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Fターム[2H147FE02]の内容

光集積回路 (45,729) | 製造に用いるビーム、電磁場の種類 (1,446) | 紫外線 (863)

Fターム[2H147FE02]に分類される特許

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【課題】容易かつ精度の高い微細加工が可能である光導波路素子の製造方法を提供する。
【解決手段】先端12cを有するテーパ部12を有するコア4を備えた光導波路素子を製造する方法であって、コア4の材料からなるコア層14を形成するコア層形成工程と、コア層14に接する補助層18を形成する補助層形成工程と、コア層14にテーパ部12を形成しコア4を得るテーパ部形成工程とを含む。コア層形成工程は、テーパ部12の先端12cを含む第1側面領域16aを形成する工程である。補助層形成工程は、第1側面領域16aに接して、コア4とは異なる材料からなる補助層18を形成する工程である。テーパ部形成工程は、コア層14に対し、補助層18と同時にエッチングを施すことによって、テーパ部12の先端12cを含む第2側面領域12bを形成する。 (もっと読む)


【課題】容易かつ精度の高い微細加工が可能である光導波路素子を提供する。
【解決手段】先端12cに向けて徐々に幅が狭くなるテーパ部12を有するコア4と、テーパ部12の一方の側面12aのうち少なくとも先端12cを含む領域に接して設けられ、コア4とは異なる材料からなる補助コア5と、コア4および補助コア5を覆う上部クラッド6と、を備えた光導波路素子10。上部クラッド6は、コア4より屈折率が低く、かつ補助コア5とは異なる材料からなる。 (もっと読む)


【課題】光導波路用形成材料およびそれを用いた光導波路を提供する。
【解決手段】エポキシ樹脂を主成分とし、ホウ素系光酸発生剤を上記エポキシ樹脂100重量部に対して5重量部以上含有する光導波路用形成材料である。そして、基板1と、その基板1上に形成されたクラッド層2とを備え、上記クラッド層2中に所定パターンで、光信号を伝搬するコア部3が形成されてなる光導波路において、上記クラッド層2およびコア部3の少なくとも一方が、上記光導波路用形成材料によって形成されている。 (もっと読む)


【課題】ロール・トゥ・ロール方式で作製可能であり、未硬化層のフレキシビリティとパターニング解像性を両立する、光導波路形成用樹脂組成物およびそれを用いた光導波路を提供する。
【解決手段】下記の(A)〜(D)成分を含有する光導波路形成用樹脂組成物であって、(A),(B)および(C)成分の合計量100重量部に対して、(A)成分が80〜90重量部、(B)成分が5〜15重量部、(C)成分が1〜10重量部の範囲に設定されている光導波路形成用樹脂組成物である。
(A)重量平均分子量(Mw)が500〜5000の芳香族系多官能エポキシポリマー。
(B)重量平均分子量(Mw)が10000〜50000の芳香族系多官能エポキシポリマー。
(C)1〜3官能の液状芳香族系エポキシモノマー。
(D)光酸発生剤。 (もっと読む)


【課題】接続パッドを備えた配線基板の上にコア層を十分なパターン精度で形成して光導波路を構成できる光電気複合基板の製造方法を提供する。
【解決手段】上面に接続パッドPを備えた配線基板10上の接続パッドPを除く領域に第1クラッド層40を形成する工程と、第1クラッド層40の上に帯状のコア層50を形成する工程と、コア層50を被覆する第2クラッド層60を形成することにより、コア層50が第1クラッド層40及び第2クラッド層60で囲まれた構造の光導波路Lを得る工程とを含む。第1クラッド層40の厚みは接続パッドPの厚みと同一に設定されて、接続パッドPの段差が解消される。 (もっと読む)


