容器から物質を取り出すためのバルブ
バルブは、ボア（bore）を規定するハウジングを有している。ハウジングの中の２つのサイド・ポートおよび２つのボトム・ポートは、ボアに連絡している。ボアに受け入れられたスプールの外側表面に、２つの環状溝が設けられている。スプール内において、環状溝からバイパス・ポートへバイパスが延びている。１つの態様例では、ボアはハウジングを部分的にだけ通って延びており、バイパス・ポートはスプールの端部にある。別の態様例では、バイパス・ポートは、スプールの外側筒状表面において、環状溝がその中に実質的に存在しない位置にある。アクチュエータは、ボア内において、第１のボトム・ポートが第１のサイド・ポートと連絡して、第２のボトム・ポートが第２のサイド・ポートと連絡する第１の状態と、第１のボトム・ポートと第２のボトム・ポートとが相互に連絡し、および第１のサイド・ポートと第２のサイド・ポートとが相互に連絡する第２の状態との間で、スプールを選択的に動作させることができる。このバルブは、デッドスペースを減少させることによって、活性の高い化学薬品に好ましく用いることができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（発明の技術分野）
この発明は、一般に、容器から化学薬品（または化学的物品（chemical products))を取り出すために用いられるバルブであって、その容器から物品を移すためにガスが用いられるバルブ、特に、容器の中へガスを入れるための通路および容器から生成物を出すための通路を有するスプール弁（spool valve）に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体を製造するために必要とされる物質は、しばしば毒性を有しおよび／または化学的に高い活性を有する（または化学的に攻撃的（chemically aggressive)である）。光学ファイバー技術（fiber optic technology）において、毒性を有しおよび化学的に高い活性を有する酸ハロゲン化物は、一般に、ガラス容器またはステンレス鋼容器の中に貯蔵される。これらの物質の貯蔵および移送のために用いられる容器内の不純物は、かなりの問題をもたらす可能性があり、従って除去する必要がある。そのような用途のために、物品をその容器から移したり、容器の外に出すために、保護ガス、例えば不活性ガスを用いて、化学的に耐性を有するスプール弁を使用して、物品を容器から取り出すことができる。大部分の場合に、連結したラインを、取り出した後にフラッシング（flushing）するために、保護ガスも用いられる。ステンレス鋼容器から物品を取り出すために、鋼製のボールバルブを用いることもできる。ガラス容器には、プラグバルブが用いられている。プラグバルブを用いて保護ガスによりフラッシングすることはできるが、適切にシールすることができない。この種の用途に、その他のガラスおよび／またはＰＴＦＥバルブも用いられている。
【０００３】
米国特許第４，８０５，６７５号（以下、「６７５特許」とも称する）は、１つの特定のバルブがスプール弁（spool valve）である発明を開示している（その開示事項は、引用することによって本明細書に組み込まれる）。６７５特許のスプール弁は、バルブ・ハウジングの中を通るボア（bore）の中で、軸方向に移動することができる円筒形態のバルブ・スプールを有している。バルブ・スプールはその外側表面に第１の環状溝を有している。バルブの開いた状態において、第１の環状溝は、物品供給ライン（product supply line）を物品取出ライン（product withdrawal line）に連絡させている。例えば、物品供給ラインはディップ・チューブ（dip tube）であってよく、物品取出ラインは物品が供給されることになっている場所へ至るラインである。バルブの開いた状態において、バルブ・スプールはその外側表面に第２の環状溝をも有している。第２の環状溝は、保護ガス供給ラインをガス注入ラインに連絡させている。例えば、保護ガス供給ラインは、保護ガスの加圧された供給源からバルブに至るラインであってよく、ガス注入ラインは、バルブから容器の中へ至るラインであってよい。バルブ・スプールの外側表面には、第３の環状溝が形成されている。第３の環状溝は、スプールの軸に沿って第２の環状溝と第３の環状溝との間に第１の環状溝が位置するように形成されている。第３の環状溝はバルブ・スプールの中を通るバイパス通路によって第２の環状溝に連絡しており、従って、第１の環状溝内の圧力と等しい圧力を有するガスによって第３の環状溝は満たされている。従って、バルブを通る物品の通路として用いられる第２の環状溝は、その両側に第１の環状溝および第３の環状溝内の保護ガスが存在するので、従って（６７５特許によって）、ハウジングとスプールとの間の接続部（joint）を通して、容器の外部から第２の溝の中へ汚染物質が進入（leak）する可能性を低減し、および、に漏る汚染のリスクを減少させて、物品が第２の溝からバルブの外へ漏れる（leakする）可能性を低減することができる。さらに、バルブがその閉じた状態にある場合に、第２の環状溝はガス供給ラインと連通する状態に留まっているが、ガス取出ラインとは（連通状態から）シールされている。バルブがその閉じた状態にある場合に、第３の環状溝も物品取出ラインと接続される。それによって、物品取出ラインを保護ガスによってフラッシングし、物品取出ラインおよびバルブの部分から物品をパージする。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
６７５特許に開示されているバルブは、いくつかの問題点を有していた。第一に、バルブ・スプールに環状溝を形成することはコストが高くつく。また、バイパス通路を製造するためには、長手方向のボアを形成すること、２つの半径方向ボアを形成すること、および長手方向のボアの端部を閉塞すること（plugging）が必要とされる。さらに、物品が停滞するバルブ内部の空間（すなわちデッドスペース）の規模を減少させることが望ましい。デッドスペースは望ましいものではない。それは、（活性な物品を使用した場合に）活性な物品が、バルブの構成に用いられた物質、特にバルブの使用と使用との間で、金属またはバルブ成分から抽出され得るその他の汚染物質が浸出することによって、反応し得るためである。デッドスペースは、また、同じバルブを用いて、異なる物品のバッチを保持している容器から物品を移す場合に、物品の異なるバッチの交差汚染（cross contamination）のリスクをも増大させる。さらに、物品供給チューブおよびガス取出ラインの連結用のポートは外観が非常に近似しており、意図されている用途のために、バルブに物品供給チューブおよびガス取出ラインを適切に接続することができないというリスクを増大させ得る。さらに、有毒な（または有害な）化学薬品と共にバルブを使用する場合に、バルブ・ハウジングとバルブ・スプールとの間の接続部を通してバルブの外へ化学薬品が漏れるというおそれもある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（発明の概要）
易流動性物品の供給物を含有する容器から、易流動性物品を取り出すためのバルブは、１つの態様例において、長軸を有する円筒形態のボア（cylindrical bore）を規定するハウジングを有している。ハウジングは、第１および第２のボトム・ポートと、第１および第２のサイド・ポートとを有しており、第１および第２のボトム・ポートはボアと連絡しており、ならびに第１および第２のサイド・ポートもボアも連絡している。ボアには円筒形態のバルブ・スプールが収容されており、バルブ・スプールはボアの中で、ボアの長軸に沿って軸方向に動くことができる。バルブ・スプールは円筒状外側表面を有している。円筒状外側表面にはその軸方向に沿って分布させて第１の環状溝および第２の環状溝が設けられている。バルブ・スプール内では、バルブ・スプールの半径方向ボアを通る第２の環状溝からバイパス・ポートへバイパスが延びている。半径方向ボアは、バルブ・スプールの円筒状外側表面との交点へ延びている。交点の位置において、バルブ・スプールの外側表面には環状溝は実質的に存在していない。スプールには、第２の環状溝とバイパス・ポートとの軸方向の間に、第１の環状溝が配置されている。バルブは、ボアの中で第１の状態と第２の状態との間でバルブ・スプールを選択的にスライドさせるためのバルブ・スプール・アクチュエータをも有している。スプールが第１の状態にある場合に、第１のボトム・ポートは第１の環状溝を通して第１のサイド・ポートと連絡しており、ならびに、第２のボトム・ポートは第２の環状溝を通して第２のサイド・ポートと連絡している。スプールが第２の状態にある場合に、第１のボトム・ポートと第２のボトム・ポートとは第１の環状溝を通して相互に連絡しており、ならびに、第１のサイド・ポートと第２のサイド・ポートはバイパスおよび第２の環状溝を通して相互に連絡している。
【０００６】
易流動性物品の供給物を含有する容器から、易流動性物品を取り出すためのバルブは、もう１つの態様例において、長軸を有する円筒形態のボアを規定するハウジングを有している。ボアは、ハウジングの一部を通って延びている。ハウジングは、第１および第２のボトム・ポートと、第１および第２のサイド・ポートとを有しており、第１および第２のボトム・ポートはボアと連絡しており、ならびに第１および第２のサイド・ポートもボアと連絡している。ボアには円筒形態のバルブ・スプールが収容されており、バルブ・スプールはボアの中で、ボアの長軸に沿って軸方向に動くことができる。バルブ・スプールは円筒状外側表面を有している。円筒状外側表面にはその軸方向に沿って分布させて第１の環状溝および第２の環状溝が設けられている。バルブ・スプール内では、第２の環状溝からバルブ・スプールの１つの端部におけるバイパス・ポートへバイパスが延びている。スプールの第２の環状溝とバルブ・スプールの前記１つの端部との軸方向の間に、第１の環状溝が配置されている。バルブは、ボアの中で第１の状態と第２の状態との間でバルブ・スプールを選択的にスライドさせるためのバルブ・スプール・アクチュエータをも有している。スプールが第１の状態にある場合に、第１のボトム・ポートは第１の環状溝を通して第１のサイド・ポートと連絡しており、ならびに、第２のボトム・ポートは第２の環状溝を通して第２のサイド・ポートと連絡している。スプールが第２の状態にある場合に、第１のボトム・ポートと第２のボトム・ポートとは第１の環状溝を通して相互に連絡しており、ならびに、第１のサイド・ポートと第２のサイド・ポートはバイパスおよび第２の環状溝を通して相互に連絡している。
【０００７】
その他の目的および特徴は、以下に記載する説明によって明らかになるであろう。
対応する参照文字は図面にわたって対応する部分を示している。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
（好適な実施形態の説明）
最初に図１〜５Ｂを参照すると、本発明の１つの態様例におけるバルブが、全体として符号１０１で示されている。バルブ１０１は、中央側ボア１０５を有するバルブ・ハウジング１０３を有しており、該中央側ボア１０５には、（図５Ａに示す）開いた状態と（図５Ｂに示す）閉じた状態との間で軸方向に移動することができる円筒形態のバルブ・スプール１０７が収容されている。バルブ・ハウジング１０３およびバルブ・スプール１０７は、化学反応に対して高い耐性を有し、金属およびその他の抽出性の汚染物質を低レベルで有する不活発な材料によって形成されることが好ましい。１つの態様例において、バルブ・ハウジング１０３とバルブ・スプール１０７は、完全フッ素化されたポリマー、例えば、ＰＦＡ、ＴＦＥ、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥまたはそれらと同系統のフッ素化ポリマーを有している。
【０００９】
