【課題】機械加工装置の回転側に取り付けた近接センサに対する電源を効率的に供給可能とすること。
【解決手段】機械加工装置の固定側に電源供給コイル５０を配置し、機械加工装置の回転側の回転に伴い電源供給コイル５０に近接することにより電源供給コイル５０からの電磁誘導により電圧が誘起する誘導コイル５２を含み、誘導コイル５２に誘起した電圧を近接センサ２２に供給可能とした構成。 （もっと読む）

【課題】ブローチの研削開始位置に対する研削砥石の位置合せ、いわゆる刃合せを効率的且つ安全に実施することが可能なブローチ研削装置及びブローチ研削方法を提供する。
【解決手段】ブローチ測定プログラムを実行してブローチ測定装置１７の測定子３０をブローチに接触させると共に、研削砥石測定プログラムを実行して研削砥石測定装置３２の測定子３５を研削砥石１４に接触させる。これにより、ブローチの研削開始位置及びピッチ、並びに研削砥石１４の位置を、自動で迅速、安全、且つ高い精度で測定してＮＣ制御装置に教示する。したがって、ＮＣ制御装置に教示したブローチの研削開始位置及び研削砥石の位置に基き、ブローチ１１の研削開始位置に対する研削砥石１４の位置合せ、いわゆる刃合せを自動で迅速、安全、且つ高い精度で行うことができる。 （もっと読む）

【課題】被加工ワークのクランプ状態をエアー配管や信号配線を用いずに検出可能とする無線近接センサ装置を提供する。
【解決手段】本無線近接センサ装置２２は、被加工ワークに非接触でその加工基準位置の検出が可能な位置に配置される非接触検出部と、上記検出出力に電波送信するための処理をする処理部と、上記処理部の出力を電波送信する送信アンテナ４８と、上記送信アンテナが放射する送信電波ＴＥを特定箇所に向けて反射する電波反射部と、を備えた構成。 （もっと読む）

【課題】被加工ワークのクランプ状態をエアー配管や信号配線を用いずに検出可能とすること。
【解決手段】本無線近接センサ２２は、被加工ワーク１４を回転させながら加工する加工装置に配設されて該被加工ワーク１４を所要位置でクランプするためのワーククランプ装置に設置することが可能な筐体構造を備え、かつ、上記筐体４２に、被加工ワーク１４に接触しないで該被加工ワーク１４のクランプ状態を検出する非接触検出部４４と、上記検出に係るセンサデータを無線で送信するための信号形態に処理するデータ処理部４６と、上記データ処理部４６から出力されるセンサデータを無線送信する送信アンテナ４８と、を内蔵している。 （もっと読む）

【課題】被研磨物保持機構からの被研磨物の離脱を短時間に検出し、速やかに適切な処置をとることができる研磨装置を提供すること。
【解決手段】研磨面を有する研磨テーブル１と、被研磨基板Ｗを保持するトップリング４を具備し、該トップリング４で保持した被研磨基板Ｗを研磨テーブル１の研磨面に押し当て研磨する研磨装置において、トップリング４の近傍の１ヶ所又は複数箇所に渦電流式のセンサ８、９、１０を設け、該８、９、１０センサが検出した抵抗成分とリアクタンス成分の内、抵抗成分の信号と被研磨基板Ｗがトップリング４の下面に保持されている状態で測定された基準値として抵抗成分との差を検知することにより被研磨基板Ｗのトップリング４からの離脱を検出する。 （もっと読む）

【課題】 両面研磨装置において、ワークとキャリアとが重なっていることを検知する方法を提供する。
【解決手段】 両面研磨装置の上定盤１１に形成された空所内に少なくとも２つの渦電流センサ２２が設けられており、キャリア１５のワーク保持孔内にワーク１６を装填して上定盤を降下させた後、渦電流センサによって、キャリアの上表面までの距離を検出した時、渦電流センサの少なくとも一つにおいて、予め設定された基準値より大きい値が検出されたとき、あるいは、２つの渦電流センサ間において、予め設定された値よりも大きい検出値の差があるとき、ワークとキャリアが重なっているものと判断する。ワークとキャリアとの重なりが検出されたとき、作業者にアラームを出してワーク装填をやり直させる。 （もっと読む）

【課題】加圧軸の軸線が移動することがなく、常に加圧軸の軸線を正確に研磨皿の球芯に向かわせることができ、また、非常に小さい押圧力を微妙に調整でき、これによりレンズを高精度に研磨することが可能なレンズ研磨装置の加圧機構を得ること。
【解決手段】加圧軸４ａと、加圧軸を回転可能かつ軸方向に摺動可能に支持する支持部材４と、加圧軸を軸方向に付勢する付勢部材４４を有し、加圧軸は、ベアリング４１を介して支持部材に支持され、ベアリングの内径で摺動可能に嵌合され、付勢部材と加圧軸とを、加圧軸の摺動方向に直列的に配設し、加圧軸を付勢部材のみで付勢する加圧機構とする。 （もっと読む）

