【課題】単一のアクチュエータで３点以上の安定点を取ることができ、小型化・集積化可能な微小可動デバイスを提供する。
【解決手段】微小可動デバイスは基板３１と、基板３１上に設けられた固定構造物と、その固定構造物に連結支持されて基板板面と平行に駆動される可動構造物とを有する。可動構造物（可動ロッド４１）は第１の双安定ヒンジ対５３，５４の中央に結合され、第１の双安定ヒンジ対５３，５４の他端は第２の双安定ヒンジ対５６，５７の中央に結合され、第２の双安定ヒンジ対５６，５７の他端は固定構造物（アンカー部５８）に結合される。２つの双安定ヒンジ対がそれぞれ２つの安定状態の何れかにある時に可動ロッド４１は４つの安定点を取ることができる。双安定ヒンジ対をＮ段構成（Ｎは２以上の整数）とすれば、安定点が３以上２^Ｎ以下の個数の相互に異なる点として形成される。 （もっと読む）

【課題】対をなす作用点どうしの距離を短くでき、作用点の駆動力を大きくすることができ、さらに１部材によって作製可能にすることのできるバネの構造を提供する。
【解決手段】作動部材６３は第１の支持軸６５によって中央近辺を回動自在に支持されている。作動部材６３の左右両側には、支持軸６５を挟んで両側にそれぞれ連動部材６４ａ、６４ｂが配置されている。連動部材６４ａ、６４ｂは、第２の支持軸６９によって回動自在に支持され、また作動部材６３に回動自在に連結されている。支持軸６９は作動部材６３と６４ａ、６４ｂの連結箇所よりも支持軸６５に近くなっており、支持軸６９よりも支持軸６５に近い箇所に作用点部分７０が定められている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、小型かつ低消費電力で、高感度の傾動駆動を実現できる圧電アクチュエータを提供することを目的とする。
【解決手段】第１の方向に延在し、駆動対象物３０を前記第１の方向の両側から支持する１対の中心梁４０、４０ａと、
前記第１の方向と略直交する第２の方向に平行に延在する複数の梁５７、５７ａ、５８の、隣接する端部同士が両端で交互に連結されたジグザグ状の梁群を含んで構成されるとともに、各梁が圧電素子２０を備え、該圧電素子の伸縮変形により前記第２の方向の傾き角度の蓄積が可能な１対の蛇行型梁５０、５０ａと、
前記駆動対象物、前記中心梁及び前記蛇行型梁を取り囲む固定枠１２０と、を有する圧電アクチュエータであって、
前記１対の蛇行型梁は、一端が前記固定枠に連結され、他端が前記固定枠との連結位置から遠い方の前記中心梁の端部に連結されるとともに、前記駆動対象物及び前記中心梁を両側から囲むように配置されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＳＯＩ基板を用いて作製されるミラー構造体の両面に、より容易に所望とする形状の金属膜が形成できるようにする。
【解決手段】金属膜１０６の表面に電着レジストを電着することで、電着レジスト層１０７を形成し、電着レジスト層１０７をフォトリソグラフィーによりパターニングし、ミラー部１３１の金属パターン１４１と対向する領域に、電着レジストパターン１７１を形成する。電着レジストパターン１７１は、ミラー部１３１の裏面側の金属パターン１４１に対向して形成する金属パターンの領域を被覆するように形成する。 （もっと読む）

【課題】基板に設けられた固定電極と可動ミラーに設けられた可動電極とが可動ミラーの揺動軸と電極面が垂直となっている光学装置において、固定電極と可動電極の電極面を大きくすることと、可動ミラーのミラーサイズを大きくすることとを両立させる。
【解決手段】可動ミラーの下方に、可動ミラーが揺動する揺動軸と電極面が垂直となるように固定電極と可動電極を設置する。可動電極は可動ミラーの下面から下方に延びており、固定電極は基板から可動電極に向けて延びている。可動電極と固定電極が可動ミラーの下方に設けられるため、可動電極を設ける領域を可動ミラーの表面に確保する必要がない。材料基板の面積に対してミラー面積を大きく取ることができ、開口率を大きくすることができる。固定電極と可動電極は、可動ミラーの揺動角の検出装置や、静電駆動式アクチュエータとして利用できる。 （もっと読む）

