【課題】 半導体ウェハの周縁部の広い領域に効果的に圧力を加えて研磨を行うことが可能な半導体ウェハの研磨方法を提供する。
【解決手段】 周縁部に研磨対象面を有する半導体ウェハ１０を円周方向に回転させながら、複数の押圧部３２により半導体ウェハの円周に沿って研磨部材４１を研磨対象面に押し付けて、研磨対象面を研磨する。 （もっと読む）

【課題】被加工物の被加工面に多数の微細凹部を形成した後、微細凹部の周囲に生じた盛上り部分を研削加工により除去するに際し、最終的に得られる微細凹部の深さのばらつきを極力小さくし、加工効率の向上を実現する仕上げ加工方法を提供する。
【解決手段】被加工物Ｗ１における円周面である被加工面Ｓ１に多数の微細凹部Ａを形成した後、微細凹部Ａの周囲に生じた盛上り部分Ｂを研削加工により除去するに際し、被加工面Ｓ１に研削工具であるホーニング砥石１を押付けた状態にし、ホーニングツールを回転させて盛上り部分Ｂを除去しながら、研削抵抗及び押付け圧力の少なくとも一方を検出し、その検出値に基いて加工完了を判断することにより、微細凹部の深さのばらつきを極力小さくして加工効率の向上を実現した。 （もっと読む）

【課題】 左右レンズの識別が容易に行えるカップを提供する。左右の間違いをより低減できるカップ取付け装置及び眼鏡レンズ加工装置を提供する。
【解決手段】 左右を識別するために、左眼レンズ用のカップと右眼レンズ用のカップとで異なる色が付されている。カップ取付け装置は、左右の選択信号に基づいて左右のカップの色にそれぞれ対応した色の左右識別情報を表示する表示手段を備える。眼鏡レンズ加工装置は、左右の選択信号に基づいて左右のカップの色にそれぞれ対応した色の左右識別情報を表示する表示手段を備える。 （もっと読む）

【課題】表示画面上にワークの加工形状と砥石車の先端形状とを同時に表示して、前記加工形状に沿っての砥石車の相対的な移動経路の表示を容易に行うことのできる研削盤による加工方法及び研削盤を提供する。
【解決手段】砥石車１３とワークＷを支持するワークテーブル５とを相対的に移動して、前記ワークテーブル５に支持されたワークＷを、前記砥石車１３によって研削加工する研削加工方法であって、前記砥石車１３によって研削加工したダミーワークＤＷをカメラ１９によって撮像し、表示画面２９に表示されているワークＷの加工形状４３に対して、前記表示画面２９に表示されている砥石車１３の先端形状２１を移動し順次接触して、ワークＷに対する砥石車１３の移動経路を教示してＮＣプログラムを生成し、このＮＣプログラムによって研削盤を制御して砥石車１３によってワークＷの研削加工を行うものである。 （もっと読む）

【課題】最適な研削条件に設定して研削部位を精度良く研削することが可能な方法を提供する。
【解決手段】軸状ワーク１を支持手段２により支持して、砥石３を回転させながら軸状ワーク１に対して相対的に送るとともに、軸状ワーク１と砥石３との接触点にクーラントＣを供給して、軸状ワーク１を研削する方法であって、支持手段２が研削時に受ける荷重をセンサ５によって測定し、この測定値に基づいて研削状態を検出する。 （もっと読む）