【課題】本発明の課題は、寸法精度に優れた光導波路形成用フィルムおよびその製造方法、ならびに高品質な伝送性能を発揮することが可能な光導波路、光配線、光電気混載基板、電子機器を提供することにある。
【解決手段】本発明の光導波路形成用フィルムの製造方法は、フィルム基材の上に光導波路用塗布液を塗布して、膜状体とする製膜工程と、前記膜状体を加熱する加熱工程と、を有する光導波路形成用フィルムの製造方法であって、前記加熱工程における加熱温度での前記フィルム基材の長尺方向の加熱収縮率が0.5%以下であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】可視光波長領域380〜780nmにおける高い透明性、並びに高温高湿信頼性に優れた感光性樹脂組成物、及び感光性樹脂フィルムとその硬化物を提供すること。
【解決手段】(A)アクリル重合体、(B)重合性化合物、(C)光重合開始剤、及び(D)ヒンダードフェノール系酸化防止剤を含む感光性樹脂組成物であって、(A)アクリル重合体が以下の(i)〜(iv)の条件を満たし、かつ(A)成分と(B)成分の含有量比(質量比)が30:70〜70:30であり、(A)成分と(B)成分の総量100質量部に対して、(C)成分の含有量が0.03〜3.0質量部であり、(D)成分の含有量が0.01〜1.0質量部である感光性樹脂組成物。
(i)重量平均分子量が3万〜30万
(ii)水酸基価が15〜50mgKOH/g
(iii)酸価が3.2〜5.5mgKOH/g
(iv)ガラス転移点が30〜100℃ (もっと読む)


【課題】 本発明の目的は、反射部での光損失が小さい光導波路構造体および電子機器を提供することにある。
【解決手段】 本発明の光導波路構造体は、光を伝送するコア部および前記コア部の外周に接合されたクラッド部を有する光導波路と、前記コア部の光の伝送方向に対して傾斜した傾斜面を有する反射部と、を有する光導波路構造体であって、前記傾斜面の平滑度を向上する処理を施していることを特徴とする。また、本発明の電子機器は、上記に記載の光導波路構造体を用いることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】光カチオン重合反応により硬化するタイプの感光性樹脂を用いて、低光損失のポリマー光導波路を効率よく製造することのできるポリマー光導波路の製法を提供する。
【解決手段】光を伝達するコア2と、このコア2の下側に設けられるアンダークラッド層1と、コア2を被覆した状態で設けられるオーバークラッド層3とからなるポリマー光導波路の製法であって、アンダークラッド層1の表面に、溶媒を含有するコア形成用光カチオン重合樹脂組成物を塗布する工程(a)と、加熱処理により上記コア形成用樹脂組成物(2’)からなる層中の溶媒を揮発させる加熱工程(b)と、この加熱工程(b)後のコア形成用樹脂組成物中の残存溶媒濃度を1wt%以下に調整する制御工程(制御手段12)とを備え、上記加熱工程(b)後のコア形成用樹脂組成物の層に、フォトマスクを介して照射線を照射して露光し、現像して所定パターンのコア2を形成する。 (もっと読む)


【課題】 光導波路の交差部分および出力端の少なくとも一方で生じる光信号の損失を抑制するとともに、光導波路の高密度配線に適した光導波路デバイスを提供する。
【解決手段】 光導波路デバイスの一態様は、光導波路が交差する光導波路配線と、光導波路の交差部分に配置され、光導波路のコアよりも屈折率が高い中継部とを備える。 (もっと読む)


【課題】パターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高いコア部(光路)を簡単な方法で形成することができ、また、耐熱性および耐久性に優れる光導波路を備えた光導波路構造体および電子機器を提供すること。
【解決手段】光導波路構造体1は、導体層5を備えた基板2と、コア層93とクラッド層91、92とを積層してなる光導波路9と、光導波路9の一方の端部に設けられた発光素子3と、他方の端部に設けられた受光素子4とを有している。また、これらの各部により光配線98が構成されており、さらにこの光配線98を覆うように被覆層7が設けられている。この被覆層7は、難燃材で構成されたものであり、この難燃材としては、例えば、ポリイミド系樹脂、ポリアミド系樹脂等が挙げられる。 (もっと読む)


