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Fターム[3J101GA55]の内容

ころがり軸受け (67,411) | 用途 (6,131) | 半導体製造機械 (67)

Fターム[3J101GA55]に分類される特許

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【課題】dmn値が140万以上となる高速回転下や潤滑剤を使用できない腐食環境下においても、寿命を十分に長くできる転がり軸受を提供する。
【解決手段】玉3を以下の方法で作製する。固体潤滑剤と、複数個の同じセラミックス製の球状体を遊星ボールミルのミルポット内に入れて、遊星ボールミルを作動させるボールミル工程を行う。このボールミル工程で、前記球状体に、ミルポット内に発生する公転に伴う遠心力と自転に伴う遠心力を付与することで、球状体同士を衝突させるとともに球状体をミルポットの内壁へ衝突させて、球状体の表面に残留応力を導入すると同時に、表面に前記固体潤滑剤の被膜を形成する。 (もっと読む)


【課題】潤滑作用を有しており、しかも使用初期の段階における潤滑不足を解消することができる軸受用保持器を提供する。
【解決手段】軸受用保持器14は、転動体を保持する複数のポケット15を備え自己潤滑作用を有するポリテトラフルオロエチレン樹脂からなる。各ポケット15のポケット面15aに、転動体との摩擦により早期に磨耗することにより、潤滑剤を玉に供給することができ、使用初期の潤滑作用を行うための突起16が設けられている。 (もっと読む)


【課題】水、蒸気、水を含む薬液等、水を含む液体が飛散している環境において、長期に亘って確実に潤滑されることができる転がり軸受を提供すること。
【解決手段】外輪1の軌道溝11の表面、内輪2の軌道溝21の表面、各玉3の表面、および、保持器4の全面を、酸化チタンでコーティングする。換言すると、外輪1の軌道溝11、内輪2の軌道溝21、各玉3の表面、および、保持器4の表面の全面に、酸化チタンからなる親水層を形成する。 (もっと読む)


【課題】摩耗粉等の異物が軸受外に放出しにくくて、かつ、摩耗粉等の異物を内部で保持する性能に優れる転がり軸受を提供すること。
【解決手段】シールド板の径方向の内方の端面に径方向に隙間をおいて対向する内輪2の外周面の軌道肩部50,51に、動圧軸受で使用されているスパイラル状の第1溝70および第2溝71を形成する。 (もっと読む)


【課題】循環路を循環する転動体の循環異常を早期に判定する手段を提供する。
【解決手段】リニアガイド装置1の循環路14の一部を構成する樹脂製のエンドキャップ11の方向転換路12が形成された部位に、循環路14を循環するボール9の接近を検出する金属検出センサ16を設け、この金属検出センサ16によりボール9の通過時間間隔を検出し、通過時間間隔が異常判定通過周期以上のときに、循環異常の発生を判定する。 (もっと読む)


【課題】使用の初期状態において、ポケットに収容される玉、および、玉と内外輪との摺動部を潤滑でき、内外輪の間に潤滑剤を封入する必要がなくて、内外輪の外部の環境を汚染しにくい玉軸受用保持器を提供すること。
【解決手段】環状第1板部材10の接合部21と環状第2板部材11の接合部31との間に位置していると共に、潤滑油が含浸されている多孔質部材14を備える。多孔質部材14は、環状第1板部材10の接合部21と環状第2板部材11の接合部31とによって軸方向に締め付けられ、弾性変形している。多孔質部材14は、ポケット35に収容される玉3に接触可能にポケット35内に突出する突出部70を有している。 (もっと読む)


【課題】ユーザのメンテナンス作業を容易にすることができる潤滑剤供給装置を提供する。
【解決手段】移動部材に取り付けられるケースに、軌道部材に潤滑剤を塗布する塗布体12を収容し、ケースの潤滑剤貯蔵体収容室に、潤滑剤を吸収すると共に塗布体12に潤滑剤を供給する潤滑剤貯蔵体13を収容する。ケースの潤滑剤貯蔵体収容室には、潤滑剤を注入できる空間Sが設けられる。ケースの内部の一部が空間Sになっているので、潤滑剤を消費したとき、注射器のような器具を用いて、簡単に潤滑剤を追加・供給することができる。 (もっと読む)


【課題】搬送部の被案内面に外周面を接触させて回転することにより前記搬送部を案内する搬送ローラにおいて、搬送部の被案内面が搬送ローラに衝突した時の耐久性を改善する。
【解決手段】搬送ローラ1を以下の方法で作製する。図2のミルポット内に窒化珪素製のボール5を複数個入れるとともに、円柱体44に搬送ローラ1を外嵌して遊星ボールミルを作動させ、ボール5に、ミルポット内に発生する公転に伴う遠心力と自転に伴う遠心力を付与することで、ボール5を搬送ローラ1の外周面に衝突させて外周面の表層部に残留応力を導入するボールミル工程を行った後に、仕上げ研磨加工を行う。 (もっと読む)