【課題】超音波振動子に印加された交流電力の周波数に対応した超音波振動による切削ブレードの振幅を正確に検出することができる切削ブレードの振幅計測装置を提供する。
【解決手段】切削ブレード４５が取付けられた回転スピンドル４２に配設された超音波振動手段に所定周波数の交流電力を印加することにより超音波振動が付与せしめられる切削ブレードの振幅計測装置であって、切削ブレード４５の振幅を発光手段１１２と受光手段１１３とで光学的に検出する振幅検出手段１１０と、振幅検出手段から出力された振幅信号のうち設定された周波数領域の振幅信号のみを通過させる周波数可変バンドパスフィルター１２０と、周波数可変バンドパスフィルターの周波数領域を設定し制御するとともに周波数可変バンドパスフィルターからの振幅信号に基いて切削ブレードの振幅を演算する制御手段１３０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】超音波振動子に印加する交流電力の周波数に対応した超音波振動による切削ブレードの振幅を正確に検出することができる超音波振動切削装置を提供する。
【解決手段】回転スピンドル４２に設けられた切削工具４３及び超音波振動手段６と、超音波振動手段に交流電力を印加する電力供給手段７と、交流電力の周波数を調整する周波数調整手段９３と、交流電力の電力値を調整する電力調整手段９２と、周波数調整手段および電力調整手段を制御する制御手段９４とを備える超音波振動切削装置であり、切削ブレード４５の振幅を検出する振幅検出手段１０から出力された振幅信号のうち設定された周波数の振幅信号のみを通過させ制御手段に送る周波数可変フィルター１１を備え、制御手段は周波数調整手段に出力する周波数信号と同一の周波数信号を周波数可変フィルターに出力し、周波数可変フィルターから出力された振幅信号に基いて切削ブレードの振幅を求める。 （もっと読む）

【課題】 玉型の変形データを眼鏡店側から容易に工場側に送ることができ、変形された玉型の眼鏡レンズを適切に加工する。
【解決手段】 眼鏡店の送信端末装置から加工情報をネットワーク通信を介して送信し、加工側では送信された情報に基づいて眼鏡レンズの周縁を加工する眼鏡レンズ加工方法において、
送信される情報には、リムレスフレームに取り付けられる眼鏡レンズのオリジナル玉型を変形するための変形データとして上下左右方向の変形方向とその変形量データ、及び前記リムレスフレームを特定するためのフレーム特定情報が含まれ、
加工側においては、送信された前記フレーム特定情報に基づいてデータベースからオリジナル玉型データを呼び出し、該オリジナル玉型データと，前記変形方向とその変形量データと，に基づいて変形後の玉型形状を演算し、眼鏡レンズの周縁を加工することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大量生産されるガラス板を２基以上の研削加工ヘッドにより正確に研削加工することができるガラス板の周縁の研削加工方法及びその装置を提供すること。
【解決手段】ガラス板の周縁の研削加工装置１は、ガラス板２を吸着して保持する吸着テーブル３と、吸着テーブル３を回転させるテーブル駆動手段６と、吸着テーブル３の両側に夫々配置されている研削ホイール７及び８を夫々有しており、吸着テーブル３に対して進退移動自在に夫々装置された研削加工ヘッド９及び１０と、研削加工ヘッド９及び１０の夫々を進退移動させる加工ヘッド駆動手段１１と、テーブル駆動手段６による吸着テーブル３の回転及び加工ヘッド駆動手段１１による研削加工ヘッド９及び１０の進退移動を数値制御する数値制御装置１２と、研削ホイール７及び８の夫々の径を計測し、計測して得た計測値を数値制御装置１２にフィードバック入力する計測装置１３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】加工対象物に位置補正用の溝加工を行うことなく、研削砥石の刃先の位置を補正する。
【解決手段】加工対象物Ｒの表面に対し、回転する円板状の研削砥石２６により、当該研削砥石２６の回転軸方向における所定の加工位置に溝加工を行う溝加工装置１において、研削砥石２６を回転させる研削手段４と、加工対象物Ｒを装着する装着手段と、加工位置に関する加工位置データを記憶する記憶手段と、加工位置データに基づいて、研削砥石２６に対し、加工対象物Ｒを回転軸方向に相対移動させる対象物移動手段３と、研削砥石２６により、加工位置補正用の溝が研削されるダミーワーク１３と、ダミーワーク１３に形成された補正用溝の回転軸方向における研削位置を、所定の第１基準位置を基準として測定する研削位置測定手段１５と、研削位置の測定結果に基づいて、記憶された加工位置データを補正する補正手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】加圧軸の軸線が移動することがなく、常に加圧軸の軸線を正確に研磨皿の球芯に向かわせることができ、また、非常に小さい押圧力を微妙に調整でき、これによりレンズを高精度に研磨することが可能なレンズ研磨装置の加圧機構を得ること。
【解決手段】加圧軸４ａと、加圧軸を回転可能かつ軸方向に摺動可能に支持する支持部材４と、加圧軸を軸方向に付勢する付勢部材４４を有し、加圧軸は、ベアリング４１を介して支持部材に支持され、ベアリングの内径で摺動可能に嵌合され、付勢部材と加圧軸とを、加圧軸の摺動方向に直列的に配設し、加圧軸を付勢部材のみで付勢する加圧機構とする。 （もっと読む）

