【課題】フィルムの搬送を妨げることなく、フィルム上に付着した塵埃を取り除くこと。
【解決手段】転写される印刷層が形成される転写フィルム１１と、前記転写フィルム１１を搬送する転写フィルム搬送手段１０と、前記転写フィルム１１を挟持してインモールド成形を施す成形金型３０と、表面に粘着層が連続的に形成される粘着フィルム２１と、前記粘着フィルム２１を前記転写フィルム１１に当接させるように搬送する粘着フィルム搬送手段２０と、を有し、前記粘着フィルム２１を前記転写フィルム１１に当接させる当接位置ａは、前記成形金型３０よりも上流側であり、前記粘着フィルム２１を前記転写フィルム１１に当接させる当接面は、前記印刷層のある面と反対側の面とする。 （もっと読む）

【課題】量水標の清掃に掛かる負担を軽減する。
【解決手段】水位４を計測する量水標５の水位表示方向に第１の索条８及び第２の索条９を延設し、量水標５の表示面に当接する清掃具本体１０を第１の索条８及び第２の索条９を介して上下方向移動自在に設け、清掃具本体１０に取り付けられ、清掃具本体１０に浮力を与えて水位に応じて清掃具本体１０と共に上下に移動する第１の浮き１１及び第２の浮き１２を設ける。 （もっと読む）

【課題】異物除去性能および搬送性能に優れ、特に、真空吸着方式で基板を保持する基板処理装置を用いた場合であっても異物を効率よく除去し得るクリーニング機能付搬送部材を提供すること。そのようなクリーニング機能付搬送部材を用いた基板処理装置のクリーニング方法を提供すること。
【解決手段】本発明のクリーニング機能付搬送部材は、搬送部材の少なくとも片面に凹部が設けられ、該凹部にクリーニング層が設けられている。本発明の基板処理装置のクリーニング方法は、本発明のクリーニング機能付搬送部材を基板処理装置内に搬送することを含む。 （もっと読む）

【課題】異物除去性能および搬送性能に優れ、特に、エッジ付近を含むテーブル全面にわたって異物を効率よく除去し得るクリーニング機能付搬送部材を提供すること。そのようなクリーニング機能付搬送部材を用いた基板処理装置のクリーニング方法を提供すること。
【解決手段】本発明のクリーニング機能付搬送部材は、搬送部材の少なくとも片面にクリーニング層が設けられ、該クリーニング層は、コーティング式の塗布手段と噴射式の塗布手段とを組み合わせて形成された塗布層である。本発明の基板処理装置のクリーニング方法は、上記のクリーニング機能付搬送部材を基板処理装置内に搬送することを含む。 （もっと読む）

【課題】高温での使用が可能で、装置の稼働率の低下を防止でき、かつ、異物除去性能および搬送性能に優れたクリーニングシートおよびクリーニング機能付搬送部材を提供すること。
【解決手段】本発明のクリーニングシートは、ポリエステルを含むクリーニング層を有し、該クリーニング層のビッカース硬度が２０以上である。 （もっと読む）

【課題】 経済的で、効率的な液晶用の配向膜樹脂のクリーニング方法、特に大型基板にも充分対応できる配向膜印刷版のクリーニング方法を提供する。
【解決手段】 印刷版に付着した配向膜樹脂のクリーニング方法であって、該印刷版表面に多孔質シートを配設する工程と、該シートに配向膜樹脂の溶媒を含浸、静置する工程と、該溶媒含浸シートを印刷版から剥離する工程とを有する配向膜印刷版クリーニング方法。 （もっと読む）

【課題】充分な洗浄効果が得られ、効率的な洗浄作業を行うことの可能な蒸気洗浄具を提供する。
【解決手段】ノズル２と被洗浄面７との間の間隔を規制するための間隔規制部材をノズルの近傍に設ける。スプレーガン１の先端にノズル２を装着し、間隔規制部材としてのガイドロッド８をノズルの前方に突出させて装着し、その先端に形成した球状部８ａを被洗浄面に当接させて滑動させていきつつ洗浄作業を行う。ガイドロッドを前後方向に位置変更可能とする。あるいはデッキブラシや円形ブラシ等のブラシ本体に蒸気噴射機構を組み込み、ブラシとしてのフィラメント群を間隔規制部材として機能させ、かつノズル周囲に蒸気溜まりの漏れ防止機構を形成する。蒸気管をブラシの柄として機能させる。 （もっと読む）