【課題】
光学ＭＥＭＳデバイスにおいて、所定の機械変位に対し非常に長い光路差を発生させる。
【解決手段】
光学微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスは、光路遅延乗算器を提供する。ＭＥＭＳデバイスは、可動コーナー・キューブ反射板と、固定ミラーと、ＭＥＭＳアクチュエータとを含む。可動コーナー・キューブ反射板は、入射ビームを受信して、入射ビームを固定ミラーに向かって、全体として１８０度の角度で反射するように光学的に結合されている。固定ミラーは、入射ビームの逆方向経路に沿って可動コーナー・キューブ反射板に向かって後方に反射ビームを反射するよう光学的に結合されている。ＭＥＭＳアクチュエータは、可動コーナー・キューブ反射板に結合されており、可動コーナー・キューブ反射板に変位を発生させて光路長を増大する。 （もっと読む）

【課題】 小型で簡易な構造で、レーザ光源等の光源からの光を走査して画像を表示する際に生じるスペックルノイズを低減することができる光偏向器用アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】 支持体４０に支持された圧電アクチュエータ４２ａ，４２ｂが、光源からの光を偏向する光偏向器を搭載する台座４３を並進振動させることにより、光偏向器による反射光に微小な光路差を付与する。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】
ＭＥＭＳを用いた広角の光スキャナを実現する。
【解決手段】
光マイクロスキャナは、曲面反射板３０を用いて広い回転角を実現する。本光マイクロスキャナは、入射ビーム２５を受信し反射して反射ビーム３５を生成する可動ミラー３０と、可動ミラー３０の直線変位を発生させる微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）アクチュエータ４０とを含む。曲面反射板は、可動ミラーの直線変位に基づいて反射ビーム３５の角度回転θを発生させる。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提
供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に
有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられ
ており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部
２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部
２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し
、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を
外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】可動体を揺動可能に支持する構成のマイクロ構造体において、トーションバーの端部の形状不安定およびこれに伴うマイクロ構造体の特性ばらつきを抑制する。
【解決手段】マイクロ構造体１は、第１層からなる部分および前記第１層よりも下側の第２層からなる部分を含むフレーム３と、第１層からなる部分および第２層からなる部分を含む可動体２と、第１層からなりフレーム３の第１層からなる部分と可動体２の第１層からなる部分とを連結して可動体２を揺動可能に支持する揺動支持部４と、を備える。そして、揺動支持部４のフレーム３側の端部が、フレーム３の第２層からなる部分によって下方から支持され、揺動支持部４の可動体側２の端部が、可動体２の第２層からなる部分によって下方から支持されている。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】従来のフォトニック結晶を用いた光偏向素子と比較して、より大きな偏向角度が得られる光偏向素子を提供する。
【解決手段】第１方向で伝播された入射光Ｌ_inが入射する入射端面２０、入射端面２０から入射されて伝播する伝播光を反射する反射面２２、及び反射面２２で反射された伝播光が第１方向とは異なる第２方向に出射光Ｌ_outとして出射する出射端面２４を有するフォトニック結晶１８を備え、入射端面２０及び出射端面２４における２度のスーパープリズム効果により、第２方向と出射端面２４の法線とが成す出射角が、第１方向と入射端面２０の法線とが成す入射角又は入射光の波長に応じて変化して、光伝播方向を偏向する光偏向素子とする。 （もっと読む）