バルブ・ハウジング１０３の下側には、図１において破線で示すような口の開いた容器１１３に対して、バルブ１０１を脱着可能に接続するためのコネクタ１１１が設けられている。容器１１３には、活性が高い化学的性質を有する化学物質（図示せず）、例えば高純度酸ハロゲン化物、例えば四塩化ケイ素、ゲルマニウム（ＩＶ）塩化物、オキシ塩化リンなどが入っている。例えば、図４に示すように、コネクタ１１１は、ハウジングの底部に円筒形態のフィッテング１１５を有することができる。フィッテング１１５は、容器１１３の口に形成された対応するカラーにねじ止めされることに適応するユニオンナット１２１を保持する外側ネジ溝を有している。フィッテング１１５の外側ネジ溝およびユニオンナット１２１の対応するネジ溝は左巻きのネジであり、一方、ユニオンナット１２１のその他のネジ溝は、右巻きのネジ溝が設けられている容器１１３にコネクタ１１１をねじ込むために、右巻きのネジ溝であることが好ましい。容器１１３に対するバルブ１０１の接続をシールするために、Ｏリング１２５（図４）を設けることができる。Ｏリング１２５は、活性の高い化学薬品の分解に対する耐性を有することが好ましい。例えば、Ｏリング１２５を、完全フッ素化されたエラストマー（例えば、テフロン（登録商標）（Ｅ．Ｉ．Ｄｕ Ｐｏｎｔ Ｄｅ Ｎｅｍｏｕｒｓ ａｎｄ Ｃｏｍｐａｎｙ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ，ウィルミントン、デラウェア州））によって被覆して、Ｏリングが化学薬品を汚染する可能性を低減することができる。別法として、Ｏリング１２５は、完全フッ素化されたエラストマー（ＦＦＫＭ）、例えばＳｉｍｒｉｚ（登録商標）ＳＺ４８５（Ｆｒｅｕｄｅｎｂｅｒｇ−ＮＯＫの事業所であるＳｉｍｒｉｔ（プリマス（Ｐｌｙｍｏｕｔｈ）、ミシガン州）から入手可能である）、またはＫａｌｒｅｚ（登録商標）４０７９（Ｄｏｗ Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ Ｅｌａｓｔｏｍｅｒｓ（ウィルミントン（Ｗｉｌｍｉｎｇｔｏｎ），デラウェア州（前身はＤｏｗ ＤｕＰｏｎｔ Ｅｌａｓｔｏｍｅｒｓ社）から入手可能である）を用いて形成して、化学薬品の汚染のリスクを低減することもできる。化学的に耐性を有する材料によって被覆されたＯリング１２５は、優れた初期特性を提供するかもしれないが、時間の経過とともに一体性（ｉｎｔｅｇｒｉｔｙ）を失うおそれがあるため、コストは高くなるかもしれないが、ＦＦＫＭ製のＯリングを用いることが好ましい。
【００１０】
２つの底部のバルブ・ポート１３１、１３３がフィッテング１１５に形成されており、バルブ・ハウジング１０３の中のボア１０５と連絡している。図に示すボトム・ポート１３１、１３３は相互に全体として互いに平行であって、実質的に垂直にボア１０５に連絡している。ボトム・ポート１３１と１３３とは、ボア１０５の長軸に沿って、それぞれオフセットされている。例えば、図５Ａおよび５Ｂに示す態様では、１つのボトム・ポート１３１（以下、「中央側ボトム・ポート（central bottom port）」とも称する）は、ボアの長手方向中央部に比較的近い位置にてボア１０５に連絡しており、他方のボトム・ポート１３３（以下「オフセット側ボトム・ポート（offset bottom port）」とも称する）はボアの長手方向中央部から比較的離れた位置にてボアに連絡している。中央側ボトム・ポート１３１と１３３とは相互に容易に区別できることが好ましく、そのことは、例えばスパージング・チューブ（図示せず）をボトム・ポートの１つに接続すべき場合に有用である。例えば、１つの態様例では、（例えば、図３および４において破線で示すような内側のネジ溝を形成することによって）中央側ボトム・ポート１３１はそのようなチューブ（図示せず）を該ポートに接続するために適合化されている。そして、（例えば、図３および４において破線で示すような内側のネジ溝が存在しないことによって）オフセット側ボトム・ポートにチューブを誤って接続することを防止することができる。別の態様例（図示せず）において、中央側ボトム・ポート１３１は特定のねじシステムによってチューブを連結するために適合化されており、オフセット側ボトム・ポート１３３は異なるタイプのねじシステムによってチューブを連結するために適合化されている。例えば、中央側ボトム・ポート１３１およびオフセット側ボトム・ポート１３３の一方が右巻きネジを有し、および他方は左巻きネジを有するようにすることができる。同様に、中央側ボトム・ポート１３１およびオフセット側ボトム・ポート１３３の一方が雄ネジを有し、および他方は雌ネジを有するようにすることができる。更に別の態様例（図示せず）では、中央側ボトム・ポート１３１は特定の直径（例えば３／８インチ）を有するチューブを接続するために適合化されており、オフセット側ボトム・ポート１３３は異なる直径（例えば１／４インチ）を有するチューブを接続するために適合化されていてよい。容器１１３から物品を移すためにバルブ１０１を用いる際に、ガスは、２つのボトム・ポート１３１および１３３のうちの１つを通して容器に注入され、そのポートは以下においてより詳細に説明するように操作モードによって変わり得るのであって、そして物品は２つのボトム・ポートの他方を通って容器の外へ流出する。
【００１１】
バルブ・ハウジング１０３の側面に、２つのサイド・バルブ・ポート１４１、１４３が設けられて、それらはボア１０５に連絡している。図示する態様のサイド・ポート１４１、１４３は、全体として平行であって、ハウジング１０３の対向する側方（または側壁）に水平に連絡している。サイド・ポート１４１、１４３には、それらにガス供給ライン（図示せず）および物品取り出しライン（図示せず）を容易に接続することができるように、フィッティング１４５を（例えば、サイド・ポートにねじ込むことによって）接続することができる。サイド・ポート１４１および１４３は、ボア１０５の長軸に沿って互いにオフセットされている。例えば、図５Ａおよび５Ｂを参照すると、一方のサイド・ポート１４１（以下「中央側サイド・ポート（central side port）」とも称する）はボアの長手方向中央部に比較的近い位置にてボア１０５に連絡しており、他方のサイド・ポート１４３（以下「オフセット側サイド・ポート（offset side port）」とも称する）はボアの長手方向中央部から比較的離れた位置にてボアに連絡している。図５Ａおよび５Ｂに示す態様において、オフセット側サイド・ポート１４３は、ボトム・ポート１３１、１３３がボアと連絡する位置よりも相対的に、ボアの長手方向中央部から離れた位置にて、ボア１０５と連絡しており、中央側サイド・ポート１４１は、ボトム・ポート１３１、１３３がボアと連絡する位置よりも相対的に、ボアの長手方向中央部に近い位置にて、ボア１０５と連絡している。その結果、ボトム・ポート１３１、１３３は、ボア１０５の長軸上において、サイド・ポート１４１とサイド・ポート１４３との間に配置されている。容器１１３から物品を取り出す際に、（以下に説明するように、操作のモードに依存するが、）２つのサイド・ポート１４１、１４３のうちの一方が保護ガスの供給部（図示せず）に接続され、他方のサイド・ポートが、物品移送ライン（図示せず）に接続される。
【００１２】
本明細書に例外として特に記載する場合を除いて、バルブ・スプール１０７は実質的に円筒形態の外側表面１６１を有している。第１の環状溝１６５はこの円筒状外側表面１６１に形成されている。バルブ・スプール１０７が開いた状態にある場合（図５Ａ）には、オフセット側サイド・ポート１４３は第１の環状溝１６５を通って、オフセット側ボトム・ポート１３３と連通している。バルブ・スプール１０７の円筒状外側表面１６１には、第２の環状溝１６７も形成されている。図示する態様例において、第２の環状溝１６７はバルブ・スプール１０７の長手方向中央部の相対的により近くに位置しており、第１の環状溝１６５はバルブ・スプールバルブの長手方向中央部から相対的により離れて位置している。バルブ・スプール１０７がその開いた状態にある場合（図５Ａ）には、中央側サイド・ポート１４１は第２の環状溝１６７を通って中央側ボトム・ポート１３１と連通している。
【００１３】
バルブ・スプール１０７の中にはバイパス１７１が設けられており、該バイパス１７１は、第２の環状溝１６７から、スプール１０７の円筒状外側表面１６１に形成されたバイパス・ポート１７３へ延びている。図示する態様例において、バイパス・ポート１７３は、スプール１０７の長手方向中央部から、第１の環状溝１６５および第２の環状溝１６７の両者よりも、相対的に離れて位置している。例えば、図５Ａおよび５Ｂを参照すると、図示する態様例のバイパス１７１は、スプール１０７内の長手方向の通路１８１、該長手方向の通路１８１から第２の環状溝１６７へ延びるバルブ・スプール内の第１の半径方向ボア１８３、ならびに、該長手方向の通路からバイパス・ポート１７３へ延びるスプール内の第２の半径方向ボア１８５を有している。プラグ１８７は、長手方向の通路１８１の端部をシールするために用いられている。重要なことは、バルブ・スプールの実質的に円筒形態の外側表面と半径方向ボア１８５との交点において、バルブ・スプールの外側表面１６１に環状溝を形成することなく、バルブ・スプール１０７にバイパス・ポート１７３を形成することであって、それによってバルブ１０１を製造するコストを低減することができる。例えば、図５Ａおよび５Ｂに示す態様例において、バルブ・スプールの円筒状外側表面１６１と半径方向ボア１８５との交点１９１に、バイパス・ポート１７３が形成されている。さらに、バルブ・スプール１０７の外側表面１６１には、前記交点１９１の位置において、実質的に環状溝が設けられていない。バルブ・スプール１０７がその閉じた状態にある場合（図５Ｂ）に、ボトム・ポート１３１、１３３は互いに第１の環状溝１６５を通して連通している。その場合に、サイド・ポート１４１、１４３は、バイパス１７１を通して相互に連通している。バルブ・スプール１０７がその閉じた状態（図５Ｂ）にある場合に、ボトム・ポート１３１、１３３とサイド・ポート１４１、１４３との間には、流体が実質的に流通することはない。
【００１４】
図５Ａおよび５Ｂに示すように、バルブ・スプール１０７の外側表面１６１に軸方向に沿って設けられた一連の４つの環状チャンネルには、それぞれ４つのＯリング１９５'、１９５''、１９５'''および１９５''''の１つが取り付けられている。Ｏリングは、バルブ・ハウジング１０３とバルブ・スプール１０７との同時的な係合によって、シールを形成している。第１のＯリング１９５'は、バルブ・スプール１０７とバルブ・ハウジング１０３との間の接続部と、第２の環状溝１６７との間にてシールを形成している。第２のＯリング１９５''は、第２の環状溝１６７と第１の環状溝１６５との間にてシールを形成している。第３のＯリング１９５'''は、バイパス・ポート１７３と第１の環状溝１６５との間にてシールを形成している。第４のＯリング１９５''''は、バルブ・スプール１０７とバルブ・ハウジング１０３との間の接続部と、バイパス・ポート１７３との間にてシールを形成している。Ｏリング１９５'、１９５''、１９５'''および１９５''''は、化学反応に対して高い耐性を有し、金属またはその他の抽出性の汚染物質を低レベルで有する弾性材料によって形成されることが好ましい。例えば、Ｏリング１９５'、１９５''、１９５'''および１９５''''は、完全フッ素化されたエラストマー（ＦＦＫＭ）、例えばＳｉｍｒｉｚ（登録商標）ＳＺ４８５および／またはＫａｌｒｅｚ（登録商標）４０７９により形成することができる。更に図５Ａおよび５Ｂを参照すると、バルブ・ハウジング１０３のボア１０５に、一連の円周溝２０１を設けることが好ましい。それらの位置は、バルブ・スプール１０７がその開いた状態（図５Ａ）とその閉じた状態（図５Ｂ）との間で進退する動きによって、Ｏリング１９５'、１９５''、１９５'''および１９５''''が摩擦によって摩耗することを低減するように、各ポート１３１、１３３、１４１および１４３がボアと連絡する位置と同心円となるボア１０５に長手方向に沿って分布する位置である。所望する場合には、バルブ１０１のリーク（または漏れ）を更に防止するために、追加的なＯリングを用いることもできる。
【００１５】
バルブ１０１は、バルブ・スプール１０７のその開いた状態（図５Ａ）とその閉じた状態（図５Ｂ）との間で進退する動きを操作することができるように、バルブ・スプール・アクチュエータ２１１を更に有することもできる。例えば、図示する態様例において、バルブ・スプール１０７の一端２１５は、作動ノブ２１９の雌ネジ溝２１７に係合する雄ネジ溝を有している。作動ノブ２１９は、バルブ・スプール１０７の長軸まわりで回転し得るように、バルブ・ハウジング１０３に回転自在に取り付けられている。しかしながら、ノブ２１９は、バルブ・ハウジング１０３に対して、バルブ・スプール１０７の長軸の向きに動くこと（または並進運動すること）については、拘束されている。例えば、図示する態様例において、ノブ２１９は、バルブ・ハウジング１０３に形成されている対合ボア２２７の内側に嵌る寸法のボス２２５を有している。ボスが対合ボア２２７の中に進入する際に、バルブ・ハウジング１０３に形成される１対のスルーホール２３３と環状溝２２９とが位置合わせされるように、ボス２２５の外側表面に環状溝２２９が形成されている。スルーホール２３３を通してピン２３５が挿入されると、ボス２２５の中に形成された環状溝２２９とピンとが係合することによって、バルブ・ハウジング１０３に対してノブ２１９が軸方向も移動することが拘束される。従って、ノブ２１９を回転させることによって、バルブ・スプール１０７を、バルブ・ハウジング１０３のボア１０５の中で軸方向に移動させることができる。バルブ・ハウジング１０３のスルーホール２４７を通して、およびバルブ・スプール１０７の長いスロット２４９の中へ、ペグ２４５を挿入することによって、バルブ・スプールがバルブ・ハウジングに対して回転することを防止することができる。長いスロット２４９の長さによって、バルブ・スプール１０７の軸状の移動も制限される。
