ａ、下部ストッパに接触し可動板２の異常変位が妨げられるので、ヒンジ部３の折損が防止される。 （もっと読む）

【課題】 良品歩留まりの高い状態で可動する微細なミラーを備えた光スイッチ装置が製造できるようにする。
【解決手段】 ミラー基板１００のミラー１０５が形成された表面に、粘着力が変化する粘着層を備えたマウントフィルム（第１粘着フィルム）１０６を貼り付けて保護した状態で、ミラー基板１００を切断分割してミラーチップ１０９を形成し、マウントフィルム１０６の粘着層の粘着力を低下させてからミラーチップ１０９を取り外す。 （もっと読む）

【課題】小型で応答性に優れ、製作も容易なシリコン細線導波路を用いた能動光導波路デバイスを提供する。
【解決手段】基板に固定された入力側シリコン細線導波路と、基板に固定された出力側シリコン細線導波路と、該入力側シリコン細線導波路及び出力側シリコン細線導波路の間に第１及び第２の支持梁により支持され基板から浮いて配置された中間シリコン細線導波路と、該中間シリコン細線導波路を移動させることで、入力側及び出力側シリコン細線導波路と中間シリコン細線導波路の光結合により生じる光の伝搬量を変化させる駆動機構とを備えた光導波路デバイス及びその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】マイクロ揺動素子について、可動部における回転変位量の大きな回転動作を高い動作速度で実現すること。
【解決手段】本発明のマイクロ揺動素子Ｘ３は、可動部３１０と、フレーム３２０と、可動部３１０およびフレーム３２０を連結し、且つ、フレーム３２０に対する可動部３１０の回転動作における回転軸心Ａ３を規定する、連結部３３０と、回転軸心Ａ３から相対的に遠い箇所に回転動作の駆動力を発生させるための駆動機構３４０，３５０と、回転軸心Ａ３に相対的に近い箇所に回転動作の駆動力を発生させるための駆動機構３６０，３７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】例えば赤外光から紫外光にわたる広い波長帯域の光において適用可能であり、小型で低電圧駆動するファブリペロー型波長可変フィルタを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板１の表面に対し水平方向に変位する可動部２、可動部２を弾性可動に支持するサスペンション支持体３、ＳＯＩ基板１に固定された固定部４が設けられる。可動部３を変位させる櫛歯型静電アクチュエータの櫛型電極５により、可動部２表面に接合して形成された第１のミラー構造体６が水平方向に制御され変位する。このファブリペロー型波長可変フィルタでは、第１のミラー構造体６の第１のミラー面６ａと、固定部４の表面に接合して形成された第２のミラー構造体７の第２のミラー面７ａとが平行に対向配置されて光共振器をなし、上記水平方向の変位によりその共振器長を変える構成になっている。 （もっと読む）