【課題】高価な質量流量制御器を使用せずに、導入ガスを大量に消費することがなく、真空容器内の圧力を制御することができる真空装置及び真空装置の真空容器内の圧力制御方法を提供する
【解決手段】真空装置１は、真空容器２と、真空容器２の内部の圧力を測定する真空計３と、真空容器２を真空排気する第１真空ポンプ４と、コンダクタンスバルブ５と、コンダクタンスバルブ５を介して真空容器２に接続される第２真空ポンプ６と、真空容器２にガスを供給するガス供給手段７と、真空計３の出力に基づいて真空容器２の内部の圧力を制御圧力に制御する制御装置８と、を備えている。第２真空ポンプ６は、内部の圧力が真空容器２の内部の圧力（制御圧力）よりも高くなるように選定されたドライ真空ポンプであり、ガス供給手段７により供給されるガスが、ポンプ内部で排気口６ｂから吸気口６ａに向かって流通可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】液圧回転機として少なくとも２つ以上の油圧ポンプ又は油圧モータを用いる場合における液圧回転機の故障あるいは摩耗を少ない部品点数で確実に検出することができる液圧回転機の摩耗検出装置を提供する。
【解決手段】作動油を昇圧させる少なくとも２つ以上の液圧回転機を有する液圧回転機の摩耗検出装置であって、前記複数の液圧回転機の各流出ポートからの昇圧された作動油を合流する合流回路と、前記複数の液圧回転機の各流入ポートに前記作動油をそれぞれ分流供給する分流回路と、前記複数の液圧回転機の同等箇所に設けたそれぞれの温度検出部と、前記各温度検出部の温度をそれぞれ測定する温度計測手段と、前記各温度計測手段が測定した前記各温度検出部からの温度信号を取込み、比較演算して、前記複数の液圧回転機の摩耗を検出する演算手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】圧縮機段が互いに独立して稼働でき、かつ摩耗及びエネルギー効率が改善されている多段圧縮機を提供する。
【解決手段】圧縮機段Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに所属するピストン３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄのそれぞれが、圧縮機シリンダ２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ内にある非圧縮性液体の液柱９Ａ，９Ｂ，９Ｃ，９Ｄに接続されており、該液柱がピストンの往復動を、圧縮機シリンダ内に配置されていて縦方向に移動し得る圧縮機ピストン１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄの運動に変換し、かつ圧縮機ピストンの往復動行程ＶＨを変更するために、液柱を排出路１５に接続することができる。 （もっと読む）

【課題】
隣設された３つ以上の圧縮機構部を挟むように配置された２つの軸受で支持される場合、軸受間の距離が長いため、圧縮機構部から受ける圧縮反力により、回転軸に大きな軸たわみが生じる。この大きな軸たわみにより、圧縮機構部や、軸受の各摺動面で面同士の接触や干渉が発生し、密閉型圧縮機の信頼性の低下の原因となる。
【解決手段】
密閉型圧縮機は、密閉ケース内に、回転軸と、回転軸の一端側に設けられた電動機部と、回転軸の他端側に、同軸状に設けられた少なくとも３つの圧縮機構部と、を有する密閉型圧縮機において、前記回転軸は前記圧縮機構部のうち、隣設するいずれかの圧縮機構部の間で分割して形成されており、前記分割して形成された回転軸同士を互いに同期回転可能に連結する連結部と、前記回転軸を支持する圧縮機構部の数以上の軸受と、を有する。 （もっと読む）

【課題】クロスヘッドガイドとクランクケースとを組み付ける際の位置合わせを、ノックピンを用いることなく容易にする。
【解決手段】クランクケース１には、クロスヘッドガイド１１に設けた円筒部３７が挿入される上下に長い長方形状の取付孔３５を設け、この取付孔３５の水平方向に互いに対向する内側面３９に、一対の円弧面３９ａを形成する。一対の円弧面３９ａは、取付孔３５の中心部を中心とした円の一部に対応してあり、該円の直径に対して円筒部３７の外径をほぼ同等か僅かに小さく設定している。すなわち、円筒部３７を取付孔３５に挿入したときに、円筒部３７が一対の円弧面３９ａに支持されて、クロスヘッドガイド１１をクランクケース１に位置決めした状態で取り付けることができる。 （もっと読む）

