【課題】弁板による開口の開閉時に弁シールと弁シート面との摺動を生じない簡単な構成の無摺動型ゲートバルブを提供する。
【解決手段】エアシリンダ８の駆動ロッド９と弁シャフト７との間に、ガイド溝及びガイドローラ３１ａ，３１ｂからなる平行移動機構と、カム溝３０及びカムローラ３３からなる垂直移動機構とを介在させ、前記弁シャフト７を、前記平行移動機構で弁シート面１０と平行に移動させたあと、前記垂直移動機構で前記弁シート面１０に対して垂直に移動させることにより、弁板５の弁シール６を前記弁シート面１０に垂直に接離させて前記開口３を開閉する。 （もっと読む）

【課題】弁体の無摺動動作によりパーティクルや粉塵の発生を抑えつつ開閉動作でき、大口径に設けた場合にも大型化を防ぎ、スループットを上げるために高速に開閉動作し、開閉動作後の弁体を確実にロックし、ウエハや基板等の大型化に対応し、エアシリンダの駆動源を用いたときに弁閉時にエアを排気しても弁閉止状態を確実に保持するゲートバルブを提供する。
【解決手段】弁箱１に保持枠体２を介在させてピストンロッド１１を有する複動式エアシリンダ５を設け、ステム４にステムホルダ２１を設け、ステムホルダ２１の摺動部３１を揺動リンク３２のガイド部３３に沿って上下動自在に摺動させ、ピストンロッド１１とステムホルダ２１との間に傾動保持用スプリング１３を装着し、ローラカム１５と傾動用ローラ１４とを弁閉傾動動作開始位置で嵌合させ、これらの嵌合時に揺動リンク３２を揺動させてその揺動動作に伴って弁体３を弁座シール面７に揺動閉止させた。 （もっと読む）

【課題】弁箱から弁板を取り出し可能にした開口側からの操作で弁板を簡単に着脱でき、弁ロッドの弁板取付部における基端及び先端側で強固に固定し、弁板の姿勢を安定化させたゲートバルブを提供する。
【解決手段】弁ロッド９の弁板取付部１０に弁板６を固定して開閉動作させるゲートバルブにおいて、弁板に弁ロッドを挿入する取付孔８を設け、該孔内において相互に密接する弁板と弁ロッドの接合平面８ａ，１０ａを接合させ、上記弁板取付部１０の基端側の傾斜面１１によるくさび効果で弁板の基端側において弁板と弁ロッドの上記接合平面を相互に圧接させ、弁ロッドの先端部９ａと弁板の先端側端面６ｃとにねじ１５，１６で連結板１４を固定して、それらを連結すると共に、両接合平面を相互に圧接させる連結板の圧接機構により、弁板と弁ロッドの先端側においても上記接合平面を相互に圧接させる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能なスライド弁を提供する。
【解決手段】流路となる第１開口部１２ａ及び第２開口部１２ｂとを有する弁箱１０と、第１開口部を閉塞可能な可動弁部４０と、閉開状態を切り替えする位置切り替え手段と、これらを接続する中立弁部３０とを有し、可動弁部が、シール部６１が設けられ中立弁部に位置変更可能に接続される第１可動弁部６０と、シール部に対して付勢する第１付勢部７０と、第１可動弁部６０と摺動可能とされる第２可動弁部５０と、可動弁部の厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部８０と、第１可動弁部を前記中立弁部に対して位置変更可能に流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部９０と、回転軸の軸線方向に離間して該回転軸を保持する２以上の軸受と、流体経路リングと、を具備してなることを特徴とするスライド弁。 （もっと読む）

【課題】弾性材が流体中に溶出する可能性を低減できるソフトシール弁を提供する。
【解決手段】弁体３は、芯金１２と、芯金１２の外縁部に設けられ且つ閉位置Ｓにおいて弁箱シート部６に当接する弁体シート部１３とを有し、弁体シート部１３は芯金１２にゴム２１をライニングすることによって形成され、芯金１２の外表面は、弁体シート部１３で囲まれた部分に、ゴム２１がライニングされていない非ライニング部２５を有している。 （もっと読む）

