【課題】砥石車のツルーイング回数のバラツキをなくすと共にワークの形状に関係なく砥石車径を管理できる砥石車の修正方法及び修正装置を提供する。
【解決手段】回転可能に支承される砥石車と、砥石車をツルーイングするためのツルアと、砥石車と接触可能となるように所定位置に配置される検知ピンと、砥石車側に配置されるＡＥセンサ１３と、ＡＥセンサ１３の検知信号に基づいて砥石車とツルア又は検知ピンとが接触したと判断する接触判断手段２２と、接触判断手段２２により砥石車とツルアとが接触したと判断されると所定のツルーイングを行うツルーイング実行手段２３と、ツルーイング前後で接触判断手段２２により砥石車と検知ピンとが接触したと判断された時の夫々の砥石車の位置から現在の砥石車の径を算出する砥石車径算出手段２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】ドレッシングが行われる時間を正確に把握することができるドレッシング装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るドレッシング装置は、研磨パッド１５の研磨面１６をドレッシング工具１のドレッシング面２に当接させながら研磨パッド１５をドレッシング面２内で相対移動させて研磨パッド１５のドレッシングを行うように構成されたドレッシング装置ＤＡにおいて、ドレッシング面２と平行な面内でのドレッシング工具１の振れ量を測定する変位センサ２２，２３と、変位センサ２２，２３により測定されたドレッシング工具１の振れ量に基づいてドレッシング面２が研磨面１６に当接していた時間を測定するコントローラ３０とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】 接触検出手段による接触検出によって砥石車の研削面が削られるのを抑制できるツルーイン装置を有する研削盤を提供する。
【解決手段】 砥石車２１の研削面２１ａをツルーイングするツルーイングロール３２と、該ツルーイングロールと同軸上に隣接して配設された接触検知用ロール３３とからなるツルーイング装置３０と、接触検知用ロールと砥石車の研削面との接触を検出する接触検出手段３５を備え、該接触検出手段によって接触が検出されるツルーイング装置と砥石車との相対移動位置を求め、該相対移動位置を基点にして砥石車の研削面に対するツルーイングロールの切込み量を制御するようにした。 （もっと読む）

【課題】ドレッサにおいて機材に埋め込まれたダイヤモンドの状態について確実に評価、検査することができるドレッサ検査装置およびドレッサの検査方法、並びにこれらを適用したＣＭＰ装置、およびＣＭＰ装置の検査方法を得る。
【解決手段】基材の表面にダイヤモンド粒子が埋め込まれてなるドレッサの異常を検査するドレッサ検査装置であって、ドレッサにおけるダイヤモンド粒子が埋め込まれた面に対して、ダイヤモンド粒子が埋め込まれた面と略水平な方向に光を照射する光源手段１１と、光源手段からの照射光がダイヤモンド粒子が埋め込まれた面において反射した反射光を集光してダイヤモンド粒子が埋め込まれた面の画像を取得する反射像取得手段１３と、反射像取得手段で取得した複数の画像の合成処理を行って合成画像を生成する画像処理手段１５と、合成画像に基づいてドレッサの異常を検出する異常検出手段１７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ドレッシングに際してドレッサーツールの研磨パッド又は研磨プレートへの押圧力をドレッサーツールの自重による押圧力以下にすることができ、研磨パッド又は研磨プレートの消耗量の少ないドレッシングを行うことができる研磨装置を提供すること。
【解決手段】研磨パッド２又は砥粒を含んだ研磨プレートを有するターンテーブル１と、被研磨基板を保持するトップリング３を具備する研磨装置において、研磨パッド２又は研磨プレートの研磨面に当接し研磨面をドレッシングするドレッサーツール５と、ドレッサーシャフト６と、ドレッサーツール５の研磨パッド２又は研磨プレートの研磨面への押圧力を該ドレッサーツール５の自重による押圧力以下の所定値からそれ以上の任意の値に調整できるコントローラ８及びレギュレータ１０からなる押圧力調整手段を具備する。 （もっと読む）