【００１６】
容器１１３からの物品の取り出しにバルブ１０１を使うために、バルブは図１に示すように容器と接続される。その結果、図３に示すように、２つのボトム・ポート１３１、１３３が容器１１３の内側へ延びており、２つのサイド・ポート１４１、１４３が容器１１３から外側へ延びている。サイド・ポート１４１、１４３の１つにガス供給ライン（図示せず）が接続され、サイド・ポートの他方に物品移送ライン（図示せず）が接続される。チューブ（図示せず）が、中央側ボトム・ポート１３１から容器の中に含まれている物品の中へ延びるように、中央側ボトム・ポート１３１に接続されることも好ましい。ガス供給ラインと物品移送ラインとをサイド・ポート１４１、１４３に接続する方式は、容器から物品を取り出す方法に依存している。
【００１７】
１つの操作モードでは、バルブ１０１をバブリング（bubbling）に用いることができる。バブリング・モードでは、ガス供給ライン（図示せず）は中央側サイド・ポート１４１に接続され、物品移送ライン（図示せず）はオフセット側サイド・ポート１４３に接続される。従って、バルブ・スプール１０７がその開いた状態（図５Ａ）にある場合に、ガス供給ラインからバルブの中へのガスの流れは、中央側サイド・ポート１４１を通り、第２の環状溝１６７を通り、中央側ボトム・ポート１３１を通ってバルブ１０１から出て、およびチューブ（この操作モードでは、スパーリング・チューブである）（図示せず）を通って、物品の中に入る。物品は、スパーリング・チューブを通して物品の中へ保護ガスを注入することによって形成されるガス気泡の中で気化し、その結果、気化させる物品のためのキャリヤーガスになる。キャリヤーガスおよび物品蒸気は、オフセット側ボトム・バルブ１３３を通して、バルブ１０１に流入し、第１の環状溝１６５を通して、オフセット側サイド・ポート１４３を通してバルブから出て、その後、キャリヤーガスおよび物品蒸気を所望の位置へ導く物品移送ラインの中に流入させる。
【００１８】
容器１１３から所望の量の物品を取り出すと、ノブ２１９を回して、バルブ・スプール１０７をその閉じた状態（図５Ｂ）へ移動させる。閉じた状態において、２つのボトム・ポート１３１、１３３は第１の環状溝１６５を通して互いに接続しているが、その他について容器１１３はシールされている。他方で、２つのサイド・ポート１４１、１４３はバイパス１７１を通して互いに接続されている。従って、保護ガスは、中央側サイド・ポート１４１を通ってガス供給部からバルブ１０１中へ流入し、バイパス１７１を経由してバルブを通り、オフセット側サイド・ポート１４３を通ってバルブの外部へ流出する。このようにして、保護ガスを用いて、オフセット側サイド・ポート１４３および物品移送ラインをフラッシュし、そこからの物品の排出を促進することができる。
【００１９】
操作のもう１つのモードでは、容器１１３から液状物品を閉じた移送モードで移送するために、バルブ１０１を用いることができる。バブリング・モードから液状物品の閉じた移送モードへバルブ１０１を転化させるために必要とされることは、ガス供給ライン（図示せず）および物品移送ライン（図示せず）のサイド・ポート１４１、１４３への接続を逆転させるか、またはチューブを中央側ボトム・ポート１３１から切り離し、チューブを（もしくは他の好適なチューブを）オフセット側ボトム・ポート１３３に接続することである。従って、液状物品の閉じた移送モードの操作のために、オフセット側サイド・ポート１４３にガス供給ラインを接続し、中央側サイド・ポート１４１に物品移送ラインを接続する。バルブ１０１がその開いた状態にある場合に、ガス供給部からのガスを、オフセット側サイド・ポート１４３、第１の環状溝１６５、およびオフセット側ボトム・ポート１３３を通して、容器１１３を加圧するために用いることができる。液状物品は、中央側ボトム・ポート１３１に接続されるチューブ（この場合にはディップ・チューブとして機能する）（図示せず）を流れて、中央側ボトム・ポートを通ってバルブの中に入り、第２の環状溝１６７を通って、中央側サイド・ポート１４１を通ってバルブから出て、そして物品移送ラインへ流入する。容器１１３から所望量の液状物品が取り出されると、ノブ２１９を回して、バルブ・スプール１０７をその閉じた状態へ移動させる。バブリング・モードの場合と同様に、バルブ１０１がその閉じた状態（図５Ｂ）にある場合に、第１の環状溝１６５を通して２つのボトム・ポート１３１、１３３は相互に連絡しているが、その他について容器１１３はシールされている。一方、保護ガスはオフセット側サイド・ポート１４３を通って、バルブ１０１の中に流入し、バイパス１７１を通り、中央側サイド・ポート１４１を通って出て、それによってそこからの物品のパージを促進する。
【００２０】
図６〜８Ｂは、全体として符号１００１で示される本発明の第２の態様例に係るバルブを示している。例外として特に記載する事項を除いて、バルブ１００１は、上述したバルブ１０１と同様である。バルブ１００１はバルブ・ハウジング１００３を有しており、バルブ・ハウジング１００３は中央側ボア１００５を有している。中央側ボア１００５は円筒形態のバルブ・スプール１００７を収容しており、バルブ・スプール１００７は、（図８Ａに示す）開いた状態と（図８Ｂに示す）閉じた状態との間で軸方向に移動することができる。ボア１００５はハウジング１００３の中の一部分に延びており、ボア１００５の一方の端部１００５ａは閉じている。
【００２１】
バルブ１０１について上述したのと同様に、２つのボトム・バルブ・ポート１０３１、１０３３と、２つのサイド・バルブ・ポート１４１、１４３とは、ボア１００５と連絡している。しかしながら、バルブ１０１とは対照的に、バルブ１００１の中央側およびオフセット側のバルブ・ポート１０３１および１０３３は、それらにチューブを接続するために、いずれもネジ溝が設けられている。ボトム・ポート１０３１と１０３３とは、（例えば、異なる寸法に形成することによって）互いに容易に識別できることが好ましい。例えば、図６に示すように、中央側ボトム・ポート１０３１は、特定のチューブ（例えば、スパージングチューブ（sparging tube）、図示せず）をそこに接続し得る寸法に形成されたネジ溝付きボア１０３１ａを有することができ、その一方で、オフセット側ボトム・ポート１０３３は、該オフセット側ボトム・ポートに前記特定のチューブを誤って接続することを防止するために、前記特定のチューブを接続するには不適切な寸法を有するネジ溝付きボア１０３３ａを有することができる。オフセット側ボトム・ポート１０３３のネジ溝付きボア１０３３ａは、異なるチューブ（例えばディップ・チューブ、図示せず）をそこに接続するための寸法とすることができ、その場合に、中央側ボトム・ポート１０３１のネジ溝付きボア１０３１ａと寸法が異なることによって、そのチューブ（例えばディップ・チューブ）を中央側ボトム・ポートに誤って接続することを防止することができる。
【００２２】
バルブ１０１に関連して上述したのと同様の方法で、第１および第２の環状溝１６５、１６７が、バルブ・スプール１００７の円筒状外側表面１０６１に形成されている。従って、バルブ・スプールがその開いた状態（図８Ａ）にあるときに、オフセット側サイド・ポート１４３は第１の環状溝１６５を通してオフセット側ボトム・ポート１０３３と連通しており、中央側サイド・ポート１４１は第２の環状溝１６７を通してボトム・ポート１０３１と連通している。
【００２３】
バルブ・スプール１００７にはバイパス１０７１が形成されており、バイパス１０７１は第２の環状溝１６７からスプール１００７の端部に形成されたバイパス・ポート１０７３へ延びている。バイパス・ポート１０７３は、第１および第２の環状溝１６５、１６７の両者よりも、スプール１００７の長手方向中央部から相対的に離れて位置する。例えば、図８Ａおよび８Ｂを参照すると、図に示す態様のバイパス１０７１は、開放端を有する長手方向経路１０８１と、該長手方向経路１０８１から第２の環状溝１６７へ延びるバルブ・スプールの中の１つの半径方向ボア１８３とを有している。スプールの端部における長手方向経路１０８１の開放端は、バイパス・ポート１０７３となっている。重要な事項は、閉じた端部１００５ａを有するボア１００５を形成し、長手方向経路１０８１の開放端をバイパス・ポート１０７３として使用することによって、その閉じた端部においてバルブ１００１から物品が漏れ得るという可能性が実質的に低減されることである。バルブ・スプールの外側表面１０６１に第３の環状溝を形成する必要が全くないという事項だけではなく、スプール１０８１内の長手方向経路の端部を閉塞させる必要が全くないという事項によっても、スプール１００７を形成するコストが下げられる。同様に、スプール１００７内にバイパス通路１０７１を形成することは、単独の半径方向ボア１８３のみを形成する（すなわち、上述した半径方向ボア１８５は排除される）ということを必要とする。さらに、ボア１００５の閉じた端部をシールするためのＯリングを必要としない（すなわち、バルブ１０１は排除される）ことによって、更にコストを節約することができる。図８Ａおよび８Ｂに示すように、例えばバイパス・ポート１０７３は、ボア１００５の隣接する端部（ブラインド端部）に連通している。更に、バルブ・スプール１００７の外側表面およびハウジング１００３の両者にはわずかに３つのＯリング１９５'、１９５''、１９５'''が係合して、ポート１４１、１４３、１０３１、１０３３、およびバイパス１０７１を通ることを除いて、第１および第２の環状溝１６５、１６７およびバイパス・ポート１０７３を相互に、ならびにバルブ１００１の外部から、シールする。
【００２４】
バルブ１００１はバルブ・スプール・アクチュエータ２１９をも有しており、該バルブ・スプール・アクチュエータ２１９は、バルブ・スプール１００７を上述したようにその開いた状態（図８Ａ）と閉じた状態（図８Ｂ）との間で軸方向に進退して動かすように操作することができる。バルブ１００１を用いて、バルブ１０１に関連して一般に上述した方法と同様の方法で、バブリング・モードまたは液状物品の閉じた移送モードのいずれかで、容器１１３から物品を取り出すことができる。バルブ・スプール１００７がその開いた状態（図８Ａ）にある場合に、バイパス・ポート１０７３はボア１００５の閉じた端部１００５ａにおける終端部(dead end）である。バルブ・スプール１００７がその閉じた状態（図８Ｂ）にある場合に、バルブ１００１を閉じた際に、バルブ・スプール１００７が退避することによって設けられたボア１００５の端部の空間（volume）を通して、バイパス・ポート１０７３はオフセット側サイド・ポート１４３に連絡する。従って、保護ガスを用いるパージングは、上述した方法と本質的に同様にして達成することができる。
【００２５】
さらに、バルブ１００１のバルブ・スプール・アクチュエータ２１９は、場合によってバルブ・ロック１１０１を有している（図８Ｂに最も良好に示されている）。バルブ・ロック１１０１は、ハウジング１００３に対するバルブ・スプールの移動を拘束することによって、バルブ・スプール１００７を選択的に特定の位置（例えば閉じた状態）にロックする操作を行うことができる機構である。例えば、バルブ・ロック１１０１は、バルブ１００１が装備された化学薬品の容器を安全に移送するために、バルブ・スプール１００７をその閉じた状態にロックするように用いることができる。
【００２６】
例えば、図８Ｂに示すバルブ・ロック１１０１はバルブ・スプール・リテーナ（valve spool retainer）１１０７（例えば保持ヘッド）を有しており、バルブ・スプール・リテーナ１１０７はバルブ・スプール１００７の端部１２１５におけるネジ溝付きボア１１０５の中にねじ込むことができるシャフト１１０３を有している。バルブ・スプール１００７がその閉じられた状態にある場合（図８ｂ）には、シャフト１１０３をボア１１０５の中にネジ込んで、リテーナ１１０７がバルブ作動ノブ２１９の端部に隣接する（例えば、接触する）状態にすることができる。リテーナ１１０７は、（例えば、リテーナ１１０７の直径をボア２１７の直径よりも少なくともわずかでも大きく形成することによって）バルブ作動ノブ２１９の端部において、ネジ溝付きボア２１７の中へリテーナ１１０７が動くことが妨げられるように構成されている。バルブ・ロック１１０１がこの位置にある場合に、リテーナ１１０７とバルブ作動ノブ２１９との間の接触によって、バルブ・スプール１００７をその開いた状態へ動作させ得るバルブ作動ノブ２１９の回転を防止することができる。その結果として、バルブ作動ノブ２１９を回転させるために、ボアから十分な距離へシャフト１１０３のネジが緩められて、バルブ・スプール１００７がその開いた状態へ移動するまで、バルブ・スプール１００７はその閉じた状態にロックされて留まることになる。同様のバルブ・ロックをバルブ１０１と共に使用することもできるし、本発明の範囲を逸脱することなく、そのバルブ・ロックを省略することもできると理解されたい。本発明の範囲を逸脱することなく、バルブ・スプール１００７をロックするために種々の機構を用いることができる。