【課題】水平面および傾斜面からなるシール面に、通常の切削機であっても支障なく形成し得るようなシール用溝部を有するバルブ装置を提供する。
【解決手段】開口部16が形成された正面視が台形状と逆台形状とを合わせてなる六角形状の仕切面Ｓを有するバルブシート４と、この仕切面Ｓと平行に移動されて開口部16を開閉し得るバルブ本体５とを有するバルブ装置であって、バルブシート４とバルブ本体５とのシールを行うためのシール面21〜23，26〜28を、仕切面Ｓと直交する方向、つまり前後方向で形成すると共にこの仕切面Ｓの外周に沿ってそれぞれ六角形状となし、バルブ本体５側のシール面26〜28に、断面が円形のシール材32に対応して円形状にされると共にその外周から中心に向かって所定高さだけ切除されてなる内面Ｃ字形状のシール用溝部31を形成したもの。 （もっと読む）

【課題】バルブシートの着脱作業を容易に行い得るバルブ装置を提供する。
【解決手段】四方の側壁部11，12及び上下の端壁部13から成るバルブ収納体３内に配置され且つ中央に開口部17が形成されたバルブシート４と、バルブシート４に沿ってスライド可能に配置されて開口部17を開閉可能なバルブ本体５と、バルブ収納体３の下端壁部13Ｄに設けられてバルブ本体５をスライドさせて開口部17を開閉駆動するバルブ駆動体６とから構成し、バルブシート４をバルブ駆動体６の設置側とは反対側である上端壁部13Ｕに固定し、バルブシート４の下縁部に、その先端が細くなるようにシート側傾斜面４ｉを形成すると共に、バルブ収納体３の内部に、シート側傾斜面４ｉに対応する固定側傾斜面15ｉを有してバルブシート４をバルブ収納体３内に挿入する際に側壁部11に押し付けて固定し得る縁部押圧部材15を、配置したもの。 （もっと読む）

【課題】ゲートバルブにおける高さ寸法を抑制して小型化を図ると共に、弁ディスクによる弁閉状態を確実且つ安定的に維持する。
【解決手段】ゲートバルブ１０を構成するハウジング１６の内部には、サイドフレーム３２ａ、３２ｂと略平行に一対のサブフレーム８８ａ、８８ｂが設けられ、前記サブフレーム８８ａ、８８ｂの長手方向に沿って形成されたローラ挿通溝には、それぞれ二対の保持ローラ９０ａ、９０ｂが挿通されている。そして、弁ディスク２２が傾動動作して弁座に着座した弁閉状態において、弁ロッド２０が連結され傾動変位した変位ブロック６２から付与される荷重が保持ローラ９０ａ、９０ｂに付与され、該保持ローラ９０ａ、９０ｂが当接しサブフレーム８８ａ、８８ｂに設けられた第１及び第２受圧体によって負担される。この第１及び第２受圧体は、サブフレーム８８ａ、８８ｂより硬度の大きい材質によって形成される。 （もっと読む）

【課題】流体制御装置を提供する。
【解決手段】入口１８、出口２０、および、この入口から出口に延びる流路２２が形成された弁箱１６と、弁箱に接続された、流体が通過するオリフィスを形成する弁座リング２４と、前記弁箱に接続され且つ内部空洞を有するケージ３０であって、流体が通過する少なくとも一つの流路を含むケージ３０と、ケージの前記内部空洞に進入しうるサイズにされ、軸に沿って開位置と閉位置との間を移動可能に構成された絞り要素１４であって、前記軸に実質的に平行なシール面５２が形成された絞り要素１４と、この絞り要素が実質的に閉位置にあるときに前記シール面に係止し、そうすることによって前記弁座リングのオリフィスを通過する流体の流れを制限するシール１２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】フルオロエラストマー組成物を提供すること。
【解決手段】少なくとも１種類の硬化性フルオロオポリマーであって、このフルオロポリマーを架橋するための少なくとも1つの官能基を含む、硬化性フルオロポリマー；このフルオロポリマーを架橋できる硬化剤であって、官能化ビフェニルベースの化合物と、種々のモノアミジンおよびモノアミドキシム化合物、並びにビスアミド化合物と、これらの組合わせとからなる群から選択される、硬化剤；および有機ペルオキシド、または有機ペルオキシドと着色剤との組合わせである少なくとも１種類の硬化促進剤を含む組成物が開示されている。着色剤を含む接着性フルオロエラストマー組成物も提供される。記載される組成物は、有益な物理的特性、高い耐プラズマ性、特異な接着特性および／または外部接着剤の使用と関連した汚染の低減をもたらす。 （もっと読む）