【課題】研磨面に凹凸があっても、これを容易且つ確実に平坦化させて、効率的に研磨面の再生を行うことができるようにする。
【解決手段】被研磨材の被研磨面に相対摺動して該被研磨面を平坦且つ鏡面状に研磨する研磨テーブル１０の研磨面１６ａをドレッシングするドレッサ３６を有するドレッシング装置であって、研磨面１６ａとドレッサ３６とを互いに摺接させて該研磨面１６ａをドレッシングしている時に研磨面１６ａとドレッサ３６との間に作用する摩擦負荷を直接または間接に検知するセンサ４４ａ，４４ｂと、該センサ４４ａ，４４ｂの出力に応じてドレッシング進行状況を判定する判定手段４６，４８を有する。 （もっと読む）

ワークピース（４０）を研磨する研磨装置（１）は、以下の構成部材、即ち、環状の研磨面（１１）を有するカップ状ホイール（１０）と、研磨面（１１）の少なくとも一部分の近傍に配置したディスク状の電極（６０）であって、この電極（６０）と研磨面（１１）との間に比較的僅かな間隙が存在してドレッシング領域（７５）が得られるようにした電極（６０）と、電解液をドレッシング領域（７５）に供給する電解液供給手段（７０）と、研磨面（１１）と電極（６０）との間に電解液を介して電流を発生させる電流発生器（２０）とを有する。電極（６０）はドレッシング領域（７５）に対して移動自在にし、通常調整プロセスの結果発生する電極（６０）の汚れを連続的に除去するようにする。この結果、ドレッシングプロセスの品質が高いレベルに維持される。
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【課題】１つの加工面の加工途中に実行でき、実行前後で発生する加工面の不連続性を補正することができるインプロセスドレッシング方法を提供すること。
【解決手段】回転している小径砥石をワークに接触させ、該ワークに該砥石の軌跡を転写することにより加工を行う研削加工において、前記ワーク加工中に前記砥石が任意にその加工経路から離脱し、加工中の前記砥石と前記ワークに干渉しない位置に設置してあるドレッサに接触することによりドレッシングを行い、再び該加工経路に復帰して加工を再開することを特徴とする。又、前記インプロセスドレッシングにより生じる該砥石の摩耗量を、ドレッシング前後での該砥石の該ワークへの切込み量を調整することにより補正することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 １回あたりのツルーイングによって除去される砥粒の量を低減して砥石車の寿命を延ばし、ツールコストを低減する。
【解決手段】 工作物の幅の異なる複数の研削箇所を所定順序で前記砥石車によって研削加工する研削サイクルを繰り返すとき、砥石車の研削面の複数の部位のうちで、最も摩耗量の多い部位を求め、この研削面の最も摩耗量の多い部位を基準としてツルーイングする。これにより砥石車のツルーイング量を必要最小限とする。 （もっと読む）

【課題】全体構成を簡単にし、良好なドレッシング精度を実現する。
【解決手段】アンギュラ角θを有する砥石車Ｇの円錐周面Ｇa 、円錐端面Ｇb にそれぞれ平行な直線部分Ｑ1 、Ｑ2 を含む周回軌跡Ｑに沿ってドレッサチップを駆動し、ドレッシングの都度、周回軌跡Ｑの起点Ｐi （ｉ＝１、２…）を、円錐周面Ｇa に直角に切込量Δｘだけシフトさせるとともに、円錐端面Ｇb に直角に切込量Δｚ＝Δｘ・tan θだけシフトさせる。 （もっと読む）

【課題】 研磨パッドを確実にドレッシングすることができるドレッシング方法を提供する。
【解決手段】 チャックテーブルに保持された被加工物を研磨するための研磨パッドのドレッシング方法であって、チャックテーブルに保持された被加工物を研磨ユニットの研磨パッドによって研磨する研磨工程が終了した後、ドレッサーボードを作用位置に位置付け研磨パッドをドレッサーボードに作用せしめてドレッシングするドレッシング工程を含み、ドレッシング工程は研磨工程を実施することによって消耗する研磨パッドの磨耗量を超える所定の目標送り量が予め設定されており、研磨パッドを所定の基準位置から目標送り量だけ移動して研磨パッドの研磨面をドレッサーボードの表面を越えた位置に位置付け、研磨パッドとドレッシングボードを相対移動せしめる。 （もっと読む）

本発明によれば、パッドコンディショニングシステムのドライブアセンブリから得られたモータ電流信号のようなセンサ信号が、ＣＭＰシステムにおける一つあるいはそれ以上の消耗品（１１３）の状態を推定するように用いられるシステム及び方法が提供される。
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