【課題】給水管内の洗浄効率が高く、且つ静粛性に優れた給水管洗浄システム、給水管洗浄装置、及び給水管洗浄方法を提供する。
【解決手段】圧縮空気を給水管の内部に射出して給水管内部を洗浄する給水管洗浄システムにおいて、圧縮空気を射出する第１の給水管と、前記第１の給水管と連通する第２の給水管と、圧縮空気を生成するコンプレッサーと、前記コンプレッサーより送られる圧縮空気を、電磁弁を用いて断続的に射出する圧縮空気送出機と、その内部に螺旋状の切り込みを有し、前記圧縮空気送出機より射出される圧縮空気を、前記第１の給水管の内部に螺旋状に回転させながら射出するシリンダとを有する給水管洗浄装置と、を備え、前記第１の給水管の内部に圧縮空気を、螺旋状に旋回させつつ圧送することとした。 （もっと読む）

【課題】被加工物を覆うカバーの清掃のためにレーザ溶接装置の運転を停止することなく、定期的に、自動でカバー清掃を行い、その後、清掃されたかどうかを自動でチェックし、清掃されたことを確認した後、再び自動で溶接を再開できるレーザ溶接装置を提供することを課題とするものである。
【解決手段】レーザを照射するレーザ部２と、溶接される被加工物１１を保持し、回転させる複数のワーク保持部３と、被加工物１１の溶接近傍をカバーするカバー４と、前記カバー４と被加工物１１間にカバーガスを噴出するガス供給部５と、ワーク保持部３を搬送する搬送部６とからなるレーザ溶接装置１において、前記搬送部に、回転するブラシを有し、カバー４を清掃するブラシ部７を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の種類や大きさ或いは洗浄槽の運転条件等が変更された場合にも対応可能な洗浄評価器具を提供する。
【解決手段】被洗浄物と一緒に洗浄液によって洗浄され、前記被洗浄物に付着した汚れ落ちの程度を評価する洗浄評価器具Ｈにおいて、該汚れ落ち程度を評価する擬似汚れが塗布された洗浄インジケータ２０を、その擬似汚れ塗布面が洗浄液と接触できるように保持する保持部材と、洗浄インジケータ２０の汚れ塗布面上に配設され、前記保持部材によって保持された洗浄インジケータ２０の擬似汚れ塗布面と接触する洗浄液量を調整できるように、洗浄液が流入する複数個の開口部１０ａが形成された板状体１０と、板状体１０の開口部１０ａの開口面積が調整できるようにスライド可能に設けられたスライド板１４とが設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】投影光学系と液体とを介して基板にパターンを投影して露光する際、不要な液体を除去して所望のデバイスパターンを基板上に形成可能な露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、投影光学系と液体とを介して基板上に露光光を照射することによって、基板を露光する。露光装置は、投影光学系の像面側付近に配置される部品の表面状態を検出する検出装置を備えている。 （もっと読む）

【課題】カップの洗浄や輸送にかかる人手をできるだけ省き、リユースカップシステムを低コストで運用できるようにする。
【解決手段】洗浄前のリユースカップ８を上向きに柱状に積み重ねた状態で収容し、このカップ柱１４のリユースカップを下から１個ずつ切り離して落下させるカップ受入機構３と、このカップ受入機構３から落下したリユースカップ８を順次受け止めて把持し、洗浄、乾燥した後、落下させるカップ洗浄機構２と、このカップ洗浄機構２から落下した洗浄後のリユースカップ８を柱状に順次積み重ねて保管するカップ保管機構４とを設け、カップ洗浄機構２の上下にカップ受入機構３及びカップ保管機構４を配置してリユースカップ洗浄機を構成する。リユースカップ８を柱状に積み重ねた状態でカップ洗浄機にかけ、また洗浄・乾燥後のリユースカップ８を積み重ね状態で取り出せるので、洗浄の前後に人手によりカップを個々に分けたり、積み重ねたりする手間が省ける。 （もっと読む）

【課題】ねじ孔の清掃を的確に行うことができるものとする。
【解決手段】軸回りに毛束を螺旋状に配したブラシ体３３と、このブラシ体３３を軸回りに回転させるとともに軸方向に送る駆動手段とからなり、ブラシ体が差し込まれるねじ孔の雌ねじのピッチと上記ブラシ体３３の螺旋ピッチとが異なるものとされ、上記駆動手段によるブラシ体の１回転中の軸方向送り量が上記雌ねじのピッチと一致している。雌ねじの谷部に位置する切り粉や粉塵を雌ねじの螺旋に添ってブラシ体３３が掻き出す。 （もっと読む）

【課題】被処理物に与えるダメージを抑制することができるとともに洗浄能力が高いプラズマ処理方法を提供する。
【解決手段】大気圧近傍の圧力下の放電プラズマにより被処理物を処理する方法であって、互いに向き合って配置されている第１電極と第２電極との間にヘリウムガスおよびアルゴンガスの少なくとも一方を含むガスを導入する工程と、第１電極と第２電極との間に周波数が１ＭＨｚ以上５０ＭＨｚ以下の高周波電圧を印加することによって放電プラズマを発生させる工程と、放電プラズマを被処理物に接触させることによって被処理物を処理する工程と、を含む、プラズマ処理方法である。 （もっと読む）

