【課題】従来機構よりも高速な空圧切り替え動作を安定して実施できる空圧切り替え機構を実現するとともに、ワーク搬送の高速化にも対応できるワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明の空圧切り替え機構は、空圧導入口Ａａと外部に開口する第１の制御用開口部Ａｂとを結ぶ第１の空圧経路Ａと、空圧作用口Ｂａと外部に開口する第２の制御用開口部Ｂｂとを結ぶ第２の空圧経路Ｂと、前記第１の空圧経路Ａにおいて前記第１の制御用開口部Ａｂに向けて伸びる第１の開口側部分Ａ１と、前記第２の空圧経路Ｂにおいて前記第２の制御用開口部Ｂｂに向けて伸びる第２の開口側部分Ｂ１に対して共に交差して接続され、前記第１の空圧経路Ａと前記第２の空圧経路Ｂとを連結する連通部Ｃと、前記第１の制御用開口部Ａｂと前記第２の制御用開口部Ｂｂを同じタイミングで外部に対して開閉する空圧制御用開閉手段Ｄと、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高分子駆動器を含む微小バルブ構造体及びラボオンチップモジュールを提供する。
【解決手段】微小バルブ構造体は基板１０上に配置される柔軟構造物２０及び柔軟構造物２０内に挿入される高分子駆動器４０を含むことができる。この時、柔軟構造物２０は微小流路３５を定義するバルブ部２５を有し、高分子駆動器４０は柔軟構造物２０によって微小流路３５から分離される。さらに、高分子駆動器４０はバルブ部２５の変位を制御することによって、微小流路３５の幅を変化させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】弁体の微小な反りによって弁機能が損なわれることを防止した弁構造、および、弁構造の製造方法の提供を図る。
【解決手段】圧電弁構造１は、弁室天板２と上壁面板３と弁体板５と下壁面板６と弁室底板７とを備える。弁室天板２は、弁室の天面を構成し、流路口１６が形成される。上壁面板３と下壁面板６は、弁室の天面から立設する弁室の壁面を構成する。弁体板５は、梁状部１１を備え、梁状部１１は上壁面板３と下壁面板６に支持される。弁体板５は、変形力の非作用時に弁座４を介して流路口１６を閉鎖し、変形力の作用時に流路口１６を開放する。上壁面板３と下壁面板６は、弁室の天面側で弁体板５の梁状部１１が撓む方向の力を弁体板５にかける。 （もっと読む）

本発明は、２つのピエゾアクチュエータを有する圧電曲げ変換器によって形成された少なくとも１つのアクチュエータによるピエゾバルブの操作に関する。操作方法は、前記２つのピエゾアクチュエータ（１４、１６）の一方に選択的に出力すべきアクチュエータ駆動制御信号（ｏｕｔ）を少なくとも１つの操作制御信号（ｉｎ）に依存して生成するステップと、ピエゾアクチュエータ（１４、１６）のうち目下駆動制御されていないピエゾアクチュエータ（１６）における電気的測定量（Ｉｄ）を捕捉するステップと、捕捉した測定量（Ｉｄ）に基づいて振動減衰信号（ｆｂ）を生成し、該振動減衰信号（ｆｂ）を考慮して、目下駆動制御されているピエゾアクチュエータ（１４）に対するアクチュエータ駆動制御信号（ｏｕｔ）を生成するステップとを有する。
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本発明は、圧電駆動装置、特にマイクロバルブ用の圧電駆動装置に関する。この駆動装置は、給電のために逆極性の２つの電極からなる少なくとも１つの電極対（０３）を備えた圧電層（０１）の一つの面に結合されている変形層（０４）を含む。本発明によれば、電極対（０３）の逆極性の両電極が、圧電層（０１）の変形層（０４）とは反対側の面に共通に配置されている。更に、本発明は、少なくとも１つの弁通路（０８，０９）と該弁通路を開放又は閉塞するダイヤフラム（０４）とを備え、ダイヤフラム（０４）が同時にこの種の圧電駆動装置の変形層を形成しているマイクロバルブに関する。 （もっと読む）