【課題】セパレータの噛み込みによるロックが生じにくい玉軸受を提供する。
【解決手段】深溝玉軸受は、内輪1と、外輪2と、内輪1及び外輪2の間に転動自在に配された複数の玉と、玉同士の間隔を保つ固体潤滑剤製のセパレータ4と、を備えている。このセパレータ4は円柱形状の部材で、その両端面(円柱の両底面)を玉に対面させている。また、セパレータ4の直径ds,セパレータ4の長さts,及び内外輪1,2の溝半径rgが下記式を満足する。
(ds2 +ts2 1/2 ×sin60°>2rg (もっと読む)


【課題】 耐グリース漏洩性および省スペースを同時にかつ低コストで達成することができる特殊環境用軸受を提供する。
【解決手段】 保持器4は、複数の玉をそれぞれ保持するポケット50を円周方向の複数箇所に有し、各ポケット50の内面を、玉配列ピッチ円PCDよりも内径側の部分が、保持器内径側開口縁に近づくに従って小径となる凹曲面状としたリング状であり、各ポケット50の内面に、保持器内径側の開口縁から保持器外径側に延びる凹み部54を設ける。 (もっと読む)


【課題】セパレータに損傷が生じにくい玉軸受を提供する。
【解決手段】深溝玉軸受は、内輪1と、外輪2と、内輪1及び外輪2の間に転動自在に配された複数の玉3と、玉3同士の間隔を保つ固体潤滑剤製のセパレータ4と、を備えている。このセパレータ4は略環状の部材で、そのほぼ中央に玉3を収容する貫通孔4aを有している。そして、円状に並ぶ複数の玉3が1つおきにセパレータ4の貫通孔4a内に配されている。すなわち、セパレータ4が装着された玉3と装着されていない玉3とが交互に並んでいる。また、この深溝玉軸受は、軸受外径D,軸受内径d,及び軸受幅Bが下記の2つの式を満足している。
0.60<B/{(D−d)/2}<1.2
0.39<(D−d)/2/d<0.91 (もっと読む)


【課題】低発塵、低アウトガスの高レベルの要求に応えることができる転がり軸受を提供する。
【解決手段】この玉軸受では、内輪1と外輪2とシール部5,6とで囲まれた空間において、内輪1の外周面1B,1Cに形成された吸着材コーティング22,27と外輪2の内周面2B,2Cに形成された吸着材コーティング18,23、および、シール部5,6の内側面に形成された吸着材コーティング18,23と保持器7の非保持面に形成された吸着材コーティング30,31が配置されている。これらの吸着材コーティング18〜31によって、内輪1,外輪2,玉3,保持器7,シール部5,6等から生じる摩耗粉および潤滑剤の蒸発によるアウトガスを吸着できる。 (もっと読む)


【課題】従来技術と比較して長寿命化を実現した新たな転がり案内装置を提供する。
【解決手段】転がり案内装置10は、軌道レール11と、軌道レールに複数のボール13を介して移動自在に取り付けられる移動体21とを有しており、複数のボール13は、軌道レール11とボール13との間に形成された負荷転走路と、その負荷転走路の一端と他端とを結ぶように移動体21に形成された無負荷転走路とから構成される無限循環路33に設置されている。このような転がり案内装置10において、無負荷転走路のみに対して、固体潤滑剤からなる微粒子を噴射することによって衝突固着された固体潤滑膜が形成されている。なお、上記固体潤滑膜は、無負荷転走路の一部の領域に対して膜厚が0.5μm〜3μmの範囲内となるように形成されることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】この直動案内ユニットは,エンドキャップに給油路を形成するチューブを配設し,ユニットの配設姿勢にかかわらず,ローラの循環路へ潤滑油を漏洩させることなく少量でも確実に給油できる。
【解決手段】この直動案内ユニットは,スライダを構成するエンドキャップ4には,ローラが転走する軌道路に潤滑油を給油するため,給油口29から方向転換路に延びる可撓自在なフッ素樹脂製のチューブ20が配設されている。チューブ20は,潤滑油の給油路を構成する。チューブ20の先端部50は,エンドキャップ4を構成するスペーサ8に配設された方向転換路に開口する分岐部材39に接続している。 (もっと読む)