【課題】電動機一体型ブースター圧縮機において、電動機の１回転当りの回転トルクの変動を抑えて、ブースター圧縮機の高出力化と省エネとを可能にする。
【解決手段】シリンダヘッド２８ａ、２８ｂ、シリンダ１２ａ、１２ｂ及びクランクケーシング１４ａ、１４ｂが一体に連結された一対の圧縮機ユニット１１ａ、１１ｂが電動機ケーシング１６の両側に連結されている。電動機ケーシング１６内に収容された電動機２０の出力軸３６の両端が両圧縮機ユニットのクランク軸１８ａ、１８ｂに連結され、両圧縮機ユニットのクランクアーム１８ａ及び１８ｂは、互いに１８０°の角度差をもって出力軸３６に連結されている。夫々、両圧縮機ユニットのピストン３８ａ、３８ｂのストローク位置は正反対となる。 （もっと読む）

【課題】間欠的なエアブローを必要とする端末装置を有する設備であっても、ブロワにより低圧空気を供給することができ、設備の省エネルギー化を図ることができる低圧空気供給システム及び低圧空気供給方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る低圧空気供給システムは、低圧空気を使用する複数の端末装置Ｕに低圧空気を供給する低圧空気供給システムであって、端末装置Ｕの上部に配置され少なくとも一つの環状経路を有するループ配管１と、ループ配管１に接続され低圧空気を生成する複数のブロワ２と、ループ配管１から個々の端末装置Ｕに低圧空気を供給する複数の枝管３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】低コストで、かつ、タクトタイムの短い真空処理装置を提供すること。
【解決手段】複数のロードロックチャンバ１１〜１４と、ロードロックチャンバに各々開閉部を介して連通する複数のプロセスチャンバ５１〜５４とから構成されてなる真空処理装置１であって、各ロードロックチャンバを選択して排気する１つの第一排気手段３１と、プロセスチャンバ毎に設けられ、各プロセスチャンバを個別に排気する複数の第二排気手段７１〜７４と、ロードロックチャンバに排気の必要性が生じた場合に、ロードロックチャンバの状態に応じた優先度を付加した排気要求を発行する制御手段と、複数の排気要求を優先度に従って順序調整することにより、複数のロードロックチャンバの中から第一排気手段が排気処理を実施する１つのロードロックチャンバを選択し、第一バルブの開閉動作を指示する順序調整手段と、を少なくとも備えた真空処理装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】排出ガスの気流振動を抑制するのに適した二連型真空ポンプ装置、これを含むガス精製システム、及び真空ポンプ排出ガス気流振動を抑制するための装置と方法を提供する。
【解決手段】二連型真空ポンプ装置Ｙ２は、容積式の真空ポンプ４０Ａ，４０Ｂ及びライン５２，６０を備える。各真空ポンプは吸気口４１と排気口４２を有する。ライン５２は、真空ポンプ４０Ａの排気口４２と真空ポンプ４０Ｂの吸気口４１を連結する。ライン６０は、連結ライン５２に接続された端部Ｅ６と端部Ｅ７とを有し、バッファー管Ｚ１および当該管Ｚ１と端部Ｅ７との間に位置する開閉弁６１を含む。バッファー管Ｚ１は、開閉弁６１が開状態である場合において、真空ポンプ４０Ａの排気口４２からの排出ガス量が真空ポンプ４０Ｂの吸気容量を超えているときに管Ｚ１を通過するガスの管内最小滞留時間が０.１５秒以上となるように、構成されている。 （もっと読む）

【課題】複雑な同期機構を用いることなく、複数の圧縮機構部を有する圧縮機の振動低減を図ることのできる圧縮機を得る。
【解決手段】圧縮機は、下部ベースに防振部品を介して設置された空気タンク６と、この空気タンクの上部に取付けられ圧縮機構部を取付けるための共通ベース７と、この共通ベースに、隣接して同一方向に並置された往復動式の複数の圧縮機構部４，５とを備える。これら複数の圧縮機構部は同時に起動されて回転方向が互いに逆回転するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ブロワエアの露点を確保しながらも省エネルギーでエアを供給できるブロワの露点の制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ブロワ（１）の吸気温度、吸気湿度、圧力を測定して低圧エアの露点（Ｔ０）を演算し（Ｓ１）、ブロワ（１）から設備（１３）へ圧縮エアを供給する配管（１５）の測定温度（Ｔ１）と演算で求めた低圧エアの露点（Ｔ０）を比較して結露の有無を判断し（Ｓ２）、結露しないと判定された場合には、ブロワ（１）からのみ設備（１３）へ圧縮エアを供給し（Ｓ３）、結露すると判定された場合には、コンプレッサの高圧エアをブロワ（１）から設備（１３）へ送られる圧縮エアに混合して供給する（Ｓ４，Ｓ５）。 （もっと読む）