【課題】 熟練を要せずに、リムレスフレームのための穴角度等を適切に設定し、穴加工を適切に行える眼鏡レンズ加工装置を提供することを技術課題とする。
【解決手段】 被加工レンズを保持するレンズチャック軸と、レンズチャック軸に保持された被加工レンズ表面にリムレスフレームを取り付けるための穴を穴加工具により加工する穴加工手段と、を備える眼鏡レンズ加工装置において、
穴位置データを入力する穴データ入力手段と、リムレスフレームが取り付けられていたデモレンズの表面カーブに関するカーブデータを入力するカーブデータ入力手段と、前記カーブデータ及び穴位置データに基づいて前記レンズチャック軸に保持された被加工レンズの表面に穴加工する穴角度を演算する穴角度演算手段と、演算された穴角度に基づいて前記穴加工手段を制御する穴加工制御手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光軸中心に対して非対称な面からなる自由曲面１２を有するレンズ１０でも複雑な装置を用いず、簡単に短時間で、しかも高精度に心取りできるようなレンズの心取り方法と、その心取り方法を用いたレンズの製造方法を提供することが課題である。
【解決手段】レンズ１０の光学面を転写するための光学面を有した２つの入れ子３１、３２により加圧成形した円形レンズ１０を心取りするため、入れ子の光学面のうちの少なくとも１つに光透過域を形成する光軸中心に対して非対称な面からなる自由曲面１２を設け、該自由曲面１２周囲を囲繞する光透過域外に、光軸に中心を持つと共に成形する円形レンズ１０の光入射側と光出射側とで異なる曲率で半径方向に向け、肉厚が増加または減少するクランプ用曲面１４を形成して円形レンズ１０を成形し、該成形した円形レンズ１０に形成された前記クランプ用曲面１４でベルクランプして心取りするようにした。 （もっと読む）

【課題】加工終了までの時間を知ることができ、作業の効率化を図ることができる眼鏡レンズ周縁加工装置を提供する。
【解決手段】レンズの材質及びレンズの周縁に施す加工モード等の加工条件を設定する設定手段を備え、設定された加工条件に従ってレンズ周縁を加工する眼鏡レンズ周縁加工装置において、前記加工条件設定手段により設定された加工条件に基づいて加工終了までに掛かる加工終了時間を演算する演算手段と、演算された加工終了時間を表示する表示手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】所望のレンズ枠形状データをプレビュー画面表示し、直ちにレイアウト設定すべく、レイアウト画面に切り換え可能にし、レンズ加工の作業効率を向上させるレンズ加工装置及びレンズ加工方法並びにコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】眼鏡レンズ加工のためのレイアウトの設定を行うためのレイアウト画面表示部６において、加工開始指令のためのスタートボタン５８を、プレビュー画面をレイアウト画面への切り換えに用い、眼鏡レンズ加工のためにレイアウトの設定を行い、眼鏡レンズを加工する。 （もっと読む）

【課題】 ワークのクランプ異常を正確に且つ簡単に検出できるクランプ異常検出方法、及び工作機械の提供。
【解決手段】 ワーク２７の両端部を一対の主軸台１９，２９のクランプ機構２３，２４でクランプし、両主軸台の主軸２１，２２をサーボモータ３３，３４により同期回転してワークを回転させながらワークを加工する工作機械におけるワークのクランプ異常検出方法であって、ワーク２７の両端部を両主軸台１９，２０のクランプ機構２３，２４でクランプした後、両主軸台のサーボモータ３３，３４がサーボＯＮの状態で一方の主軸台のサーボモータ３４のみに微小角度αの回転指令を与え、この時に一方又は他方の主軸台のサーボモータに発生する電流又はトルクが所定値より小さい場合にクランプ異常と判定する。 （もっと読む）