【課題】パターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高いコア部(光路)を簡単な方法で形成することができ、また、耐久性に優れる光導波路を備えた光導波路構造体および電子機器を提供すること。
【解決手段】光導波路構造体1は、コア層93の両面にクラッド層91、92を積層してなる光導波路9と、その両面にそれぞれ接合された導体層51、52と、光導波路9の光路をほぼ直角に屈曲させる光路変換部96と、発光素子10と電気素子12とを備えている。コア層93は、コア部94とクラッド部95とを有し、コア部94は、(A)環状オレフィン樹脂と、(B)前記(A)とは屈折率が異なり、かつ環状エーテル基を有するモノマーおよび環状エーテル基を有するオリゴマーのうちの少なくとも一方と、(C)光酸発生剤と、を含む組成物で構成された層に対し光を選択的に照射することにより所望の形状に形成されたものである。 (もっと読む)


【課題】光導波路のコアパタン形成時に、該コアパタンが下部クラッド層の下の基材の材料の違いや該基材の凹凸による反射及び散乱光の影響を受けにくく、光伝搬損失を低損失化すると共に該光伝搬損失のばらつきが少ない光導波路を得ることができる光導波路又は光電気複合基板の製造方法、並びにそれにより得られる光導波路及び光電気複合基板を提供する。
【解決手段】下部クラッド層に発光性を付与し、且つ該発光波長がコアの硬化に寄与する波長とすることで、コアパタン露光時に、露光光源からの指向性の高い紫外光や短波の可視光だけでなく下部クラッド層からの指向性の低い発光を利用してコアパタンを露光することを特徴とする光導波路及び光電気複合基板の製造方法、並びにそれにより得られる光導波路及び光電気複合基板である。 (もっと読む)


【課題】電気回路と光回路のそれぞれにおいてパターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高い光路を簡単な方法で形成することができ、また、耐久性に優れる光導波路を備えた光導波路構造体を提供すること。
【解決手段】本発明の光導波路構造体は、互いに屈折率が異なるコア部とクラッド部とを有する光導波路と、導体層とを有する積層構造体で構成され、厚さ方向に延在し、前記コア部に光学的に接続される導光路と、厚さ方向に延在し、前記導体層に電気的に接続される導体部とを有する。前記コア部は、(A)環状オレフィン樹脂と、(B)前記(A)とは屈折率が異なり、かつ、環状エーテル基を有するモノマーおよび環状エーテル基を有するオリゴマーのうちの少なくとも一方と、(C)光酸発生剤と、を含む組成物で構成されたコア層に対し活性放射線を選択的に照射することにより所望の形状に形成されたものである。 (もっと読む)


【課題】パターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高いコア部(光路)を簡単な方法で形成することができ、また、耐久性に優れるとともに高集積化が可能な光導波路を備えた光導波路構造体および電子機器を提供すること。
【解決手段】光導波路構造体1は、コア層93とクラッド層91、92とを積層してなる光導波路9を有している。コア層93は、その層内に伝送光の光路であるコア部94とクラッド部95とを有している。コア部94の平面視形状は、2つの線状体が交差部943において直交した形状をなしている。また、コア部94は、(A)環状オレフィン樹脂と、(B)前記(A)とは屈折率が異なり、かつ環状エーテル基を有するモノマーおよび環状エーテル基を有するオリゴマーのうちの少なくとも一方と、(C)光酸発生剤と、を含む組成物で構成されたコア層93に対し光を選択的に照射することにより形成されたものである。 (もっと読む)


