【課題】ガイドローラのみでテープをガイドして加圧ヘッドに送ることができ、テープを汚したりする等の悪影響を与えることがない。
【解決手段】供給リール１１Ａから供給されて巻取りリール１２Ａに巻き取られるテープ１０Ａの経路に配設され、テープ１０Ａを基板１表面に加圧させる加圧ヘッド４Ａと、加圧ヘッド４Ａと巻取りリール１２Ａ間に配設され、テープ１０Ａにテンションを付与するテンションローラ３７Ａと、テンションローラ３７Ａと巻取りリール１２Ａ間のみに配設され、テープ１０Ａを送るキャプスタンローラ２７Ａと、キャプスタンローラ２７Ａにテープ１０Ａを圧接させるピンチローラ２９Ａと、巻取りリール１２Ａとキャプスタンローラ２７Ａとを同期して回転させる回転駆動手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板のサイズに応じて荷受けの変更が簡単に行えるガラス基板の辺縁を研磨する研磨装置を提供する。
【解決手段】進退走行手段Ａにより進退走行する走行体１と、この走行体のセンタ部分に旋回手段Ｂにより旋回するように設けた荷受けガラス基板Ｘの吸引保持機能付のテーブル７と、このテーブル上の対向二辺側にガイド手段により接近、離反走行するように設けた二本の並列するガラス基板受けステージ１３と、この両ステージを接近、離反走行させるスライド走行手段Ｅと、上記走行体の走行路の両側に設けたガラス基板の辺縁研磨用の回路砥石２１とからなり、上記のテーブル或いはステージのいずれか片方を昇降手段により昇降させる。 （もっと読む）

【課題】頻繁な保守が必要でないスピンドル装置を提供する。
【解決手段】内部に軸方向に円筒状空洞の形成されたハウジングＨと、円筒状空洞内に回転自在に挿入されたスピンドルＳと、円筒状空洞内に配置されてスピンドル軸３を非接触に支持する空気軸受１，２と、円筒状空洞内に配置されてスピンドル軸３を回転させるモータ（固定子４、回転子５）とを有するスピンドル装置であって、スピンドル軸３の軸端に被加工物を加工するブレード６を固定し、ブレード６の近傍に被加工物を載置するテーブル７を設け、テーブル７のＺ軸の原点を検出するテーブルＺ軸原点検出手段とから成るスピンドル装置において、テーブルＺ軸原点検出手段として、ブレード６とテーブル７が接触したときスピンドル軸３に帯電していた電荷が放電することによるスピンドル軸３の電位変化を用いる。 （もっと読む）

【課題】形状的に複雑に形成される光学的表面、特に眼用レンズおよびこの眼用レンズを製造するための型枠をも、個別のデータ設定によりただ一回の工程で直接製造できるよ加工方法および加工機を提供する。
【解決手段】Ｚ軸線方向にそれぞれリニア駆動装置（６）と該リニア駆動装置（６）とは逆の方向に制御される第２のリニア駆動装置（１３）とが同一線上に互いに直列に配置されている。第２のリニア駆動装置（１３）のケーシングまたは固定子が機械ベッドを介して第１のリニア駆動装置（６）のケーシングまたは固定子と機械的に連結されている。第１のリニア駆動装置（６）の加速により生じる反力は第２のリニア駆動装置（１３）により動力学的に補償されている。 （もっと読む）

【課題】Ｗａｒｐ等の反り特性が良好なウエーハを製造する方法及び反り特性が良好なウエーハを製造するためのワイヤソーを提供する。
【解決手段】インゴットをワイヤソーで切断してウエーハを製造する方法であって、少なくともインゴット切断中のインゴット送り方向のワイヤのたわみ量に応じて、張力付与機構によりワイヤの張力を制御しながらインゴットを切断するウエーハの製造方法、及びローラ間にワイヤを走行させながらワイヤにインゴットを押し当てて切断しウエーハを製造するためのワイヤソーであって、少なくともワイヤ張力付与機構と演算制御装置とを具備し、ワイヤ張力付与機構はワイヤに張力を付与するものであり、演算制御装置はインゴット切断中のインゴット送り方向のワイヤのたわみ量に応じてワイヤ張力付与機構によりワイヤの張力を制御するものであるワイヤソー。 （もっと読む）