【課題】 製品ウェーハの面取り形状を短期間で所望の面取り形状にすることができるウェーハの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 少なくとも、インゴットからスライスされたウェーハを、面取り用砥石を用いて面取りする面取り工程と、該面取りしたウェーハに平坦化処理、エッチング、研磨のうち少なくとも１つ以上の処理をすることによって前記面取りしたウェーハよりも薄い厚さの製品ウェーハとする工程とを備えるウェーハの製造方法において、少なくとも前記面取り工程より前に、少なくとも、前記製品ウェーハと同等の厚さのダミーウェーハを面取りし、該面取りされたダミーウェーハの面取り形状を測定し、該測定されたダミーウェーハの面取り形状に基づいて前記面取り用砥石の形状を補正する補正工程を備え、該形状を補正した面取り用砥石を用いて前記インゴットからスライスされたウェーハを面取りするウェーハの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ワークの側面に開口して形成された凹部を円滑に加工できるプロファイル研削盤を提供する。
【解決手段】ベース部１１と、ベース部１１上の一側に設けられワーク１２を把持するワークテーブル１３を備えたワークユニット１４と、ベース部１１上の他側に設けられ砥石１５を保持しその軸心回りに回転する砥石回転機構１６を備えた砥石ユニット１７とを有するプロファイル研削盤１０において、ワークユニット１４は、ワークテーブル１３を支持し、ワークテーブル１４を水平面内で互いに直交するＸ方向及びＹ方向、並びに水平面に直交するＺ方向にそれぞれ移動する第１〜第３の移動手段３６、３９、３１を備え、砥石ユニット１７には旋回機構５４が設けられ、砥石１５の先端部を通過する垂直線を中心とし砥石１５を旋回させる。 （もっと読む）

【課題】円筒形状、例えば軸受の表面に形成された被膜表面のバリを、効率良く確実に、しかも低コストで除去する。
【解決手段】ラッピング機等の汎用の回転工作機に軸受外輪をその円筒形状のＴｉＮ被膜面（転動面）の軸心周りに回転可能となるように固定する。その回転する外輪の被膜面に対して、研磨材を手で補助治具を介して加圧押付して、被膜１上のバリ２を除去する（図１（ａ）および（ｂ））。加圧力、加工速度等の加工条件の制御のために、補助治具に歪みゲージ等の圧力センサーを必要に応じて取り付ける。研磨材は、レール上でモーター駆動するスライダー等に固定し、測定した加圧力をモーターの出力にフィードバックすることで、前記加工条件をより厳密に制御したりすることもできる。 （もっと読む）

【課題】如何なる眼鏡レンズであっても、所望の面取り加工を実施できる眼鏡レンズの面取り方法および眼鏡レンズの面取り装置を提供する。
【解決手段】Ｚ軸プレート６５に面取り加工ツール２６と測定子２８を搭載する。眼鏡レンズＬの周面加工時に算出した眼鏡枠形状のエッジ部の位置データに基づいて、面取り加工ツール２６でエッジ部１８Ａ，１８Ｂを加工する際の面取り加工ツール２６の加工軌跡を示す第１の面取り軌跡データを、第１の面取り軌跡データ算出手段５によって算出する。エッジ部測定手段２９は、測定子２８によってエッジ部１８Ａ，１８Ｂの第１の面取り軌跡データからのずれ量ΔＺを測定する。第２の面取り軌跡データ算出手段７は、このずれ量ΔＺを用いて第１の面取り軌跡データを補正して第２の面取り軌跡データを算出する。面取り加工ツール２６は、第２の面取り軌跡データに基づいて、エッジ部１８Ａ，１８Ｂを面取り加工する。 （もっと読む）