【課題】自由度連成振動系を構成した光走査装置において鏡面部の振動振幅を大きくする
【解決手段】光走査装置１は、ミラー１３、内ジンバル１２、外ジンバル１１、支持部３、弾性連結部１６ａ，１６ｂ、弾性連結部１５ａ，１５ｂ、及び弾性連結部１４ａ，１４ｂが、固有の周期的外力が作用した場合に大きい回転角で捩じり振動する３自由度連成振動系を構成する。このため、櫛歯電極部１７，１９と櫛歯電極部４ａ，４ｂとの間に電圧を印加して、固有の周期的外力を外ジンバル１１に作用させることにより、３自由度捻り振動子を共振状態にできる。そして、外ジンバル１１の回転角度が、外ジンバル１１に作用するトルクが最大となるときの外ジンバル１１の回転角度を含む予め設定された電圧印加角度範囲内（トルクが最大トルクの９０％以上となる範囲）にあるときに、電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】光学的作用を生じさせるレンズ等の光学部品を不要とすることにより、光学系の構成を簡素化し、コストダウンを図ることができるマイクロミラー素子を提供する。
【解決手段】可動板１０のベースとなる基板層１５の外面側に、中間層１６が蒸着により形成され、中間層１６の外面側に、ミラー層１７が蒸着により形成される。基板層１５及びミラー層１７とは異なる熱膨張係数の材料から成る中間層１６によって、可動板１０を凹状又は凸状に変形させて、可動板１０のミラー面１２を光学的に凸面状又は凹面状に形成する。 （もっと読む）

【課題】回動するミラーを有するマイクロミラー装置において、ミラー部の慣性モーメントに大きく影響を与える重量の増加を最低限に抑えつつ、ミラー部の剛性を向上させて往復振動時の反りや変形を極力低減させることができるように、ミラー部の構成について工夫すること。
【解決手段】トーションバーを介してミラー部がフレームに対して回動可能に連結されたマイクロミラー装置を前提として、上記ミラー部は、引張り応力を有する層(12a)と圧縮応力を有する層(12b)とを交互に積層した応力制御層(12)を含んで成ることである。 （もっと読む）

【課題】再現性の良い安定した平行移動が可能な平行移動ミラーと、該平行移動ミラーを用いることで波長帯域幅が安定した波長可変光フィルタおよび波長可変光源などの光モジュールを提供する。
【解決手段】光を入射させるための貫通孔２を有する基台１と、基台１と対向する可動層４と、基台１と可動層４を電気的に分離した状態で連結させるとともに、両者間に所定距離のギャップを与え、貫通孔２から入射した光の光路と非交差となるように配置された絶縁層３と、可動層４内に形成され貫通孔２上に位置するメンブレイン４１およびメンブレイン４１の基台１とは反対側の表面に形成された可動ミラー５からなる振動部６と、振動部６の共振周波数ｆに等しい周期で振動部６を振動させる駆動装置１０と、可動ミラー５が形成された箇所を除くメンブレイン４１上に形成された金属からなるおもり部７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】捩れ連結部の捩れ抵抗が低く設定されつつミラー面の法線まわりの回転などのミラー形成部の不適切な動作が制御されたマイクロミラー素子を提供すること。
【解決手段】マイクロミラー素子１００において、フレーム１１３と、ミラー平面１１４を有するミラー形成部１１１と、フレーム１１３およびミラー形成部１１１を連結するように延びるとともに、ミラー形成部１１１をフレーム１１３に対して回転させるための回転軸心Ｘ１を規定し、さらにミラー平面１１４に対して平行する捩れ連結部１１２と、を備え、捩れ連結部１１２は２本のトーションバー１１２ａからなるとともに当該２本のトーションバー１１２ａは捩れ連結部１１２の幅を規定し、この幅は、ミラー形成部１１１に接続される部分では相対的に広く、フレーム１１３に至るまでは、ミラー形成部１１１から遠ざかるにつれて徐々に狭くなることとした。 （もっと読む）

【課題】壁電極を用いるミラーアレイを備えるＭＥＭＳ素子が、より容易に製造できるようにする。
【解決手段】第１電極パターン１１３に溝部１１３ａを形成する。同様に、第２電極パターン（不図示）にも溝部を形成する。例えば、公知の技術となっているＳｉの深堀加工技術であるＤＲｌＥエッチング技術で、ＳＦ₆をエッチングガスとして用いることで、上述したエッチングが行える。ここで、溝部１１３を形成するエッチングでは、形成した溝部１１３ａの底部に、第１電極パターン１１３（シリコン層１０３）が残るようにエッチング時間を制御する。例えば、実験などにより、予めエッチングレートを測定しておき、このエッチングレートより、溝部１１３ａの底部に、第１電極パターン１１３（シリコン層１０３）が残る処理時間を算出し、この算出結果を上記エッチングに適用させればよい。 （もっと読む）