【課題】 研磨ヘッドの位置に応じて研磨圧力を任意の大きさに変化させることができる研磨装置を提供する。
【解決手段】 本発明では、ウェハ２０を保持するウェハ保持テーブル２５と、ウェハ２０を研磨可能な研磨部材４０を保持する研磨ヘッド３０とを備え、研磨部材４０の研磨面６１をウェハ２０の被研磨面２１に当接させながら研磨部材４０を被研磨面２１内で相対移動させてウェハ２０の研磨を行うように構成された研磨装置１において、ウェハ２０に作用させる研磨圧力は研磨ヘッド３０がウェハ２０の中心から外側へ向かうにつれて連続的に減少あるいは増加するように設定されており、ウェハ２０に作用する研磨圧力が設定された研磨圧力となるように研磨荷重を研磨ヘッド３０の位置に応じて変化させる制御を制御部９０が行うように構成される。 （もっと読む）

【課題】 長手方向に対して直角且つ平坦な切断端面で棒状鋼材を切断することができる切断砥石を用いた棒状鋼材切断装置を提供する。
【解決手段】 切断砥石３６の外周側部位であって円周方向の複数部位における回転軸心方向の変位をその切断砥石３６の回転駆動状態で非接触にて検出する変位検出装置５８が設けられ、交換判定手段６８により、その変位検出装置５８により検出された、切断砥石３６の外周側部位であって円周方向の複数部位における回転軸心方向の変位に基づいてその切断砥石３６の交換判定が行われることから、交換判定された切断砥石３６を新しい正常な切断砥石に交換することができるので、長手方向に対して直角且つ平坦な切断端面で棒状鋼材３８を切断することができる。 （もっと読む）

【課題】 撮像手段によって撮像した切り込み溝の長さを明確に判別できない場合であっても，切削ブレードの基準位置を正確に求める。
【解決手段】 切削ブレード５４を，対象物Ｗに接触しない任意の位置から一定の距離を切り込み送り方向に移動させて，対象物の表面に傷がついたか否かを確認し，対象物の表面に傷がついていない場合には，切削ブレードをさらに一定の距離を切り込み送り方向に移動させる工程を前記対象物の表面に傷がつくまで繰り返し，対象物の表面に傷がつくまでに前記切削ブレードを一定の距離ごとに移動させた回数を測定し，前記切削ブレードの基準位置を求める。 （もっと読む）

【課題】長期間にわたって工具の正確な機械加工を保証する研削機械に対する較正プロセスを提供する。
【解決手段】機械の較正は、最初の較正プロセスにおいて基準部品および基準走査器によって行われる。ここでは基準部品はワークスピンドルまたは工作物キャリアに固定され、基準走査器は工作物キャリアまたはワークスピンドルに固定される。研削試験が、全方向からの第１の走査プロセスに続き、この間に、走査プロセスに内在する、差（殊に走査器の公差に基づいた差）が定められ、反復プロシージャによってこの差が補償される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、負荷などのばらつきが生じても軸間の同期精度を高め、機械のストレスを減少できるモータ駆動装置の非常停止方法を提供する
【解決手段】 駆動装置２は位置検出器１０から得られる位置の情報を伝送する第２伝送手段１９を有し、各軸の駆動装置２は軸間偏差を互いに監視し、各々の軸間偏差が設定された閾値を超えた場合に異常が検出され、異常を検出した前記第３から第ｎの駆動装置４，５は、異常が検出された前記第１または第２の駆動装置２，３の位置をもとに所定の方法で停止するという手順で非常停止するものである。 （もっと読む）

【課題】研磨テープから砥粒や研磨層の一部をパネルの表面に脱落させず、より短時間でパネルの表面にある突起を研磨できる装置を提供することである。
【解決手段】基板１１に取り付けた一個又は二個以上のセンサープローブ１６、１７がパネルの表面にある突起の高さを測定する。研磨テープ３０をパネルの表面に押し付けるためのヘッド部材２２を有する研磨ヘッド２０が、Ｚ方向に移動可能に基板１１に取り付けられる。センサープローブ１６、１７は、ヘッド部材２２からみて、ヘッド部材２２上にある研磨テープ３０の幅方向の側に位置する。好適に、研磨装置１０は二個のセンサープローブ１６、１７を有し、これら二個のセンサープローブ１６、１７は、ヘッド部材２２からみて、ヘッド部材２２上にある研磨テープ３０の幅方向の両方の側に、それぞれ一個ずつヘッド部材２２を挟むように位置する。 （もっと読む）