【課題】レンズの着脱や研磨皿の交換に際しても作業性の良好な研磨装置を得ること。
【解決手段】少なくとも、加圧軸４ａと、加圧軸４ａを回転可能かつ軸方向に摺動可能に支持する支持部材４と、加圧軸４ａを軸方向に付勢する付勢部材とからなる加圧機構と、を有し、該加圧機構を、付勢部材の付勢力を加圧軸４ａを介しレンズ１に伝達し、レンズ１を研磨皿２に対して押圧する研磨位置と、加圧軸４ａを介しての付勢部材の付勢力によるレンズの研磨皿２に対する押圧状態を解除した退避位置との間を回動可能に保持する保持部材６を備えたレンズ研磨装置とする。 （もっと読む）

【課題】 かつぎ（加工中のクイルの曲げ変位で復元力で元に戻る）を小さくし、これにより、加工精度を向上させた工作機械を提供する。
【解決手段】 砥石2は、クイル12を介して回転軸11に支持されており、クイル12の先端部に、延長軸部28が設けられている。回転軸11を非接触支持する磁気軸受13,14,15とは別に、延長軸部28をラジアル方向に非接触支持する補助ラジアル軸受30が設けられている。 （もっと読む）

【課題】溝付きローラの位置調整を容易に行うと共に、ワークの両面を高精度に加工することのできる両面加工装置を提供する。
【解決手段】複数の溝付きローラ６２〜６６に形成された溝によりワーク２７を保持するワーク保持装置１８を備えた両面加工装置１０であって、ワーク２７の第１の面２７Ａの第１の所定位置からセンサ１０５までの第１の距離及び／又はワーク２７の第２の面２７Ｂの第２の所定位置からセンサまでの第２の距離を測定する測定装置１９と、複数の溝付きローラ６２〜６６の溝により形成されるローラ拘束面Ｊが所定の面となるように、第１の距離及び／又は第２の距離に基づいて、複数の溝付きローラ６２〜６６の軸方向の移動量Ｇを求める移動量演算手段１２と、移動量Ｇに応じて、複数の溝付きローラ６２〜６６の位置を自動調整するローラ位置自動調整機構４２〜４６とを設けた。 （もっと読む）

【課題】被加工物の保持手段の保持面に対する切削ブレードの実際の位置（高さ）をきわめて正確に認識することができるセットアップ工程を行い、これによって被加工物に対する切削加工の精度をより一層向上させることができる切削装置の運転方法を提供する。
【解決手段】光学式センサにより切削ブレード３０の刃先３０ａの位置を示す切削ブレード位置データＡを認識する。次に、チャックテーブル２１に保持した基板９に切削ブレードで溝９ｂを形成し、その底部をカメラ５０で撮像して焦点距離から溝底部の位置である溝底部データｂ１を取得する。また、同様にカメラによってチャックテーブル上の基板の表面位置を示す基板表面位置データｂ２を取得する。（ｂ２−ｂ１）と切削ブレード位置データＡとから被加工物に形成する溝の溝深さデータＤを求める。 （もっと読む）

【課題】表面形状測定装置に対する相対的な位置決めを容易に行うことができる研磨ヘッドの位置決め方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る研磨ヘッドの位置決め方法では、研磨パッドを有するパッドプレートおよびキャリア部材の代わりに、表面側に所定形状のマークが設けられた治具部材８０を研磨ヘッドに装着保持させ、表面形状測定装置を利用してマークを検出可能な位置まで、治具部材が装着された研磨ヘッドを研磨アームにより移動させ、表面形状測定装置によりマークを検出可能な研磨ヘッドの位置を、表面形状測定装置に対する研磨ヘッドの基準相対位置として決定する。 （もっと読む）

両面グラインダは、平らな加工対象物（例えば半導体ウェハ）を保持して動作できる１組の研削ホイールと１組の水圧パッドとを備えており、それによって、加工対象物の一部は、研削ホイールの間に位置付けられ、加工対象物の一部は、水圧パッドの間に位置付けられる。少なくとも１つのセンサが、加工対象物のナノトポロジを評価するために、加工対象物とそれぞれのセンサとの間の距離を測定する。本発明の方法において、加工対象物の距離は、研削中に測定され、加工対象物のナノトポロジを評価するために使用される。例えば、加工対象物の有限要素構造解析は、少なくとも１つの境界条件を導くために、センサのデータを用いて行われる。ナノトポロジのフィードバックが高速である場合、ナノトポロジ評価は、加工対象物がグラインダから取り外される前に始めることができる。空間的なフィルタが、さらに処理が進んだ後になりそうな加工対象物のナノトポロジを予測するために使用されてもよい。
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【課題】レジンボンド砥石ブレードのように絶縁体からなる切削ブレードであっても、切削ブレードの外周がチャックテーブルや被加工物の上面に接触したときの切削ブレードの位置を確実に検出することができる切削装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削手段と、チャックテーブルと切削手段とを相対的に移動せしめる切削送り手段と、切削手段をチャックテーブルの保持面に対して垂直方向に移動せしめる切り込み送り手段とを具備し、切削手段が回転スピンドルと回転スピンドルに装着された切削ブレードと該回転スピンドルを回転駆動する駆動手段および回転スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングとを備えている切削装置であって、回転スピンドルに作用する振動に対応した振動信号を発生する振動信号発生手段と、振動信号発生手段によって発生された振動信号に基づいて切削ブレードの状態を判定する制御手段を具備している。 （もっと読む）

