【課題】加工状態の監視および加工中の加工条件を調整することで、最適な加工条件を決定する。
【解決手段】加工状態の良否を判断するため複数の信号または物理量を取得する加工状態情報取得部２２と、信号または物理量の基準値を基準加工状態情報として記憶する要求加工状態記憶部１８と、加工状態情報取得部２２で取得した加工状態情報と基準加工状態情報とを比較して加工状態の良否および加工不良の種別を判定する加工状態判定部２０と、加工不良を解消するために実行される加工条件の調整方法として、加工条件の調整が実行される加工不良の種別の優先度、加工不良の種別に応じて調整する加工条件の設定項目の優先度、設定項目の調整値を記憶した加工条件調整方法記憶部１２と、加工状態判定部２０が加工不良と判定された場合、前記加工条件調整方法に基づき前記加工条件の設定項目を調整する加工条件調整部１４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ピーク電流を小さくすることによりワイヤ電極の消耗を抑え、かつ、加工速度の低下を防ぐことが可能な放電加工機の放電加工電源装置を提供する。
【解決手段】第１のパルスＳ１ａ，Ｓ１ｂの出力を停止した後、第２のパルスＳ２を所定の時間間隔をもって出力する第１の回路と、第１のパルスＳ１ａ，Ｓ１ｂがスイッチング素子１８，２０のゲートに出力されている間、主直流電源１０から電流ｉ１を流す第２の回路と、第２のパルスＳ２が第３のスイッチング素子２２に出力されている間、第２の回路中のインダクタ３０，３２によって蓄積された誘導エネルギーによる電流ｉ２を流すと共に、主直流電源１０による電流ピーク値に応じた電圧を副直流電源１２により印加する第３の回路と、第２のパルス出力Ｓ２が停止すると、第２の回路中のインダクタ３０，３２によって蓄積された誘導エネルギーによる電流ｉ３を主直流電源１０に帰還させる第４の回路とを有する。 （もっと読む）

【課題】切断面のエッジ部におけるバリの発生を防止できる半導体ウェハの切断方法を提供する。
【解決手段】ワイヤ放電加工による半導体ウェハ３の切断において、ワイヤ２を半導体ウェハ３内へ入れる過程では、ワイヤ２から半導体ウェハ３に与える単位面積当たりの放電エネルギーを次第に小さくして、放電ギャップＧを大きくする。ワイヤ２を半導体ウェハ３の外へ出す過程では、ワイヤ２から半導体ウェハ３に与える単位面積当たりの放電エネルギーを次第に大きくして、放電ギャップＧを次第に小さくする。これにより半導体ウェハ３の切断面のエッジ部をＲ形状にする。 （もっと読む）

【課題】短絡抑制と加工時間短縮とを両立できる電解加工方法を提供する。
【解決手段】電極１１の電解液供給孔１１ｃから被加工物１に電解液を供給し、電極１１と被加工物１との間に電圧を印可する電解加工方法であって、電極１１と被加工物１との間に印可された電圧、および電極１１と被加工物１との間を流れる電流のうち少なくとも一方を検出手段１８によって検出し、電極１１の被加工物１側への相対的な変位速度を検出手段１８の検出結果に基づいて変化させる。電極１１と被加工物１との間に印可された電圧を検出手段１８によって検出し、検出手段１８の検出電圧が抜け際短絡の前兆となる上昇を示した場合、変位速度を減少させる。また、検出手段１８の検出電圧が下降した場合、変位速度を減少させる。 （もっと読む）

