【課題】 簡易な構成でもってチャックのフローティングを可能としコンパクト化を図ることができるフローティングチャック装置及びフローティングチャックユニットを提供する。
【解決手段】 上下方向に延びる軸部２１を有し、その先端の吸着部にワークを吸着させて該ワークＷを保持するチャック２０が、該チャック２０を移動させる移動基板３に対してフローティング可能に支持されるフローティングチャック装置１０又はこれが複数並設されたフローティングチャックユニット１において、チャック２０にフランジ部２２を設け、軸部２１を挿通させるチャック挿通孔１１ｃを有しフランジ部２２を支持する第一ガイドブロック１１と、該第一ガイドブロック１１と対をなしフランジ部２２を上方から挟み込む第二ガイドブロック１２とを設け、第一ガイドブロック１１とフランジ２２との間、及びチャック挿通孔１１ｃと軸部２１との間にクリアランスｎ１、ｎ２を形成する （もっと読む）

【課題】 基板の両面を同時に保持することにより、保持面積の拡大、保持力の向上を図ると共に、基板受け渡し面のチルト補正の容易化、基板の面精度の維持を可能にし、装置全体の基板搬送スループット向上、および搬送精度の向上を実現する。
【解決手段】 基板８の両面の一方を吸着する第１保持部２，３と、他方に当接してそれを支持する第２保持部６，７と、基板を吸着した第１保持部を第２保持部側へ付勢する付勢手段４，５とで基板保持機構１を構成する。 （もっと読む）

【課題】 保持テーブルと吸着パッドの平行度の自動調整を可能にした板状物搬送装置を提供することである。
【解決手段】 テーブル表面の傾きが異なる複数の保持テーブル間で板状物を搬送する板状物搬送装置であって、水平移動、垂直移動及び旋回移動可能に支持されたアームと、アームの先端部に固定された支持ベースと、板状物を吸着保持する吸着パッドと、吸着パッドを支持ベースに傾き調整自在に支持する支持手段と、吸着パッドを保持テーブルと平行となるように調整する調整手段とを含んでいる。支持手段は複数のロッドと各ロッドに遊嵌された圧縮ばねとを含んでおり、調整手段は流体を保持テーブルに向かって噴射する同一円周上に等間隔で配置された３個以上の流体噴射ノズルを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】吸着したワークを落下し難くした保持具を提供することを課題とする。
【解決手段】吸着パッド１０は、油を収容しているシリンダ１２と、シリンダ１２内を下室３０と上室３２とに分けるピストン１６と、を備えている。下室３０はワーク吸着側である。また、吸着パッド１０は、ピストン１６が取付られるとともにシリンダ１２を貫通するピストンロッド１８と、下室３０を狭める方向にピストン１６を付勢するコイルバネ２２と、を備えている。また、ピストン１６とシリンダ内壁面１２Ｓとによって、上室３２と下室３０とに連通しオーリング３４が収容される中間室３８が形成されている。ピストン１６には、上室３２と中間室３８とに連通し中間室３８から上室３２へ流れる際の油の流動がオーリング３４によって妨げられる上室側環流孔４２と、上室３２と中間室３８とに連通するオリフィス５０と、形成されている。 （もっと読む）

【課題】内部に異物が付着し難く、清掃作業の頻度を減らすことができる吸着ノズルおよよび表面実装機を提供する。
【解決手段】部品吸着面４９と空気通路とが形成されたノズル本体２２と、ノズル本体２２嵌合用の嵌合孔２６を有し吸着ヘッド３に取付けられるノズルホルダ２１とを備える。ノズル本体２２の係合溝４８に係合してノズル本体２２の移動量を所定量に規制するピン２３と、ノズル本体２２を付勢する圧縮コイルばね２５とを備える。前記圧縮コイルばね２５を、ノズル本体２２の外側でノズル本体２２とノズルホルダ２１との間に弾装する。前記係合溝４８を、ノズル本体２２における空気通路４７の外側に形成する。前記ピン２３を、係合溝４８に係合しかつノズルホルダ２１とノズル本体２２との嵌合部を横切るようにノズルホルダ２１に支持させた。 （もっと読む）

