【課題】樹脂の硬化時に発生する反りを抑制することを可能にするとともに薄化を可能にする。
【解決手段】内部にＭＥＭＳデバイス２２を含み、ＭＥＭＳデバイスと電気的に接続される第１パッド２４がＭＥＭＳデバイスの上面に形成された第１チップ２０と、内部に半導体デバイス１２を含み、半導体デバイスと電気的に接続される第２パッド１２が半導体デバイスの上面に形成された第２チップ１０と、第１樹脂３４に第１材料定数調整剤３６ａが添加された第１接着膜３２ａと、第２樹脂３４に第２材料定数調整剤３６ｂが添加された第２接着膜３２ｂとが積層された積層構造を有し、少なくとも第１チップの側面と第２チップの側面とを接着する接着部３０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 微量な検出目的物質に対する多段階な反応処理を自動的に行うことができる化学反応装置を提供する。
【解決手段】
マイクロ反応路チップ１と、マイクロ反応路チップ１を載置し回転させる回転盤１７と、マイクロ反応路チップ１の流路形成領域よりも回転中心側に配置された磁力発生部と、を備えた化学反応装置であり、マイクロ反応路チップ１が、入口と尻窄み形状の出口とを有する複数の反応槽と、該複数の反応槽を繋ぐマイクロ流路と、有し、前記複数の反応槽のそれぞれが、交互に逆向きの状態で尻窄み形状出口同士が対向するようにして上流側から下流側に向かって順次配置され、かつ隣り合う反応槽の入口と尻窄み形状出口とが、マイクロ流路で連結されており、更にマイクロ反応路１内には、磁性を帯びることのできるマイクロビーズ５が配置されている。 （もっと読む）

【課題】複数のユニットを連結して形成されたマイクロチャンネルでプロセス流体の多段混合を行うことができ、プロセス流体の流通時の温度ないし滞留時間をそれぞれのステップで独立に制御しうる多段混合マイクロデバイスを提供する。また、混合操作の設定条件の通常の変更に対しても、対象となるユニット部位のみを交換することで柔軟に対応することができる多段混合マイクロデバイスを提供する。
【解決手段】着脱自在な複数のユニットをパイプレスで連結した、プロセス流体の多段混合を行うマイクロデバイスであって、前記複数のユニットの連結により前記デバイスの内部に前記プロセス流体を流通させるマイクロチャンネルと熱交換用媒体を流通させるチャンネルとをなし、かつ、前記デバイスを部分的に独立して温度制御可能とした多段混合マイクロデバイス。 （もっと読む）

【課題】ベース基板の素子上に密封キャップが配置されてなる半導体装置およびその製造方法であって、小型で安価に製造することができ、フェースダウンボンディングも可能で実装面での制約が少ない半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁分離された複数個のベース半導体領域Ｂｓが表層部に形成されてなるベース基板Ｂ１と、ベース基板Ｂ１に貼り合わされる導電性を有したキャップ基板Ｃ１であって、当該キャップ基板Ｃ１を貫通する絶縁分離トレンチ３１により、複数個のキャップ導電領域Ｃｅが形成されてなるキャップ基板とを有してなり、ベース基板Ｂ１における所定領域Ｒ１とキャップ基板Ｃ１における凹部３２とで構成される空間２３，３２が密封されると共に、所定のキャップ導電領域Ｃｅ１，Ｃｅ２が、所定のベース半導体領域Ｂｓ１，Ｂｓ２に電気的に接続されてなる半導体装置１００とする。 （もっと読む）

【課題】 ＭＥＭＳ駆動型の情報記憶システムに力学的平衡を与えるために、逆方向に動くように調整された複数の超小型可動子を提供する。
【解決手段】 板の各対（４１，４２，４３，４４）は、板の各対（４１，４２，４３，４４）の少なくとも一方の板が他方の板に対して動くように超小型可動子に関連付けられる。第１の板の対（４１）の第１の板（４１ａ）は、第１の運動量で第１の方向（Ｗ）に動かされる。第２の板の対（４２）の第２の板（４２ａ）は、第１の運動量に概ね等しい第２の運動量で第１の方向とは逆の方向（Ｅ）に動かされる。第１および第２の板の動きは、第１および第２の運動量を概ね相殺するように構成される。 （もっと読む）