【００２７】
従来技術を熟知している当業者は、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した典型的な態様例を種々の方法で変更することができると理解するであろう。例えば、バルブ１００１を通る通路の構成（configuration）は、本発明の範囲を逸脱することなく、上述したおよび図面に示したもの以外の構成であってもよい。同様に、ポートおよび対応する通路の相対的な位置は、本発明の範囲を逸脱することなく、変更することができる。さらに、本発明の範囲を逸脱することなく、ポートをチューブ、ガス供給ラインおよび物品移送ラインに接続するために、様々の異なるタイプのコネクタを用いることができる。さらに、本明細書において用いた「ボトム」（底部）および「サイド」（側方）という用語は、図面に示すような向きに配置される場合のバルブを指している。本発明の範囲を逸脱することなく、バルブ１００１は種々の方法で（または形態で）回転させ得ると理解されたい。（例えば、ボアがハウジングを通って部分的に延びるように形成することによって、）ボア１０５の一端を閉鎖させて、物品が周囲の環境の中にリーク（または漏れ出）したりおよび／またはバルブ・スプールとハウジングとの間の接続部を通って、汚染物質がバルブの中にリークしたりし得る可能性を低減することも望ましい。
【００２８】
本発明の要素またはそれの好適な態様例を紹介する場合に、「ａ」（１つの）、「ａｎ」（１つの）、「ｔｈｅ」（その）、及び「ｓａｉｄ」（前記の）という冠詞等は、１つ又は複数の要素があることを意図するものである。「ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ」（含んでなる）、「ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ」（含む）及び「ｈａｖｉｎｇ」（有する）という用語は、包含する関係であることを意図するものであって、記載した事項以外の追加的な要素が存在してもよいことを意味する。
【００２９】
上述した事項を考慮すると、本発明の複数の目的が達成されること、およびその他の有利な効果が達成されることが理解される。
【００３０】
本発明の範囲を逸脱することなく、上述した構成について種々の変更を行うことができるので、上記発明の詳細な説明に含まれていたおよび添付図面に示されたすべての事項は、例示を目的とするものであって、限定することを意図してはいないということに、留意されたい。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】図１は、本発明のバルブの１つの態様例の斜視図である。
【図２】図２は、図１に示すバルブの端面図である。
【図３】図３は、図１に示すバルブの底面図である。
【図４】図４は、図１に示すバルブの側面図であって、バルブの一部を断面によって示している。
【図５】図５は、図２における５−５線についてのバルブの断面図である。図５Ａおよび５Ｂは開いた状態および閉じた状態を示している。
【図６】図６は、本発明のもう１つの態様におけるバルブを示している。
【図７】図７は、図６に示すバルブの側面図であって、バルブの一部を断面によって示している。
【図８】図８は、図６に示すバルブの（図２における５−５線に対応する平面に）ついてのバルブの断面図である。図８Ａおよび８Ｂは開いた状態および閉じた状態を示している。
【技術分野】
【０００１】
（発明の技術分野）
この発明は、一般に、容器から化学薬品（または化学的物品（chemical products))を取り出すために用いられるバルブであって、その容器から物品を移すためにガスが用いられるバルブ、特に、容器の中へガスを入れるための通路および容器から生成物を出すための通路を有するスプール弁（spool valve）に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体を製造するために必要とされる物質は、しばしば毒性を有しおよび／または化学的に高い活性を有する（または化学的に攻撃的（chemically aggressive)である）。光学ファイバー技術（fiber optic technology）において、毒性を有しおよび化学的に高い活性を有する酸ハロゲン化物は、一般に、ガラス容器またはステンレス鋼容器の中に貯蔵される。これらの物質の貯蔵および移送のために用いられる容器内の不純物は、かなりの問題をもたらす可能性があり、従って除去する必要がある。そのような用途のために、物品をその容器から移したり、容器の外に出すために、保護ガス、例えば不活性ガスを用いて、化学的に耐性を有するスプール弁を使用して、物品を容器から取り出すことができる。大部分の場合に、連結したラインを、取り出した後にフラッシング（flushing）するために、保護ガスも用いられる。ステンレス鋼容器から物品を取り出すために、鋼製のボールバルブを用いることもできる。ガラス容器には、プラグバルブが用いられている。プラグバルブを用いて保護ガスによりフラッシングすることはできるが、適切にシールすることができない。この種の用途に、その他のガラスおよび／またはＰＴＦＥバルブも用いられている。
【０００３】
米国特許第４，８０５，６７５号（以下、「６７５特許」とも称する）は、１つの特定のバルブがスプール弁（spool valve）である発明を開示している（その開示事項は、引用することによって本明細書に組み込まれる）。６７５特許のスプール弁は、バルブ・ハウジングの中を通るボア（bore）の中で、軸方向に移動することができる円筒形態のバルブ・スプールを有している。バルブ・スプールはその外側表面に第１の環状溝を有している。バルブの開いた状態において、第１の環状溝は、物品供給ライン（product supply line）を物品取出ライン（product withdrawal line）に連絡させている。例えば、物品供給ラインはディップ・チューブ（dip tube）であってよく、物品取出ラインは物品が供給されることになっている場所へ至るラインである。バルブの開いた状態において、バルブ・スプールはその外側表面に第２の環状溝をも有している。第２の環状溝は、保護ガス供給ラインをガス注入ラインに連絡させている。例えば、保護ガス供給ラインは、保護ガスの加圧された供給源からバルブに至るラインであってよく、ガス注入ラインは、バルブから容器の中へ至るラインであってよい。バルブ・スプールの外側表面には、第３の環状溝が形成されている。第３の環状溝は、スプールの軸に沿って第２の環状溝と第３の環状溝との間に第１の環状溝が位置するように形成されている。第３の環状溝はバルブ・スプールの中を通るバイパス通路によって第２の環状溝に連絡しており、従って、第１の環状溝内の圧力と等しい圧力を有するガスによって第３の環状溝は満たされている。従って、バルブを通る物品の通路として用いられる第２の環状溝は、その両側に第１の環状溝および第３の環状溝内の保護ガスが存在するので、従って（６７５特許によって）、ハウジングとスプールとの間の接続部（joint）を通して、容器の外部から第２の溝の中へ汚染物質が進入（leak）する可能性を低減し、および、に漏る汚染のリスクを減少させて、物品が第２の溝からバルブの外へ漏れる（leakする）可能性を低減することができる。さらに、バルブがその閉じた状態にある場合に、第２の環状溝はガス供給ラインと連通する状態に留まっているが、ガス取出ラインとは（連通状態から）シールされている。バルブがその閉じた状態にある場合に、第３の環状溝も物品取出ラインと接続される。それによって、物品取出ラインを保護ガスによってフラッシングし、物品取出ラインおよびバルブの部分から物品をパージする。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
６７５特許に開示されているバルブは、いくつかの問題点を有していた。第一に、バルブ・スプールに環状溝を形成することはコストが高くつく。また、バイパス通路を製造するためには、長手方向のボアを形成すること、２つの半径方向ボアを形成すること、および長手方向のボアの端部を閉塞すること（plugging）が必要とされる。さらに、物品が停滞するバルブ内部の空間（すなわちデッドスペース）の規模を減少させることが望ましい。デッドスペースは望ましいものではない。それは、（活性な物品を使用した場合に）活性な物品が、バルブの構成に用いられた物質、特にバルブの使用と使用との間で、金属またはバルブ成分から抽出され得るその他の汚染物質が浸出することによって、反応し得るためである。デッドスペースは、また、同じバルブを用いて、異なる物品のバッチを保持している容器から物品を移す場合に、物品の異なるバッチの交差汚染（cross contamination）のリスクをも増大させる。さらに、物品供給チューブおよびガス取出ラインの連結用のポートは外観が非常に近似しており、意図されている用途のために、バルブに物品供給チューブおよびガス取出ラインを適切に接続することができないというリスクを増大させ得る。さらに、有毒な（または有害な）化学薬品と共にバルブを使用する場合に、バルブ・ハウジングとバルブ・スプールとの間の接続部を通してバルブの外へ化学薬品が漏れるというおそれもある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（発明の概要）
易流動性物品の供給物を含有する容器から、易流動性物品を取り出すためのバルブは、１つの態様例において、長軸を有する円筒形態のボア（cylindrical bore）を規定するハウジングを有している。ハウジングは、第１および第２のボトム・ポートと、第１および第２のサイド・ポートとを有しており、第１および第２のボトム・ポートはボアと連絡しており、ならびに第１および第２のサイド・ポートもボアも連絡している。ボアには円筒形態のバルブ・スプールが収容されており、バルブ・スプールはボアの中で、ボアの長軸に沿って軸方向に動くことができる。バルブ・スプールは円筒状外側表面を有している。円筒状外側表面にはその軸方向に沿って分布させて第１の環状溝および第２の環状溝が設けられている。バルブ・スプール内では、バルブ・スプールの半径方向ボアを通る第２の環状溝からバイパス・ポートへバイパスが延びている。半径方向ボアは、バルブ・スプールの円筒状外側表面との交点へ延びている。交点の位置において、バルブ・スプールの外側表面には環状溝は実質的に存在していない。スプールには、第２の環状溝とバイパス・ポートとの軸方向の間に、第１の環状溝が配置されている。バルブは、ボアの中で第１の状態と第２の状態との間でバルブ・スプールを選択的にスライドさせるためのバルブ・スプール・アクチュエータをも有している。スプールが第１の状態にある場合に、第１のボトム・ポートは第１の環状溝を通して第１のサイド・ポートと連絡しており、ならびに、第２のボトム・ポートは第２の環状溝を通して第２のサイド・ポートと連絡している。スプールが第２の状態にある場合に、第１のボトム・ポートと第２のボトム・ポートとは第１の環状溝を通して相互に連絡しており、ならびに、第１のサイド・ポートと第２のサイド・ポートはバイパスおよび第２の環状溝を通して相互に連絡している。
【０００６】
易流動性物品の供給物を含有する容器から、易流動性物品を取り出すためのバルブは、もう１つの態様例において、長軸を有する円筒形態のボアを規定するハウジングを有している。ボアは、ハウジングの一部を通って延びている。ハウジングは、第１および第２のボトム・ポートと、第１および第２のサイド・ポートとを有しており、第１および第２のボトム・ポートはボアと連絡しており、ならびに第１および第２のサイド・ポートもボアと連絡している。ボアには円筒形態のバルブ・スプールが収容されており、バルブ・スプールはボアの中で、ボアの長軸に沿って軸方向に動くことができる。バルブ・スプールは円筒状外側表面を有している。円筒状外側表面にはその軸方向に沿って分布させて第１の環状溝および第２の環状溝が設けられている。バルブ・スプール内では、第２の環状溝からバルブ・スプールの１つの端部におけるバイパス・ポートへバイパスが延びている。スプールの第２の環状溝とバルブ・スプールの前記１つの端部との軸方向の間に、第１の環状溝が配置されている。バルブは、ボアの中で第１の状態と第２の状態との間でバルブ・スプールを選択的にスライドさせるためのバルブ・スプール・アクチュエータをも有している。スプールが第１の状態にある場合に、第１のボトム・ポートは第１の環状溝を通して第１のサイド・ポートと連絡しており、ならびに、第２のボトム・ポートは第２の環状溝を通して第２のサイド・ポートと連絡している。スプールが第２の状態にある場合に、第１のボトム・ポートと第２のボトム・ポートとは第１の環状溝を通して相互に連絡しており、ならびに、第１のサイド・ポートと第２のサイド・ポートはバイパスおよび第２の環状溝を通して相互に連絡している。