【課題】ノズルの小型化を可能にした実装ヘッドを提供する。
【解決手段】部品Ｐ１の吸装着を行う先端部１１が所定の行程で上下移動可能なノズル５と、ノズル５を所定の行程で上下移動可能に下端部に保持するノズル保持部４と、ノズル保持部４を下方に付勢する第１バネ６と、先端部１１を下方に付勢する第２バネ１２を備えた実装ヘッド１において、先端部１１が上方に移動することで部品装着時に部品Ｐ１に作用する衝撃を緩衝し、先端部１１が上方に最大行程移動した後にノズル保持部４が上方に移動するように構成した。 （もっと読む）

【課題】 搬送ロボットハンドにより、ガラス板をパレットへ積みつける際に、ガラス板のズレ現象を防止するため、合紙をガラス板間に挟むようにするが、その合紙もガラス板と同時にパレットへ搬送できるロボットハンドにする。しかし、その搬送の際に風圧による合紙のめくれと、パレット積載時の合紙の垂れ下がりとによるトラブルを防止し、効率的なガラス搬送ロボットハンドを提供する。
【解決手段】 二つの課題を解決するため、ガラス搬送ロボットハンド１０に吸着されたガラス板１面前に対向して合紙２を配置させると共にそれら面間にブローによるブローダウンする風を送り吸着させ、その風向をガラス面と合紙の４角の対向面方向に特に向け、搬送中のめくれ、と、積付け時の垂れ下がりを発生させないことを特徴とするガラス搬送ロボットハンド。 （もっと読む）

【課題】ウエーハの裏面に装着された接着フィルムが付着することなく搬送することができるウエーハの搬送装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブルに載置されたウエーハを吸引保持する保持パッドを備えたウエーハの搬送装置であって、保持パッド２は、下面に開口する複数の吸引孔３６を備えた保持プレート３と、保持プレートの上面に下面が積層され保持プレートとの間に複数の吸引孔と連通する吸引通路形成する吸引通路形成プレート４と、吸引通路形成プレートの上面に下面が積層され吸引通路形成プレートとの間に冷却室５０を形成する冷却室形成プレート５とを具備しており、保持パッド２の吸引通路４１が吸引手段に連通され、冷却室５０が冷却媒体供給手段に連通されている。 （もっと読む）

【課題】移載精度を高めた表面実装機を提供する。
【解決手段】本発明の部品移載装置である表面実装機１０は吸着ノズル７０の嵌合軸部７１とノズルホルダ８０の嵌合孔８１とが嵌合可能に設けられ、嵌合軸部７１に設けた受け溝７５の上側となる受け面７６と、ノズルホルダ８０に設けた切欠部８６の下側となるストッパ面８８と、受け面７６及びストッパ面８８に当接するホルダーピン１００と、ホルダーピン１００をノズルホルダ８０の外側から内側方向に向けて押圧してホルダーピン１００を受け面７６及びストッパ面８８に押し当てることにより嵌合軸部７１の突当面７７が規制部８３Ａに当接する方向に付勢する保持バネ１１０とを備えている。これにより、吸着ノズル７０の固定位置精度を高めガタ付きを無くすことで、移載精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドが半導体チップの上面に接触する高さ位置を、簡単な構成で高精度に求めることができるハンドラのティーチング方法及びハンドラを提供する。
【解決手段】吸着パッドを検査用ソケットに配置されたＩＣチップに向かって下動させるとき、吸着パッドからエアーを噴射させながら下動させる。そして、検査用ソケットにＩＣチップの上面に接触するとき、吸着パッドから噴射しているエアーが、ＩＣチップにて塞がれるようにした。従って、エアーの噴射が塞がれることにより、吸引管内のエアーの圧力の上昇を圧力検出センサが検出することによって、吸着パッドが検査用ソケット内のＩＣチップに接触する高さを求めることができる。 （もっと読む）