【課題】単位時間当たりの冷媒の圧縮能力を高く維持しつつ、より一層の小型化を実現可能なリニア電動式圧縮機及びこのリニア電動式圧縮機を備えた冷凍回路を提供する。
【解決手段】本発明のリニア電動式圧縮機１００に備えられたピストン２７は、ピストンロッド２９と、ピストンロッド２９の両端に一体に設けられた第１、２ピストンヘッド３１、３３とからなる。ピストンロッド２９は、第１、２ピストンヘッド３１、３３よりも小径である。永久磁石３５、３７は第１、２ピストンヘッド３１、３３に設けられている。センターハウジング７は第１、２ピストンヘッド３１、３３間にばね座７ｂを有し、ばね座７ｂと第１、２ピストンヘッド３１、３３との間には、ピストンロッド２９周りに位置する第１、２コイルばね４９、５１が設けられている。また、本発明の冷凍回路２００、３００は、このリニア電動式圧縮機１００を備えている。 （もっと読む）

【課題】長期間使用しても、冷媒の圧縮効率を維持可能なリニア電動式圧縮機を提供する。
【解決手段】本発明のリニア電動式圧縮機１００は、第１、２シリンダブロック１、３、シェル５、センターハウジング７、第１、２エンドプレート１１、１３、弁ユニット２５ａ、ピストン２７、第１、２コイルばね４９、５１、コイル６３ａ、６３ｂ、６５ａ、６５ｂ及び永久磁石３５、３７を備えている。ピストン２７は、ピストンロッド２９と、ピストンロッド２９の両端に一体に設けられ、第１、２シリンダボア１ａ、３ａ内を摺接する第１、２ピストンヘッド３１、３３とからなる。ピストンロッド２９周りのばね室７ｃは吸入室５３とともに冷却室５５ａを形成する。冷却室５５ａは吸入機構５６ａを介して圧縮室４５と連通している。 （もっと読む）

【課題】両頭のピストンを採用することによって単位時間当たりの冷媒の圧縮能力を高く維持しながら、各ピストンヘッドとピストンロッドとの間の径方向の位置ずれによる動力損失、耐久性の低下等の不具合を解決可能な高いリニア電動式圧縮機を提供する。
【解決手段】本発明のリニア電動式圧縮機１００は、第１、２シリンダブロック１、３、シェル５、センターハウジング７、第１、２エンドプレート１１、１３、弁ユニット２５、ピストン２７、第１、２コイルばね４９、５１、コイル６３ａ、６３ｂ、６５ａ、６５ｂ及び永久磁石３５、３７を備えている。ピストン２７は、ピストンロッド２９と、第１、２ピストンヘッド３１、３３とからなる。シェル５と第１、２シリンダブロック１、３との間にはピストンロッド２７の中心軸と第１、２ピストンヘッド３１、３３の中心軸との位置ずれＧ１、Ｇ２を吸収する第１、２間隙１ｃ、３ｃが確保されている。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー消費の少ない真空排気技術を提供すること。
【解決手段】冷凍機を有する真空排気ポンプの複数台が共通の圧縮機に繋がれており、複数台の真空排気ポンプのうちの少なくとも一台は、冷凍機のバルブが動作することによってシリンダの内部が低圧状態から高圧状態に移行することにより、低圧状態のガスが断熱圧縮される工程と、断熱圧縮されたガス中をディスプレーサが通過する工程とを含む動作を繰り返す運転をしており、複数台の真空排気ポンプのうちの他の少なくとも一台は、冷凍機のバルブが動作することによってシリンダの内部が高圧状態から低圧状態に移行することにより、高圧状態のガスが断熱膨張する工程と、断熱膨張したガス中をディスプレーサが通過する工程とを含む動作を繰り返す運転をしている。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で、連結された複数の空気圧縮機を効率良く使用することができる空気圧縮機を提供する。
【解決手段】空気圧縮機１００の１対の空気タンク１３１（１３１ａ、１３１ｂ）と空気圧縮機２００の１対の空気タンク２３１（２３１ａ、２３１ｂ）は、エアホース３００を介して連通している。空気圧縮機１００、２００は、運転停止中に圧力センサ１３３、２３３の検出信号から算出した空気タンク１３１、２３１内の圧力の時間変化率が正、すなわち圧力が上昇していると判別すると、電動モータ１２０、２２０の運転を再開する。従って、空気圧縮機１００、２００は、一方の空気圧縮機が先に再起動圧力を検出して運転を再開すると、他方の空気圧縮機は空気タンク内の圧力上昇を検出して運転を再開する。 （もっと読む）