【課題】フィルムのロール巻き出し室とフィルムのロール巻き取り室間を連通する搬送路を開閉するゲートバルブにおいて、フイルムを挟持し閉弁した状態において、シール性を確保するゲート弁を提供する。
【解決手段】フィルム製造装置は、巻き出し機、巻き取り機、及び、フィルム１０に所定の処理を施す処理部を有する。巻き出し機、巻き取り機、及び、処理部は、フィルム１０が通過することが可能な開口部を有する真空室の内部に配置され、開口部には、フィルム１０を挟みながら封止することにより真空室を密封可能とするゲートバルブ１８を有する。ゲートバルブ１８の弁体２２のシール部材２０には、フィルムの搬送方向と弁体の移動方向とに対して直交する方向にフィルムの幅よりも大きいサイズの直線部を有する凹部が形成される。 （もっと読む）

外科手術装置の制御部および従属部を作動する液圧シリンダ間の流体連通を制御するスプール弁。スプール弁を使用して制御部および従属部を互いに切断することにより、制御部および従属部間の流体連通がなくなる。スプール弁を使用して制御部および従属部間を係合するか、その流体連通を可能にすることができる。スプール弁を使用してさらに、従属部および制御部と流体容器の間の流体連通を可能にすることによって、蒸発、漏れ又は流出で失った流体を補充することができる。スプール弁は、少なくとも２つのポートを備える本体部と該少なくとも２つのポートと連通するように一つの位置に移動可能な少なくとも１つの通路を備えるスプールからなる。
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【課題】４・５ポート切換弁において、スプールのシール部材が弁孔における弁座に乗り上げるのを容易にすると共に、弁ボディの成形性及び加工性を改善する。
【解決手段】供給流路Ｐ、出力流路Ａ，Ｂ及び排出流路Ｅ１，Ｅ２を設けた弁ボディ１１の弁孔１２内に摺動自在に嵌挿されたスプール１３を有し、該スプールの外周に設けたシール部材２５ａ，２５ｂが弁孔１２における流体圧の低い排出流路Ｅ１，Ｅ２側から流体圧の高い出力流路Ａ，Ｂ側に摺動して弁座１９ａ，１９ｂに乗り上げる部分に、乗り上げ方向に縮径するテーパー面２６ａ，２６ｂを形成し、シール部材２４ａ，２４ｂが流体圧の高い供給流路Ｐ側から流体圧の低い出力流路Ａ，Ｂ側に乗り上げる該弁座の乗り上げ部分は、上記テーパー面のない定径に形成する。弁孔１２における上記テーパー面よりも両端側の内径を、テーパー面の最大径部分と同一又はそれよりも大径にする。 （もっと読む）

【課題】ゲートバルブの小型化を図る。
【解決手段】ゲートバルブＧＶは、ロードロック室ＬＬに装着され、開閉により基板を搬送させる。ゲートバルブＧＶは、ロードロック室ＬＬの内部空間と連通する前方開口１０５ａが形成された筐体１０５と、筐体１０４に回転可能に内蔵され、回転軸１１０ａとその回転軸に取り付けられた弁体１１０ｂとを有する回転部材１１０と、弁体１１０ｂに取り付けられ、膨張可能なシール部材２００とを有する。ゲートバルブＧＶを閉じる場合には、回転軸１１０ａを回転させて弁体１１０ｂを前方開口１０５ａを塞ぐ第１の位置まで回転させた後、シール部材２００を膨張させる。 （もっと読む）

【課題】横梁部材の旋回運動によって、バルブプレートがバルブロッドに対して、バルブロッドに対して垂直な揺動軸線の回りに揺動可能な懸架装置を提案する。
【解決手段】横梁部材(3)は、中央連結部(4)において前記バルブロッド(2)に対して連結されている。横梁部材(3)は、中央連結部(4)の両側における少なくとも２つの横連結部(5)(6)(54)(55)(56)(57)においてバルブプレート(1)に対して連結されている。横梁部材(3)は、中央連結部(4)及びその両側に隣接する横梁部材(3)の部分が存在する中央範囲(17)においてバルブプレート(1)に対して間隔(a)を有している。 （もっと読む）

