【課題】光強度の絶対的な減少を抑え、安定した出力光を出力する。
【解決手段】入力光Ｌａを反射させて、出力光Ｌｂを出射するミラー１１と、ミラー１１と対向し、入力光Ｌａをミラー１１の反射面で反射させる際に、ミラー１１に印加する電圧に応じて反射面を歪ませることにより、光結合特性が変化する出力光Ｌｂを出射させるように反射面を制御するミラー制御部（図１では、電極１２ａ，１３ａをそれぞれ有するガラス基板１２および基板１３）と、を有する光モジュール１０によって、出力光Ｌｂの光結合特性が変化する。 （もっと読む）

【課題】良品歩留まりの高い状態でミラー基板が形成できるようにする。
【解決手段】ミラー基板２３００では、基部２３０１，連結部２３３２ａ，連結部２３３２ｂ，可動枠２３０３，ミラー連結部２３３４ａ，ミラー連結部２３３４ｂ，及びミラー２３３５の各間隙に、充填された状態で保護層２３０７ａを備えている。これにより、上述した構造体が回動などの動作を抑制された状態となり、外部からの機械的振動による破損や損傷から保護されるようになる。 （もっと読む）

【課題】ミラー装置及び複数のミラー装置を２次元的に配置したミラーアレイにおいて、近接する配線からの干渉による予期しないミラーの傾斜角の変動を抑制する。
【解決手段】ジンバル１１０２の回動軸と直交する方向に、配線１００５−１〜１００５−４，１００６を設ける。これにより、配線１００５−１〜１００５−４，１００６からの干渉による予期しないミラー１１０３の傾斜角の変動を抑制することができ、ミラー１１０３から配線１００５−１〜１００５−４，１００６を離すことで、この抑制効果をさらに高めることができる。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】可動枠連結部２１１ａ，２１１ｂ及びミラー連結部２２１ａ，２２１ｂは、対となる部材同士でバネ定数が異なる。これより、初期状態で所定の角度だけ傾いた状態となるため、結果としてミラーの傾動角度を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】ＳＯＩ基板を用いたトーションバーによる揺動部を有するマイクロ構造体において、トーションバーの位置を精度良く測定できるようにする。
【解決手段】マイクロミラー素子１は絶縁層を挟んで二つの導体層を積層したＳＯＩ基板を用いて製造される。マイクロミラー素子１はフレーム２とフレーム２内に一対のトーションバー４，４’で揺動自在に支持された揺動部材３を有する。フレーム２の上側領域２Ａに揺動部材３とトーションバー４，４’が形成され、フレーム２の下側領域２Ｂに揺動部材３の櫛歯電極３３に対応する櫛歯電極２１が形成されている。揺動部材３の一対のトーションバー４，４’の下部であって当該トーションバー４，４’の捩れ動作に干渉しない位置にそれぞれトーションバー４，４’の位置測定の基準面Ｓｒとなる構造体５，５’が形成されている。トーションバー４，４’の高さ方向における位置測定において、構造体５，５’の上面Ｓ１を基準面Ｓｒとすることで、位置測定の精度を向上させた。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】電極３４０ａ〜３４０ｄは、電極基板３００上に投影したミラー２３０の可動枠回動軸及びミラー回動軸の少なくとも一方に対して自身が対称とならない基部３１０上の位置に形成される。このため、ミラー２３０の中心軸（一点鎖線で示す）と電極３４０ａ〜３４０ｄの中心軸（二点鎖線で示す）とは、一致しない。したがって、電極３４０ａ〜３４０ｄにバイアス電圧をかけると、ミラー２３０には、電極３４０ａ〜３４０ｄと対向する部分に引力が働くため、ミラー２３０の中心軸に対して垂直な状態（点線で示す）から所定の角度だけ傾いた状態となる。 （もっと読む）

【課題】帯電による可動部の支持基板への張り付きを防止する。
【解決手段】導電性の支持基板１１とデバイス層１３とで中間絶縁層１２が挟まれた三層構造を少なくとも有し、デバイス層１３に固定部３３とその固定部３３に連結支持された可動部Ｍとが形成され、可動部Ｍは支持基板１１の板面と平行な面内方向に静電駆動される微小可動デバイスにおいて、固定部３３にデバイス層１３から中間絶縁層１２を貫通して支持基板１１に達する穴５１を設け、その穴５１の内部にデバイス層１３と支持基板１１とを導通する導電性材料（導電性樹脂５２）を収容する。 （もっと読む）

