【課題】制御応答性に優れ、かつ車輪、プーリ、ロボットのアームなどの回転軸で生じる振動を、少ない設置スペースで制御する。
【解決手段】支持金具２の下方への偏倚により弾性部材４が撓んで、剛性板７が下方にスライド移動すると共に、磁気粘性流体ＭＲが第１の室Ｒ１から第２の室Ｒ２にオリフィス７ａを通じて流れる場合、第１の電磁ソレノイド１１を励磁することでオリフィス７ａおよび連通路（通路９ａ，９ｂ）を通じての流れが規制される。一方、第２の電磁ソレノイド１２を励磁することで、永久磁石６との間に生ずる反発作用で、剛性板７と共に、可動部材９を上方に移動させる。これにより、支持金具２が、第１の室Ｒ１内の磁気粘性流体を介して持ち上げられる。 （もっと読む）

【課題】気体室と容積室とが連通路によって連通された気体ばね式除振装置において、減衰特性を変えることなくより多くの気体を供給若しくは排気することができ、且つ定盤の静定時間ができるだけ短い除振装置を提供する。
【解決手段】空気ばね装置２に空気室Ｓ１と該空気室Ｓ１に連通路１１ｂを介して連通する容積室Ｓ２を設ける。前記空気室Ｓ１及び容積室Ｓ２と空気供給源とをそれぞれ接続する管路５，６を設け、管路５には定盤１の高さ位置に応じて作動するレベリングバルブ３を、管路６には前記空気室Ｓ１及び容積室Ｓ２の圧力が同等になるように該空気室Ｓ１及び容積室Ｓ２の圧力差に応じて作動する３ポート減圧弁４を、それぞれ設ける。 （もっと読む）

【課題】 エンジンのトルク変化に伴うエンジン懸架系および車輪懸架系から車体に伝達される振動を低減し得る車両の懸架装置を提供する。
【解決手段】 車両の懸架装置は、エンジン１０を車体５０に取り付けるエンジン懸架系２０と、車輪６０を車体５０に取り付ける車輪懸架系３０を備える。エンジン懸架系２０は液体封入式のエンジンマウント２１，２２を備える。エンジンマウント２１，２２は作動油の封入された油室Ｒｏ（上油室Ｒ１と下油室Ｒ２）を有する。車輪懸架系３０は、サスペンションアーム３１および液体封入式のサスペンションブッシュ３３を備える。サスペンションブッシュ３３は作動油の封入された油室Ｒ３，Ｒ４を有する。エンジンマウント２２の上油室Ｒ１とサスペンションブッシュ３３の油室Ｒ３は、通路Ｌを介して接続される。 （もっと読む）

【課題】 自動車の車輪に作用する外力をより正確且つ迅速に検出し得る機構を簡易に実現せしめ得る、新規な構造のサブフレーム機構およびかかるサブフレーム機構に採用され得るサブフレーム用防振装置を提供すること。
【解決手段】 サスペンション部品１４と車両ボデー２６を弾性的に連結するサブフレーム機構１０を構成するサブフレーム１２と、車両ボデー２６との間に作用する荷重に応じた出力信号を得ることの出来る検出手段４６を設けた。 （もっと読む）

例えば実時間調整可能なショックアブソーバシステムなどのバネ質量系のためのセミアクティブ制御手法が提供される。この手法は、システムパラメータ及びユーザ定義可能な又は前もってセットされた入力に基づき複数の動作ゾーンを定義するステップを備える。また、この手法は、非慣性バネ質量系応答と、系に作用する多次元の力と、運動の極値での系の動作を正確に定義するための加速度境界計算とを明らかにするためのステップを備える。この手法は、概して、複数のバルブ制御信号を生成すること、そのバルブ制御信号の中から選択すること、および選択された制御信号を閉ループのフィードバック系におけるバルブに加えてバネ質量系におけるエネルギーを調節することに方向づけられる。
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【課題】 ピッチング振動エネルギーに起因する車両挙動の悪化を抑制し、安定した車両走行を実現する。
【解決手段】 エンジンエネルギーが必要以上に発生しており、ピッチング振動エネルギーが正になるような場合には、モータジェネレータを発電機として用いてピッチング振動エネルギーを除去する。また、エンジンエネルギーが必要とされる量に足りず、ピッチング振動エネルギーが負になるような場合には、モータジェネレータをモータとして用いてエンジンエネルギーを補い、ピッチング振動エネルギーを除去する。 （もっと読む）

【課題】 エアマウントによる疑似３点の支持構成が採用された従来の露光装置では、アクチュエータの推力をエアマウントで置換した場合、定盤を僅かながら歪ませてしまい、露光ショットずれを引き起こす恐れがある。
【解決手段】 各エアマウント５Ａ〜５Ｄの内圧を計測する圧力計４９Ａ〜４９Ｄを設け、これら圧力計４９Ａ〜４９Ｄの出力に基づいて各エアマウント５Ａ〜５Ｄの推力を調節してアクチュエータ４Ａ〜４Ｄの推力と置換させる除振装置を露光装置に採用することにより、推力置換後の除振台の歪みを防止することができる。これにより、投影光学系や位置センサ、レーザ干渉計の支持部等に撓みが生じなくなるので、露光ショットずれを防止して露光精度の向上を図ることができる。 （もっと読む）