【課題】 少量の洗浄液で再汚染を防止する。
【解決手段】 洗浄システム１００は、装置本体２、ワークＷが載置される基板テーブル３、汚染物質Ｐに対して洗浄液を供給する洗浄液供給ユニット１２、洗浄液に超音波を付与するホーン超音波発振器１３、洗浄液を吸引する吸引ユニット１４、位置検出ユニット１５、および制御手段１６で構成されている。ワークＷを洗浄する際には、ワークＷに存在する汚染物質Ｐに対して洗浄液供給ユニット１２から液滴を供給し、この液滴にホーン超音波発振器１３から超音波振動を付与して汚染物質Ｐを被洗浄物から脱離させる。また、吸引ユニット１４を用いてワークＷから脱離した汚染物質Ｐを液滴とともに吸引して除去する。 （もっと読む）

【課題】基板の裏面に吸着跡を付けることのないチャックを提供する。
【解決手段】基板の裏面を真空吸着して固定保持するスピンチャックの吸着面３２ｄには、樹脂材料を切削加工したときの削り屑や樹脂に含まれる成分の粒子等の異物９９が付着している。そのような吸着面３２ｄを導電性ポリマーを主成分とする光硬化型のアクリル系樹脂の樹脂膜３９によって被覆する。これにより、吸着面３２ｄに付着していた異物９９を樹脂膜３９によって覆って表面に露出させないようにすることができ、その結果、スピンチャックの吸着面３２ｄに基板を真空吸着したときにも、その裏面に異物９９が付着したりキズを付けたりするのを防ぐことができ、吸着跡の付着を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】マスク洗浄方法を提供する。
【解決手段】マスクに付着された物質にレーザビームを照射するステップと、マスクに付着された物質を除去するステップと、を含むことを特徴とするマスク洗浄方法である。これにより、マスクに付着された物質を迅速かつ効率的に除去できる。また、マスクに付着された物質を除去するステップは、マスクを超純水に浸漬するステップと、マスクを有機溶剤に浸漬するステップと、を含むものであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、簡易な方法且つ漏れなくびん内残液を検出することができるびん内残液検出装置を提供することである。
【解決手段】 本発明のびん内残液検出装置１は、回収したビールびん２を洗浄するびん洗浄部３と、洗浄が終了したビールびん２の口部２ａを下にしてビールびん２内の水切りを行なう水切り部５とを備え、水切り部５はビールびん２内の残液を検知する液検知センサ２１を備え、液検知センサ２１がビールびん２内の液体を検知するようにしている。 （もっと読む）

【課題】瓶輸送用プラスチックケースの表面を傷つけることなく瓶輸送用プラスチックケースの側面部に付着した付着物を確実に除去することのできる瓶輸送用プラスチックケースの洗浄方法を提供する。
【解決手段】瓶輸送用プラスチックケースＢＣの被洗浄面に対する付着物除去用ブラシ１１の接触圧分布を静電容量式触覚センサにより測定し、この静電容量式触覚センサで得られたデータと瓶輸送用プラスチックケースＢＣの被洗浄面に付着物除去用ブラシ１１を接触させた後の瓶輸送用プラスチックケースＢＣの洗浄状態とから瓶輸送用プラスチックケースＢＣに対する付着物除去用ブラシ１１の最適接触量を求めて瓶輸送用プラスチックケースＢＣを洗浄する。 （もっと読む）

液晶基板に用いられるガラス基板の縁部を洗浄する際に、洗浄するガラス基板毎に洗浄度合を判定する。
液晶ディスプレイ用基板Ａの縁部を直線的に移動しつつ摺擦洗浄する洗浄ヘッドを備えた基板縁部洗浄機１００であって、前記洗浄ヘッドとともに移動し、基板に設けられたカラーフィルタの端縁近傍を撮像するカメラ１１７を備え、前記カメラ１１７は、洗浄後の基板Ａの被洗浄部の表面状態情報を取得し、基板縁部洗浄機１００はさらに、前記表面状態情報から洗浄度合を判定する洗浄度合判定手部３０６備える。
（もっと読む）

【課題】 口金部に付着した塵埃を効果的、かつ確実に清掃することができる。
【解決手段】 有底円筒状をなし、一端側に口金部が形成された缶の清掃装置１おいて、口金部に接触可能に支持された布２１と、口金部に対して布２１を相対移動させる移動機構２０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】倒立状態で樽を洗浄する洗浄装置において、樽を下方に押圧していた押圧パッドを上方に移動させた際にそれとともに樽が持ち上げられることを防止する。
【解決手段】洗浄の際に、支持テーブル２０上に倒立状態で置かれた樽１０を押圧機構６０によって支持テーブル２０に押し付ける。押圧機構６０は、押圧パッド４４が下部に設けられた昇降部４２と、昇降部４２を昇降させるアクチュエータ４６と、鉛直方向に移動可能に昇降部４２に取り付けられバネ５０によって下方に押し出される分離用部材４８とを含む。押圧パッド４４によって樽１０が押圧されている状態でバネ５０が圧縮され、アクチュエータ４６によって昇降部４２が上方に駆動されたときに、圧縮されていたバネ５０の復元力によって分離用部材４８が樽１０を下方に押圧することによって押圧パッド４４と樽１０とが引き離される。 （もっと読む）

【課題】顧客及び業者の両者に満足感を与えると共に品質を維持保障した清掃方法を提供する。
【解決手段】建物内の汚れ状況を顧客に提示する現地確認工程１と、この現地確認工程１に基づいて品質を保証した個別の清掃設計を行い仕様を確立する工程２と、この確立された仕様に基づいて受注を確定した後、建物竣工当時の状況に近づけるまでの集中清掃作業を行う集中清掃工程５と、清掃前と清掃後の比較写真等を顧客に提示して初回清掃を終了する結果報告工程６と、前記集中清掃工程５の後、必要に応じ臨時的な清掃を行う巡回清掃工程７と清掃品質の維持を目的とした定期清掃を行う定期清掃工程８とから構成。 （もっと読む）