【課題】十分な洗浄力を得るとともに、基板の製造歩留まりおよび製造効率の向上が実現できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】アーム６２が反時計回り（矢印ＳＷ２）に回動することにより、ブラシ洗浄具５０が基板Ｗから離れるとともに、基板Ｗの外方に設けられたブラシ回転制御機構８０の位置へ移動する。ブラシ洗浄具５０の外周面がブラシ回転制御機構８０の外周面に接触する。このとき、ブラシ洗浄具５０が、ブラシ回転制御機構８０の外周面と離れた状態から接触した状態に移動することにより、ブラシ回転制御機構８０およびブラシ洗浄具５０に回転力が発生する。これにより、ブラシ洗浄具５０が所定量回転する。 （もっと読む）

【課題】洗浄液の染みや跡を残さない、レンズ等の表面を清掃するための清掃スワブ。
【解決手段】傷つきやすい表面を清掃するための本発明の防染清掃スワブは、一端及び前記一端の反対側に位置する他端を有する細長いハンドルを形成する本体と、前記ハンドルの前記一端に長手方向に取り付けられ、一面、前記一面の反対側に位置する他面、並びに前記一面及び前記他面を結合する外周縁を有する拡幅されたブレードと、前記ブレードに一体的に設けられ、前記ブレードの前記一面及び前記他面のうちの少なくとも１つの面において流動するのを可能にするチャンネル手段と、前記ブレードを被包し、その回りに密着するような大きさを有する液体吸収ポケットとを有する。前記ブレードには、液体を反対側に通過させる、及び液滴を保持する穴が形成されている。 （もっと読む）

【課題】
ヘッド洗浄機構搭載により密集して複数個配列されたヘッドの全吐出口から安定した吐出を行う事が可能となり生産性の高いインクジェット装置の提供が求められていた。
【解決手段】
複数列配置されたヘッドの洗浄機構を備えたインクジェット装置において、洗浄機構が少なくとも、ヘッドに当接しながらロール状又はシート状の洗浄部材を繰り出す洗浄手段と、前記洗浄手段に洗浄液を供給する洗浄液供給機構と、前記洗浄手段の下側にあり、繰出可能なシート状のインキ浸透防止手段と、前記インキ浸透防止手段の下側から前記洗浄手段及び前記インキ浸透防止手段を前記ヘッドに押し当てる押当手段とを備えることを特徴とするインクジェット装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】フラットパネルを能率よく洗浄すること。
【解決手段】フラットパネルを載置する載置台と、フラットパネル表面を洗浄する洗浄部および洗浄されたフラットパネル表面を空拭きする拭き取り部を有するヘッド部と、載置台とヘッド部とを相対移動させる駆動部と、フラットパネルが洗浄された後、空拭きされるようにヘッド部と駆動部を制御する制御部とを備えるフラットパネル洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、例えば、半導体、フラットパネルディスプレイなどの製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置のクリーニング方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置のクリーニング方法において、耐熱性樹脂材からなるクリーニング材を装置内に搬送して被洗浄部位に接触させることを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法、特に耐熱性樹脂材のガラス転移温度が１５０℃以上である上記構成の基板処理装置のクリーニング方法、またクリーニング材がシート状または搬送部材の形状である上記構成の基板処理装置のクリーニング方法である。 （もっと読む）

【課題】回転ロールを洗浄するための洗浄液の使用量を低減する。
【解決手段】回転ロール９０に，保持ブロック１１０を取り付け，保持ブロック１１０の内部には，回転ロール９０の外周面の円周に環状に接触するシールリング１１１を設ける。保持ブロック１１０は，移動機構１２０により回転ロール９０の軸方向に移動自在にする。回転ロール９０の汚れを除去する際には，保持ブロック１１０が回転ロール９０の一端部側から他端部側に移動する。これにより，シールリング１１１が回転ロール９０の表面の汚れを掻き取って除去する。回転ロール９０の他端部側に移動されたシールリング１１１は，ノズルからの洗浄液により洗浄される。 （もっと読む）

【課題】ステージ面上に存在する異物が散乱しないように清掃することによって、製品不良をなくして製品の歩留まりの低下を防止する。
【解決手段】パネル２００をバックアップユニット６のステージ面１７上に載置した状態で加圧装置４を用いて電子部品２０２をパネル２００に圧着する部品圧着装置において、前記ステージ面１７上に存在する異物を前記ステージ面１７の延在方向に対して傾斜して設けられた清掃部２１を移動させて支持部６に対して、パネル２００の載置される側の反対側又は、パネル２００の搬入あるいは搬出側と反対側の方向に掃き出すように清掃することによって前記ステージ面１７を清掃する。 （もっと読む）