【課題】ピストンまたはダイヤフラム式ポンプにおいて、小型化の目的を可能とした直列多気筒化と、自給式で各種の流体に広く対応できるよう吸排流体弁をロータリー切替弁の採用により、流体に混入する異物による動作不良と、回転軸の可逆回転により流体の流れる方向を切換えることができるピストンまたはダイヤフラム式多用途ポンプを提供する。
【解決手段】動力源より駆動される回転軸４に取り付けられたカムブロック７のカム溝８により動くカムフォロア１０からベアリングホルダー１１より連結軸１２を経由してピストン１４の往復運動を行うと同時に、回転軸４と共に回転するロータリーバルブローター２０によりロータリーバルブステーター１９側にピストン１４の動きに同期して、流体Ａ流路接続口２５および流体Ｂ流路接続口２６の各々に回転の方向に応じて流体の供給および排出の動作を行う。 （もっと読む）

冷却ユニット用メンテナンス機には、冷却ユニットの冷媒を保持及び圧縮することが可能であることが必要とされる。さらに、冷媒を空にした冷却路に接続され、湿気と空気を吸引する真空ポンプを必要とする。本発明のメンテナンス機は、一方の方向に回転するとフリーホイール（４７）を介してコンプレッサ（４９）を作動させるモーター（３４）を備える。また、前記モーターは、他方の方向に回転すると第２フリーホイール（５０）を介して真空ポンプ（５２）を作動させる。メンテナンス機は、２つの異なった機能を果たすが、これが備えるモーターは１つである。前記メンテナンス機は、メンテナンス係が運べるように軽量である。さらに、前記メンテナンス機は、小型であり、効率の良い方法で製造可能である。
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【課題】真空処理装置および真空処理方法の省エネルギー化を実現する。
【解決手段】真空処理装置１００は、被処理体が収容される処理容器１０１と、処理容器１０１から被処理体が搬送される搬送容器１０７と、処理容器１０１内を真空排気する、ターボポンプ１０３及びドライポンプ１０６（第一のドライポンプ）と、搬送容器１０７内を真空排気するドライポンプ１１０（第二のドライポンプ）と、処理容器１０１、ターボポンプ１０３、及びドライポンプ１０６を、この順で接続する排気ライン１３１（第一の排気ライン）と、搬送容器１０７及びドライポンプ１１０を接続する排気ライン１３２（第二の排気ライン）と、ターボポンプ１０３及びドライポンプ１０６の間の部分と、かつ排気ライン１３２とを接続する排気ライン１３３（第三の排気ライン）と、排気ライン１３３に設けられたバルブ１１９と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】圧縮機構駆動用の電動モータを効率よく冷却することにより該電動モータの過熱を防止し、電動モータおよび電動圧縮機の運転効率、耐久性、信頼性を向上できる電動圧縮機を提供する。
【解決手段】圧縮機構と、該圧縮機構の駆動源としての電動モータとがハウジング内に内蔵され、該ハウジング内が、前記圧縮機構の吸入側と電動モータ側に区画された電動圧縮機において、前記電動モータが、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相が位相をずらせて配置された三相モータからなり、前記ハウジングに、前記圧縮機構の吸入側に吸入された被圧縮流体の一部を電動モータ側に送る連通路を、少なくとも一つのＵ相とＶ相との間に対向して開口される通路と、少なくとも一つのＶ相とＷ相との間に対向して開口される通路と、少なくとも一つのＵ相とＷ相との間に対向して開口される通路とからなるように、ハウジングの周方向に複数設けたことを特徴とする電動圧縮機。 （もっと読む）