【課題】 端縁に段差を有する基板を処理する場合であっても、端縁を十分清浄に洗浄処理することが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】 電子ペーパ製造用基板１０は、第１、第２の剥離部３５、３６に搬送され、レジストの剥離処理がなされる。次に、電子ペーパ製造用基板１０は、洗浄液噴出ノズル５１からその長辺に洗浄液が噴出され、その長辺を洗浄処理されるとともに、第１洗浄部３７において表面および裏面に洗浄液を供給されて洗浄処理される。次に、電子ペーパ製造用基板１０は、第１洗浄部３７から第２洗浄部３８、第３洗浄部３９および第４洗浄部４０に順次搬送され、それらの洗浄部において表面および裏面に洗浄液を供給されて洗浄処理される。このとき、第２洗浄部３８においては、洗浄液噴出ノズル５２からその短辺に洗浄液が噴出され、その短辺を洗浄処理される。 （もっと読む）

【課題】 多目的な洗浄に対応するワーク洗浄装置を提供する。
【解決手段】 本願発明では、ワークＷを洗浄するワーク洗浄装置において、洗浄液の噴射部と、複数のプレート４…４と、プレート移動部５とを備え、プレート移動部５は、少なくとも一部のプレート４を移動させて、洗浄するワークの周囲を各プレート４…４にて取り囲むことにより、洗浄液の液溜まりを形成することができ、且つ、移動させたプレート４…４を元の位置に後退させることができるものであり、 噴射部６は、洗浄するワークを、プレート４…４にて取り囲んだ状態と取り囲んでいない状態の何れにおいても、ワークに向け洗浄液を噴射することができるものである。 （もっと読む）

【課題】フィルタを搬送して移動させながらフィルタの洗浄、水洗、脱水、乾燥をコンパクトな構成により短時間で連続処理するフィルタ洗浄乾燥システム及びフィルタ洗浄方法を提供する。
【解決手段】フィルタ洗浄乾燥システム１は、フィルタ２を搬入口８から搬出口９に移送するフィルタ搬送装置３と、洗浄液１７を噴射する洗浄液噴射ノズル１０、及び洗浄液噴射ノズル１０の下流側で高圧ガス１８のみを噴射する高圧ガス噴射ノズル１１を有するフィルタ洗浄装置４と、洗浄水１９を噴射する洗浄水噴射ノズル１２を有するフィルタ水洗装置５と、吸水手段、及び吸水手段に設けられた吸水材１４によりフィルタ２の内部に含まれた水分を吸収させる押し当て機構１５を有するフィルタ乾燥装置６と、を備えてフィルタ２を連続的に洗浄乾燥する。 （もっと読む）

【課題】ディスク駆動装置の構成部品の清浄度を向上し、磁気ヘッドの浮上隙間を小さくした場合でもＴＡ障害発生の確率を低く保つことのできるディスク駆動装置の生産方法を提供する。
【解決手段】ディスク駆動装置の生産方法は、所定レベル以上のクリーンルーム内で洗浄工程１００と組立工程２００が連続して実施される。洗浄、組立対象であるディスク駆動装置のベース部材１２は、洗浄工程１００は、アルカリ洗浄工程１０４、第１純水洗浄工程１０６、第２純水洗浄工程１０８、スプレー洗浄工程１１０、水切工程１１２、乾燥工程１１４を含む。第１純水洗浄工程１０６は、第１純水洗浄槽１２６に満たされた純水１２８中で、４０ｋＨｚ、６８ｋＨｚ、１３２ｋＨｚの周波数による純水超音波洗浄を順に施す。洗浄されたベース部材１２は、洗浄工程１００と連続した組立工程２００で清浄度が所定値以上ｎ他の構成部品と共に組み立てられる。 （もっと読む）

【課題】
変形、収縮或いは他の損傷の危機がそれぞれの容器に生じることなしに、感熱性容器、特に合成樹脂製の容器がエネギー投与の下で少なくとも一つの処理媒体の活性化により処理できる方法を提供すること。
【解決手段】
エネギー投与によりそれぞれの容器内の処理媒体を活性化させることによって、瓶、筒状容器或いは同様な容器を処理する、特に殺菌する方法は、電磁放射線を処理媒体に作用させることによる活性化が行われることを特徴とする。
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【課題】 連続的に搬送されてくる個々の容器内部を衛生的かつ有効に洗浄し、引き続き水切り乾燥まで連続的に行なうことができる容器の連続洗浄装置の提供。
【解決手段】 容器を洗浄室内へ受け入れる受け入れコンベアと、該受け入れコンベアにより洗浄室内で受け入れられた容器を、その受け入れコンベアと共に洗浄位置まで上昇させ、さらには洗浄後の容器を受け入れコンベアと共に初期位置へ降下させる昇降機構と、該昇降機構の動作で上記コンベアと共に洗浄位置まで上昇された容器を、その両側方から挟持しながら、天地逆に反転するクランプ反転機構と、該クランプ反転機構により反転された容器の内外面を湯洗及びリンス洗浄する洗浄機構と、該洗浄機構による洗浄が終了された容器の内面及び外面の水切りを行なうエアブロー機構を有する。 （もっと読む）