【課題】パターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高いコア部(光路)を簡単な方法で形成することができ、また、可撓性および耐久性に優れる光導波路を備えた光導波路構造体、およびかかる光導波路構造体を備えた電子機器を提供すること。
【解決手段】光導波路構造体1は、コア層93とクラッド層91、92とを積層してなる光導波路9と、可撓性を有する基板2と導体層5とを備える配線基板と、光導波路9の両端部に設けられた発光素子3および受光素子4とを有している。コア層93は、その層内に伝送光の光路を構成するコア部とクラッド部とを有し、コア部は、(A)環状オレフィン樹脂と、(B)前記(A)とは屈折率が異なり、かつ環状エーテル基を有するモノマーおよび環状エーテル基を有するオリゴマーのうちの少なくとも一方と、(C)光酸発生剤と、を含む組成物で構成されたコア層に対し光を選択的に照射することにより形成されたものである。 (もっと読む)


【課題】光回路のパターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高いコア部を容易に形成でき、電気素子との位置決めが容易な光導波路を備えた光導波路構造体および前記光導波路構造体を用いた電子機器を提供する。
【解決手段】光導波路構造体1は、基板2と、光導波路9と、光路変換部96と、電気素子と、電気素子の位置決めを行う位置決め手段33、34と、導体層5とを有する。光導波路9は、コア部94とクラッド部95とを有し、コア部94は、(A)環状オレフィン樹脂と、(B)前記(A)とは屈折率が異なり、かつ、環状エーテル基を有するモノマーおよび環状エーテル基を有するオリゴマーのうちの少なくとも一方と、(C)光酸発生剤と、を含む組成物で構成されたコア層に対し活性放射線を選択的に照射することにより所望の形状に形成されたものである。 (もっと読む)


【課題】パターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高いコア部(光路)を簡単な方法で形成することができ、また、発光素子や受光素子との光結合効率および耐久性に優れる光導波路を備えた光導波路構造体および電子機器を提供すること。
【解決手段】光導波路構造体は、コア層93とクラッド層91、92とを積層してなる光導波路9を有している。コア層93は、コア部94とクラッド部95とを有し、コア部94は、一方の端部に向かって幅が連続的に大きくなる拡幅部分941と、他方の端部に向かって幅が連続的に小さくなる減幅部分942とを有している。また、コア部94は、(A)環状オレフィン樹脂と、(B)前記(A)とは屈折率が異なり、かつ環状エーテル基を有するモノマーおよびオリゴマーのうちの少なくとも一方と、(C)光酸発生剤と、を含む組成物で構成されたコア層に対し光を選択的に照射することにより形成されたものである。 (もっと読む)


【課題】 光伝送部の熱膨張を抑制した光伝送基板および光モジュールを提供する。
【解決手段】 基板および前記基板上に位置する誘電体層を具備する光伝送基板であって、前記誘電体層は、集積回路素子を設けるための設置面と、光を反射させて光路を変換させる光路変換面と、を有する第一領域と、前記第一領域との間に溝を介して前記第一領域の周囲に位置し、光を伝送させる光伝送部を内部に有し、前記光伝送部の端部が露出して前記光路変換面と対向する光導出面を有する第二領域と、から構成される。 (もっと読む)


【課題】感光性光導波路、感光性光導波路の一部に少なくとも1つの傾斜ブラッグ回折格子が書き込まれた光フィルタ、および光フィルタの縦続からなる利得平滑化フィルタを備えた光伝送システムを提供する。
【解決手段】傾斜ブラッグ回折格子SBGの書込みに適した光導波路は、コアおよびクラッドを画定する屈折率プロファイルと、特定の感光度プロファイルとを有している。この感光度プロファイルW(r)は、所与のSBG書込み角度θに対して、導波路中の逆伝搬としての基本モードの基本モード自身への結合K(θ)が実質的にゼロであり、かつ、角度θに対するその導関数K’(θ)も同じく実質的にゼロに等しいプロファイルである。角度を関数とした基本モードのゼロ導関数および同じくゼロ結合は、回折格子書込み角度を中心とした幅が拡大した反射ポケットが保証されることを意味している。 (もっと読む)


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