【課題】半導体機械構造体において、外部から衝撃が加わってもヒンジが破損しないようにし、耐衝撃性を高める。
【解決手段】光走査ミラー１は、ＳＯＩ基板２００からなる半導体部１００と、半導体部１００の上面、下面に接合されたガラス基板を用いてなる上部保護基板１１０及び下部保護基板１２０を有している。半導体部１００において、可動部５０は、第１ヒンジ５により固定フレーム４に揺動可能に軸支されている。上部保護基板１１０の凹部１１２ａには、可動部５０の揺動軸に向け、ストッパ１１５が突設されている。下部保護基板１２０の凹部１２１には、可動部５０の揺動軸に向け、ストッパ１２５が突設されている。ストッパ１１５及びストッパ１２５が設けられていることにより、可動部５０のｚ方向の変位が制限され、外部から衝撃が加わっても第１ヒンジ５の破損が防止される。 （もっと読む）

【課題】可動構造体において、ヒンジ部のねじり剛性を抑制しつつ引張り剛性や曲げ剛性を高めて、可動板の揺動動作の安定性を高める。
【解決手段】１対のフランジ部３ａ及びこの１対のフランジ部３ａに渡されているウェブ部３ｂによって、肉盗み部３ｃを有する断面Ｕ字形状のヒンジ部３を形成し、可動板２を回動自在に支持する。ヒンジ部３の肉盗み部３ｃによってヒンジ部３の回動軸周りのねじり剛性を抑制しつつ引張り剛性や曲げ剛性を高める。 （もっと読む）

【課題】半導体機械構造体において、気密性を確保すると共に各部を絶縁分離し、且つ、製造コストを低くする。
【解決手段】光走査ミラー１は、ＳＯＩ基板２００からなる半導体部１００と、半導体部１００の上面、下面に接合されたガラス基板を用いてなる上部保護基板１１０及び下部保護基板１２０を有している。半導体部１００は、ＳＯＩ基板２００の第１シリコン層２００ａに形成され、ミラー面２０が搭載された可動部５０を有している。第１シリコン層２００ａはトレンチ１０１ａ，１０１ｂ等の絶縁分離部が形成されることにより複数の部位に絶縁分離され、各部位の電位を変更して可動部５０の櫛歯電極７，８に電圧を印加可能である。トレンチ１０１ａ，１０１ｂ等の絶縁分離部は半導体部１００の外周側部に露出せず、上部保護基板１１０及び下部保護基板１２０を半導体部１００に接合することにより、光走査ミラー１の内部の気密を容易に確保可能である。 （もっと読む）

【課題】可動構造体において、ヒンジ部のねじり剛性を抑制しつつ引張り剛性や曲げ剛性を高めて、可動板の揺動動作の安定性を高める。
【解決手段】１対の支柱部３ａ及びこの１対の支柱部３ａに渡されている桟部３ｂによって、中抜き部３ｃを有するはしご形状のヒンジ部３を形成し、可動板２を回動自在に支持する。ヒンジ部３の中抜き部３ｃによってヒンジ部３の回動軸周りのねじり剛性を抑制しつつ引張り剛性や曲げ剛性を高める。 （もっと読む）

【課題】効率よく駆動することが可能な静電駆動型アクチュエータを得る。
【解決手段】静電駆動型光スキャナ１００は、正十二角形柱である可動体１１０と、可動体１１０の周囲に設けられるＸ方向支持体１２０、１３０と、可動体１１０とＸ方向支持体１２０、１３０とを接続するＸ方向接続体１４０、１５０と、Ｘ方向支持体１２０、１３０の周囲に設けられるＹ方向支持体１６０、１７０と、Ｘ方向支持体１２０、１３０とＹ方向支持体１６０、１７０とを接続するＹ方向接続体１８０、１９０とから主に構成される。第１から第４のＸ正方向駆動電極１２１、１２２、１２３、１２４は、可動体１１０の中心を通るいずれの直線に対しても互いに対称とならないように配置される。 （もっと読む）

【課題】ミラー基板に回動可能に設けられたミラーと電極基板に設けられた電極とを、高い位置（間隔）精度で近設させた状態が、より容易に得られるようにする。
【解決手段】支持基板１０１と、支持基板１０１の上に支持部（枠部１２６）で支持されて回動可能なミラー１２５を有するミラー基板１０２と、ミラー１２５に対向して配置された制御電極部１３２を有してミラー基板１０２の下部の支持基板１０１の上に固定された電極基板１０３とを備える。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧を低減しつつ、優れた光学特性を有する光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１は、可動部２１の固定反射膜３５側の面に対し間隔を隔てて対向するように、固定部に固定的に設けられた第１の電極３３と、可動部２１の固定反射膜３５と反対側の面に対し間隔を隔てて対向するように、固定部に対し固定的に設けられた第２の電極４３とを備え、第１の電極３３および第２の電極４３のうち、一方の電極は、可動部２１との間の静電容量を検出するための検出電極として機能し、他方の電極は、可動部２１との間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１の位置および／または姿勢を変化させるための駆動電極として機能する。 （もっと読む）

