ＲＩＥのごときエッチング対象のデバイスそのものが発熱するようなエッチング伴ってデバイスを製造する際に、エッチング精度を高精度とするとともに、製造コストを抑制させることができるようにした、デバイスの製造方法である。
フェノール系樹脂を主成分とした感光性樹脂をデバイス面上に塗布する塗布工程と、該感光性樹脂が塗布されたデバイス面について、所望のパターンで露光することにより、上記パターンを該感光性樹脂の塗布面に転写する転写工程と、上記パターンが転写されたデバイスについて現像処理を施す現像工程と、該現像処理によって現像された該感光性樹脂のパターンをマスクパターンとして、該デバイス面についてエッチングを行なうエッチング工程と、をそなえて構成する。
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【課題】 スイッチング効率が高くかつ応答速度が高い超高速の光スイッチ並びに、光スイッチを用いた光分配装置及び光多重化装置の提供。
【解決手段】 光スイッチ１は、基板１０上に、高反射率の反射層１２と、活性膜１４と、低反射率の反射層１６とをこの順に積層してなる。活性膜１４は、非線形光学材料からなる。活性膜１４の膜厚は、信号光及び制御光の少なくとも一方に対して共振条件を満たすか、又は、信号光の波長をλ₁とし、制御光の波長をλ₂としたときに、（λ₁＋λ₂）／２〜λ₂の間の波長に対して共振条件を満たす。 （もっと読む）

熱光学効果型スイッチが２つのプレーナー型導波路、および少なくとも１つのプレーナー型導波路に接続される発熱体を備える。発熱体は、ソルダーバンプを使用してパッケージ基板に接続される。
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【課題】 従来の光スイッチの中で波長選択性を有するものは、スイッチング速度が遅く、将来の光パケット通信・交換への応用に対しては、十分な性能ではない。
【解決手段】 ナノ秒オーダー以下の高速な動作が可能な波長選択性を有する光増幅器と、光方向性結合器とを組み合わせ、従来よりも高速に動作する波長選択性を有する光スイッチを構成した。これにより、入力波長多重光の中から任意の波長の光だけを選択的に、また高速にスイッチすることが可能となる。 （もっと読む）

開示されているのは、１つの誘導領域と、該誘導領域に結合されている１つまたは複数の境界領域とを有する導波管とを含む半導体基板と、該基板内に配置され、該１つまたは複数の境界領域の内の１つまたは複数に結合される第１のＰＮジャンクションと、該ＰＮジャンクションで該導波管基板内に配置されるドーパント原子を含む装置及び方法である。代替実施形態は、放射線信号を伝播するための１つの誘導領域を有する導波管を有するメモリ素子と、第１のモードと第２のモードの間で導波管内で伝播する該放射線の特徴を制御するために、該導波管に結合されるインフルエンサと、メモリ素子のための該放射線の該特徴を保持するために該誘導領域に結合され、該インフルエンサに反応するラッチング層を含む。
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【課題】消費電力を一定にでき、温度変動を防止して、安定した特性を有する光スイッチ及び光波長ルータを提供する。
【解決手段】石英系光導波路１により構成された光スイッチであり、その構成として、入力分岐部２Ａは、１本の入力導波路５から入力された光波を４本の出力導波路の全てに等強度に分岐するものであり、出力合分岐部３Ａは、４本の入力導波路のうち任意の１本に入力された光波を４本の出力導波路２９〜３２の全てに等強度に分岐するものであり、入力分岐部２Ａと出力合分岐部３Ａに挟まれた位相シフタ部４Ａは、入力分岐部２Ａの４本の出力導波路と出力合分岐部３Ａの４本の入力導波路を１対１に接続する位相シフタ導波路１１〜１４のそれぞれに位相変調を行う薄膜ヒータ１５〜１８を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】利得波長特性が良好で、製造しやすく、低コストの光増幅器モジュールを提供する。
【解決手段】光ファイバ１は光増幅部２の入力端に接続され、光増幅部２の出力端は光サーキュレータ３のポート１に接続され、この光サーキュレータ３のポート２には利得等化フィルタモジュール４と全反射鏡５とが直列に接続されている。光サーキュレータ３のポート３は信号出力ポートに接続されている。利得等化フィルタモジュール４によって与えられる損失を、必要とされる損失の半分となるようにすることにより、増幅された信号光は利得等化フィルタモジュール４を透過し、全反射鏡５によって反射されて利得等化フィルタモジュール４に再び入射して完全に利得等化される。 （もっと読む）