【０００７】
その他の目的および特徴は、以下に記載する説明によって明らかになるであろう。
対応する参照文字は図面にわたって対応する部分を示している。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
（好適な実施形態の説明）
最初に図１〜５Ｂを参照すると、本発明の１つの態様例におけるバルブが、全体として符号１０１で示されている。バルブ１０１は、中央側ボア１０５を有するバルブ・ハウジング１０３を有しており、該中央側ボア１０５には、（図５Ａに示す）開いた状態と（図５Ｂに示す）閉じた状態との間で軸方向に移動することができる円筒形態のバルブ・スプール１０７が収容されている。バルブ・ハウジング１０３およびバルブ・スプール１０７は、化学反応に対して高い耐性を有し、金属およびその他の抽出性の汚染物質を低レベルで有する不活発な材料によって形成されることが好ましい。１つの態様例において、バルブ・ハウジング１０３とバルブ・スプール１０７は、完全フッ素化されたポリマー、例えば、ＰＦＡ、ＴＦＥ、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥまたはそれらと同系統のフッ素化ポリマーを有している。
【０００９】
バルブ・ハウジング１０３の下側には、図１において破線で示すような口の開いた容器１１３に対して、バルブ１０１を脱着可能に接続するためのコネクタ１１１が設けられている。容器１１３には、活性が高い化学的性質を有する化学物質（図示せず）、例えば高純度酸ハロゲン化物、例えば四塩化ケイ素、ゲルマニウム（ＩＶ）塩化物、オキシ塩化リンなどが入っている。例えば、図４に示すように、コネクタ１１１は、ハウジングの底部に円筒形態のフィッテング１１５を有することができる。フィッテング１１５は、容器１１３の口に形成された対応するカラーにねじ止めされることに適応するユニオンナット１２１を保持する外側ネジ溝を有している。フィッテング１１５の外側ネジ溝およびユニオンナット１２１の対応するネジ溝は左巻きのネジであり、一方、ユニオンナット１２１のその他のネジ溝は、右巻きのネジ溝が設けられている容器１１３にコネクタ１１１をねじ込むために、右巻きのネジ溝であることが好ましい。容器１１３に対するバルブ１０１の接続をシールするために、Ｏリング１２５（図４）を設けることができる。Ｏリング１２５は、活性の高い化学薬品の分解に対する耐性を有することが好ましい。例えば、Ｏリング１２５を、完全フッ素化されたエラストマー（例えば、テフロン（登録商標）（Ｅ．Ｉ．Ｄｕ Ｐｏｎｔ Ｄｅ Ｎｅｍｏｕｒｓ ａｎｄ Ｃｏｍｐａｎｙ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ，ウィルミントン、デラウェア州））によって被覆して、Ｏリングが化学薬品を汚染する可能性を低減することができる。別法として、Ｏリング１２５は、完全フッ素化されたエラストマー（ＦＦＫＭ）、例えばＳｉｍｒｉｚ（登録商標）ＳＺ４８５（Ｆｒｅｕｄｅｎｂｅｒｇ−ＮＯＫの事業所であるＳｉｍｒｉｔ（プリマス（Ｐｌｙｍｏｕｔｈ）、ミシガン州）から入手可能である）、またはＫａｌｒｅｚ（登録商標）４０７９（Ｄｏｗ Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ Ｅｌａｓｔｏｍｅｒｓ（ウィルミントン（Ｗｉｌｍｉｎｇｔｏｎ），デラウェア州（前身はＤｏｗ ＤｕＰｏｎｔ Ｅｌａｓｔｏｍｅｒｓ社）から入手可能である）を用いて形成して、化学薬品の汚染のリスクを低減することもできる。化学的に耐性を有する材料によって被覆されたＯリング１２５は、優れた初期特性を提供するかもしれないが、時間の経過とともに一体性（ｉｎｔｅｇｒｉｔｙ）を失うおそれがあるため、コストは高くなるかもしれないが、ＦＦＫＭ製のＯリングを用いることが好ましい。
【００１０】
２つの底部のバルブ・ポート１３１、１３３がフィッテング１１５に形成されており、バルブ・ハウジング１０３の中のボア１０５と連絡している。図に示すボトム・ポート１３１、１３３は相互に全体として互いに平行であって、実質的に垂直にボア１０５に連絡している。ボトム・ポート１３１と１３３とは、ボア１０５の長軸に沿って、それぞれオフセットされている。例えば、図５Ａおよび５Ｂに示す態様では、１つのボトム・ポート１３１（以下、「中央側ボトム・ポート（central bottom port）」とも称する）は、ボアの長手方向中央部に比較的近い位置にてボア１０５に連絡しており、他方のボトム・ポート１３３（以下「オフセット側ボトム・ポート（offset bottom port）」とも称する）はボアの長手方向中央部から比較的離れた位置にてボアに連絡している。中央側ボトム・ポート１３１と１３３とは相互に容易に区別できることが好ましく、そのことは、例えばスパージング・チューブ（図示せず）をボトム・ポートの１つに接続すべき場合に有用である。例えば、１つの態様例では、（例えば、図３および４において破線で示すような内側のネジ溝を形成することによって）中央側ボトム・ポート１３１はそのようなチューブ（図示せず）を該ポートに接続するために適合化されている。そして、（例えば、図３および４において破線で示すような内側のネジ溝が存在しないことによって）オフセット側ボトム・ポートにチューブを誤って接続することを防止することができる。別の態様例（図示せず）において、中央側ボトム・ポート１３１は特定のねじシステムによってチューブを連結するために適合化されており、オフセット側ボトム・ポート１３３は異なるタイプのねじシステムによってチューブを連結するために適合化されている。例えば、中央側ボトム・ポート１３１およびオフセット側ボトム・ポート１３３の一方が右巻きネジを有し、および他方は左巻きネジを有するようにすることができる。同様に、中央側ボトム・ポート１３１およびオフセット側ボトム・ポート１３３の一方が雄ネジを有し、および他方は雌ネジを有するようにすることができる。更に別の態様例（図示せず）では、中央側ボトム・ポート１３１は特定の直径（例えば３／８インチ）を有するチューブを接続するために適合化されており、オフセット側ボトム・ポート１３３は異なる直径（例えば１／４インチ）を有するチューブを接続するために適合化されていてよい。容器１１３から物品を移すためにバルブ１０１を用いる際に、ガスは、２つのボトム・ポート１３１および１３３のうちの１つを通して容器に注入され、そのポートは以下においてより詳細に説明するように操作モードによって変わり得るのであって、そして物品は２つのボトム・ポートの他方を通って容器の外へ流出する。
【００１１】
バルブ・ハウジング１０３の側面に、２つのサイド・バルブ・ポート１４１、１４３が設けられて、それらはボア１０５に連絡している。図示する態様のサイド・ポート１４１、１４３は、全体として平行であって、ハウジング１０３の対向する側方（または側壁）に水平に連絡している。サイド・ポート１４１、１４３には、それらにガス供給ライン（図示せず）および物品取り出しライン（図示せず）を容易に接続することができるように、フィッティング１４５を（例えば、サイド・ポートにねじ込むことによって）接続することができる。サイド・ポート１４１および１４３は、ボア１０５の長軸に沿って互いにオフセットされている。例えば、図５Ａおよび５Ｂを参照すると、一方のサイド・ポート１４１（以下「中央側サイド・ポート（central side port）」とも称する）はボアの長手方向中央部に比較的近い位置にてボア１０５に連絡しており、他方のサイド・ポート１４３（以下「オフセット側サイド・ポート（offset side port）」とも称する）はボアの長手方向中央部から比較的離れた位置にてボアに連絡している。図５Ａおよび５Ｂに示す態様において、オフセット側サイド・ポート１４３は、ボトム・ポート１３１、１３３がボアと連絡する位置よりも相対的に、ボアの長手方向中央部から離れた位置にて、ボア１０５と連絡しており、中央側サイド・ポート１４１は、ボトム・ポート１３１、１３３がボアと連絡する位置よりも相対的に、ボアの長手方向中央部に近い位置にて、ボア１０５と連絡している。その結果、ボトム・ポート１３１、１３３は、ボア１０５の長軸上において、サイド・ポート１４１とサイド・ポート１４３との間に配置されている。容器１１３から物品を取り出す際に、（以下に説明するように、操作のモードに依存するが、）２つのサイド・ポート１４１、１４３のうちの一方が保護ガスの供給部（図示せず）に接続され、他方のサイド・ポートが、物品移送ライン（図示せず）に接続される。
【００１２】
本明細書に例外として特に記載する場合を除いて、バルブ・スプール１０７は実質的に円筒形態の外側表面１６１を有している。第１の環状溝１６５はこの円筒状外側表面１６１に形成されている。バルブ・スプール１０７が開いた状態にある場合（図５Ａ）には、オフセット側サイド・ポート１４３は第１の環状溝１６５を通って、オフセット側ボトム・ポート１３３と連通している。バルブ・スプール１０７の円筒状外側表面１６１には、第２の環状溝１６７も形成されている。図示する態様例において、第２の環状溝１６７はバルブ・スプール１０７の長手方向中央部の相対的により近くに位置しており、第１の環状溝１６５はバルブ・スプールバルブの長手方向中央部から相対的により離れて位置している。バルブ・スプール１０７がその開いた状態にある場合（図５Ａ）には、中央側サイド・ポート１４１は第２の環状溝１６７を通って中央側ボトム・ポート１３１と連通している。
【００１３】
バルブ・スプール１０７の中にはバイパス１７１が設けられており、該バイパス１７１は、第２の環状溝１６７から、スプール１０７の円筒状外側表面１６１に形成されたバイパス・ポート１７３へ延びている。図示する態様例において、バイパス・ポート１７３は、スプール１０７の長手方向中央部から、第１の環状溝１６５および第２の環状溝１６７の両者よりも、相対的に離れて位置している。例えば、図５Ａおよび５Ｂを参照すると、図示する態様例のバイパス１７１は、スプール１０７内の長手方向の通路１８１、該長手方向の通路１８１から第２の環状溝１６７へ延びるバルブ・スプール内の第１の半径方向ボア１８３、ならびに、該長手方向の通路からバイパス・ポート１７３へ延びるスプール内の第２の半径方向ボア１８５を有している。プラグ１８７は、長手方向の通路１８１の端部をシールするために用いられている。重要なことは、バルブ・スプールの実質的に円筒形態の外側表面と半径方向ボア１８５との交点において、バルブ・スプールの外側表面１６１に環状溝を形成することなく、バルブ・スプール１０７にバイパス・ポート１７３を形成することであって、それによってバルブ１０１を製造するコストを低減することができる。例えば、図５Ａおよび５Ｂに示す態様例において、バルブ・スプールの円筒状外側表面１６１と半径方向ボア１８５との交点１９１に、バイパス・ポート１７３が形成されている。さらに、バルブ・スプール１０７の外側表面１６１には、前記交点１９１の位置において、実質的に環状溝が設けられていない。バルブ・スプール１０７がその閉じた状態にある場合（図５Ｂ）に、ボトム・ポート１３１、１３３は互いに第１の環状溝１６５を通して連通している。その場合に、サイド・ポート１４１、１４３は、バイパス１７１を通して相互に連通している。バルブ・スプール１０７がその閉じた状態（図５Ｂ）にある場合に、ボトム・ポート１３１、１３３とサイド・ポート１４１、１４３との間には、流体が実質的に流通することはない。
【００１４】
図５Ａおよび５Ｂに示すように、バルブ・スプール１０７の外側表面１６１に軸方向に沿って設けられた一連の４つの環状チャンネルには、それぞれ４つのＯリング１９５'、１９５''、１９５'''および１９５''''の１つが取り付けられている。Ｏリングは、バルブ・ハウジング１０３とバルブ・スプール１０７との同時的な係合によって、シールを形成している。第１のＯリング１９５'は、バルブ・スプール１０７とバルブ・ハウジング１０３との間の接続部と、第２の環状溝１６７との間にてシールを形成している。第２のＯリング１９５''は、第２の環状溝１６７と第１の環状溝１６５との間にてシールを形成している。第３のＯリング１９５'''は、バイパス・ポート１７３と第１の環状溝１６５との間にてシールを形成している。第４のＯリング１９５''''は、バルブ・スプール１０７とバルブ・ハウジング１０３との間の接続部と、バイパス・ポート１７３との間にてシールを形成している。Ｏリング１９５'、１９５''、１９５'''および１９５''''は、化学反応に対して高い耐性を有し、金属またはその他の抽出性の汚染物質を低レベルで有する弾性材料によって形成されることが好ましい。例えば、Ｏリング１９５'、１９５''、１９５'''および１９５''''は、完全フッ素化されたエラストマー（ＦＦＫＭ）、例えばＳｉｍｒｉｚ（登録商標）ＳＺ４８５および／またはＫａｌｒｅｚ（登録商標）４０７９により形成することができる。更に図５Ａおよび５Ｂを参照すると、バルブ・ハウジング１０３のボア１０５に、一連の円周溝２０１を設けることが好ましい。それらの位置は、バルブ・スプール１０７がその開いた状態（図５Ａ）とその閉じた状態（図５Ｂ）との間で進退する動きによって、Ｏリング１９５'、１９５''、１９５'''および１９５''''が摩擦によって摩耗することを低減するように、各ポート１３１、１３３、１４１および１４３がボアと連絡する位置と同心円となるボア１０５に長手方向に沿って分布する位置である。所望する場合には、バルブ１０１のリーク（または漏れ）を更に防止するために、追加的なＯリングを用いることもできる。