【課題】 工具位置合わせの再現性及び精度を高めることで、高精度な機械加工を行うことができるようにした工具位置合わせ方法、及びその装置を提供する。
【解決手段】 情報処理装置４は、カメラ２を用いて撮像された工具６の表わされている画像を認識し、旋回中心軸まわりの回転操作を行ったときにおける工具６の周辺の任意の点１９の移動軌跡を、当該画像を用いて記録し、当該移動軌跡で表わされている円の中心位置を当該旋回中心軸の位置とし、当該旋回中心軸の位置と工具６の周辺の任意の点１９との間の距離に基づいて工具位置合わせの完了を判別する。 （もっと読む）

【課題】 研磨パッドなどにより構成される研磨面や基板の外周部を保持するリテーナリングが研磨により摩耗しても、基板と研磨面との距離を一定にして基板の研磨を行うことができる研磨装置を提供する。
【解決手段】 研磨装置１は、研磨パッド２２と、半導体ウェハＷを保持して研磨パッド２２に押圧するトップリング２０と、トップリング２０を上下動させる上下動機構２４とを備えている。研磨装置１は、トップリング２０の下面が研磨パッド２２に接触したときのトップリング２０の位置を検出する測距センサ４６と、測距センサ４６により検出された位置から研磨時のトップリング２０の最適な位置を算出する制御部４７とを備えている。上下動機構２４は、研磨時に最適な位置までトップリング２０を移動させるボールねじ機構３０，３２，３８，４２を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】溶接ビード周辺部や金型仕上げにおいて、塾錬作業者の領域まで、自動化ロボットでの仕上げ技術を高めることは、永年の課題であった。
【解決手段】三次元形状計測値と目標形状の差分より目標研削体積を算出して、自動化ロボットによる仕上げは、すでに本発明者により出願されている。本発明は、さらに研削精度を上げ、滑らかな自由曲面を形成させるため、研削位置情報に加え、時間的ファクターすなわち、グラインダーの送り速度情報によってロボットの動作軌道を計算し、軌道追従性を向上させて、目標とする仕上げ表面を達成するロボットコントローラーを完成した。 （もっと読む）

【課題】溶接ビード周辺部や金型仕上げにおいて、塾錬作業者の領域まで、自動化ロボットでの仕上げ技術を確立することは、永年の課題であり、夢であった。
【解決手段】自動化ロボットによる仕上げに関して、グラインダーのフローティング機構部或いは被研削側に変位センサーを設け、研削中或いは研削前後の変位センサーの変位量を読み取る方法により単位時間研削量を測定する機能を持たせて解決した。また、研削前と研削後のセンサーが反応したロボット座標軸を読み取る方法によって砥石の単位時間研削量を機能を付与して、目標とする仕上げ表面を達成した。 （もっと読む）

【課題】クーラントを用いて研削加工した被加工物の表面形状の測定を安定して行うと共に、迅速な測定を可能とする。
【解決手段】被加工物５を保持する保持手段６と、クーラント８を用いて被加工物５を研削加工する加工手段７と、被加工物５の表面形状を測定する形状測定手段１０と、保持手段６と加工手段７と形状測定手段１０とを相対的に移動させる駆動手段と、クーラント８の温度を測定するクーラント温度測定手段１５と、被加工物５の温度を測定する被加工物温度測定手段１６と、保持手段６の温度を測定する保持手段温度測定手段１７とを有する。 （もっと読む）

工具研削盤は機械制御ユニットを有し、当該機械制御ユニットは、例えば、トレーサ（９）と測定モジュールとを備える適当な測定機器を用いて、最初にワークピース受け器の理想的な受け器軸（Ｃ）に関するぶれを決定する。ブランク（７）又はワークピースの研削機械加工において、このぶれは考慮され且つ補償される。すなわち、ワークピースが正確に意図された寸法で且つ同心で機械加工されるような方法で、研削工具は揺れ動くワークピースをトレースさせられる。
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