【課題】ウェハの抗折強度の低下を抑制することの可能なウェハ搬送装置を提供する。
【解決手段】ウェハ搬送装置は，ウェハを吸着部により真空吸着して搬送する装置であり，吸着部は，アルミナを主成分とした材料から形成され，気孔率が３４〜４０％である。吸着部の表面における気孔以外の部分の表面粗さＲｙは，５μｍ以下であることを特徴とする。これにより，吸着部のウェハとの接触面における凹凸の高低差が小さくなるため，ウェハに与えるダメージを低減することができる。したがって，吸着部によりウェハを吸引保持する際に発生する，ウェハの抗折強度の低下を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】電子部品の高さが所定の高さより高くなったとしても供給時に衝撃を確実に緩和することができる電子部品吸着ノズル、部品移載装置、ＩＣハンドラーおよび表面実装機を提供する。
【解決手段】筒状に形成され吸着ヘッドの下端部に取付けられる本体２を備える。電子部品と接触する吸着面２３ａを有し、本体２の中空部内に昇降自在かつ上下方向の軸線回りの回動が規制された状態で挿入された吸着部材３を備える。この吸着部材３の下降方向における最下端の位置を規制する下端位置規制手段（貫通孔１６とピン１７）を有する。吸着部材３を下方と回転方向とに付勢するコイルばね４を備える。吸着部材３にコイルばね４の下端部を支承する受け部２２を設ける。コイルばね４を本体２を巻回するように受け部２２と本体２との間に弾装した。 （もっと読む）

【課題】 ＩＣデバイスを移送するＩＣ搬送装置に用いられ、ＩＣデバイスを吸着保持するコンタクタにおいて、ＩＣデバイスの搬送効率の向上を図り、かつ、ＩＣ搬送装置の製造コスト及びランニングコストの削減を図ることができるようにする。
【解決手段】 第１のエアライン３１を有する本体部３３と、一端が前記第１のエアライン３１に連通可能とされ、他端が外方に開放される第２のエアライン４１を有すると共に、これら第１及び第２のエアライン３１，４１を相互に連通又は遮断する位置の間で前記本体部３３に対して移動自在なシリンダ４３と、前記第１及び第２のエアライン３１，４１を相互に遮断する位置に向けて前記シリンダ４３を付勢する付勢手段４７と、前記第１及び第２のエアライン３１，４１を相互に連通する位置に前記シリンダ４３を保持する保持手段とを備えることを特徴とするコンタクタ７を提供する。 （もっと読む）

【課題】被搬送物を着脱自在に確実にかつ安定して吸着して保持する保持装置を提供すること。
【解決手段】基部に配置されて第１通路１１１Ａを有する継手部１１１と、第２通路１１３Ａを有し第１通路１１１Ａと第２通路１１３Ａを通じて吸引することで被搬送物Ｄを保持するノズル先端部１１３と、ノズル先端部１１３と継手部１１１を接続する伸縮自在な胴体部１１４であり、第２通路１１３Ａと第１通路１１１Ａとを連絡する胴体部１１４と、ノズル先端部１１３と継手部１１１の間に配置されてノズル先端部１１３を継手部１１１から離れる方向に沿って付勢するための付勢部材と、基部に対して固定されている受け部１１６でありノズル先端部１１３が被搬送物Ｄを吸着する時にノズル先端部１１３を付勢部材１１５の力に抗してノズル先端部１１３の軸方向に移動する際にノズル先端部１１３を案内する案内孔を有する受け部１１６を備える。 （もっと読む）

【課題】 積み上げられた複数のシートから、その最上部のシートを１枚ずつ取り出す、という取出作業が、より容易に、かつ、確実にできるようにする。
【解決手段】 吸着体９は、その下端部に下方に向かって開口する開口部１３が形成され、この開口部１３と連通する内部空間１４が形成されている。吸着体９の下端面がシート２の上面に接合可能とされる。内部空間１４の空気１１が吸引可能とされる。この吸引により内部空間１４にシート２の部分２ａが吸入される。吸着体９は、下端部に開口部１３が形成された縦向きの筒状部１５と、この筒状部１５の上端開口を閉じる天井部１６とを備える。内部空間１４の軸方向各部の断面積を開口部１３の断面積とほぼ同じ、もしくは、より大きくする。 （もっと読む）

【課題】吸着し保持する対象物を開放するとともに伸縮可能でチャック装置との干渉を避けることができる保持装置を提供する。
【解決手段】伸縮型保持装置１０は、流体を独立して導入排出可能な帯状の管であって一体的に形成された第１変形部２a、第２変形部２b、第３変形部２c及び第４変形部２dと、各変形部に密着かつ固定されて板状に形成された真空排気可能な帯状の管で吸着穴５を有する保持部６とを備え、各変形部と保持部６とが密接する箇所に、形状維持用スプリング８a、８b、８c、８dが設けられている。保持部６を真空排気して基板を吸着保持し、各変形部に充填した流体を排出して流体圧をゼロにしていくと形状維持用スプリング８a、８b、８c、８dの自然状態の形状に変形していき、保持装置の先端が曲がり、チャック装置との干渉を避けることができる。可変ステージ及び可変ハンドとして使用可能である。 （もっと読む）