【００１５】
バルブ１０１は、バルブ・スプール１０７のその開いた状態（図５Ａ）とその閉じた状態（図５Ｂ）との間で進退する動きを操作することができるように、バルブ・スプール・アクチュエータ２１１を更に有することもできる。例えば、図示する態様例において、バルブ・スプール１０７の一端２１５は、作動ノブ２１９の雌ネジ溝２１７に係合する雄ネジ溝を有している。作動ノブ２１９は、バルブ・スプール１０７の長軸まわりで回転し得るように、バルブ・ハウジング１０３に回転自在に取り付けられている。しかしながら、ノブ２１９は、バルブ・ハウジング１０３に対して、バルブ・スプール１０７の長軸の向きに動くこと（または並進運動すること）については、拘束されている。例えば、図示する態様例において、ノブ２１９は、バルブ・ハウジング１０３に形成されている対合ボア２２７の内側に嵌る寸法のボス２２５を有している。ボスが対合ボア２２７の中に進入する際に、バルブ・ハウジング１０３に形成される１対のスルーホール２３３と環状溝２２９とが位置合わせされるように、ボス２２５の外側表面に環状溝２２９が形成されている。スルーホール２３３を通してピン２３５が挿入されると、ボス２２５の中に形成された環状溝２２９とピンとが係合することによって、バルブ・ハウジング１０３に対してノブ２１９が軸方向も移動することが拘束される。従って、ノブ２１９を回転させることによって、バルブ・スプール１０７を、バルブ・ハウジング１０３のボア１０５の中で軸方向に移動させることができる。バルブ・ハウジング１０３のスルーホール２４７を通して、およびバルブ・スプール１０７の長いスロット２４９の中へ、ペグ２４５を挿入することによって、バルブ・スプールがバルブ・ハウジングに対して回転することを防止することができる。長いスロット２４９の長さによって、バルブ・スプール１０７の軸状の移動も制限される。
【００１６】
容器１１３からの物品の取り出しにバルブ１０１を使うために、バルブは図１に示すように容器と接続される。その結果、図３に示すように、２つのボトム・ポート１３１、１３３が容器１１３の内側へ延びており、２つのサイド・ポート１４１、１４３が容器１１３から外側へ延びている。サイド・ポート１４１、１４３の１つにガス供給ライン（図示せず）が接続され、サイド・ポートの他方に物品移送ライン（図示せず）が接続される。チューブ（図示せず）が、中央側ボトム・ポート１３１から容器の中に含まれている物品の中へ延びるように、中央側ボトム・ポート１３１に接続されることも好ましい。ガス供給ラインと物品移送ラインとをサイド・ポート１４１、１４３に接続する方式は、容器から物品を取り出す方法に依存している。
【００１７】
１つの操作モードでは、バルブ１０１をバブリング（bubbling）に用いることができる。バブリング・モードでは、ガス供給ライン（図示せず）は中央側サイド・ポート１４１に接続され、物品移送ライン（図示せず）はオフセット側サイド・ポート１４３に接続される。従って、バルブ・スプール１０７がその開いた状態（図５Ａ）にある場合に、ガス供給ラインからバルブの中へのガスの流れは、中央側サイド・ポート１４１を通り、第２の環状溝１６７を通り、中央側ボトム・ポート１３１を通ってバルブ１０１から出て、およびチューブ（この操作モードでは、スパーリング・チューブである）（図示せず）を通って、物品の中に入る。物品は、スパーリング・チューブを通して物品の中へ保護ガスを注入することによって形成されるガス気泡の中で気化し、その結果、気化させる物品のためのキャリヤーガスになる。キャリヤーガスおよび物品蒸気は、オフセット側ボトム・バルブ１３３を通して、バルブ１０１に流入し、第１の環状溝１６５を通して、オフセット側サイド・ポート１４３を通してバルブから出て、その後、キャリヤーガスおよび物品蒸気を所望の位置へ導く物品移送ラインの中に流入させる。
【００１８】
容器１１３から所望の量の物品を取り出すと、ノブ２１９を回して、バルブ・スプール１０７をその閉じた状態（図５Ｂ）へ移動させる。閉じた状態において、２つのボトム・ポート１３１、１３３は第１の環状溝１６５を通して互いに接続しているが、その他について容器１１３はシールされている。他方で、２つのサイド・ポート１４１、１４３はバイパス１７１を通して互いに接続されている。従って、保護ガスは、中央側サイド・ポート１４１を通ってガス供給部からバルブ１０１中へ流入し、バイパス１７１を経由してバルブを通り、オフセット側サイド・ポート１４３を通ってバルブの外部へ流出する。このようにして、保護ガスを用いて、オフセット側サイド・ポート１４３および物品移送ラインをフラッシュし、そこからの物品の排出を促進することができる。
【００１９】
操作のもう１つのモードでは、容器１１３から液状物品を閉じた移送モードで移送するために、バルブ１０１を用いることができる。バブリング・モードから液状物品の閉じた移送モードへバルブ１０１を転化させるために必要とされることは、ガス供給ライン（図示せず）および物品移送ライン（図示せず）のサイド・ポート１４１、１４３への接続を逆転させるか、またはチューブを中央側ボトム・ポート１３１から切り離し、チューブを（もしくは他の好適なチューブを）オフセット側ボトム・ポート１３３に接続することである。従って、液状物品の閉じた移送モードの操作のために、オフセット側サイド・ポート１４３にガス供給ラインを接続し、中央側サイド・ポート１４１に物品移送ラインを接続する。バルブ１０１がその開いた状態にある場合に、ガス供給部からのガスを、オフセット側サイド・ポート１４３、第１の環状溝１６５、およびオフセット側ボトム・ポート１３３を通して、容器１１３を加圧するために用いることができる。液状物品は、中央側ボトム・ポート１３１に接続されるチューブ（この場合にはディップ・チューブとして機能する）（図示せず）を流れて、中央側ボトム・ポートを通ってバルブの中に入り、第２の環状溝１６７を通って、中央側サイド・ポート１４１を通ってバルブから出て、そして物品移送ラインへ流入する。容器１１３から所望量の液状物品が取り出されると、ノブ２１９を回して、バルブ・スプール１０７をその閉じた状態へ移動させる。バブリング・モードの場合と同様に、バルブ１０１がその閉じた状態（図５Ｂ）にある場合に、第１の環状溝１６５を通して２つのボトム・ポート１３１、１３３は相互に連絡しているが、その他について容器１１３はシールされている。一方、保護ガスはオフセット側サイド・ポート１４３を通って、バルブ１０１の中に流入し、バイパス１７１を通り、中央側サイド・ポート１４１を通って出て、それによってそこからの物品のパージを促進する。
【００２０】
図６〜８Ｂは、全体として符号１００１で示される本発明の第２の態様例に係るバルブを示している。例外として特に記載する事項を除いて、バルブ１００１は、上述したバルブ１０１と同様である。バルブ１００１はバルブ・ハウジング１００３を有しており、バルブ・ハウジング１００３は中央側ボア１００５を有している。中央側ボア１００５は円筒形態のバルブ・スプール１００７を収容しており、バルブ・スプール１００７は、（図８Ａに示す）開いた状態と（図８Ｂに示す）閉じた状態との間で軸方向に移動することができる。ボア１００５はハウジング１００３の中の一部分に延びており、ボア１００５の一方の端部１００５ａは閉じている。
【００２１】
バルブ１０１について上述したのと同様に、２つのボトム・バルブ・ポート１０３１、１０３３と、２つのサイド・バルブ・ポート１４１、１４３とは、ボア１００５と連絡している。しかしながら、バルブ１０１とは対照的に、バルブ１００１の中央側およびオフセット側のバルブ・ポート１０３１および１０３３は、それらにチューブを接続するために、いずれもネジ溝が設けられている。ボトム・ポート１０３１と１０３３とは、（例えば、異なる寸法に形成することによって）互いに容易に識別できることが好ましい。例えば、図６に示すように、中央側ボトム・ポート１０３１は、特定のチューブ（例えば、スパージングチューブ（sparging tube）、図示せず）をそこに接続し得る寸法に形成されたネジ溝付きボア１０３１ａを有することができ、その一方で、オフセット側ボトム・ポート１０３３は、該オフセット側ボトム・ポートに前記特定のチューブを誤って接続することを防止するために、前記特定のチューブを接続するには不適切な寸法を有するネジ溝付きボア１０３３ａを有することができる。オフセット側ボトム・ポート１０３３のネジ溝付きボア１０３３ａは、異なるチューブ（例えばディップ・チューブ、図示せず）をそこに接続するための寸法とすることができ、その場合に、中央側ボトム・ポート１０３１のネジ溝付きボア１０３１ａと寸法が異なることによって、そのチューブ（例えばディップ・チューブ）を中央側ボトム・ポートに誤って接続することを防止することができる。
【００２２】
バルブ１０１に関連して上述したのと同様の方法で、第１および第２の環状溝１６５、１６７が、バルブ・スプール１００７の円筒状外側表面１０６１に形成されている。従って、バルブ・スプールがその開いた状態（図８Ａ）にあるときに、オフセット側サイド・ポート１４３は第１の環状溝１６５を通してオフセット側ボトム・ポート１０３３と連通しており、中央側サイド・ポート１４１は第２の環状溝１６７を通してボトム・ポート１０３１と連通している。
【００２３】
バルブ・スプール１００７にはバイパス１０７１が形成されており、バイパス１０７１は第２の環状溝１６７からスプール１００７の端部に形成されたバイパス・ポート１０７３へ延びている。バイパス・ポート１０７３は、第１および第２の環状溝１６５、１６７の両者よりも、スプール１００７の長手方向中央部から相対的に離れて位置する。例えば、図８Ａおよび８Ｂを参照すると、図に示す態様のバイパス１０７１は、開放端を有する長手方向経路１０８１と、該長手方向経路１０８１から第２の環状溝１６７へ延びるバルブ・スプールの中の１つの半径方向ボア１８３とを有している。スプールの端部における長手方向経路１０８１の開放端は、バイパス・ポート１０７３となっている。重要な事項は、閉じた端部１００５ａを有するボア１００５を形成し、長手方向経路１０８１の開放端をバイパス・ポート１０７３として使用することによって、その閉じた端部においてバルブ１００１から物品が漏れ得るという可能性が実質的に低減されることである。バルブ・スプールの外側表面１０６１に第３の環状溝を形成する必要が全くないという事項だけではなく、スプール１０８１内の長手方向経路の端部を閉塞させる必要が全くないという事項によっても、スプール１００７を形成するコストが下げられる。同様に、スプール１００７内にバイパス通路１０７１を形成することは、単独の半径方向ボア１８３のみを形成する（すなわち、上述した半径方向ボア１８５は排除される）ということを必要とする。さらに、ボア１００５の閉じた端部をシールするためのＯリングを必要としない（すなわち、バルブ１０１は排除される）ことによって、更にコストを節約することができる。図８Ａおよび８Ｂに示すように、例えばバイパス・ポート１０７３は、ボア１００５の隣接する端部（ブラインド端部）に連通している。更に、バルブ・スプール１００７の外側表面およびハウジング１００３の両者にはわずかに３つのＯリング１９５'、１９５''、１９５'''が係合して、ポート１４１、１４３、１０３１、１０３３、およびバイパス１０７１を通ることを除いて、第１および第２の環状溝１６５、１６７およびバイパス・ポート１０７３を相互に、ならびにバルブ１００１の外部から、シールする。
【００２４】