本発明の態様は、マイクロ流体集合体を含む。このマイクロ流体集合体は、少なくとも１つの開いたマイクロチャネル機構を少なくとも第１の面が有する平坦な基材と、この平坦な基材の前記第１の面に第１の面が取着されている蓋を形成するシート材とを具備し、この蓋を形成するシート材は、前記少なくとも１つのマイクロチャネル機構の少なくとも一部を覆い、また、前記蓋を形成するシート材は、第１の剛性を有する第１の領域と、第２の剛性を有する第２の領域とを有している。本発明のその他の様態は、発明を実施するための形態と、図面と、特許請求の範囲とに示されている。
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マイクロミラー構造を持ち上げる（支持する）ために、ステッパープレートにおける複数の支柱を用いている、マルチ動作をプログラム可能なマイクロミラー制御方法を提供する。当該制御システムは、（１）マイクロミラーの多数の動作を生成できる、（２）マイクロミラーを低駆動電圧で制御できる、（３）デジタル制御によって簡素な動作制御にできる、（４）マイクロミラーの動作の自由度をステッパープレートの数によって選択できる、（５）マイクロミラーを単一の信号電圧で駆動できる、という有利な点を有する。このような有利な点とともに、上記マルチ動作をプログラム可能なマイクロミラー制御方法は、マイクロミラー動作制御における問題点を克服するための解決策を提供する。
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本発明は、マイクロ流体システムで使用されるタイプのマイクロ流体装置上のホーム位置マークのセットによってマイクロ流体装置のアイデンティティとホーム位置を決定する方法に関する。前記方法は、マイクロ流体装置がマーク識別子について走査されるマイクロ流体装置の走査相と、ホームマークのセットの少なくとも１つの特徴的な特性が決定され、マイクロ流体装置のアイデンティティを識別するために使用されるマイクロ流体装置の識別相と、ホーム位置が前記識別相の期間中に識別されたホーム位置マークの少なくともサブセットの使用により決定されるホーム位置決定相とを含んでいる。本発明はホームマークのセット、このようなホームマークのセットを搭載するマイクロ流体装置、マイクロ流体システム、コンピュータプログラムプロダクト、コンピュータの使用可能な媒体におけるコンピュータプログラムに関する。 （もっと読む）

親水性マイクロチャンネル構造体を含むマイクロ流体装置であって、前記構造体には、(a)分別液を搬送することを目的とし、(b)入り口端部と出口端部とを備え、これらの間に毛管弁Iが存在するマイクロ管Iを含む機能ユニットが存在し、前記弁は、局所的な非濡れ性表面範囲の存在に基づく弁であることが好ましく、
前記マイクロ管Iが、１または複数のさらなる毛管弁、典型的には１つの追加弁(毛管弁I´)を有する点を特徴とする。 （もっと読む）

親水性のマイクロチャンネル構造（２）を備えた回転可能なマイクロ流体装置（１）であり、このマイクロチャンネル構造内には、ａ）液体出口Ｉ（６）を設けた上流マイクロキャビティＩ（４）と、ｂ）入口端部（１６）において液体出口と接続したマイクロ管Ｉ（１７）と、ｃ）マイクロ管に関連した毛管弁Ｉ（２４）が設けられている。マイクロ管の入口端部は、マイクロ管の出口端部（１８）よりも回転軸（３）に近い。マイクロ管の入口端部と出口端部の間の半径距離の差は、上流マイクロキャビティの最上部分（７）と同一のマイクロキャビティの液体出口との間の半径距離の差の＞５％であってよい。 （もっと読む）

本出願の１つの実施例は、マルチセンサアセンブリ（２０）を含む。このアセンブリ（２０）は、１つのウエハー層（５１）により規定される電気機械動きセンサ部材（５７）と、２以上の別のウエハー層（３１、４１）のうち第１のウエハー層に支持される第１センサ（３２）と、該別のウエハー層（３１、４１）のうち第２のウエハー層に支持される第２センサ（４２）とを具える。前記１つのウエハー層（５１）は、センサ部材（５７）をアセンブリ（２０）のキャビティ（５６）内で包囲するように前記別のウエハー層（３１、４１）の間に位置する。
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