【課題】主アクチュエータや駆動回路の簡素化を可能とし、また外部から供給する電圧を下げることができるようにする。
【解決手段】基体上に、可動部（可動子４２）と、その可動部に連結されて双安定動作をする変形部材（ヒンジ４１）と、可動部を駆動する主アクチュエータとを備え、その主アクチュエータによって可動部が２つの安定状態間を変位する微細可動デバイスにおいて、変形部材にその２つの安定状態の間に存在するエネルギー障壁を一時的に下げるエネルギー障壁低下手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】従来よりも小さい駆動電力で、レーザー光を広い範囲に走査、偏向することが可能な光偏向器及びその駆動方法を提供する。
【解決手段】開口部１１ａを有する枠部１１、開口部内に配置された板状のミラー部１２、枠部とミラー部とを連結する一対の梁部１３ａ，１３ｂを有する光偏向部１０と、これに離間して設けられた永久磁石２とを備え、一対の梁部は、その各重心を結ぶ線ｙ１がミラー部の重心Ｏ１２を通るように配置され、ミラー部は、その一面Ａ１２が光を反射する反射面であり、一面とは反対側の面Ｂ１２に、上記線に対して対称に配置された一対のコイル１５ａ，１５ｂを有し、永久磁石は、一対のコイルとそれぞれ対向する一対の傾斜面部１７ａ，１７ｂを有し、一対のコイルと一対の傾斜面部との距離Ｌａ，Ｌｂが、ミラー部の重心に近づくに従ってそれぞれ短くなるように構成する。 （もっと読む）

ＭＥＭＳ装置が提供され、当該装置は、上面を有し、該上面は、ミラーなどの回転可能な素子を含んでいる。中間支持フレーム面、および、下部電気用基板の面がある。前記回転可能な素子は、フレームに対して第１の回転軸で回転可能となるように、中間支持フレーム面に形成された支持フレームによって支持されている。該フレームは、第２の回転軸に対して回転可能となるように取り付けられている。第１の回転軸での回転は、第２の回転軸での回転から実質的に独立している。 （もっと読む）

【課題】高解像度の画像が得られ、１画像当たりのフレームレートに応じて走査スピードの調整が可能で耐衝撃性を有する２次元光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】２次元光偏向器１００は、樹脂を含み光Ｌを一方向に偏向する偏向素子１０とＳｉを含み光Ｌを他方向に偏向する偏向素子５０とを備える。偏向素子１０は、対向配置された一対の端子部１３，１４、その間に配置された偏向部１１、及びこれらを連結する梁部１６，１７を有する。偏向素子５０は、枠状の支持部１１、その枠内に配置されてミラー部６３を有する偏向部５３、その両側に配置され支持部１１に一端が連結され互いに対向配置されたアーム５４，５５及び５６，５７、アーム５４，５５及び５６，５７の他端と偏向部１１とを連結する梁部５８，５９及び６０，６１を有する。偏向部１１，５３の各重心は光Ｌの光路上に位置する。 （もっと読む）

【課題】光学部品点数またはコストが削減される。
【解決手段】光波面制御システム１０は、入力光１１ｃを入力すると、入力光１１ｃの波面の位相を制御する波面制御信号１４ａおよび入力光１１ｃの収差の歪を制御する収差制御信号１４ｂに従って、位相および歪をそれぞれ制御して、出力光１２ａを出力する光波面制御部１５と、光波面制御部１５から出力光１２ｄを入力すると、出力光１２ｄの波面および出力光１２ｄの収差に関する光情報を検出する検出部１６と、検出部１６が検出した光情報に基づき、波面制御信号１４ａおよび収差制御信号１４ｂを光波面制御部１５に出力する制御回路部１７と、を有する光波面制御システム１０であれば、入力光１１ｃの波面の制御および収差の補正を行うために、収差を補正する光学部品を別途設置する必要がなくなる。 （もっと読む）

【課題】大型化を招くことなく、共振振動を十分に抑制することができる光走査装置、画像表示装置及び網膜走査型画像表示装置を提供する。
【解決手段】光走査装置は、枠体と、入射した光を反射する反射ミラー面を有する反射ミラー部と、前記反射ミラー部を前記枠体に支持させるミラー支持部とを備えている。光走査装置は、ミラー支持部を通り、反射ミラー面を横断する軸を中心として反射ミラー部を駆動させることによって、光を走査させる。光走査装置は、枠体とミラー支持部とを別体に設けた。 （もっと読む）