【課題】２台のロボットを用いてシート部材の組付けを行うと共に、被組付け物の位置を力覚センサを用いて検出できるようにして、設備費の大幅な削減を図る。
【解決手段】２台のロボットの動作端に取付けた第１と第２の２つの治具１１，２１によりシート部材２を保持する。両治具１１，２１を接近させてシート部材２を弛ませた状態で、第１治具１１に設けたピン１６を被組付け物１の基準孔に押し込み、第１治具１１とロボットの動作端との間に介設した力覚センサで検出される位置検出ピンの押し込み反力に基づいて第１治具１１の位置を修正し、位置検出ピン１６が基準孔に同心で挿入されたときの第１治具１１の位置に基づいて被組付け物１の位置を検出する。検出された被組付け物１の位置に基づいて第１と第２の両治具１１，２１を被組付け物１に対し位置合わせし、被組付け物１にシート部材２を組付ける。 （もっと読む）

【課題】吸着ノズルの着脱を行うノズルアウタのガタ検出装置の提供。
【解決手段】実装機のヘッドユニットに昇降及び回動自在に設けられ、その内部に負圧供給路を有するノズルシャフト１と、ノズルシャフト１を上下動するＺ軸モータ２と、ノズル下端に上下動可能に支持したノズルアウタ４と、常にはノズルアウタ４を下方に押圧する弾性体と、ノズルアウタ４の上下動によりノズルシャフト１の負圧供給路内に出没し、ノズルシャフトの負圧経路内に挿入される吸着ノズルに形成した溝部に嵌合することにより吸着ノズルの上下動を規制する嵌合部材と、実装機の所定位置に設けられ、少なくとも前記ノズルアウタ４の下面の一部と対向する歯部を形成したノズルガタ検出部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 ハンドに保持されたガラス基板の位置精度を高め、ガラス基板がマガジン等に接触して損傷するのを確実に防止する。
【解決手段】 マガジン１１に対して進退移動可能な搬送用ロボット１０のハンド２１に、ガラス基板１２を吸着保持する複数の吸着保持手段を設け、また搬送用ロボット１０の旋回台２０にガラス基板を収納方向と直交する方向に芯出し位置決めする芯出し位置決め手段５１を設け、該芯出し位置決め手段によってガラス基板を芯出し位置決めした状態で旋回台を旋回するようにした。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ等の脆質性を備えた板状体を吸着する支持プレートの平行度を高精度に保ってウエハの損傷原因を回避できる移載装置を提供すること。
【解決手段】 半導体ウエハＷの支持面２０Ａを備えた支持プレート１１と、これを支持するアームプレート３０と、これら支持プレート及びアームプレート１３との間に設けられた平行度調整手段１４とを備えて移載装置１０が構成されている。支持プレートは、支持面から空気の吸排が可能に設けられ、空気吐出状態で半導体ウエハＷに接近したときの反作用でウエハに対して平行に保たれ、当該平行を保った状態でウエハに接した後に当該ウエハを吸着して移載することができる。 （もっと読む）

【課題】 半導体基板が大型化し且つ薄くなって表面が反ってしまうような状態でも確実に吸着することができ、半導体基板を処理する吸着ステージへセットすることが容易であり、半導体基板の表面汚染を著しく少なくできる半導体基板吸着ハンド及びその操作方法を提供する。
【解決手段】 半導体基板吸着ハンドは、アーム１に支持され、半導体基板１５を保持するチャック１０と、チャック中央部に設けられ半導体基板を真空吸着する基板吸着部１１と、チャック周辺部に設けられ半導体基板の周辺部を抑える複数のピン８とを備え、基板吸着部には、先端部の径が他の部分より小さい複数の突起が植設され、半導体基板を吸着する際には、先端部が半導体基板に接触するように構成されている。このハンドを用いて半導体基板を平面状に修正しながら吸着する。 （もっと読む）

本発明のフークハンドリング装置は、ワークを載せるトレイを担持すると共に所定方向に往復動自在な可動テーブル（２１）、ワークに対して所定の処理を施す処理部（３０）を略中央に挟むようにしてトレイと処理部との間で往復動自在に配置され，かつ，ワークを搬送するべく水平方向及び鉛直方向に駆動される関節型アーム（４１０）及びその先端に設けら
れた複数の吸着ヘッド（４２０）をそれぞれ有する一対のハンドラ（４０，４０’）、一対のハンドラ及び可動テーブルを駆動制御する制御ユニット（７０）を備え、制御ユニットは、トレイから処理部への未処理ワークの搬入動作及び処理部からトレイへの処理済みワークの搬出動作の両動作を，一対のハンドラにそれぞれ行わせるように駆動制御する。これにより、装置が完全に停止するのを防止できる。
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