【課題】 短絡が発生したときに放電加工用電源装置のパルスの発生を適切に制御することにより加工を安定化し電極消耗を少なくする。
【解決手段】 加工用電極と被加工物との加工間隙に所定のタイミングでＯＮ／ＯＦＦするパルス列を所定時間毎に断続させて電力を供給することにより上記被加工物を加工する放電加工用電源装置において、上記パルス列の休止時間中に上記加工用電極と上記被加工物との加工間隙に短絡検出用パルスを印加することにより、加工用電極と被加工物との加工間隙の短絡を検出する短絡検出手段と、この短絡検出手段により、上記加工間隙で短絡が発生したことを検出すると、上記加工間隙への電力供給を停止すべく、上記パルス列における所定のパルスの発生を停止させるパルス停止手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】複数の並列するワイヤ電極で構成される切断ワイヤとの放電加工によって被加工物に同時に形成される複数の加工溝の溝幅のばらつきを低減する。
【解決手段】複数のガイドローラ３ａ〜３ｄに巻回された１本のワイヤ２により多数本の並列ワイヤが被加工物８に対向するように構成された切断ワイヤ２ａと、ワイヤ２を切断ワイヤ２ａに順次送るワイヤ送り機構と、切断ワイヤ２ａの多数本の並列ワイヤに対して独立して給電することで被加工物８との間に電圧を印加する給電機構６、７と、切断ワイヤ２ａと被加工物８を相対移動させる加工送り機構を備え、並列ワイヤと被加工物８との間に放電を発生しながら被加工物８に複数の加工溝を同時に形成することで被加工物８を複数の部分に切断するワイヤ放電加工装置に、切断ワイヤ２ａの並列ワイヤのうち切断ワイヤ２ａに最後に送られた最新のワイヤの放電加工エネルギを調整する加工エネルギ制御装置１１０を備える。 （もっと読む）

【課題】ワイヤ放電加工装置の放電を安定させる。
【解決手段】ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂに間隔をあけて複数回巻き掛けられ、各ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ間で互いに離間した複数の切断ワイヤ部分２６ａ〜２６ｆを構成するワイヤ１５と、２本おきに配置された２本の切断ワイヤ部分２６を含む３つの切断ワイヤ部分組２６１〜２６３と、各切断ワイヤ部分組２６１〜２６３の各切断ワイヤ部分２６に給電する複数の導電ブロック４１Ａ〜４３Ａを含む給電ブロック４１〜４３と、パルス電力を供給するパルス電源２９と、を備え、各切断ワイヤ部分２６とワーク２８との間で放電を行ってワーク２８を加工するワイヤ放電加工装置であって、各給電ブロック４１〜４３は、それぞれ異なる切断ワイヤ部分組２６１〜２６３に給電し、パルス電源２９は、印加時間をずらして各給電ブロック４１〜４３にパルス電力を供給する。 （もっと読む）

【課題】放電エネルギが緻密で正確に一定に制御された放電オンパルスとして繰り返し得られる放電発生検出信号を得る方法を提供する。
【解決手段】スイッチ素子をオンとして放電間隙に電圧を印加したときの間隙電圧を検出し、間隙電圧が上昇したときにその電圧データ値を記憶する上昇電圧記憶手段と、次の時点での検出間隙電圧と記憶した電圧データ値とを比較する電圧上昇判断手段と、記憶した電圧データ値から所望の電圧差を減じる加工電圧差設定手段と、又次の時点での検出間隙電圧と加工電圧設定手段により設定された電圧データ値とを比較して所望の差電圧の有無を判断する電圧降下判断手段とを備え、検出間隙電圧が所定の電圧分降下した所定電圧降下信号を基に放電発生を判断する論理回路より放電発生信号を出力して設定値の放電オン時間のカウントを開始させるように制御する。 （もっと読む）

【課題】
回路に生じる浮遊容量やインダクタンスの影響により最小放電エネルギーが決定される、従来型の放電加工機に比べ、より高精度に放電エネルギーの制御が可能な放電加工装置を提供する。
【解決方法】
給電電極・工具電極・工作物を配置し、給電電極は工具電極と間隙をもつ対向面を保有し、給電電極より工具電極への給電を静電誘導給電で行うことで、回路に生じる、浮遊容量や、インダクタンスの影響を無視でき、給電電極と工具電極の間に形成される容量と、工具電極と工作物の間で形成される容量により放電エネルギーが決定される。 （もっと読む）

電極（１２０）と被加工物（２）との間に発生させた放電により被加工物（２）を加工する放電加工装置（１００）において、放電加工措置（１００）の加工量算出部（７０）は電極（１２０）の使用履歴に基づいて、被加工物（２）を加工するために入力された入力加工量を補正し、放電加工措置（１００）の発振制御部（４０）は補正された入力加工量に基づいて被加工物（２）の加工処理を制御する。これにより、電極（１２０）の使用履歴に関わらず正確な加工量だけ被加工物（２）を加工することができる。 （もっと読む）