【課題】 フェーダ装置の抵抗体とガイドバーとの間の隙間に斜め上方から挿入して、スムーズに抵抗体表面を清掃できるクリーニング工具を提供する。
【解決手段】 フェーダ装置の直線状かつ平面状の抵抗体１とこれに沿ってその上部に隙間を隔てて延びるガイドバー５との隙間に上方から挿入して抵抗体表面を清掃するクリーニング工具であって、清掃作業者の手の指で保持される細長い操作部２と、クリーニング媒体が下面に装着される平板状のクリーニング部４と、ガイドバー５を回避してクリーニング部４と操作部２とを連結する連結部３と、を有する （もっと読む）

【解決手段】 本発明に係るクリーニングシートは、ワックスを特定量で含む樹脂組成物から得られる単層シートの少なくとも片面が粗面化されてなるクリーニングシートであって、（ｉ）溶剤吸収量、（ii）貯蔵弾性率、（iii）粗面化された面の中心線平均粗
さRaについて特定の値を有していることを特徴としている。
【効果】 本発明のクリーニングシートによれば、クリーニングの対象物に損傷を与えたり、汚染したりすることなく確実に対象物のクリーニングを行うことができる。さらに、本発明のクリーニングシートによれば、単独でロール状に巻回した際のシート同士のブロッキングを有効に防止して、ロールからのシートの繰り出しを改善し、ロール形状での取り扱いの容易さや操作性をより一層向上させることができる。
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【解決手段】 本発明のクリーニングシートは、樹脂を含有してなる単層シートの少なくとも片面に１〜５０Ｍｒａｄの電子線を照射して得られるクリーニングシートであって、（ｉ）溶剤吸収量、（ii）貯蔵弾性率について特定の値を有していることを特徴としている。
【効果】 本発明のクリーニングシートによれば、クリーニングの対象物に損傷を与えたり、汚染したりすることなく確実に対象物のクリーニングを行うことができる。さらに、本発明のクリーニングシートによれば、単独でロール状に巻回した際のシート同士のブロッキングを有効に防止して、ロールからのシートの繰り出しを改善し、ロール形状での取り扱いの容易さや操作性をより一層向上させることができる。
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【課題】 過冷却液体から氷の微粒子を含む処理液を製造する場合に、汚染物質が混入する心配が無く、生成された氷の微粒子が溶解することもない装置を提供する。
【解決手段】 下部に液体導入口１８および気体噴出口２４を有し上部に氷の微粒子を含む処理液の流出口２８を有する本体部１０を備え、液体導入口１８を通って本体部内１０へ導入された過冷却液体中に気体噴出口２４から気体を噴出して過冷却状態を解除し、生成された氷の微粒子を含む処理液を本体部１０内から流出口２８を通って流出させる。 （もっと読む）

【課題】 基板処理領域の近傍で粉塵が発生することがない基板処理装置を提供する。
【解決手段】 基板Ｗの主面に対してブラシ本体部４３を接触させつつ往復移動させて基板Ｗを処理する水洗処理ユニット４において、ブラシ本体部４３が取り付けられ、その長手方向が前記往復移動方向とほぼ平行になるように配置される棒状の支持部４４と、支持部４４が保持される開口を有する受け部４５と、支持部４４を前記往復移動方向に沿って往復駆動する駆動源５１とを備え、支持部４４の表面の少なくとも一部を予め定められた磁極を有する磁性体で形成すると共に、支持部４４の磁性体と対向する受け部４５の開口内面の少なくとも一部に、支持部４４表面の磁極と反発する磁極からなる磁性体を設ける。 （もっと読む）

【課題】 安価であって、薬品を用いることもなく、バクテリア等の雑菌を除去して、充分な洗浄機能を確保できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 循環配管内ＵＶ照射装置１０３及びタンク内浸漬式ＵＶ照射装置１０５によって紫外線を照射した後のＵＶ処理液（洗浄液）を、洗浄液供給部９によってブラシ基部５１に供給し、ブラシ基部５１では、洗浄液案内路１３を通して吐出口１３１からブラシ毛束５０に対して上記紫外線照射後のＵＶ処理液を吐出して、ブラシ毛束５０での雑菌繁殖を防止する。 （もっと読む）