【課題】 揺動可能に保持された工具保持部材のバランスをとることが容易な研磨装置の提供。
【解決手段】 水平な架台１に載せ置かれ、直交する三軸方向に移動可能な第一基台３、第二基台５、および第三基台７と、この第三基台７に設けられた支持部材１３と、この支持部材１３に回転可能に設けられた工具保持部材３５と、この工具保持部材３５に設けられた研磨工具４１とを備える。支持部材１３には、工具保持部材３５が水平であるか否かを確認するための近接センサ５１が設けられている。近接センサ５１により検出される金属ジグ５３は、工具保持部材３５が支持部材１３に対して回転し、工具保持部材３５の軸方向が水平となったときに近接センサ５１の軸線上に位置するように、工具保持部材３５に固定されている。 （もっと読む）

【課題】ワイヤソーの揺動動作を加工物の材質等に応じて的確に行え、加工条件を的確に設定及び制御できるワイヤソーを提供する。
【解決手段】回動自在の揺動円盤６に設けられた複数本のワークローラ４にワイヤ５を多数回巻回してワイヤ列を形成し、このワイヤ列のワイヤ５を高速で往復動又は一方走行させ、前記ワイヤ列にワーク３を押し当てて前記ワーク３を複数に切り出すと共に、前記ワーク３切断時にワイヤ列を揺動させるようにしたワイヤソーにおいて、前記揺動円盤６の回転軸心Ａに対して複数のワークローラ４間で構成する中心軸Ｂが揺動円盤６内の前記回転軸心Ａの上下方向にずれるように複数のワークローラ４を配置し、前記揺動円盤６を回動反転させることにより、前記ワーク３の切断面と前記ワイヤ列のワイヤ５との接触長さを変更可能にしたことを特徴とするワイヤソー。 （もっと読む）

【課題】ツルーイングロールと砥石車との接触を高感度に検出できるようにする。
【解決手段】支持剛性を制御可能な制御軸受３５，３６にツルーイングロール３０を取付けたツルア軸３４を非接触で回転可能に支持し、ツルーイングロールに砥石車２５を接触させ、ツルーイングロールと砥石車との接触によるツルア軸の変位に基づいてツルーイングロールと砥石車とが接触した位置を検出し、ツルーイングロールと砥石車とが接触した位置を基準にして、ツルーイングロールによって砥石車をツルーイングする。また、制御軸受によるツルア軸の支持剛性を、ツルーイングロールと砥石車の接触検出時には小さく、砥石車のツルーイング時には大きくするようにした。 （もっと読む）

【課題】加工物の切断時の装置制御が的確に行え、加工終了間際の装置振動による加工物の破損を防止でき、ワイヤコストやダミー部材のコスト低減が可能になるワイヤソーを提供する。
【解決手段】複数本のワークローラ２０間にワイヤを多数回巻回したワイヤ列のワイヤ３を高速で往復動又は一方走行させ、切断テーブル３１にダミー部材３２を介して取付けた加工物Ａを前記ワイヤ列に押し当て、この加工物Ａを多数枚に切り出すワイヤソーにおいて、前記加工物Ａのダミー部材３２に、加工物Ａの長さ方向に沿って、加工物Ａの中央部軸線上に該当する位置と、ダミー部材３２の幅方向の端部近傍の位置とに、ワイヤ列のワイヤ３を検知する検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃを設け、各検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃでワイヤ列のワイヤ３の接触を独立して検知する。 （もっと読む）

【課題】 砥石軸の撓み量を考慮した研削を可能とし、これにより、加工品質を向上させることができる内面研削盤を提供する。
【解決手段】 砥石軸4の撓みを検出する撓み検出手段21と、砥石軸4の撓みの検出値に基づいて切込み付与手段8による切込み動作を制御する切込み動作制御手段22とを備えている。撓み検出手段21が、ホイールヘッド5に組み込まれた発電装置13と、砥石軸4の歪を検出する歪センサ16と、発電装置13からの電力により歪センサ16を駆動してその出力信号を送信する送信機17と、切込み動作制御手段22側に設けられて送信機17からの信号を受信する受信機23とを備えている。 （もっと読む）

【課題】被削材に対するダメージを与えることなく、砥石の損傷を防止することができる研削盤であって、研削時間を大幅に短縮することが可能な研削盤と、その研削方法を提供する。
【解決手段】送りサーボモータ１によって砥石が研削位置まで送られて研削を行う研削盤において、砥石の切れ味の低下を検出する手段を有し、切れ味の低下が検出されると、砥石を研削位置から離して被削材と研削面との間に間隙を生じさせ、所定の条件を満たしたときに砥石をもとの研削位置に戻す手段を有することを特徴とする研削盤。 （もっと読む）