【課題】ステージ面上に存在する異物が散乱しないように清掃することによって、製品不良をなくして製品の歩留まりの低下を防止する。
【解決手段】パネル２００をバックアップユニット６のステージ面上に載置した状態で加圧装置４を用いて電子部品２０２をパネル２００に実装する部品圧着装置において、前記ステージ面上に存在する異物をパネル２００の載置される側の反対側又はパネル２００の搬入あるいは搬出側と反対側の方向に掃きだすように清掃部を駆動させることによって前記ステージ面１７を清掃する。 （もっと読む）

【課題】ステージ面上に存在する異物が散乱しないように清掃することによって、製品不良をなくして製品の歩留まりの低下を防止する。
【解決手段】パネル２００をバックアップユニット６のバックアップステージ１７上に載置した状態で加圧装置４を用いて電子部品２０２をパネル２００に実装した後に、パネル２００の載置される側の反対側又はパネル２００の搬入あるいは搬出側と反対側の方向に掃き出すように清掃部を駆動させることによって前記バックアップステージを清掃する。 （もっと読む）

【課題】紫外線ランプの保護管に付着したスケールを効果的に洗浄でき、洗浄液を容易且つ確実に供給できる紫外線ランプ保護管清掃装置及び紫外線殺菌装置を提供すること。
【解決手段】紫外線ランプ８５と、紫外線ランプ８５の保護管８７の外周表面を保護管８７の長手方向に向けて移動することで拭うワイパー部７１を設けたワイパー機構とを具備する。ワイパー部７１は保護管８７表面を拭う２つのワイパーブレード７３の間に洗浄液溜り７５を設けて構成する。洗浄液溜り７５への洗浄液の供給は洗浄液供給チューブ２０をワイパー機構に接続することで行う。洗浄液供給チューブ２０は洗浄液供給チューブ２０の動きに応じて回転するドラム１０に巻きつけられる。ワイパー機構の移動と一体に移動するワイヤー２５をドラム１０に巻きつけておくことで、ワイヤー２５の動きに応じてドラム１０を回転する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、例えば、半導体、フラットパネルディスプレイなどの製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置のクリーニング部材又はシートを提供する。
【解決手段】支持体に、耐熱性樹脂からなるクリーニング層が設けられてなるクリーニング部材又はシート、特にクリーニング層が、ガラス転移温度が１５０℃以上の耐熱性樹脂からなる上記構成のクリーニング部材又はシート、また支持体が、被洗浄装置内に搬送される搬送部材である上記構成のクリーニング部材、さらにシート状支持体に耐熱性樹脂からなるクリーニング層が設けられてなるクリーニングシートが、被洗浄装置内に搬送される搬送部材に設けられてなるクリーニング部材である。 （もっと読む）

核燃料棒（１）の表面の汚染を摩擦学的に除去する方法により、織物製の１つまたは複数のストリップ（１６）によって表面をなすりつけることを自動化する。ストリップ（１６）は棒（１）の軸から離れて移動させられ、棒はストリップ（１６）に面して配置され、次いで、ストリップは棒（１）の表面の周りで張力をかけられ移動させられる。棒は、固定されていてよく、あるいはその軸（ＡＡ）に沿って純粋の並進移動または長いピッチの螺旋移動のいずれかで移動させられてもよい。汚染除去が棒（１）の１回の通過で全体の表面に及ぶように２つのストリップによって同時に実行されることが好ましい。
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【課題】汚水などを含む残留物が発生しないのみならず、簡易迅速に皮膜部を除去しうる皮膜部の除去方法の提供、さらに除去性に優れるとともに残留物の処理が容易な皮膜部の除去方法の提供を課題とする。
【解決手段】
溶剤の施された樹脂ワックスなどからなる皮膜部１において、溶剤により溶解、軟化しかつ粘着性を帯びた皮膜部に対して有機および／または無機の粉体３を施し、回転ブラシ、刷毛、パッドなどの当接体５により粉体３と共に皮膜部１を摺擦して粉体３を皮膜部１に付着および／または混入し、皮膜部１における粘着性を排除する一方、粉体３を含む皮膜部１を粘着性のない小片７に破砕および／または粉砕し、床９面などの固着面１０から除去する。また皮膜部１における粘着性を排除する一方、粉体３により増量する皮膜部１を脆弱化し、粉体３を含む皮膜部１を粘着性のない小片７に破砕および／または粉砕し、床９などの固着面１０から除去する。 （もっと読む）