【課題】 洗浄装置に関し、水素水を用いた洗浄に於いて、被洗浄物の表面に損傷を与えることなく、物理的な力を作用させることを可能とし、被洗浄物の表面に固着しているパーティクルを容易に解放し、水素水洗浄に依る効果を向上させようとする。
【解決手段】 被洗浄物であるウェーハ４０１が収容された洗浄槽４０２内に洗浄液を供給し、洗浄液に超音波振動子４０４からの超音波を印加してウェーハ４０１を洗浄する洗浄装置に於いて、ウェーハ４０１に接触した状態で振動するブラシ４０５を設けることが基本になっている。 （もっと読む）

【課題】 ハウジング内の光コネクタや光部品を容易かつ確実に清掃することができ、しかも衝撃に強い清掃工具を提供することを課題とする。
【解決手段】 ケース状の工具本体１０と該工具本体１０から突出して設けられた挿入部２０を備え、工具本体１０の内部には、清掃テープ２Ａ，２Ｂ，２Ｃを巻装した供給リール３０と、使用後の清掃テープ２Ａ，２Ｂ，２Ｃを巻き取って回収する巻取リール３１とが回転可能に装着され、挿入部２０には、光コネクタの接合端面に対する清掃テープ２Ａ，２Ｂ，２Ｃの当接面積を確保した先端面を有するヘッド部材２３が配置された光コネクタ清掃工具１において、供給リール３０の周縁部３０ｒ外側に向かって突出した清掃テープ脱落防止用リブ８を工具本体１０の内面に設ける。 （もっと読む）

【課題】 基板の端面の清掃作業を効率良く行うことができる基板端面自動清掃装置を提供すること。
【解決手段】 基板端面自動清掃装置５は、基板支持台４１、清掃部材２０及び駆動手段を備えている。基板支持台４１は基板１５を支持し、清掃部材２０は粘着層を有している。駆動手段は、基板支持台４１及び清掃部材２０を動かして、基板１５の端面１６と粘着層とを接触させる。この状態において、基板１５の端面１６に付着したごみを粘着層に貼り付けて除去することにより、基板１５の端面１６が清掃される。 （もっと読む）

【解決手段】管状部材の外面から付着物を除去するスクレーパであり、管状部材の外面に接触するように構成された連結する複数の弾性セグメントを有している。隣接するセグメントの各対は、湾曲部を介して接続されている。弾性セグメントは、対向する円環状の板の対の間に位置決めされて挿入される。円環状の板は、複数のスペーサで互いに接続されており、それらスペーサは、板の外端及びセグメントの弦の近くに配置される。セグメントの弦は、多数のセグメントが、外側に変形するように、軸に沿った開口の周りに分布している。これによって、変形したセグメントの弾性が、それを内側に、管状部材に向かって押す。スクレーパが軸方向に動くと、管状部材が掃除される。 （もっと読む）

【課題】 メダルに必要最小限の洗浄液を塗布し、その洗浄液を確実に拭き取ることができるようにしたメダル洗浄装置を提供する。
【解決手段】 本メダル洗浄装置は、メダルを洗浄液によって洗浄する洗浄部１０と、メダルに付着している洗浄液を除去する液除去部２０とを備えている。前記洗浄部１０は、メダルを表裏から挟んで搬送する一対の無端布ベルト１１ａ，１１ｂと、該無端布ベルト１１ａ，１１ｂに洗浄液を噴射するノズル１５とを備えている。また、前記無端布ベルト１１ａ，１１ｂの湿潤状態がセンサ１６によって検出され、該センサ１６によって検出された前記無端布ベルト１１ａ，１１ｂの湿潤状態が洗浄に不十分であるときに、前記ノズル１５から洗浄液が噴射される。さらに、前記一対の無端布ベルト１１ａ，１１ｂは、搬送速度が異なるようにされている。 （もっと読む）

【課題】 高粘度の液状物が移送された後の配管においても効率よく洗浄できる、ピグによる洗浄方法を見出す。
【解決手段】 一対のピグと該ピグ間に充填された洗浄剤によって洗浄することを特徴とする液状物が移送された配管の洗浄方法。この方法に適したピグの１つに、ひも状の連結手段で連結された一対のピグからなる配管洗浄用ピグシステムがある。 （もっと読む）

