ＣＭＰパッドコンディショニング用の研摩工具は、金属接合材によって基板に結合された砥粒と、被膜、例えばフッ素ドープナノコンポジット被膜とを含む。砥粒は、自己回避型ランダム分布において配置することが可能である。一実施態様において、研摩工具は、被膜処理プレートと、２つの研削表面を有する被膜処理研摩物品とを含む。他の実施態様は、その１つ以上の表面における被膜を含む研摩工具の製造プロセスに関する。ＣＭＰパッドのドレッシング方法についても記載される。
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【課題】安定したドレッシング性能を発揮し、ドレス中の切れ味と仕上げ性能に優れ、粗ドレスと仕上げドレスとを１工程で行うことも可能なドレッサを提供する。
【解決手段】ロータリー方式のドレッサ１０は、円板状の台金の外周に砥粒層１２が拡径方向に突出して設けられ、台金の中心には、ドレッサ１０を回転駆動軸に取り付けるための軸孔が開設されている。台金の軸孔の軸心を中心に回転体形状をなすように形成された砥粒層１２は、四角柱形状をした粒径の異なる複数のダイヤモンド砥粒１５及び結合材１６などによって形成されている。これらのダイヤモンド砥粒１５は、砥粒層１２内のトラバース方向Ｔの終端側１２ｅに設定した仮想基準面１２ｆに四角柱形状の軸心１５Ｔと平行な一つの端面部１５ｄを揃えた状態で配列され、砥粒層１２の始端側１２ｓに位置する軸心１５Ｔと平行な端面部１５ｂは不揃いとなっている。 （もっと読む）

【課題】被研磨物を高精度且つ高速で研磨できる研磨具及び研磨装置を提供する。
【解決手段】 研磨装置１０は、上側表面に研磨対象物１１を支持する支持テーブル１２、支持テーブル１２の上方に、支持テーブル１２に対して垂直に配置された回転軸１３、そして回転軸１３の下端部に支持テーブルと平行に接続されている、電源１４に電気的に接続する環状超音波振動子２７を固定した砥石保持部材２８と、砥石保持部材２８の周縁部の下端に備えられた環状の砥石２９とを含む研磨具３３どから構成されている。図面を簡単にするため環状の砥石２９を一体として図示したが実際には２８分割している。また環状の砥石２９は平均直径が約２００ｍｍである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、管の内表面、凹部の内面、あるいは交差穴または止まり穴等を研磨する研磨部材に関するものである。
【解決手段】本発明の研磨部材は、管状物体あるいは凹部を有する物体がワークで、その内面を研磨するものであり、板状部材を丸めた筒状部材と、前記筒状部材の内部に挿入された芯部材とから構成されている。前記板状部材は、ワークの長さ方向に沿った平行な複数の尖った突起からなる突条を備えており、端面どうしを互いに溶着して円筒状研磨部材を構成している。芯部材は、前記丸められた円筒状研磨部材の内部に挿入されて固定される。駆動装置は、前記丸められた円筒状研磨部材内に挿入された芯部材を回転駆動して、前記ワークである管状物体あるいは凹部を有する物体における内部のバリ取り、研磨、光沢等の処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】工具本体に働く弾発力を調整可能としてより最適な操作感を得ることができるようにする。
【解決手段】回転工具１０は、駆動軸Ｓｐにこの駆動軸Ｓｐと一体に回転するように固定される回転軸部材１２と、この回転軸部材１２に装着される工具本体１４と、ナット部材１８および皿ばね１６とを有する。回転軸部材１２は、前記工具本体１４がこの部材１２と一体に回転し、かつ当該部材１２の軸方向に変位し得る状態で装着される装着部２２と、この装着部２２よりも前側に位置して回転軸部材１２の離脱を規制するフランジ部２０と、前記装着部２２の後側に設けられ、ナット部材１８が螺合装着される雄ねじ部２４とを備える。そして、この回転軸部材１２に装着されるナット部材１８と工具本体１４との間に前記皿ばね１６が弾性圧縮状態で介在するように装着される。 （もっと読む）

【課題】超精密仕上げを可能にする旋盤に用いるラップ工具及びバイトホルダを提供する。
【解決手段】 工具鋼製のバイトホルダ５は断面が４角形のパイプ形状である。そして、前記パイプの中に錫９５質量％とアンチモン質量５％の合金製の４角柱のラップ工具１が挿入されている。また、ラップ工具１とバイトホルダ５の間には空気７をシールするためのパッキン８がある。さらに端部には空気７を導入するためのパイプ９が接続されている。ラップ工具１とパイプ９の間の空間は空気室となっている。 （もっと読む）

【課題】レジンボンド、メタルボンド、ビトリファイドボンドを結合材とした超砥粒層と、軸の接合を強固にして、耐久性に優れ、長期間に渡って高精度・高能率な研削加工を可能にする、軸付き超砥粒ホイールとその製造法を提供する。
【解決手段】軸３の一端に軸と一体にテーパ状の軸心部２を設け、軸心部の表面に超砥粒層をホットプレス等により固着する。軸心部の先端には、ホットプレス時に変形しないように、微少なＲ部または平面部を設ける。また、軸心部と超砥粒層の結合力を高めるために、その表面をサンドブラスト処理などを施す。 （もっと読む）

【課題】この発明は、合成樹脂繊維と合成樹脂チャンネルを用いて、製造容易で、ブラシの構造が強固かつ再生容易のブラシを製造することを目的としたものである。
【解決手段】この発明は、ブラシ用合成樹脂繊維を、必要量宛整列させ、融着加工部へ定量宛搬送して、前記整列した繊維の根元部を融着し、又は根元部を融着することなく、別に供給された合成樹脂チャンネルの開口側へ、前記繊維の根元部を挿入した後、前記合成樹脂チャンネルの外側から、前記根元部を加熱加圧し、前記根元部と、チャンネルとを固着して、ブラシ材を成形し、このブラシ材を用いて、直線状ブラシ材、スパイラル状ブラシ材又は環状ブラシ材を成形した後、前記ブラシ材を軸に固定することを特徴としたブラシの製造方法により、目的を達成した。 （もっと読む）

【課題】 台皿の所定位置に正確に砥粒層を固定させることができる砥石を提供する。
【解決手段】 台皿３ａの表面に形成された複数の穴３ａ−２に基体２ａの柱状の突起部２ａ−２を挿入する。突起部２ａ−２を穴３ａ−２に挿入した状態で基体２ａを接着剤５で台皿３ａの表面３ａ−１に固定する。 （もっと読む）

基板（４５６）と支持アセンブリ（４００）の間に介在された固定砥粒物品（４１０）を含む装置。支持アセンブリ（４００）は、基板と固定砥粒物品（４１０）の間の界面に高低侵食力の領域を形成する。高侵食力は、固定砥粒物品（４１０）を活性化するのに十分なものである。
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