【課題】処理チャンバーとバルブハウジングとの間をシールするシール部材の交換を、該バルブハウジングを処理チャンバーに接続したまま簡単に行うことができるゲートバルブを得る。
【解決手段】処理チャンバー２に接続されるバルブハウジング７の第１側壁７ａに、該処理チャンバー２に通じる連通孔５と、該第１側壁７ａと上記処理チャンバー２の室壁２ａとの間をシールするシール部材１３とを設け、上記弁室９内に配設した弁板６で上記連通孔５を開閉するようにしたゲートバルブ１において、上記連通孔５とシール部材１３とを、上記第１側壁７ａに着脱自在のシート部材１４に形成し、該シート部材１４を、上記弁室９からバルブハウジング７の上端の開口部２１を通じて該バルブハウジング７の外部に取り出し可能とする。 （もっと読む）

【課題】差圧がバルブプレートに対して２方向に作用する場合に適応する改良された真空バルブを提案する。
【解決手段】バルブプレート(5)が開位置及び中間位置の区間で動かされる際、バルブロッド(12)は縦駆動装置(15)(15’)により縦方向(6)に動かされる。バルブプレート(5)が閉位置及び中間位置の間で動かされる際、バルブロッド(12)は横駆動装置(16)(16’)により縦方向(7)に動かされる。真空バルブの真空領域外に配置されているベアリングユニット(17)(17’)が壁部(1)に対して固定されている。バルブロッド(12)を縦方向(6)に案内するガイドユニット(20)(20’)がベアリングユニットによって横方向(7)に案内される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成の補強ユニットにより、バルブプレートの閉位置においてバルブシートを有する壁に補強ユニットを安定または強固に押圧することができるスライドバルブを提供する。
【解決手段】スライドバルブはバルブプレート５をバルブシート４に押し付ける補強ユニット１２と、補強ユニット１２がバルブシート４から離反する方向に変位することを防止するための手段とを備えている。当該手段はバルブシート４が形成されている壁２等により構成され、バルブ本体１に固定された第１補強要素１５と、第１補強要素１５と係合する第２補強要素１３とを備えている。ボルトは、その軸方向にお互いに離れた補強ユニット１２の第１セクション２２および第２セクション２３の間に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 長手のまたはスリット形状のバルブ開口部のための、簡単な構造を有する真空バルブを提供する。
【解決手段】 真空バルブは、バルブ開口部(6)およびバルブ開口部(6)を取り囲むバルブシートを有する壁部(1)と、バルブプレート(7)とを備えている。真空バルブの閉塞に際して、バルブプレート(7)が開位置から閉軌道の主要部分を経て、バルブプレート(7)に対して平行かつシール面(10)またはバルブシートのシールリングの平面に対して平行な主要閉方向に動かされる。閉軌道の前記主要部分に続いて、バルブプレート(7)は、バルブプレート(7)に対して傾斜しているとともに、シール面(10)またはバルブシートのシールリングの平面に対して傾斜している閉軌道の終端部分を通じて動かされる。バルブプレート(7)に設けられている案内要素(17)(18)と相互作用して、閉軌道の終端部分を経てバルブプレート(7)を案内する少なくとも１つの案内要素(15)(16)が壁部(1)に設けられている。シール面(10)またはバルブシートのシールリングの平面(45)に対して傾斜している案内面(19)(20)(21)(22)によって、閉軌道の終端部分を通じてバルブプレート(7)が案内される。バルブプレート(7)の案内要素(17)(18)または壁部(1)に設けられている案内要素(15)(16)に、当該案内面のうち少なくとも１つが設けられている。 （もっと読む）

【課題】流体管を囲繞した筐体に設置した制水体による管路の配設方向の自由度が向上する制水体設置装置を提供すること。
【解決手段】流体管１の外周面を、少なくとも分割構造を有する筐体４０により囲繞するとともに、筐体４０に形成された開口部２ｂに管切断手段を接続し、管切断手段により筐体４０内部における流体管１を不断水状態で切断して、回動軸４３ｂと回動軸４３ｂ周りに回動動作する弁体４３とを少なくとも有する制水体４２を、筐体４０内部に設置する制水体設置装置であって、回動軸４３ｂが、略水平方向に配置されている。 （もっと読む）