【課題】外部流路との接続位置に設ける弾性シーリングのシール性を高め、流体が滲む危険性を抑えたバルブ装置の提供を図る。
【解決手段】バルブ装置１は、圧電バルブ２とＯリング４Ａ，４Ｂと流路板３とを備える。圧電バルブ２は、流体の流路となる流出口２１Ａおよび流入口２１Ｂが天板２１に形成され、弁体３１がバルブ室３３内部に形成される。弁体３１は、バルブ室３３内面における流出口２１Ａの開口周縁に接触して流路を閉鎖し開口周縁から離間して前記流路を開放する。Ｏリング４Ａはバルブ室３３外面における流出口２１Ａの開口を囲む。Ｏリング４Ｂはバルブ室３３外面における流入口２１Ｂの開口を囲む。流路板３は、Ｏリング４Ａ，４Ｂをバルブ室３３の天板２１に圧接させる。天板２１を垂直視してＯリング４Ｂの中心が、バルブ室３３の側壁対３３Ａの一方の側壁に近接するとともに側壁対３３Ｂの一方の側壁に近接して配置される。 （もっと読む）

【課題】シール材の膨張量を外部電気信号等の量で調整し、接触面圧力を調整することによって、流体の漏れ量を高精度に制御できる軸封機構を用いることによりソレノイドレス化可能な駆動装置を提供すること。
【解決手段】ピストン１３０ｂを有するシリンダ部１３０ａに漏れ流路１４０，１４１を介して流体を供給する供給漏れ流路１３７と流体を外部に排出する排水漏れ流路１３８，１３９を有する装置本体１３１を取付け、この装置本体１３１内には、流路切換可能な複数個の軸封体１３２〜１３５を有する軸封機構を設け、この軸封機構は、電気的外部刺激を介して膨縮又は変形する高分子材料製の前記軸封体からなり、この軸封体に電気的外部刺激を与えて当該軸封体を膨縮又は変形させることにより漏れ流体を流す流路を設けたものであり、この軸封機構により前記シリンダ内に流体を供給又は排気させてシリンダ部内のピストンを駆動させるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】気体供給弁の小型化を図るとともに、気流吹き付けの開始及び停止の遅れを低減する。
【解決手段】気体供給弁１０は、気体を導入する気体導入路１１ｃと、該気体導入路の導入開口１１ｅが内部に臨む弁シリンダ１２と、該弁シリンダの内部において前記導入開口を開閉可能に構成する閉塞部１５ａを備えた弁体１５と、前記弁シリンダの内部に臨む導出開口１２ｄを備えた気体導出路１２ｃ他と、前記弁体を駆動して前記導入開口の開閉動作を行う圧電アクチュエータ１９と、を具備する気体供給弁において、少なくとも弁の開放時において前記導入開口と前記導出開口の間の内部空間を外部に連通させる通気経路１２ｅ、１２ｆ他が前記気体導入路及び前記気体導出路とは別に設けられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化に対しても歪みが生じる虞がなく、したがって、圧力−流量特性等の諸特性が変化する虞のないノーマリクローズド型のマイクロバルブを実現することができるマイクロバルブ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロバルブは、ＳＯＩ基板１１のダイアフラム１２の下面側に弁１３及び固定部１４が設けられ上面側かつ弁１３に相対する位置に絶縁膜１５が設けられた第１の基板１と、ガラス基板２１に溝部２２及び開孔部２３が形成された第２の基板２と、ガラス基板３１に流体の流入口及び流出口３２が形成された第３の基板３とを重ね合わせて接合一体化した構成である。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現できる流体制御弁を提供する。
【解決手段】流体制御弁は、球状の弁体１１と、流体流路２内にその弁体１１が収容される円錐面状の弁座４を有するハウジング１と、を含む。弁体１１は、球状の芯材１２と、この芯材１２の表面を正５角形と正６角形を組み合わせた複数の領域に区画しながら被覆するＰＺＴ系の圧電材料より成る圧電膜１３と、この圧電膜１３の内外面にそれぞれ積層され、外部の電力供給部に配線を通じて接続された電極膜１４、１５と、芯材１２の表面に対し圧電膜１３及び電極膜１４、１５を区画の境界部分で固定支持する支持部１６と、より構成される。 （もっと読む）