【課題】玉軸受で、軸方向の省スペース化で冠形保持器を採用した場合に、保持器の軸方向の外れを防止し且つ玉の摩耗や損傷及び保持器を破損させることなく安定した回転性能を発揮させる。
【解決手段】幅狭玉軸受100A,100Bを2列組合せて組合せ玉軸受100を構成し、各幅狭玉軸受は、リング部111を組合せ面側として、他方側に玉103を保持する所要数のポケット部113を形成した冠形の玉案内保持器110を備え、ポケット部113は、リング部111とは反対側の先端部に形成した玉の抜け出しを防止する玉係止部114を有し、ポケット部113の曲率中心と玉係止部先端との軸方向距離Lに対して、ポケット部113の曲率中心と玉曲率中心とを一致させたときの対向する2つの保持器におけるリング部端部間の軸方向すきまΔGに、ポケット部113のポケット面113aと玉103との軸方向すきまΔPを加えた値が小さくなるように設定した。 (もっと読む)


【課題】低発塵性及び低アウトガス性を確保するとともに長寿命を達成することができる転がり軸受及び総転動体軸受を提供する。
【解決手段】第一の軌道輪の第一の軌道、第二の軌道輪の第二の軌道、転動体の表面、及び保持器の各ポケットにおける前記転動体に対向する面の少なくとも1つに、式:
【化1】


で示され、且つ平均分子量が11000以上であるPFPEと、一次粒子の平均直径が1μm以下であるPTFE粒子とを含む潤滑剤が、前記第一の軌道の面積、前記第二の軌道の面積、前記転動体の表面の面積、及び前記保持器の各ポケットにおける前記転動体に対向する面の面積を合わせた総面積1m当たり9〜16g配設されている。 (もっと読む)


【課題】ゴム製のシールの初期潤滑性を向上させた転がり軸受を提供する。
【解決手段】転がり軸受は、外輪と、内輪13と、軌道面上を転動する鋼球と、その内部を密封するゴム製のシール19aとを備える。転がり軸受の内部には、鋼球の転動を円滑にする第一のグリース18が封入されている。内輪13とシール19aとは、軸方向において、第一のリップ23および第二のリップ24で接触して摺動している。ここで、複数の摺動部のうち、最も軸受内部側に位置する摺動部の壁面29には、内輪13とシール19aとの摺動を円滑にする第二のグリース31があらかじめ塗布されている。 (もっと読む)


【課題】転動体と軌道面との動摩擦力が小さくかつ製造コストも安価な新規なリニアガイド装置の提供。
【解決手段】レール10とベアリング20間に形成された循環路23,26を転動体Bが転動するリニアガイド装置であって、前記循環路23,26の軌道面Sの断面形状が、その軌道面Sの中央部分を形成すべく第1円弧A1と、当該第1円弧A1の両側の軌道面Sをそれぞれ形成すべく第2円弧A2、A2とからなると共に、当該第2円弧A2、A2側が前記転動体Bから離れる位置に形成する。これによって、通常時には第1円弧A1が主に荷重を受け、第2円弧A2、A2は殆ど荷重を受けなくなるため、転動体Bと軌道面Sとの接触幅が小さくなって動摩擦力が低減する。また、このような形状の軌道面Sは比較的容易に形成できるため、製造コストも安価となる。 (もっと読む)


【課題】潤滑剤供給経路の排出口から転動体循環経路内に勢いよく潤滑剤を出すことができる運動案内装置を提供する。
【解決手段】運動案内装置は、長手方向に沿って伸びる転動体転走部1aが形成される軌道部材1と、転動体転走部1aに対向する負荷転動体転走部5cが形成されると共に、負荷転動体転走部5cと略平行に伸びる転動体戻り通路5dを含む転動体循環経路を有する移動ブロックと、転動体循環経路に配列される複数の転動体3と、を備える。移動ブロックには、転動体循環経路に潤滑剤を供給するための潤滑剤供給経路が設けられる。潤滑剤供給経路は、転動体循環経路に接続される排出口における断面積が、他の部分の断面積よりも小さい。あたかもホースの先端を絞れば水が勢いよく出るがごとく、排出口から潤滑剤を勢いよく出すことができる。 (もっと読む)


【課題】シールを収納するみぞ等を形成した場合に、内輪及び外輪の少なくとも一方のみぞ肩部のみで転動体荷重を負担することがないようにしたアンギュラ玉軸受を提供する。
【解決手段】少なくとも円周方向の一部に内輪みぞ肩部102cよりも径の小さい凹段部122bが形成された内輪102、及び少なくとも円周方向の一部に外輪みぞ肩部よりも径の大きい凹段部が形成された外輪101の、少なくとも一方を備え、前記外輪101の軌道溝101aと前記内輪102の軌道溝102aとの間に多数の玉103が転動自在に配設された幅狭の単列のアンギュラ玉軸受100において、前記玉103と前記外輪及び内輪との接触部P1,P2における法線方向の延長線L1が前記凹段部122bに干渉しないように接触角θを設定した。 (もっと読む)


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