バルブ１００１はバルブ・スプール・アクチュエータ２１９をも有しており、該バルブ・スプール・アクチュエータ２１９は、バルブ・スプール１００７を上述したようにその開いた状態（図８Ａ）と閉じた状態（図８Ｂ）との間で軸方向に進退して動かすように操作することができる。バルブ１００１を用いて、バルブ１０１に関連して一般に上述した方法と同様の方法で、バブリング・モードまたは液状物品の閉じた移送モードのいずれかで、容器１１３から物品を取り出すことができる。バルブ・スプール１００７がその開いた状態（図８Ａ）にある場合に、バイパス・ポート１０７３はボア１００５の閉じた端部１００５ａにおける終端部(dead end）である。バルブ・スプール１００７がその閉じた状態（図８Ｂ）にある場合に、バルブ１００１を閉じた際に、バルブ・スプール１００７が退避することによって設けられたボア１００５の端部の空間（volume）を通して、バイパス・ポート１０７３はオフセット側サイド・ポート１４３に連絡する。従って、保護ガスを用いるパージングは、上述した方法と本質的に同様にして達成することができる。
【００２５】
さらに、バルブ１００１のバルブ・スプール・アクチュエータ２１９は、場合によってバルブ・ロック１１０１を有している（図８Ｂに最も良好に示されている）。バルブ・ロック１１０１は、ハウジング１００３に対するバルブ・スプールの移動を拘束することによって、バルブ・スプール１００７を選択的に特定の位置（例えば閉じた状態）にロックする操作を行うことができる機構である。例えば、バルブ・ロック１１０１は、バルブ１００１が装備された化学薬品の容器を安全に移送するために、バルブ・スプール１００７をその閉じた状態にロックするように用いることができる。
【００２６】
例えば、図８Ｂに示すバルブ・ロック１１０１はバルブ・スプール・リテーナ（valve spool retainer）１１０７（例えば保持ヘッド）を有しており、バルブ・スプール・リテーナ１１０７はバルブ・スプール１００７の端部１２１５におけるネジ溝付きボア１１０５の中にねじ込むことができるシャフト１１０３を有している。バルブ・スプール１００７がその閉じられた状態にある場合（図８ｂ）には、シャフト１１０３をボア１１０５の中にネジ込んで、リテーナ１１０７がバルブ作動ノブ２１９の端部に隣接する（例えば、接触する）状態にすることができる。リテーナ１１０７は、（例えば、リテーナ１１０７の直径をボア２１７の直径よりも少なくともわずかでも大きく形成することによって）バルブ作動ノブ２１９の端部において、ネジ溝付きボア２１７の中へリテーナ１１０７が動くことが妨げられるように構成されている。バルブ・ロック１１０１がこの位置にある場合に、リテーナ１１０７とバルブ作動ノブ２１９との間の接触によって、バルブ・スプール１００７をその開いた状態へ動作させ得るバルブ作動ノブ２１９の回転を防止することができる。その結果として、バルブ作動ノブ２１９を回転させるために、ボアから十分な距離へシャフト１１０３のネジが緩められて、バルブ・スプール１００７がその開いた状態へ移動するまで、バルブ・スプール１００７はその閉じた状態にロックされて留まることになる。同様のバルブ・ロックをバルブ１０１と共に使用することもできるし、本発明の範囲を逸脱することなく、そのバルブ・ロックを省略することもできると理解されたい。本発明の範囲を逸脱することなく、バルブ・スプール１００７をロックするために種々の機構を用いることができる。
【００２７】
従来技術を熟知している当業者は、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した典型的な態様例を種々の方法で変更することができると理解するであろう。例えば、バルブ１００１を通る通路の構成（configuration）は、本発明の範囲を逸脱することなく、上述したおよび図面に示したもの以外の構成であってもよい。同様に、ポートおよび対応する通路の相対的な位置は、本発明の範囲を逸脱することなく、変更することができる。さらに、本発明の範囲を逸脱することなく、ポートをチューブ、ガス供給ラインおよび物品移送ラインに接続するために、様々の異なるタイプのコネクタを用いることができる。さらに、本明細書において用いた「ボトム」（底部）および「サイド」（側方）という用語は、図面に示すような向きに配置される場合のバルブを指している。本発明の範囲を逸脱することなく、バルブ１００１は種々の方法で（または形態で）回転させ得ると理解されたい。（例えば、ボアがハウジングを通って部分的に延びるように形成することによって、）ボア１０５の一端を閉鎖させて、物品が周囲の環境の中にリーク（または漏れ出）したりおよび／またはバルブ・スプールとハウジングとの間の接続部を通って、汚染物質がバルブの中にリークしたりし得る可能性を低減することも望ましい。
【００２８】
本発明の要素またはそれの好適な態様例を紹介する場合に、「ａ」（１つの）、「ａｎ」（１つの）、「ｔｈｅ」（その）、及び「ｓａｉｄ」（前記の）という冠詞等は、１つ又は複数の要素があることを意図するものである。「ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ」（含んでなる）、「ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ」（含む）及び「ｈａｖｉｎｇ」（有する）という用語は、包含する関係であることを意図するものであって、記載した事項以外の追加的な要素が存在してもよいことを意味する。
【００２９】
上述した事項を考慮すると、本発明の複数の目的が達成されること、およびその他の有利な効果が達成されることが理解される。
【００３０】
本発明の範囲を逸脱することなく、上述した構成について種々の変更を行うことができるので、上記発明の詳細な説明に含まれていたおよび添付図面に示されたすべての事項は、例示を目的とするものであって、限定することを意図してはいないということに、留意されたい。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】図１は、本発明のバルブの１つの態様例の斜視図である。
【図２】図２は、図１に示すバルブの端面図である。
【図３】図３は、図１に示すバルブの底面図である。
【図４】図４は、図１に示すバルブの側面図であって、バルブの一部を断面によって示している。
【図５】図５は、図２における５−５線についてのバルブの断面図である。図５Ａおよび５Ｂは開いた状態および閉じた状態を示している。
【図６】図６は、本発明のもう１つの態様におけるバルブを示している。
【図７】図７は、図６に示すバルブの側面図であって、バルブの一部を断面によって示している。
【図８】図８は、図６に示すバルブの（図２における５−５線に対応する平面に）ついてのバルブの断面図である。図８Ａおよび８Ｂは開いた状態および閉じた状態を示している。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
易流動性物品の供給物を含有する容器から、易流動性物品を取り出すためのバルブであって；
長軸を有する円筒状ボアを規定するハウジングであって、前記ハウジング内において前記ボアと連絡する第１および第２のボトム・ポートと、前記ハウジング内において前記ボアと連絡する第１および第２のサイド・ポートとを有するハウジング；
前記ボア内に収容され、該ボアの長軸に沿って軸方向に移動することができる円筒状バルブ・スプールであって、円筒状外側表面、該円筒状外側表面に軸方向に沿って設けられている第１および第２の環状溝、前記第２の環状溝から、バルブ・スプールの半径方向のボアを通って、バルブ・スプールの円筒状外側表面との交点まで延びるバルブ・スプール内のバイパスを有し、該バルブ・スプールの外側表面は前記交点の位置において環状溝を実質的に有しておらず、前記第２の環状溝とバイパス・ポートとの軸方向の間において前記第１の環状溝がスプールに設けられている円筒状バルブ・スプール；ならびに
前記ボア内においてバルブ・スプールを第１の状態と第２の状態との間で選択的にスライドさせるバルブ・スプール・アクチュエータ
を有してなり、
スプールが第１の状態にあるときに、第１のボトム・ポートは第１の環状溝を通って第１のサイド・ポートに連絡し、および、第２のボトム・ポートは第２の環状溝を通って第２のサイド・ポートに連絡すること、ならびに、スプールが第２の状態にあるときに、第１および第２のボトム・ポートは第１の環状溝を通って相互に連絡し、および、第１および第２のサイド・ポートは第２の環状溝およびバイパスを通って相互に連絡することを特徴とするバルブ。
【請求項２】
ボアが一端部において閉じていることを特徴とする請求項１に記載のバルブ。
【請求項３】
バルブ・スプールの円筒状外側表面における環状のチャンネル内に少なくとも１つのＯリングが収容されており、該Ｏリングと、バルブ・スプールおよびバルブ・ハウジングとの係合によってシールを形成することを特徴とする請求項１に記載のバルブ。
【請求項４】
少なくとも１つのＯリングが完全フッ素化された弾性材料によって本質的に形成されていることを特徴とする請求項３に記載のバルブ。
【請求項５】
第１および第２のボトム・ポートの１つはそこにチューブを接続することに適合化されており、ならびに、第１および第２のボトム・ポートのもう一つはそこにチューブを接続することに適合化されていないことを特徴とすることを特徴とする請求項１に記載のバルブ。
【請求項６】
バルブ・スプールがハウジングに対して移動することを選択的に抑制するように操作可能であるバルブ・ロックを更に有してなることを特徴とする請求項１に記載のバルブ。
【請求項７】
バルブ・ロックがバルブ・スプール・リテーナを有してなり、該バルブ・スプール・リテーナは、バルブ・スプールの一端部におけるネジ溝付きボアの中にねじ込むことができるネジ溝付きシャフトを有することを特徴とする請求項５に記載のバルブ。
【請求項８】
易流動性物品の供給物を含有する容器から、易流動性物品を取り出すためのバルブであって；
長軸を有する円筒状ボアを規定するハウジングであって、該ボアは該ハウジングを部分的に通って延びており、前記ハウジング内において前記ボアと連絡する第１および第２のボトム・ポートと、前記ハウジング内において前記ボアと連絡する第１および第２のサイド・ポートとを有するハウジング；
前記ボア内に収容され、該ボアの長軸に沿って軸方向に移動することができる円筒状バルブ・スプールであって、円筒状外側表面、該円筒状外側表面に軸方向に沿って設けられている第１および第２の環状溝、前記第２の環状溝からバルブ・スプールの一端部におけるポートへ延びるバルブ・スプール内のバイパスを有しており、前記第１の環状溝は第２の環状溝と前記バルブ・スプールの一端部との軸方向の間で該スプールに設けられている円筒状バルブ・スプール；ならびに
前記ボア内においてバルブ・スプールを第１の状態と第２の状態との間で選択的にスライドさせるバルブ・スプール・アクチュエータ
を有してなり、
スプールが第１の状態にあるときに、第１のボトム・ポートは第１の環状溝を通って第１のサイド・ポートに連絡し、および、第２のボトム・ポートは第２の環状溝を通って第２のサイド・ポートに連絡すること、ならびに、スプールが第２の状態にあるときに、第１および第２のボトム・ポートは第１の環状溝を通って相互に連絡し、および、第１および第２のサイド・ポートは第２の環状溝およびバイパスを通って相互に連絡することを特徴とするバルブ。
【請求項９】
バルブ・スプールを通るバイパスは開放端を有する長手方向経路を有しており、該経路はバルブ・スプールの中からバルブ・スプールの前記一端部へ延びており、該経路の開放端がバイパス・ポートであることを特徴とする請求項８に記載のバルブ。
【請求項１０】
バイパスが、バルブ・スプール内に１つの半径方向のボアだけを有することを特徴とする請求項８に記載のバルブ。
【請求項１１】
バルブ・スプールの円筒状外側表面における環状のチャンネル内に少なくとも１つのＯリングが収容されており、該Ｏリングと、バルブ・スプールおよびバルブ・ハウジングとの係合によってシールを形成し、ならびに該Ｏリングが完全フッ素化された弾性材料によって本質的に形成されていることを特徴とする請求項８に記載のバルブ。
【請求項１２】
Ｏリングが完全フッ素化された弾性材料によって本質的に形成されていることを特徴とする請求項１１に記載のバルブ。
【請求項１３】
第１および第２のボトム・ポートの一方はそこにチューブを接続することに適合化されており、ならびに、第１および第２のボトム・ポートの他方はそこにチューブを接続することに適合化されていないことを特徴とする請求項８に記載のバルブ。
【請求項１４】
バルブ・スプールがハウジングに対して移動することを選択的に抑制するように操作可能であるバルブ・ロックを更に有してなることを特徴とする請求項８に記載のバルブ。
【請求項１５】
バルブ・ロックがバルブ・スプール・リテーナを有してなり、該バルブ・スプール・リテーナは、バルブ・スプールの一端部におけるネジ溝付きボアの中にねじ込むことができるネジ溝付きシャフトを有することを特徴とする請求項５に記載のバルブ。
【請求項１６】
易流動性物品の供給物を含有する容器から、易流動性物品を取り出すためのバルブであって；
長軸を有する円筒状ボアを規定するハウジングであって、前記ハウジング内において前記ボアと連絡する第１および第２のボトム・ポートと、前記ハウジング内において前記ボアと連絡する第１および第２のサイド・ポートとを有するハウジング；