【課題】電子部品ピッカー及びこれを備えたハンドラー用ヘッドアセンブリーを提供する。
【解決手段】本発明の実施形態に係る電子部品ピッカー１００は、ピッカーベース１１０と；ピッカーベース１１０に固設されたベースブロック１２０と；ベースブロック１２０に少なくとも昇降可能にそれぞれ結合されたもので、電子部品を吸着及び脱着するノズル１３２を備える複数のノズルアセンブリー１３０と；それぞれのノズル経路に正圧及び負圧を供給する部品吸脱着機構１４０と；ノズルアセンブリー１３０を昇降駆動するように配置されたノズル昇降機構１５０を含む。 （もっと読む）

【課題】吸着力を保持しながら基板の変形に追従するとともに、外力が開放されたとき（基板開放時）に元の位置に戻る復元力を有し、安定的な基板吸着装置およびこれを用いた搬送ロボットを提供する。
【解決手段】基板吸着部１４１を有する中空の吸着パッド１４と、この吸着パッド１４を弾性的に支持する弾性部材からなるパッド支持部材１５と、エア吸着力を発生する基板吸着部１４１とを備えた基板吸着装置１３において、
摩擦低減機構を有するマニホールド１６と、前記吸着パッド１４と前記マニホールド１６との間に弾性体１８を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】吸着ノズルにて部品を吸着保持して、基板上の部品装着位置に配置し、吸着保持の解除を行なうことで上記部品を上記基板に装着する部品装着において、多種多様な部品の吸着保持を確実かつ効率的に行うことができる部品装着ヘッドを提供する。
【解決手段】吸着ノズルを第１ノズル部と上記第１ノズル部よりも大きな第２ノズル部とを備える２重ノズル構造として、上記第１ノズル部の第１吸着保持面が突出される第１の吸着保持位置と、上記第２ノズル部の第２吸着保持面と同じ位置である第２の吸着保持位置との間で上記第１ノズル部を移動可能とするとともに、上記突出位置に位置された状態では上記第２ノズル部内の第２の吸引用通路を閉止して、上記格納位置に位置された状態では上記第２の吸引用通路の閉止を解除させる通路閉止部を備えさせて、第１と第２の吸着保持位置にて吸着領域を変化させる。 （もっと読む）

【課題】空気通路のメンテナンスが容易で、ロボットに再ティーチングを行なわなくても、ウェハをチャックにセットできる薄形のウェハ搬送用ハンドを提供する。
【解決手段】上面にウェハ吸着面を持つ薄板状のハンド本体（１３）が、その後端部（３０５）にて、ロボットアーム（１９）上で支持される。ハンド本体（１３）は、ロボットアーム（１９）に対して、ウェハ吸着面に垂直な方向へ移動可能なように弾性的に支持される。ハンド本体（１３）内の空気通路（３０７）はハンド本体（１３）の下面から掘られた溝であり、そこに蓋（３２３）が被せてある。ハンド本体（１３）の下面の蓋（３２３）を覆う領域に樹脂テープ（３２５）が貼られ、樹脂テープ（３２５）が空気通路（３０７）の蓋（３２３）の周囲の隙間を封止する。樹脂テープ（３２５）を剥がし蓋（３２３）を外すと、空気通路（３０７）の掃除ができる。 （もっと読む）

【課題】 湾曲部や傾斜部等を有するワークを吸着保持する場合でも、ワークの表面に擦り傷等が発生するのを防止して確実に保持できるようにする。
【解決手段】 ピストン部材６が内装される円筒部２の下方に支持部材４を配設し、この支持部材４に、ピストンロッド８を挿通させるための小径孔１０と大径孔１１を設け、ピストンロッド８の先端にバキュームカップ１６を取付ける。支持部材４の側面から大径孔１１に向けて第１吸引孔１３を穿設し、ピストンロッド８の中心部に、バキュームカップ１６内に開口する第３吸引孔１７を設け、大径孔１１と第３吸引孔１７を連通する第２吸引孔１８を設ける。ピストン室５に連通する大径孔１１の連通面積に較べて、第３吸引孔１７に連通する第２吸引孔１８の連通面積を小さくする。 （もっと読む）

