【課題】マイクロマシン構成部材の片持梁の幅を大幅に減じることにより、より高い周波数に適したものにするための方法を提案する。
【解決手段】少なくとも１つの第１の給電線路４１が第１の平坦な面２１に配置されており、少なくとも１つの第２の給電線路４２が、第１の平坦な面２１とは反対側に配置された、片持梁の第２の平坦な面２２に配置されており、第１の給電線路４１が第１の平坦な面２１において機能エレメント３まで延びており、第２の給電線路４２が、第１の平坦な面２１と第２の平坦な面２２との間の局所的な電気接続部４３，４３１，４３２を有する。 （もっと読む）

【課題】３次元の微細構造体の製造に適した３次元の微細構造体製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の微細構造体製造方法は、平版に先端材料を塗布し、該先端材料を基体へと転写させることを特徴とする。本発明の構成によれば、平版と基体のアライメントを取ることにより、基体に対して精度良く特定位置に選択的に先端材料を転写することが出来る。また、平版に塗布する先端材料の量の多寡により、微細構造体の高さなどの形状を制御することが出来る。 （もっと読む）

【課題】 ピンセットの基板への接触、試料の把持検出、試料の形状測定ができるピンセット付き走査型プローブ顕微鏡の提供。
【解決手段】ピンセット付き走査型プローブ顕微鏡は、探針部が形成された第１のアームと、第１のアームに対して開閉自在に設けられた第２のアームと、開閉駆動電圧が印加され、第２のアームを開閉駆動する静電アクチュエータと、静電アクチュエータ６が有する電気的等価回路を帰還回路として用いることにより自励発振させ、その自励発振により第２のアームを振動させる増幅器９１と利得調整手段９５を有し、第２のアームの物体への接触による振動状態の変化を検出する振動状態検出部９３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ナノワイヤ成長により形成されるモノリシック高アスペクト比のナノサイズ走査プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）ティップを提供する。
【解決手段】 マイクロマシン加工ピラミッド・ティップが、ティップの頂部からのエピタキシャル・ナノワイヤの成長によって延長された、走査プローブが開示される。金などの金属粒子でナノワイヤを終端させて、無絞り近接場光学顕微鏡プローブを実現することができる。 （もっと読む）