各々が個別のベルト走行経路を走行し、ベルトの対向する上面（３４、３８）の間に略垂直な物品移送経路（４５）を共に画定する第１および第２のエンドレスベルト(２２、２４)を有する型のコンベヤーベルト装置（２０）用の清掃アセンブリ。清掃アセンブリは、液体および残屑をベルトから移動させるためのベルト払拭ブレードアセンブリ（６０）と、過剰液体をベルトから払拭するための、ブレードアセンブリの下流の吸収材（１２０）と、物品移送経路に沿ってベルトの対向する上面の間に配置されるベルト縁封止部（１９０）と、を含む。
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【課題】吸着痕を形成せずに、パネルの両面を同時にクリーニングできるパネルクリーニング装置及び方法を提供する。
【解決手段】入力側のニップローラ２１、２２と出力側のニップローラ２３、２４との間の間隔が、パネルの長さと実質的に同じ距離にある。パネル表面６１をクリーニングする第一のクリーニングヘッド３０、矢印Ｚの方向に第一のクリーニングヘッド３０を往復移動させる垂直移動手段４０、パネルの表面６１と平行且つパネルの幅方向な矢印Ｙの方向に第一のクリーニングヘッド３０を移動させる平行移動手段５０、パネルの裏面６２をクリーニングする第二のクリーニングヘッド３０´、矢印Ｚの方向に第二のクリーニングヘッド３０´を往復移動させる垂直移動手段４０´及びパネル裏面６２と平行且つパネルの幅方向な矢印に第二のクリーニングヘッド３０´を移動させる平行移動手段５０´を有する。 （もっと読む）

【課題】 口金部に付着した塵埃を効果的、かつ確実に清掃することができる。
【解決手段】 有底円筒状をなし、一端側に口金部が形成された缶の清掃装置１おいて、口金部に接触可能に支持された布２１と、口金部に対して布２１を相対移動させる移動機構２０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 洗浄処理をより効果的に、かつ均質に行うことを可能とした洗浄処理装置を提供する。
【解決手段】 半導体ウエハＷ等の基板に洗浄処理を施す洗浄処理装置、例えば、スクラブ洗浄ユニット（ＳＣＲ）２１ａは、ウエハＷを略水平に保持して面内回転させる保持手段であるスピンチャック７１と、スピンチャック７１に保持された基板の上面を洗浄するブラシ７６ａ・７６ｂ等の洗浄手段と、ブラシ７６ａ・７６ｂを保持するブラシ保持アーム７７ａ・７７ｂと、ブラシ保持アーム７７ａ・７７ｂをブラシ７６ａ・７６ｂがスピンチャック７１に保持されたウエハＷ上の所定位置を移動するように駆動するアーム駆動機構７９ａ・７９ｂとを具備する。カップ７３の外側の所定位置には、２本のリンスノズル８６ａ・８６ｂが配設されており、それぞれウエハＷの所定位置に洗浄液またはリンス液を供給してウエハＷ上に液膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】前工程で付着したワーク全体の付着液体を確実に除去することにある。
【解決手段】前工程で液体の付着したワークＷを載せる静止した搬送経路８と、該搬送経路上で前記ワークを摺接搬送するワーク搬送機構と、前記搬送経路上を摺接搬送するワークに対して気体を噴出して該ワークの下面以外に付着する液体を除去せしめる気体噴出機構１４と、前記搬送経路の下方に備えた除去液体回収空間Ｓ２と、除去した液体Ｅを、搬送経路上から除去液体回収空間方向へと強制的に吸引回収する除去液体回収機構１６とを備え、搬送経路は、ワークの搬送方向Ｃに対して所定の角度をもって摺接し、ワーク下面２０に付着する液体を擦り切り除去する液体除去機構１０と、該液体除去機構と連通して搬送経路表面から裏面にわたり貫通する複数の除去液体流路１１とが備えられ、気体噴出機構は、前記搬送経路に備えられている除去液体流路と並行に気体を噴出する。 （もっと読む）

本発明は軸回転する水平ロールを清浄化する装置に関するものである。前記装置は前記ロールの回転に追随することなく、前記ロールに支えられ、かつ、誘導される装置であり、ロールに沿って滑走することにより移動することが可能であり、前記装置に固定された清浄化手段（例えば切削工具）を用いて前記ロールの表面を滑走中に清浄化することが可能である。本装置はガラス板状材、ガラス帯状材の搬送用ロールの清浄化を可能とし、特に平板ガラスの製造設備の下流にある焼きなまし炉で用いられるロールの清浄化を可能とする。平板ガラスの例として、フロートガラス（溶融金属池の上で形成されるガラス。溶融金属は一般的にはスズが基材とされる。）がある。
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