前記ボア内に収容され、該ボアの長軸に沿って軸方向に移動することができる円筒状バルブ・スプールであって、円筒状外側表面、該円筒状外側表面に軸方向に沿って設けられている第１および第２の環状溝、前記第２の環状溝からバルブ・スプールの一端部におけるポートへ延びるバルブ・スプール内のバイパスを有しており、前記第１の環状溝は第２の環状溝とバイパス・ポートとの軸方向の間で該バルブ・スプールに設けられており、該バイパス・ポートは該ボアの一端部に隣接している円筒状バルブ・スプール；ならびに
前記ボア内においてバルブ・スプールを第１の状態と第２の状態との間で選択的にスライドさせるバルブ・スプール・アクチュエータであって、前記第１の状態は、第１のボトム・ポートが第１の環状溝を通って第１のサイド・ポートに連絡し、および、第２のボトム・ポートが第２の環状溝を通って第２のサイド・ポートに連絡する状態であり、ならびに、前記第２の状態は、第１および第２のボトム・ポートが第１の環状溝を通って相互に連絡し、および、第１および第２のサイド・ポートが第２の環状溝およびバイパスを通って相互に連絡する状態であって、
前記バイパス・ポートは前記隣接するボアの一端部と連通することを特徴とするバルブ。
【請求項１７】
前記バイパスが、バルブ・スプール内に１つの半径方向のボアだけを有することを特徴とする請求項１６に記載のバルブ。
【請求項１８】
バルブ・スプールを通るバイパスは開放端を有する長手方向経路を有しており、該経路はバルブ・スプールの中からバルブ・スプールの前記端部へ延びており、該経路の開放端がバイパス・ポートであることを特徴とする請求項１７に記載のバルブ。
【請求項１９】
前記ハウジングによって規定されるボアが、該ハウジングを通って部分的に延びることを特徴とする請求項１６に記載のバルブ。
【請求項２０】
バルブ・スプールの外側表面上にＯリングを３つだけ有しており、前記バルブ・スプールと前記ハウジングとの間でシールを形成することを特徴とする請求項１６に記載のバルブ。
【請求項２１】
前記３つのＯリングは完全フッ素化された弾性材料によって本質的に形成されていることを特徴とする請求項２０に記載のバルブ。
【請求項１】
易流動性物品の供給物を含有する容器から、易流動性物品を取り出すためのバルブであって；
長軸を有する円筒状ボアを規定するハウジングであって、前記ハウジング内において前記ボアと連絡する第１および第２のボトム・ポートと、前記ハウジング内において前記ボアと連絡する第１および第２のサイド・ポートとを有するハウジング；
前記ボア内に収容され、該ボアの長軸に沿って軸方向に移動することができる円筒状バルブ・スプールであって、円筒状外側表面、該円筒状外側表面に軸方向に沿って設けられている第１および第２の環状溝、前記第２の環状溝から、バルブ・スプールの半径方向のボアを通って、バルブ・スプールの円筒状外側表面との交点まで延びるバルブ・スプール内のバイパスを有し、該バルブ・スプールの外側表面は前記交点の位置において環状溝を実質的に有しておらず、前記第２の環状溝とバイパス・ポートとの軸方向の間において前記第１の環状溝がスプールに設けられている円筒状バルブ・スプール；ならびに
前記ボア内においてバルブ・スプールを第１の状態と第２の状態との間で選択的にスライドさせるバルブ・スプール・アクチュエータ
を有してなり、
スプールが第１の状態にあるときに、第１のボトム・ポートは第１の環状溝を通って第１のサイド・ポートに連絡し、および、第２のボトム・ポートは第２の環状溝を通って第２のサイド・ポートに連絡すること、ならびに、スプールが第２の状態にあるときに、第１および第２のボトム・ポートは第１の環状溝を通って相互に連絡し、および、第１および第２のサイド・ポートは第２の環状溝およびバイパスを通って相互に連絡することを特徴とするバルブ。
【請求項２】
ボアが一端部において閉じていることを特徴とする請求項１に記載のバルブ。
【請求項３】
バルブ・スプールの円筒状外側表面における環状のチャンネル内に少なくとも１つのＯリングが収容されており、該Ｏリングと、バルブ・スプールおよびバルブ・ハウジングとの係合によってシールを形成することを特徴とする請求項１に記載のバルブ。
【請求項４】
少なくとも１つのＯリングが完全フッ素化された弾性材料によって本質的に形成されていることを特徴とする請求項３に記載のバルブ。
【請求項５】
第１および第２のボトム・ポートの１つはそこにチューブを接続することに適合化されており、ならびに、第１および第２のボトム・ポートのもう一つはそこにチューブを接続することに適合化されていないことを特徴とすることを特徴とする請求項１に記載のバルブ。
【請求項６】
バルブ・スプールがハウジングに対して移動することを選択的に抑制するように操作可能であるバルブ・ロックを更に有してなることを特徴とする請求項１に記載のバルブ。
【請求項７】
バルブ・ロックがバルブ・スプール・リテーナを有してなり、該バルブ・スプール・リテーナは、バルブ・スプールの一端部におけるネジ溝付きボアの中にねじ込むことができるネジ溝付きシャフトを有することを特徴とする請求項５に記載のバルブ。
【請求項８】
易流動性物品の供給物を含有する容器から、易流動性物品を取り出すためのバルブであって；
長軸を有する円筒状ボアを規定するハウジングであって、該ボアは該ハウジングを部分的に通って延びており、前記ハウジング内において前記ボアと連絡する第１および第２のボトム・ポートと、前記ハウジング内において前記ボアと連絡する第１および第２のサイド・ポートとを有するハウジング；
前記ボア内に収容され、該ボアの長軸に沿って軸方向に移動することができる円筒状バルブ・スプールであって、円筒状外側表面、該円筒状外側表面に軸方向に沿って設けられている第１および第２の環状溝、前記第２の環状溝からバルブ・スプールの一端部におけるポートへ延びるバルブ・スプール内のバイパスを有しており、前記第１の環状溝は第２の環状溝と前記バルブ・スプールの一端部との軸方向の間で該スプールに設けられている円筒状バルブ・スプール；ならびに
前記ボア内においてバルブ・スプールを第１の状態と第２の状態との間で選択的にスライドさせるバルブ・スプール・アクチュエータ
を有してなり、
スプールが第１の状態にあるときに、第１のボトム・ポートは第１の環状溝を通って第１のサイド・ポートに連絡し、および、第２のボトム・ポートは第２の環状溝を通って第２のサイド・ポートに連絡すること、ならびに、スプールが第２の状態にあるときに、第１および第２のボトム・ポートは第１の環状溝を通って相互に連絡し、および、第１および第２のサイド・ポートは第２の環状溝およびバイパスを通って相互に連絡することを特徴とするバルブ。
【請求項９】
バルブ・スプールを通るバイパスは開放端を有する長手方向経路を有しており、該経路はバルブ・スプールの中からバルブ・スプールの前記一端部へ延びており、該経路の開放端がバイパス・ポートであることを特徴とする請求項８に記載のバルブ。
【請求項１０】
バイパスが、バルブ・スプール内に１つの半径方向のボアだけを有することを特徴とする請求項８に記載のバルブ。
【請求項１１】
バルブ・スプールの円筒状外側表面における環状のチャンネル内に少なくとも１つのＯリングが収容されており、該Ｏリングと、バルブ・スプールおよびバルブ・ハウジングとの係合によってシールを形成し、ならびに該Ｏリングが完全フッ素化された弾性材料によって本質的に形成されていることを特徴とする請求項８に記載のバルブ。
【請求項１２】
Ｏリングが完全フッ素化された弾性材料によって本質的に形成されていることを特徴とする請求項１１に記載のバルブ。
【請求項１３】
第１および第２のボトム・ポートの一方はそこにチューブを接続することに適合化されており、ならびに、第１および第２のボトム・ポートの他方はそこにチューブを接続することに適合化されていないことを特徴とする請求項８に記載のバルブ。
【請求項１４】
バルブ・スプールがハウジングに対して移動することを選択的に抑制するように操作可能であるバルブ・ロックを更に有してなることを特徴とする請求項８に記載のバルブ。
【請求項１５】
バルブ・ロックがバルブ・スプール・リテーナを有してなり、該バルブ・スプール・リテーナは、バルブ・スプールの一端部におけるネジ溝付きボアの中にねじ込むことができるネジ溝付きシャフトを有することを特徴とする請求項５に記載のバルブ。
【請求項１６】
易流動性物品の供給物を含有する容器から、易流動性物品を取り出すためのバルブであって；
長軸を有する円筒状ボアを規定するハウジングであって、前記ハウジング内において前記ボアと連絡する第１および第２のボトム・ポートと、前記ハウジング内において前記ボアと連絡する第１および第２のサイド・ポートとを有するハウジング；
前記ボア内に収容され、該ボアの長軸に沿って軸方向に移動することができる円筒状バルブ・スプールであって、円筒状外側表面、該円筒状外側表面に軸方向に沿って設けられている第１および第２の環状溝、前記第２の環状溝からバルブ・スプールの一端部におけるポートへ延びるバルブ・スプール内のバイパスを有しており、前記第１の環状溝は第２の環状溝とバイパス・ポートとの軸方向の間で該バルブ・スプールに設けられており、該バイパス・ポートは該ボアの一端部に隣接している円筒状バルブ・スプール；ならびに
前記ボア内においてバルブ・スプールを第１の状態と第２の状態との間で選択的にスライドさせるバルブ・スプール・アクチュエータであって、前記第１の状態は、第１のボトム・ポートが第１の環状溝を通って第１のサイド・ポートに連絡し、および、第２のボトム・ポートが第２の環状溝を通って第２のサイド・ポートに連絡する状態であり、ならびに、前記第２の状態は、第１および第２のボトム・ポートが第１の環状溝を通って相互に連絡し、および、第１および第２のサイド・ポートが第２の環状溝およびバイパスを通って相互に連絡する状態であって、
前記バイパス・ポートは前記隣接するボアの一端部と連通することを特徴とするバルブ。
【請求項１７】
前記バイパスが、バルブ・スプール内に１つの半径方向のボアだけを有することを特徴とする請求項１６に記載のバルブ。
【請求項１８】
バルブ・スプールを通るバイパスは開放端を有する長手方向経路を有しており、該経路はバルブ・スプールの中からバルブ・スプールの前記端部へ延びており、該経路の開放端がバイパス・ポートであることを特徴とする請求項１７に記載のバルブ。
【請求項１９】
前記ハウジングによって規定されるボアが、該ハウジングを通って部分的に延びることを特徴とする請求項１６に記載のバルブ。
【請求項２０】
バルブ・スプールの外側表面上にＯリングを３つだけ有しており、前記バルブ・スプールと前記ハウジングとの間でシールを形成することを特徴とする請求項１６に記載のバルブ。
【請求項２１】
前記３つのＯリングは完全フッ素化された弾性材料によって本質的に形成されていることを特徴とする請求項２０に記載のバルブ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５Ａ】
【図５Ｂ】
【図６】
【図７】
【図８Ａ】
【図８Ｂ】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５Ａ】
【図５Ｂ】
【図６】
【図７】
【図８Ａ】
【図８Ｂ】
【公表番号】特表２００８−５３７５２９（Ｐ２００８−５３７５２９Ａ）
【公表日】平成２０年９月１８日（２００８．９．１８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−５０４２１９（Ｐ２００８−５０４２１９）
【出願日】平成１８年３月２８日（２００６．３．２８）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＵＳ２００６／０１１０５３
【国際公開番号】ＷＯ２００６／１０４９９２
【国際公開日】平成１８年１０月５日（２００６．１０．５）
【出願人】（５９８１６９５７２）シグマ−アルドリッチ・カンパニー (31)
【氏名又は名称原語表記】Ｓｉｇｍａ−Ａｌｄｒｉｃｈ Ｃｏ．
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成２０年９月１８日（２００８．９．１８）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年３月２８日（２００６．３．２８）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＵＳ２００６／０１１０５３
【国際公開番号】ＷＯ２００６／１０４９９２
【国際公開日】平成１８年１０月５日（２００６．１０．５）
【出願人】（５９８１６９５７２）シグマ−アルドリッチ・カンパニー (31)
【氏名又は名称原語表記】Ｓｉｇｍａ−Ａｌｄｒｉｃｈ Ｃｏ．
【Ｆターム（参考）】
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