【課題】外周部に環状の補強部が設けられ凹部が形成されウエーハであっても破損させることなく吸引保持することができるウエーハの保持パッドを提供する。
【解決手段】表面に複数のデバイスが形成されたデバイス領域とデバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを備えたウエーハを保持するウエーハの保持パッドであって、外周余剰領域に対応する環状の吸引保持面を備え該吸引保持面に吸引孔が開口された保持部と、保持部を支持する支持部とを具備している。 （もっと読む）

【課題】視覚センサーなどを使用することなくガラスを機械的手段によって精度良く位置決めしてパレットから別のパレットへ移し替えることのできる低設備で且つメンテナンスも容易に行えるガラス移し替え装置を提供する。
【解決手段】車体の組み立て生産順番に従って、第１のパレットから所定のガラス３を取り出した後、組み立て生産順番となるように第２のパレットに移し替えて順次配列させる作業を繰り返し行うガラス移し替え装置。この装置では、ガラス３を吸着保持する吸着保持機構部２７とガラスの奥行き方向のガラス保持位置をハンドリングロボット２の基準位置に合致させる位置調整機構部２８とを備えた吸着保持位置調整手段２１と、手首部分とハンドフレームとの間に設けられ、吸着保持位置調整手段で保持したガラスの幅方向及び縦方向のガラス保持位置を、ハンドリングロボット２の基準位置に合致させるガラス保持位置調整手段２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 物品を過度なストレスを与えることなく搬送可能であり、併せて搬送した物品を所定の位置に精度良く配置可能である物品搬送ロボットを提供する。
【解決手段】 ハンドのベース１に取り付けられた吸着子２は、物品３に接触していないピックアップ位置から真空による吸引力により物品３を吸い上げて吸着する。ハンドを移動させて吸着子２をリリース位置に吸着子２を移動させ、吸着子２に作用している真空を切って物品３を解放し、所定の配置場所４に配置する。吸着時及び解放時に吸着子２が物品３を押圧することがないので、不都合なストレスを物品に与えることなく搬送することができる。 （もっと読む）

【課題】 ロボットによる曲げ加工システムにおいて、複雑な電気回路を設けることなく、群管理が可能であって、設置スペースが少なくて済み、段取り時間を短縮し、ワークを確実に解放できる永久磁石を用いたワーク吸着装置を提供する。
【解決手段】 シリンダ５の下端部を、ワークＷに当接自在な当接ストッパとし、該ワークＷを吸着する永久磁石９を、シリンダ５内のピストン７下端部に設けた。上記シリンダ５が、ロボット３のハンド本体４に多数取り付けられ、各シリンダ５の下端部には、弾性体で形成された当接ストッパ６が設けられていると共に、各シリンダ５の上端部には、エア配管２１が結合され、該エア配管２１は、既存のバキュームパッド用エア回路３１に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 取出しと搭載における電子部品への押し付け力を簡便に変えることができる吸着ノズル機構を得る。
【解決手段】 小さいばね定数ｋ１と自由長Ｌ１の圧縮コイルばね１０と、大きなばね定数ｋ２とＬ１より短い自由長Ｌ２を有する圧縮コイルばね１２の２種の圧縮コイルばねを、圧縮コイルばね１０を圧縮状態に収納すると共に、圧縮コイルばね１２を遊びを有するように収納時の長さＬｓがＬ２＜Ｌｓ＜Ｌ１となるように組み込む。押付け量が０から遊びがなくなるＬｓ−Ｌ２までの間は、小さいばね定数ｋ１の圧縮コイルばね１０のみの付勢力による押付け力をノズル１で電子部品に加えることができ、遊びがなくなってからのＬｓ−Ｌ２より大きい押付け量では、小さいばね定数ｋ１の圧縮コイルばね１０と大きいばね定数ｋ２の圧縮コイルばね１２との相加された付勢力によるより大きな押付け力をノズル１で電子部品に加えることができる。 （もっと読む）