【課題】弁体内に高圧流体を導入するようにされたもとでも、流路切換時において弁体の内外の差圧を小さくすることができ、もって、弁体による流路切換動作を円滑かつ確実に行なうことのできる多方切換弁を提供する。
【解決手段】弁室２１が仕切部材２０Ｃにより高圧冷媒導入ポート１１が開口する上室部２１Ａと弁シート部２５側の下部室２１Ｂとに分割され、前記仕切部材２０Ｃに上部室２１Ａと下部室２１Ｂとを連通する逃がしポート２３が形成されるとともに、該逃がしポート２３を、弁体３０による流路切換動作開始直前に開き、流路切換動作終了と略同時に閉じる副弁４０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】弁ハウジング１内を２つのピストン２，２により主弁室１１Ａとその両側の副弁室１２Ａ，１２Ａに仕切り、一方の副弁室１２Ａを減圧することにより主弁室１１Ａ内の冷媒圧力との差圧により、ピストン２及び主弁体５を移動し、冷凍サイクルの冷媒の流路を切り換える流路切換弁１０において、ピストン２の移動後に、主弁室１１Ａと副弁室１２Ａとを速やかに均圧し、ピストン２の耐久性を確保する。
【解決手段】ピストン２の中央に均圧通路を設け、この均圧通路内に副弁２５を配設する。ピストン２がキャップ部１２側に移動したとき、副弁２５により副弁座部１２２の抽排気通路１２ａ開口を閉塞し、かつ、均圧通路を導通する。 （もっと読む）

【課題】クロスパージ性能を有する石英泡立て容器であり、このクロスパージによって、ユーザーは、単に不活性ガスを流すことによって容易に空気および化学製品をバルブ入口およびバルブ出口からパージすることができる。
【解決手段】その設計は、泡立て容器１０の入口１９および出口２１の接続部に取り付けられた少ない設置面積の２つの３方向バルブ７，１１を組み入れる。それぞれのバルブの３番目のポートは、クロスパージ管路をともなった複数のバルブの間に一緒に配管される。バルブは、腐食耐性があり、漏れがなく、保全不要であり、不純物の浸出もなく、そして、（アンプルの入口および出口の）石英ブレークシールを突き通すことになる任意選択的なブレークシールクラッシャーを適用する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成を有し、小型化が可能であり、半導体製造装置のガス供給回路等、高信頼性が要求される流体供給回路への適用が可能な三方弁を提供する。
【解決手段】軸長方向に移動する第１弁軸31と、第１弁軸31の先端部に設けてあり、第１弁座30に対して退座又は着座して第１流路を開閉する第１弁体３と、第１弁軸31及び第１弁体30の軸心部を貫通する貫通孔32に挿通され、軸長方向に移動する第２弁軸41と、第１弁軸31の先端から突出する第２弁軸41の先端部に設けてあり、第１弁座30に対向配置された第２弁座40に対して退座又は着座して第２流路を開閉する第２弁体４とを備え、第１弁軸31及び第２弁軸41と同軸上に配した開閉アクチュエータ５と、第１弁軸31を第１流路の上流側の内圧の作用により付勢するダイヤフラム６と、第２弁軸41を第１弁軸31と同方向に付勢する付勢ばね52とを設ける。 （もっと読む）

【課題】四方切換弁内では高温冷媒と低温冷媒との流路が隣接しており、構成部品を介して熱移動が生じるため、熱損失の原因となっていた。
【解決手段】四方切換弁１における弁台座１２の上表面である弁シート面１３に形成される、低圧側接続口７と、第一の接続口９と、第二の接続口８のそれぞれの開口部の周囲を、弁シート面１３を構成する素材よりも熱伝導率の低い素材で覆う構成とする。そして、その弁シート面を覆う熱伝導率の低い素材は、弁体１０の一部１０ａで構成され、弁体１０は椀状部１０ｂとフランジ部１０ａとを有し、フランジ部１０ａは椀状部１０ｂの両側に高温冷媒の流路となる二つの穴が設けられて弁シート面１３を摺動する構成である。また、弁台座１２の弁シート面１３を熱伝導率の低い素材で覆い、弁体の椀状部１０ｂの頂点周辺を平面もしくは凹状にする。 （もっと読む）

【課題】四方切換弁に接続された接続配管相互の弁本体を介した熱伝導を抑制した四方切換弁を用いた冷凍サイクル装置を提供する。
【解決手段】四方切換弁の複数の接続配管と弁本体との間に円筒状の熱抵抗部を介在させて、上記接続配管を弁本体に接続する構成とした。接続配管は冷媒配管と同じ銅材から形成する。 （もっと読む）

ガス分離装置を開示する。特に、圧力スイング吸着装置等のガス分離装置用のシール組立体および吸着要素構造を開示する。シール組立体は回転バルブの一部分とすることができ、またシール裏打ち、およびこのシール裏打ちの孔内に配置した浮動シールを設けることができる。浮動シールは、隣接する回転子に向けて圧着してシールするように構成する。バルブ作用は、浮動シールおよび回転子の孔が、それらの間における相対的回転の結果として、整列し、つぎに整列から外れることによって、もたらされる。シール組立体は、２種類のガスチャンバを有し、バルブのシール面上に均衡したシール圧を加えることができ、一方のタイプは、加圧処理ガスを装置内から受容するように構成し、他方のタイプは、別個に制御された加圧ガス源からガスを受容するように構成する。装置内の吸着要素は、巻回積層吸着構体の端部に、改善したスペーサ十字状支持体構体を備えることができる。
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バルブは、ボア（bore）を規定するハウジングを有している。ハウジングの中の２つのサイド・ポートおよび２つのボトム・ポートは、ボアに連絡している。ボアに受け入れられたスプールの外側表面に、２つの環状溝が設けられている。スプール内において、環状溝からバイパス・ポートへバイパスが延びている。１つの態様例では、ボアはハウジングを部分的にだけ通って延びており、バイパス・ポートはスプールの端部にある。別の態様例では、バイパス・ポートは、スプールの外側筒状表面において、環状溝がその中に実質的に存在しない位置にある。アクチュエータは、ボア内において、第１のボトム・ポートが第１のサイド・ポートと連絡して、第２のボトム・ポートが第２のサイド・ポートと連絡する第１の状態と、第１のボトム・ポートと第２のボトム・ポートとが相互に連絡し、および第１のサイド・ポートと第２のサイド・ポートとが相互に連絡する第２の状態との間で、スプールを選択的に動作させることができる。このバルブは、デッドスペースを減少させることによって、活性の高い化学薬品に好ましく用いることができる。
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